CN109975624B - 测试系统及测试方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种测试系统及测试方法。其中，所述测试系统具有至少两个测试仪的测试装置、分选机、及分别与所述至少两个测试仪及分选机连接的控制装置；其中，所述控制装置提供用户界面供用户根据产品的测试项目编辑测试程序，所述测试项目包括多个测试参数，所述控制装置将所述多个测试参数分配为至少两个参数组，每一参数组由一个对应的测试仪来测试，所述分选机在控制装置的控制下将所述产品移动至对应的测试仪处。本申请提供的上述测试系统，通过同一测试程序将产品测试项目的多个测试参数分配为至少两个参数组，并通过至少两个测试仪同时对产品进行测试，有利于节省了后续其他测试项目的等待时长，从而提高了整体的测试效率。

Description

测试系统及测试方法

技术领域

本申请涉及一种半导体技术领域，尤其涉及测试系统及测试方法。

背景技术

在半导体产品(比如集成芯片)制备完成后，需要对产品进行功能测试，比如电性功能测试。电性功能测试主要为针对产品的各种电性参数进行测试，以确定产品能正常运作。产品的电性功能测试通常包含不同电性能项目(可简称为测试项目)的测试，而针对不同的测试项目，通常会结合分选机，依次进行测试。在对产品进行测试时，当一个测试项目完成之后，会进入下一测试项目的测试。而某些测试项目所需测试的测试参数较多，则会使得测试该测试项目所需的时长较大，可能是后续其他测试项目所需时长的两倍或更多。

发明内容

本申请的一个方面提供一种测试系统，包括：具有至少两个测试仪的测试装置、分选机、及分别与所述至少两个测试仪及分选机连接的控制装置；其中，所述控制装置提供用户界面供用户根据产品的测试项目编辑测试程序，所述测试项目包括多个测试参数，所述控制装置将所述多个测试参数分配为至少两个参数组，每一参数组由一个对应的测试仪来测试，所述分选机在控制装置的控制下将所述产品移动至对应的测试仪处。

可选的，所述测试程序中，采用分隔符将所述多个测试参数分配为所述至少两个参数组。

可选的，所述控制装置将所述多个测试参数分配为第一参数组和第二参数组，所述测试装置包括用于测试第一参数组的第一测试仪、及用于测试第二组参数的第二测试仪。

可选的，所述分选机包括驱动电机，用以驱动所述产品移动。

可选的，所述分选机还包括用以连接驱动电机与所述控制装置的连接件，所述连接件包括用以传输产品移动信号的第一连接端，及用以传输测试信号的第二连接端；

其中，所述产品移动信号包括所述驱动电机的转动信号。

可选的，所述控制装置还用于接收所述分选机发送的产品移动信号或测试信号，并将所述产品移动信号或所述测试信号向对应的测试仪发送。

可选的，所述控制装置还用于将所述产品移动信号与所述控制装置中的产品移动参考信号匹配，并在匹配成功后向对应的测试仪发送所述产品移动信号；或，

将所述测试信号与所述控制装置中的测试参考信号匹配，并在匹配成功后向对应的测试仪发送所述测试信号。

可选的，所述产品移动信号的持续时长大于1ms。

可选的，所述控制装置包括存储单元，在完成所述产品的所述至少两个参数组的测试后，将所述至少两个参数组的测试结果合并及储存。

本申请的另一个方面提供一种测试方法，应用于上述测试系统，所述方法包括：

所述控制装置提供用户界面供用户根据产品的测试项目编辑测试程序，并将所述测试项目的多个测试参数分配为至少两个参数组；

所述至少两个测试仪对应测试不同的参数组；

所述分选机在控制装置的控制下将所述产品移动至对应的测试仪处；

所述对应的测试仪将所述至少两个参数组的测试结果返给所述控制装置；

所述控制装置将所述至少两个参数组的测试结果合并及储存。

本申请实施例提供的上述测试系统，通过同一测试程序将产品测试项目的多个测试参数分配为至少两个参数组，并通过至少两个测试仪对产品进行测试，尤其对于测试参数个数较多的测试项目，有利于节省了后续其他测试项目的等待时长，从而提高了整体的测试效率。此外，在同一测试程序中将测试项目的多个测试参数分配为至少两个参数组，还节省了工作人员针对每一参数组分别编程的时间。且可避免因编写不同测试程序而产生的误操作。

附图说明

图1所示为本申请提供的测试系统的一个实施例中的场景图；

图2所示为本申请提供的测试系统的另一个实施例中的场景图；

图3为一测试程序的界面示意图；

图4为一连接件的结构示意图；

图5为一测试系统的信号示意图；

图6为本申请提供的一测试方法的流程图。

具体实施方式

这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置和方法的例子。

在本申请使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。除非另作定义，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本申请说明书以及权利要求书中使用的“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而且可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。在本申请说明书和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。

图1所示为本申请提供的测试系统1的一个实施例中的场景图。该测试系统1可应用于半导体产品(即待测试产品，本申请文件中也简称为产品)的功能测试，比如产品的电性能测试，具体比如集成芯片的直流参数测试。

请参照图1并在必要时结合图2至图5，测试系统1包括控制装置10、测试装置20。所述控制装置10包括但不限于台式电脑、便携式电脑等终端设备。所述测试装置20包括第一测试仪21和第二测试仪22。所述控制装置10分别通过信号线42和43与第一测试仪21和第二测试仪22相连。以实现控制装置10与第一测试仪21、第二测试仪22之间的信息交互。该测试系统1中还包括分选机30。所述控制装置10通过信号线41与分选机30相连，以实现分选机30与控制装置10之间的信息交互。此外，分选机30通常包括多个用以测试产品的工位第一工位31、第二工位32及第三工位33。所述第一测试仪21与第一工位31对应，第一测试仪21通过信号线44与第一工位31上的产品或第一工位31连接，以测试第一工位31上的产品。所述第二测试仪22与第二工位32对应，第二测试仪22通过信号线45与第二工位32的产品或第二工位32连接，以测试第二工位上的产品。

通常，针对不同的测试项目需要通过不同的测试程序进行测试。所述控制装置10则提供用户界面供用户根据产品的测试项目编辑测试程序。对产品进行测试时，某些测试项目所需测试的测试参数较多，比如直流参数测试，通常包含二三十个参数甚至更多。所述控制装置10将所述多个测试参数分配为至少两个参数组。每一参数组由一个对应的测试仪来测试。

在一可选实施例中，所述测试项目的测试参数被分为两个参数组。比如直流参数测试中的参数个数为20个，则可以将这20个直流参数分为第一参数组101和第二参数组102。可选的所述第一参数组101和第二参数组102分别包括10个参数(可结合图3)，当然第一参数组101和第二参数组102也可分别包括其他个数的参数，比如第一参数组101包括11个参数，而第二参数组102包括9个参数等，本申请对此不做限定，可根据具体应用环境进行设置。

在一可选实施例中，所述测试程序中可采用分隔符将所述多个测试参数分配为至少两个参数组。如此，所述至少两个参数组的测试可以在同一个测试程序下执行。以避免工作人员对每个参数组分别编写一个测试程序，减少工作人员的工作量及编写程序的时间。同时，可避免因编写不同测试程序而产生的误操作。当然，也避免了工作人员在测试时选取不同程序而出现选择错误的情况。同样结合图3及上述直流参数测试的例子，测试程序100用于测试产品的直流参数，该测试程序100中，在直流参数的第10个参数和第11个参数之间添加分隔符103，以将所述直流参数测试分为第一参数组101和第二参数组102。其中，第一参数组101包括第1～10个参数，第二参数组102包括第11～20个参数。

当然，在其他实施例中，所述控制装置10也可通过其他符号或其他方式将所述多个测试参数分配为至少两个参数组。本申请对此不做限定，可更加具体应用环境进行设置。

进一步的，在一可选实施例中，所述控制装置10用于为所述至少两个参数组中的每一参数组分配一个对应的测试仪。具体的，在控制装置10运行测试程序时，若检测到测试程序中具有分隔符等将多个参数分为不同参数组的信息，则为每个参数组分配一个对应的测试仪。比如，为所述第一参数组101分配第一测试仪21，为所述第二参数组102分配第二测试仪22。则在对产品进行测试时，所述第一测试仪21用于测试第一参数组101，第二测试仪22用于测试第二组参数102。当然所述第一测试仪21也可用于测试第二组参数102，相应地所述第二测试仪22用于测试第一组参数101。本申请文件中，在无特殊强调的情况下，可视为第一测试仪21用于测试第一参数组101，第二测试仪22用于测试第二组参数102。

进一步的，在一可选实施例中，所述分选机30在控制装置10的控制下将所述产品移动至对应的测试仪处，以使所述测试仪针对对应的参数组对产品进行测试。

本申请中所述产品在所述分选机30上移动至对应的测试仪处，可理解为产品在所述分选机30上移动至与对应的测试仪所匹配的工位。比如第一工位31和第二工位32均用以对产品的直流参数测试。且所述第一测试仪21与第一工位31匹配，用以测试位于第一工位31的产品的第一组参数。第二测试仪22与第二工位32匹配，用以测试位于第二工位32的产品的第二组参数。则在产品移动至第一工位31时，第一测试仪21对产品的第一参数组进行测试。在产品移动至第二工位32时，第二测试仪22对产品的第二参数组进行测试。

此外，需要说明的是第三工位33可用以分选机30的其他工序，比如产品的外观检测、分类或包装等。当然也可用以与第一工位31及第二工位32配合完成对产品的同一测试项目的测试。

进一步的，所述分选机30包括驱动电机35，用以驱动产品在所述分选机30上移动。上述控制装置10通过信号线41与分选机30相连，在具体实施时则为所述控制装置10通过信号线41与驱动电机35相连。

进一步的，所述分选机30还可包括用以将产品移动的分选机主转盘(未示出)及位于主转盘的托盘(未示出)。所述驱动电机35具体可指分选机的主转盘伺服马达。在具体操作时，产品放置于托盘中，所述驱动电机35可驱动分选机主转盘带动托盘转动，以使得托盘带动产品移动至对应的测试仪处。

进一步的，所述分选机30还包括用以连接驱动电机35与所述控制装置10的连接件39。所述连接件39可包括连接器。此外所述连接件还可包括与连接器相连的信号线。

连接件39包括第一连接端391、第二连接端392等多个连接端。其中，所述第一连接端391用以在产品测试时传输产品移动信号。第二连接端392用以在产品测试时传输测试信号。可选的，产品移动信号包括所述驱动电机35的转动信号。相应地，所述产品移动信号由所述分选机的驱动电机35转动时产生，并通过连接件39的第一连接端391发送于控制装置10。

此外，所述连接件39还可用于所述控制装置10在产品测试前获取产品移动信号的参考信号(简称产品移动参考信号)，或用于所述控制装置10在产品测试前获取测试信号的参考信号(简称测试参考信号)。所述产品移动的参考信号可用于所述控制装置10识别所述产品移动信号，比如所述控制装置在接收到分选机30的某一信号后，可将该信号与产品移动参考信号进行匹配，若匹配成功，则可识别处该信号为产品移动信号，否则识别该信号不是产品移动信号。同样，所述测试参考信号同样可用于所述控制装置10识别测试信号。当然，所述产品移动参考信号和测试参考信号也可由所述控制装置10根据所述驱动电机35的信息进行设置。本申请对此不作限定，可根据具体应用环境进行设置。

相应地，所述控制装置10用于接收所述分选机30通过连接件39发送的产品移动信号。进而向对应的测试仪发送所述产品移动信号。

可选的，产品移动信号包括所述产品当前移动的目标工位所对应的测试仪信息。比如与所述目标工位匹配的测试仪的标识、目标工位的工位标识、及所需测试参数组的标识等中的一个或多个的组合。比如驱动电机35转动带动产品50自第一工位31移动至第二工位32过程中，所述驱动电机35在转动时会产生转动信号，即产品50的移动信号，并通过连接件39及相应的信号线41向控制装置10发送产品50的移动信号，其中产品50的移动信号中可包括第二测试仪22的标识、第二工位31的工位标识、及第二参数组的标识等中的一个或多个的组合，以使得控制装置10将产品50的移动信号发送给第二测试仪22。

可选的，在接收到产品移动信号后，所述控制装置10还用于将所述产品移动信号与所述产品移动参考信号匹配，并在匹配成功后向目标测试仪(即对应的测试仪)发送所述产品移动信号。

需要说明的是，所述第二测试仪22在接收到所述产品50的移动信号后，会通过控制装置10向所述分选机30返回反馈信号，所述反馈信号用以指示所述第二测试仪22已接收到所述产品50的移动信号。

通常，在所述分选机30接收到所述第二测试仪22的反馈信号后，将触发所述分选机30通过控制装置10向所述第二测试仪22发送测试信号。所述测试信号用以指示所述第二测试仪22对所述产品50进行第二参数组的测试。当然，所述控制装置10也可将所述产品移动信号向所述第一测试仪21发送。

进一步的，所述控制装置10还用于接收所述分选机30通过连接件39发送的所述测试信号。进而向对应的测试仪发送所述测试信号，即第二测试仪22发送所述测试信号。进而触发所述第二测试仪22对产品50进行第二组参数102的测试。

可选的，测试信号包括所述产品当前所在工位所对应的测试仪信息。所述测试仪信息包括第二测试仪22的标识、第二工位32的工位标识、或第二参数组102的标识等中的一个或多个的组合，以使得控制装置10将产品50的测试信号发送给第二测试仪22。

可选的，在接收到测试信号后，所述控制装置10还用于将所述测试信号与所述测试参考信号匹配，并在匹配成功后向目标测试仪(即对应的测试仪)发送所述测试信号。

图5为所述测试系统的一个实施例中的信号示意图。其中，信号200为驱动电机35通过第一连接端391输出的信号，其中高电平段202为驱动电机转动时产生的信号，即产品移动信号，低电平段201为驱动电机未转动信号。信号300为分选机通过第二连接端392输出的信号，其中，高电平段302为产品测试参数。

在一可选实施例中，所述产品移动信号持续时长大于1ms。即所述高电平段202的持续时间大于1ms。当然，对应的产品移动参考信号的持续时长也大于1ms。以便分选机30在发送产品移动信号后，所述分选机30有足够的时间将产品移动至对应的工位。

在一可选实施例中，由于分选机30在接收到测试仪针对产品移动信号产生的反馈信号之后，才发送相应的测试信号，因而所述产品移动信号与所述测试信号之间存在时间差，即所述信号200的高电平段202与所述信号300的高电平段302之间存在时间差ΔT。可选的，ΔT大于3ms。

进一步的，所述控制装置还包括存储单元，在完成所述产品的所述至少两个参数组的测试后，将所述至少两个参数组的测试结果合并及储存。

在具体测试时，同样以测试项目为上述直流参数为例，当产品50移动至第一工位31时，第一工位31对应的第一测试仪21对产品50的直流参数的第一参数组101进行测试。在测试完成后，所述第一测试仪21向控制装置10发送产品50的第一参数组101测试完成的信号，并同时向所述控制装置发送产品50的第一参数组101的测试结果。所述控制装置10将所述测试完成的信号反馈给驱动电机35，从而触发所述驱动电机35转动，以使产品50移动至第二工位32。同时所述驱动电机35产生转动信号，即产品50的移动信号，并通过控制装置10向第二测试仪22发送将该移动信号。从而第二测试仪22在接收到产品50的移动信号后，通过控制装置10向所述分选机30发送反馈信号。该反馈信号触发所述分选机30通过控制装置10向第二测试仪22发送测试信号，以使第二测试仪22对产品50的直流参数的第二参数组102进行测试。而在第二测试仪22对产品50的第二参数组102测试完成后，第二测试仪将向控制装置发送测试完成的信号，同时将产品50的第二参数组102的测试结果发送给控制装置10。从而，所述控制装置可将产品50的第一参数组101的测试结果及第二参数组102的测试结果合并，并存储于所述控制装置的存储单元中。至此，所述产品50的直流参数项目测试完成。此后，在驱动电机35的下一步转动时，产品50可能会被移动至下一工位，也可能直接移出分选机，本申请对此不做限定，可根据具体应用环境进行确定。

当然，所述第一测试仪21或第二测试仪22在对产品进行测试时，也可将测试结果实时传输给所述控制装置10，以使所述控制装置10将所述测试结果合并及储存。

需要测试的产品数量通常较大，测试系统的多个工位上可能同时设置有待测产品。比如当产品50移动至第二工位32，第二测试仪22对产品50进行第二组参数的测试时，而另一个产品60会移动至第一工位31，以使第一测试仪对产品60进行第一组参数的测试(可结合图2)。当产品60移动至第一工位31时，第一工位31对应的第一测试仪21对产品60的直流参数的第1至第10个参数进行测试。由此可见，在第二测试仪22对产品50进行第11至第20个参数的测试时，第一测试仪21则对产品60进行第1至第10个参数进行测试。从而使得所述测试系统的效率更高。

需要说明的是，图1仅为测试系统的一个实施例中的场景图。在其他实施例中，所述测试仪也可包括三个及三个以上。相应的，所述测试程序可以将所述测试项目的多个测试参数分配为三个或三个以上个数的参数组，以使得所述三个或三个以上的测试仪分别对所述三个或三个以上的参数组进行测试。本申请对此不做限定，可根据具体应用环境进行设置，比如测试参数个数较多时。且所述分选机也可不设置工位33，当然所述分选机上也可设置有更多的工位，本申请对此不做限定，可根据具体应用环境进行设置。此外，上述信号线41、42、43、44及45的信号连接方式也可通过无线连接方式进行连接，本申请对此不做限定，可根据具体应用环境进行确定。

对于测试参数个数较多的测试项目，若仅采用一个测试仪对该测试项目进行测试，每一产品在该项目测试时均需要较长测试时间才能进入下一工位，进而进行其他操作。而本申请实施例提供的上述测试系统，通过同一测试程序将产品测试项目的多个测试参数分配为至少两个参数组，并通过至少两个测试仪对产品进行测试，尤其对于测试参数个数较多的测试项目，有利于节省了后续工位(即后续其他测试项目)的等待时长，从而提高了整体的测试效率。此外，在同一测试程序中将测试项目的多个测试参数分配为至少两个参数组，还节省了工作人员针对每一参数组分别编程的时间。且可避免因编写不同测试程序而产生的误操作。

本申请还提供一种测试方法，参照图6所示，该测试方法包括：

S110：所述控制装置10提供用户界面供用户根据产品的测试项目编辑测试程序，并将所述测试项目的多个测试参数分配为至少两个参数组。

S120：所述至少两个测试仪对应测试不同的参数组。

S130：所述分选机在控制装置的控制下将所述产品移动至对应的测试仪处。

步骤S110至S130的具体内容可参照上述测试系统中的相关描述，此处不予以赘述。

另外，所述测试方法还包括如下步骤S140和步骤S150：

S140：所述对应的测试仪将所述至少两个参数组的测试结果返给所述控制装置。

其中，所述对应的测试仪可在对应参数组的所有参数测试完成之后将所述测试结果返给所述控制装置。也可在测试的同时，实时向所述控制装置返回测试结果。

S150：所述控制装置将所述至少两个参数组的测试结果合并及储存。

步骤S140和步骤S150的具体内容同样可参照上述测试系统中的相关描述，此处不予以赘述。

对于方法实施例而言，由于其基本对应于装置实施例，所以相关之处参见装置实施例的部分说明即可。上述方法可通过本文中所述的装置实现，也可通过其他装置实现。方法的实施例和装置的实施例互为补充。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请保护的范围之内。

Claims (10)

1.一种测试系统，其特征在于，包括：具有至少两个测试仪的测试装置、分选机、及分别与所述至少两个测试仪及分选机连接的控制装置；其中，所述控制装置提供用户界面供用户根据产品的测试项目编辑测试程序，所述测试项目包括多个测试参数，所述至少两个测试仪对所述测试项目均具备测试能力，所述控制装置将所述多个测试参数分配为至少两个参数组，每一参数组由一个对应的测试仪来测试，通过所述用户界面能够设置每一参数组的参数数量，所述分选机在控制装置的控制下将所述产品移动至对应的测试仪处。

2.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，所述测试程序中，采用分隔符将所述多个测试参数分配为所述至少两个参数组。

3.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，所述控制装置将所述多个测试参数分配为第一参数组和第二参数组，所述测试装置包括用于测试第一参数组的第一测试仪及用于测试第二组参数的第二测试仪。

4.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，所述分选机包括驱动电机，用以驱动所述产品移动。

5.根据权利要求4所述的测试系统，其特征在于，所述分选机还包括用以连接驱动电机与所述控制装置的连接件，所述连接件包括用以传输产品移动信号的第一连接端，及用以传输测试信号的第二连接端；

其中，所述产品移动信号包括所述驱动电机的转动信号。

6.根据权利要求5所述的测试系统，其特征在于，所述控制装置还用于接收所述分选机发送的产品移动信号或测试信号，并将所述产品移动信号或所述测试信号向对应的测试仪发送。

7.根据权利要求6所述的测试系统，其特征在于，所述控制装置还用于将所述产品移动信号与所述控制装置中的产品移动参考信号匹配，并在匹配成功后向对应的测试仪发送所述产品移动信号；或，

将所述测试信号与所述控制装置中的测试参考信号匹配，并在匹配成功后向对应的测试仪发送所述测试信号。

8.根据权利要求5所述的测试系统，其特征在于，所述产品移动信号的持续时长大于1ms。

9.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，所述控制装置包括存储单元，在完成所述产品的所述至少两个参数组的测试后，将所述至少两个参数组的测试结果合并及储存。

10.一种测试方法，应用于上述权利要求1至9任一项所述的测试系统，其特征在于，所述方法包括：

所述控制装置提供用户界面供用户根据产品的测试项目编辑测试程序，并将所述测试项目的多个测试参数分配为至少两个参数组；

所述至少两个测试仪对应测试不同的参数组；

所述分选机在控制装置的控制下将所述产品移动至对应的测试仪处；

所述对应的测试仪将所述至少两个参数组的测试结果返给所述控制装置；

所述控制装置将所述至少两个参数组的测试结果合并及储存。

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