CN110010531A - 晶圆安装机构 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 24
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 16
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 239000010439 graphite Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 3
- 230000005622 photoelectricity Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67132—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本发明提供了一种晶圆安装机构，包括；旋转座，所述旋转座转动连接在基座上；两个摆臂，两个所述摆臂对称设置在所述旋转座左右两侧，且两个所述摆臂能分别上下移动的连接在所述旋转座上，两个所述摆臂的自由端均具有用于抓取晶圆的夹口。通过旋转座带动两个摆臂转动，并且两个摆臂能相对于旋转座上下移动，以使一个摆臂可以抓取晶圆，另一个摆臂同时将其上的晶圆安装到石墨盘上，从而提高通过摆臂拾取晶圆的效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种晶圆安装机构。
背景技术
晶圆一般都是储存在扩晶环上，将扩晶环上的晶圆拾取到石墨盘上，目前有两种方法，方法一是人工采用吸盘的方式，但是这种方法的效率不高，不适用于高速的生产使用，方法二是通过摆臂的形式自动抓取，通过摆臂的转动从而将扩晶环上的晶圆拾取到石墨盘上，但是这种拾取方式只能先抓取在放置，一个工序只能完成一个晶圆的安装，效率也得不到实质的提高。
发明内容
本发明的目的是提供一种晶圆安装机构，以解决在通过摆臂拾取晶圆时效率不高的问题。
本发明的上述目的可采用下列技术方案来实现：
本发明提供一种晶圆安装机构，包括；
旋转座，所述旋转座转动连接在固定的基座上；
两个摆臂，两个所述摆臂对称设置在所述旋转座的左右两侧，且两个所述摆臂位于同一条水平方向的直线上，所述旋转座能带动两个所述摆臂转动；
且两个所述摆臂能分别上下滑动的连接在所述旋转座上，两个所述摆臂的自由端均具有用于抓取晶圆的夹口。
进一步的，两个所述摆臂分别连接在两个连接座上，所述旋转座的两个侧面均连接有一对沿竖直方向设置的第一导轨，各所述第一导轨上均滑动连接有第一滑块，所述第一滑块连接在相对应的所述连接座上。
进一步的，所述基座的下端设有两个支座，所述旋转座位于两个所述支座之间；
两个所述支座上分别连接有能上下移动的半圆形上下转环，两个所述半圆形上下转环分别环绕在所述旋转座的左右两侧，各所述半圆形上下转环均具有半圆形滑道；
两个所述连接座上均连接有支撑块，两个所述支撑块上均转动连接有滚轮，两个所述滚轮分别在相对应的所述半圆形滑道内滚动。
进一步的，两个所述支座上分别设置有直线电机，所述直线电机的固定端连接在所述支座上，所述直线电机的运动端通过滑座连接在所述半圆形上下转环上。
进一步的，所述支座上连接有沿竖直方向设置的两个第二导轨，所述直线电机位于两个所述第二导轨之间；
各所述第二导轨上均滑动连接有第二滑块，各所述第二滑块连接在相对应的所述滑座上。
进一步的，所述半圆形滑道内设有两个半圆形耐磨板，两个所述半圆形耐磨板上下设置形成所述半圆形滑道，所述滚轮滚动设置在两个所述半圆形耐磨板之间。
进一步的，两个所述半圆形上下转环沿竖直方向间隔设置。
进一步的，所述基座的两侧分别连接有镜头筒，所述镜头筒的下端连接有环形灯。
进一步的，所述基座上安装有驱动电机，所述驱动电机的转轴竖直向下设置，所述旋转座固定设置在所述驱动电机的转轴上。
本发明的晶圆安装机构的特点及优点是：通过旋转座带动两个摆臂转动，并且两个摆臂能相对于旋转座上下移动，以使一个摆臂可以抓取晶圆，另一个摆臂同时将其上的晶圆安装到石墨盘上，从而提高通过摆臂拾取晶圆的效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的晶圆安装机构的示意图；
图2为本发明的晶圆安装机构的示意图；
图3为本发明的晶圆安装机构中连接座与半圆形上下转环的示意图；
图4为本发明的晶圆安装机构中半圆形上下转环的示意图；
图5为本发明的晶圆安装机构中支撑块的示意图；
附图标号说明：
1、旋转座；11、第一导轨；2、基座；21、支座；211、直线电机；212、第二导轨；213、感应限位器；214、读数头；3、摆臂；31、夹口；4、连接座；41、第一滑块；42、支撑块；421、滚轮；5、半圆形上下转环；51、半圆形滑道；52、滑座；521、第二滑块；522、限位光电片；53、半圆形耐磨板；6、镜头筒；61、环形灯；7、驱动电机。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一；
如图1至图5所示，本发明提供一种晶圆安装机构，包括；旋转座1，所述旋转座1转动连接在固定的基座2上；两个摆臂3，两个所述摆臂3对称设置在所述旋转座1的左右两侧，且两个所述摆臂3位于同一条水平方向的直线上，所述旋转座1能带动两个所述摆臂3转动；且两个所述摆臂3能分别上下滑动的连接在所述旋转座1上，两个所述摆臂3的自由端均具有用于抓取晶圆的夹口31。
在本发明中，两个所述摆臂3分别连接在两个连接座4上，所述旋转座1的两个侧面均连接有一对沿竖直方向设置的第一导轨11，各所述第一导轨11上均滑动连接有第一滑块41，所述第一滑块41连接在相对应的所述连接座4上。进一步的，所述基座2的下端设有两个支座21，所述旋转座1位于两个所述支座21之间；两个所述支座21上分别连接有能上下移动的半圆形上下转环5，两个所述半圆形上下转环5分别环绕在所述旋转座1的左右两侧，两个所述半圆形上下转环5沿竖直方向间隔设置，各所述半圆形上下转环5均具有半圆形滑道51；两个所述连接座4上均连接有支撑块42，两个所述支撑块42上均转动连接有滚轮421，两个所述滚轮421分别在相对应的所述半圆形滑道51内滚动。
在本发明中，两个所述支座21上分别设置有直线电机211，所述直线电机211的固定端连接在所述支座21上，所述直线电机211的运动端通过滑座52连接在所述半圆形上下转环5上，所述支座21上连接有沿竖直方向设置的两个第二导轨212，所述直线电机211位于两个所述第二导轨212之间；各所述第二导轨212上均滑动连接有第二滑块521，各所述第二滑块521连接在相对应的所述滑座52上。进一步的，所述半圆形滑道51内设有两个半圆形耐磨板53，两个所述半圆形耐磨板53上下设置形成所述半圆形滑道51，所述滚轮421滚动设置在两个所述半圆形耐磨板53之间。
在本发明中，所述基座2的两侧分别连接有镜头筒6，所述镜头筒6的下端连接有环形灯61。进一步的，所述基座2上安装有驱动电机，所述驱动电机的转轴竖直向下设置，所述旋转座1固定设置在所述驱动电机的转轴上。
实施例二；
如图1至图5所示，本发明提供了一种晶圆安装机构，包括；旋转座1，所述旋转座1转动连接在基座2上；两个摆臂3，两个所述摆臂3对称设置在所述旋转座1的左右两侧，且两个所述摆臂3位于同一条水平方向的直线上，所述旋转座1能带动两个所述摆臂3左右转动；且两个所述摆臂3能分别上下移动的连接在所述旋转座1上，两个所述摆臂3的自由端均具有用于抓取晶圆的夹口31。
本发明的晶圆安装机构，通过旋转座1带动两个摆臂3转动，并且两个摆臂3能相对于旋转座1上下移动，以使一个摆臂3可以抓取晶圆，另一个摆臂3同时将其上的晶圆安装到石墨盘上，从而提高通过摆臂3拾取晶圆的效率。
具体的，在本发明中，两个所述摆臂3分别连接在两个连接座4上，所述旋转座1的两个侧面均连接有一对沿竖直方向设置的第一导轨11，两个所述连接座4上均连接有一对沿竖直方向设置的第一滑块41，两个所述第一导轨11位于两个所述第一滑块41之间，两个所述第一滑块41能分别滑动连接在两个相对应的所述第一导轨11上。
在本实施例中，所述基座2的下端连接有两个支座21，所述旋转座1位于两个所述支座21之间；两个所述支座21上分别连接有能上下移动的半圆形上下转环5，两个所述半圆形上下转环5分别环绕在所述旋转座1的左右两侧，各所述半圆形上下转环5均具有半圆形滑道51；两个所述连接座4上均连接有支撑块42，两个所述支撑块42上均转动连接有滚轮421，两个所述滚轮421分别转动连接在所述半圆形滑道51内。
在本实施例中，两个所述支座21上均连接有直线电机211，两个所述半圆形上下转环5分别连接在两个滑座52上，两个所述滑座52能分别通过两个所述直线电机211上下滑动的连接在两个所述支座21上。
在本实施例中，所述支座21上连接有沿竖直方向设置的两个第二导轨212，所述直线电机211位于两个所述第二导轨212之间；所述滑座52上连接有两个第二滑块521，两个所述第二滑块521能上下滑动的连接在两个所述第二导轨212上。在本实施例中，所述半圆形滑道51内连接有两个半圆形耐磨板53，所述滚轮421转动连接在两个所述半圆形耐磨板53之间。两个所述半圆形上下转环5沿竖直方向间隔设置。通过滚轮421在半圆形滑道51内转动，旋转座1经连接座4带动摆臂3转动时，提供一个支点从而提高摆臂3的强度。
在本发明中，所述滑座52上连接有限位光电片522，所述支座21上连接有感应限位器213，所述限位光电片522能通过所述感应限位器213限制所述滑座52上下移动。在本发明中，所述支座21上连接有读数头214，所述滑座52能通过所述读数头记录移动次数。在本发明中，所述基座2的两侧分别连接有镜头筒6，所述镜头筒6的下端连接有环形灯61。
在通过摆臂3拾取晶圆时，直线电机211通过带动两个摆臂3上下移动，其中一个摆臂3通过夹口31抓取扩晶环上晶圆，另一个摆臂3同时将其上的晶圆安装到石墨盘上，从而提高通过摆臂3拾取晶圆的效率。在一个工序结束后，旋转座1通过安装在基座2上的驱动电机7带动摆臂3转动，此时旋转座1经连接座4带动摆臂3转动时，提供一个支点从而提高摆臂3的强度，以保证摆臂3在转动时的移动精度。
以上所述仅为本发明的几个实施例，本领域的技术人员依据申请文件公开的内容可以对本发明实施例进行各种改动或变型而不脱离本发明的精神和范围。
Claims (9)
1.一种晶圆安装机构，其特征在于，包括；
旋转座，所述旋转座转动连接在固定的基座上；
两个摆臂，两个所述摆臂对称设置在所述旋转座的左右两侧，且两个所述摆臂位于同一条水平方向的直线上，所述旋转座能带动两个所述摆臂转动；
且两个所述摆臂能分别上下滑动的连接在所述旋转座上，两个所述摆臂的自由端均具有用于抓取晶圆的夹口。
2.根据权利要求1所述的晶圆安装机构，其特征在于，两个所述摆臂分别连接在两个连接座上，所述旋转座的两个侧面均连接有一对沿竖直方向设置的第一导轨，各所述第一导轨上均滑动连接有第一滑块，所述第一滑块连接在相对应的所述连接座上。
3.根据权利要求2所述的晶圆安装机构，其特征在于，所述基座的下端设有两个支座，所述旋转座位于两个所述支座之间；
两个所述支座上分别连接有能上下移动的半圆形上下转环，两个所述半圆形上下转环分别环绕在所述旋转座的左右两侧，各所述半圆形上下转环均具有半圆形滑道；
两个所述连接座上均连接有支撑块，两个所述支撑块上均转动连接有滚轮，两个所述滚轮分别在相对应的所述半圆形滑道内滚动。
4.根据权利要求3所述的晶圆安装机构，其特征在于，两个所述支座上分别设置有直线电机，所述直线电机的固定端连接在所述支座上，所述直线电机的运动端通过滑座连接在所述半圆形上下转环上。
5.根据权利要求4所述的晶圆安装机构，其特征在于，所述支座上连接有沿竖直方向设置的两个第二导轨，所述直线电机位于两个所述第二导轨之间；
各所述第二导轨上均滑动连接有第二滑块，各所述第二滑块连接在相对应的所述滑座上。
6.根据权利要求3所述的晶圆安装机构，其特征在于，所述半圆形滑道内设有两个半圆形耐磨板，两个所述半圆形耐磨板上下设置形成所述半圆形滑道，所述滚轮滚动设置在两个所述半圆形耐磨板之间。
7.根据权利要求3所述的晶圆安装机构，其特征在于，两个所述半圆形上下转环沿竖直方向间隔设置。
8.根据权利要求1所述的晶圆安装机构，其特征在于，所述基座的两侧分别连接有镜头筒，所述镜头筒的下端连接有环形灯。
9.根据权利要求1所述的晶圆安装机构，其特征在于，所述基座上安装有驱动电机，所述驱动电机的转轴竖直向下设置，所述旋转座固定设置在所述驱动电机的转轴上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910375194.6A CN110010531A (zh) | 2019-05-07 | 2019-05-07 | 晶圆安装机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910375194.6A CN110010531A (zh) | 2019-05-07 | 2019-05-07 | 晶圆安装机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110010531A true CN110010531A (zh) | 2019-07-12 |
Family
ID=67175997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910375194.6A Pending CN110010531A (zh) | 2019-05-07 | 2019-05-07 | 晶圆安装机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110010531A (zh) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101057797B1 (ko) * | 2011-04-21 | 2011-08-19 | 주식회사 이노비즈 | 엘이디 칩 분류장치 |
| CN203245140U (zh) * | 2013-01-09 | 2013-10-23 | 广东志成华科光电设备有限公司 | 一种芯片分选机的双摆臂系统 |
| CN206349400U (zh) * | 2016-12-29 | 2017-07-21 | 深圳市微恒自动化设备有限公司 | 一种固晶机 |
| CN209447771U (zh) * | 2019-05-07 | 2019-09-27 | 江苏新智达新能源设备有限公司 | 晶圆安装机构 |
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101057797B1 (ko) * | 2011-04-21 | 2011-08-19 | 주식회사 이노비즈 | 엘이디 칩 분류장치 |
| CN203245140U (zh) * | 2013-01-09 | 2013-10-23 | 广东志成华科光电设备有限公司 | 一种芯片分选机的双摆臂系统 |
| CN206349400U (zh) * | 2016-12-29 | 2017-07-21 | 深圳市微恒自动化设备有限公司 | 一种固晶机 |
| CN209447771U (zh) * | 2019-05-07 | 2019-09-27 | 江苏新智达新能源设备有限公司 | 晶圆安装机构 |
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| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
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