CN109974578A - 一种基于双液晶空间光调制器的涡旋数字全息显微系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种基于双液晶空间光调制器的涡旋数字全息显微系统,光路采用迈克尔逊干涉仪的双臂结构;准直激光入射第一分光棱镜,后光路分为参考臂与干涉臂两路;所述干涉臂上依次设有带有电控位移台的载物台、带有电控转盘的物镜、第一4f系透镜,第二分光棱镜,电控视野光阑、第二4f系透镜、纯位相液晶空间光调制器、傅里叶变换镜、第三分光棱镜以及CMOS相机;所述参考臂上依次有强度型液晶空间光调制器、挡光板、两个反射镜;样本上方的照明采用科勒照明。本发明能够实现一次成像获得被观测样本的复波前的目的。
Description
技术领域
本发明涉及检测仪器技术领域,特别是一种基于双液晶空间光调制器的涡旋数字全息显微系统。
背景技术
数字全息显微术是近二十年发展起来的一种检测技术。近年来,显微数字全息术已成为国际上一个新的研究热点。它具有高灵敏、高准确、高分辨率成像以及全息图存储、再现和传输的方便灵活性等优点。其特别适合于微结构测量。1999年,瑞士的E.Cuche等人最先提出了数字全息显微术,通过单幅全息图完成了强度像与相位像的重建,其横向分辨率达到了微米量级,纵向分辨率达到了纳米量级。
数字全息术主要应用包括:(1)显微成像与测量,数字全息术与显微技术的充分结合是数字全息术最直观也是最实用的应用方面。(2)三维形貌测量,相比于普通的光学显微镜,由于数字全息术记录和再现的是物体的全部信息,它包括振幅和相位信息,因此可以获得真实的三维定量信息和形貌。(3)干涉计量,数字全息术本身所具有的无损定量检测优势使其在测量物体的移动、微小形变等参数时具有较高的精度和分辨能力;(4)粒子场测量,由于数字全息术结合了计算机技术和图像处理技术,不但扩大了粒子场测定的测量范围,提高了精度,也简化了操作步骤。
传统的数字全息技术也分为同轴和离轴两个大类。同轴全息技术中为了获得观测样本的位相信息,必须通过相移技术,多次成像求解位相信息。为了实现一次成像,目前数字全息显微技术更多采用离轴全息技术。离轴全息技术通过傅里叶变换滤波消除直射光与共轭像。其缺点在于,由于傅里叶频谱中包含直射光,共轭像的频谱,导致成像探测器的空间带宽不能充分利用。且对于空间频谱分布较宽的样本,会造成频谱混叠,无法正确分离直射光和一次光即样本像的频谱。对于空间频谱分布有限可以分离的样本往往也需要手工划分频谱范围以分离直射光和一次光的频谱。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的是提出一种基于双液晶空间光调制器的涡旋数字全息显微系统,能够实现一次成像获得被观测样本的复波前的目的。
本发明采用以下方案实现:一种基于双液晶空间光调制器的涡旋数字全息显微系统,光路采用迈克尔逊干涉仪的双臂结构;准直激光入射第一分光棱镜,后光路分为参考臂与干涉臂两路;所述干涉臂上依次设有带有电控位移台的载物台、带有电控转盘的物镜、第一4f系透镜,第二分光棱镜,电控视野光阑、第二4f系透镜、纯位相液晶空间光调制器、傅里叶变换镜、第三分光棱镜以及CMOS相机;所述参考臂上依次有强度型液晶空间光调制器、挡光板、两个反射镜;样本上方的照明采用科勒照明;
所述干涉臂光路的光轴与参考臂光路的光轴垂直,且通过第三分光棱镜合轴于CMOS相机上干涉成像。
进一步地,所述干涉臂与参考臂及其上的器件使用笼式机构固定,用以提高系统的抗振能力。
进一步地,所述CMOS相机、纯位相液晶空间光调制器、电控视野光阑、带有电控转盘的物镜、以及强度型液晶空间光调制器使用包括Labview在内的软件连接起来,构成闭环的控制系统,实现自适应控制针对ROI区域的成像,以使四象限的复制像合理充满涡旋光在CMOS113上的面积,充分利用CMOS113的带宽。
进一步地,所述纯位相液晶空间光调制器上显示的格子状光栅,通过控制高灰度值来控制4象限分光复制像的强度,通过调整格子的大小即像素数来控制复制像的中心偏离位置。
进一步地,所述物镜为5X、10x、20x、40x的低放大倍数,其数值孔径在0.3-0.85之间的无限远平场消色差物镜,用以保证较好的干涉成像效果。
进一步地,所述电控视野光阑位于物镜的共轭像面上,用以保证系统的视野大小可以自动控制,使CMOS相机上4象限的复制像能够基本充满四象限而不重叠。
较佳的,本发明利用LG01涡旋光的四个象限存在的相移,通过纯位相液晶空间光调制器的分光,实现一次成像求解样本在CMOS相机面上的复波前。
较佳的,本发明配有电控位移台的载物台与CMOS相机的电脑相连接获得ROI区域偏离视野中心的信息,自动调整载物台使ROI位于视野中心。
较佳的,所述纯位相液晶空间光调制器位于样本像的傅里叶面上,显示的光栅为二维数字二元光栅,将光分成等光强四束及中心一束,总计5束。
较佳的,所述强度型液晶空间光调制器可为透过型或者反射型。其不受调制的0级光使用挡光板消去。
较佳的,本发明可与倒置型的显微镜或荧光显微镜或相衬显微镜结合起来,便于荧光观测与超分辨成像。
较佳的,本发明的数字全息显微系统主要利用涡旋光LG01,也可以使用高阶涡旋光与带有涡旋波前的贝塞尔光束,完美涡旋等光束为干涉一次成像提供相移。
较佳的,本发明的数字全息显微系统的复波前的计算方法可采用传统相移法的三步,五步,七步等计算方法。
较佳的,本发明中,数字全息显微系统的离焦微球的位置计算方法可采用菲涅尔变换重建法,卷积法、角谱法等方法。
较佳的,本发明的双臂的液晶空间光调制器可以是透过式也可以是反射式,可以是强度型也可以是纯位相型,也可以是数字微反射镜DMD以及电光调制器等能实现相应功能的器件。
与现有技术相比,本发明有以下有益效果:本发明通过准直激光照射强度型液晶空间光调制器上显示振幅型叉形光栅,生成LG01涡旋波前。其四个象限自身带有相移,克服传统同轴技术的相移法的多次成像的缺点,实现一次成像获得被观测样本的复波前的目的。通过在干涉臂上的纯位相液晶空间光调制器显示傅里叶变换结果为正方形四个顶点的纯位相光栅,在涡旋波前或CMOS面上的四个象限复制出四个像。这四个像的光强与位置可以通过调整光栅参数获得适应性调整,保证干涉效果最佳。同时通过电控位移台和电控视野光阑的使用与液晶空间光调制器以及CMOS相机构成自适应的反馈闭环,可针对不同大小不同细节的观测对象,选择ROI区域,切换适当的放大倍数的物镜,控制视野光阑的大小。保证CMOS的带宽获得充分利用,克服传统离轴数字全息显微镜的CMOS带宽利用不充分,以及频谱不能准确分离的缺点。
附图说明
图1为本发明实施例的系统原理示意图。
图2为本发明实施例的CMOS上四象限干涉成像示意图;
图3为本发明实施例的结果示意图,其中左边为本实施例使用的强度型叉形光栅,中间为叉形光栅生成的涡旋光的强度图,右边为涡旋光与准直光干涉结果。
图4为本发明实施例的纯位相液晶空间光调制器上显示的分光光栅。
图中,101为勒照明;102为聚光镜;103为第一分光棱镜;104为搭载电控位移台的载物台;105为物镜;106为第一4f系透镜;107为第二分光棱镜;108为电控视野光阑;109为第二4f系透镜;110为纯位相液晶空间光调制器;111为傅里叶变换镜;112为第三分光棱镜;113为CMOS相机;114为反射镜;115为反射镜;116为挡光板;117为强度型液晶空间光调制器。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明做进一步说明。
应该指出,以下详细说明都是示例性的,旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明,本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
需要注意的是,这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式,而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的,除非上下文另外明确指出,否则单数形式也意图包括复数形式,此外,还应当理解的是,当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时,其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
如图1所示,本实施例提供了一种基于双液晶空间光调制器的涡旋数字全息显微系统,光路采用迈克尔逊干涉仪的双臂结构;准直激光入射第一分光棱镜103,后光路分为参考臂与干涉臂两路;所述干涉臂上依次设有带有电控位移台的载物台104、带有电控转盘的物镜105、第一4f系透镜106,第二分光棱镜107,电控视野光阑108、第二4f系透镜109、纯位相液晶空间光调制器110、傅里叶变换镜111、第三分光棱镜112以及CMOS相机113;所述参考臂上依次有强度型液晶空间光调制器117、挡光板116、两个反射镜114与115;样本上方的照明采用科勒照明101,其发射的光源经过聚光镜102之后变为准直光束进入第一分光棱镜;
所述干涉臂光路的光轴与参考臂光路的光轴垂直,且通过第三分光棱镜合轴于CMOS相机上干涉成像。
在本实施例中,所述干涉臂与参考臂及其上的器件使用笼式机构固定,用以提高系统的抗振能力。
在本实施例中,所述CMOS相机、纯位相液晶空间光调制器、电控视野光阑、带有电控转盘的物镜、以及强度型液晶空间光调制器使用包括Labview在内的软件连接起来,构成闭环的控制系统,实现自适应控制针对ROI区域的成像,以使四象限的复制像合理充满涡旋光在CMOS113上的面积,充分利用CMOS113的带宽。
在本实施例中,所述纯位相液晶空间光调制器上显示的格子状光栅,通过控制高灰度值来控制4象限分光复制像的强度,通过调整格子的大小即像素数来控制复制像的中心偏离位置。
在本实施例中,所述物镜为5X、10x、20x、40x的低放大倍数,其数值孔径在0.3-0.85之间的无限远平场消色差物镜,用以保证较好的干涉成像效果。
在本实施例中,所述电控视野光阑位于物镜的共轭像面上,用以保证系统的视野大小可以自动控制,使CMOS相机上4象限的复制像能够基本充满四象限而不重叠。
较佳的,本实施例利用LG01涡旋光的四个象限存在的相移,通过纯位相液晶空间光调制器的分光,实现一次成像求解样本在CMOS相机面上的复波前。
较佳的,本实施例配有电控位移台的载物台与CMOS相机的电脑相连接获得ROI区域偏离视野中心的信息,自动调整载物台使ROI位于视野中心。
较佳的,所述纯位相液晶空间光调制器位于样本像的傅里叶面上,显示的光栅为二维数字二元光栅,将光分成等光强四束及中心一束,总计5束。
较佳的,所述强度型液晶空间光调制器可为透过型或者反射型。其不受调制的0级光使用挡光板消去。
较佳的,本实施例可与倒置型的显微镜或荧光显微镜或相衬显微镜结合起来,便于荧光观测与超分辨成像。
较佳的,本实施例的数字全息显微系统主要利用涡旋光LG01,也可以使用高阶涡旋光与带有涡旋波前的贝塞尔光束,完美涡旋等光束为干涉一次成像提供相移。
较佳的,本实施例的数字全息显微系统的复波前的计算方法可采用传统相移法的三步,五步,七步等计算方法。
较佳的,本实施例中,数字全息显微系统的离焦微球的位置计算方法可采用菲涅尔变换重建法,卷积法、角谱法等方法。
较佳的,本实施例的双臂的液晶空间光调制器可以是透过式也可以是反射式,可以是强度型也可以是纯位相型,也可以是数字微反射镜DMD以及电光调制器等能实现相应功能的器件。
特别的,本实施例利用Labview编程实时读取与鼠标在CMOS相机相连的电脑屏幕上拉出来的ROI信息,包括ROI的矩形框大小,偏离中心的位置。矩形框的大小结合涡旋的尺寸,刚好容纳为宜。如果ROI小则可控制物镜的电控转盘选用放大倍数大的物镜。ROI的中心偏移数据输入到载物台的电控位移台,位移台将ROI区域移动到视野中心;Labview同时将ROI的大小信息发给电控视野光阑,控制改变其大小在CMOS相机充满涡旋光波前。纯位相液晶空间光调制器显示傅里叶变换结果为4点加中心1点的点阵分光光栅,在CMOS上形成5个复制结果。效果见图2。
本实施例中采用4步相移法计算复波前。四个象限分别CMOS探测得到的干涉图案的光强分布分别为I1(x,y),I2(x,y),I3(x,y),I4(x,y)。其中
其中,R(x,y,0)为第一象限涡旋光场第二象限与之相位差π/2,第三象限与之相位差π,第四象限与之相位差3π/2。则由上式可得:
其中的就是4步相移法求得的在CMOS相机面上的被观察样本的衍射光场。如果被观察样本可看成面物体,物体在焦面上,则到这里就可以得到物体的复波前全部信息,包含意味着样本厚度的位相信息。如果样本是离焦的,比如不在物镜焦面上的微球跟踪情形。此时由光场UF(x,y)的反向菲涅尔衍射,算出微球的具体位置。算出光场UF(x,y)后根据菲涅尔变换重建法,逆向菲涅尔变换用傅里叶变换的形式写为:
对计算结果取其幅角即得被观察样本的相位或厚度或体积信息,取模即得振幅信息。
其中,图3中,左图本实施例使用的强度型叉形光栅,中间为叉形光栅生成的涡旋光的强度图,右图为涡旋光与准直光干涉结果;图4为纯位相液晶空间光调制器上显示的分光光栅示意图。
本领域内的技术人员应明白,本申请的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此,本申请可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且,本申请可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。
本申请是参照根据本申请实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器,使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。
这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中,使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品,该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。
这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上,使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理,从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非是对本发明作其它形式的限制,任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例。但是凡是未脱离本发明技术方案内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型,仍属于本发明技术方案的保护范围。
Claims (6)
1.一种基于双液晶空间光调制器的涡旋数字全息显微系统,其特征在于:光路采用迈克尔逊干涉仪的双臂结构;准直激光入射第一分光棱镜,后光路分为参考臂与干涉臂两路;所述干涉臂上依次设有带有电控位移台的载物台、带有电控转盘的物镜、第一4f系透镜,第二分光棱镜,电控视野光阑、第二4f系透镜、纯位相液晶空间光调制器、傅里叶变换镜、第三分光棱镜以及CMOS相机;所述参考臂上依次有强度型液晶空间光调制器、挡光板、两个反射镜;样本上方的照明采用科勒照明;
所述干涉臂光路的光轴与参考臂光路的光轴垂直,且通过第三分光棱镜合轴于CMOS相机上干涉成像。
2.根据权利要求1所述的一种基于双液晶空间光调制器的涡旋数字全息显微系统,其特征在于:所述干涉臂与参考臂及其上的器件使用笼式机构固定,用以提高系统的抗振能力。
3.根据权利要求1所述的一种基于双液晶空间光调制器的涡旋数字全息显微系统,其特征在于:所述CMOS相机、纯位相液晶空间光调制器、电控视野光阑、带有电控转盘的物镜、以及强度型液晶空间光调制器使用包括Labview在内的软件连接起来,构成闭环的控制系统。
4.根据权利要求1所述的一种基于双液晶空间光调制器的涡旋数字全息显微系统,其特征在于:所述纯位相液晶空间光调制器上显示的格子状光栅,通过控制高灰度值来控制4象限分光复制像的强度,通过调整格子的大小即像素数来控制复制像的中心偏离位置。
5.根据权利要求1所述的一种基于双液晶空间光调制器的涡旋数字全息显微系统,其特征在于:所述物镜为5X、10x、20x、40x的低放大倍数,其数值孔径在0.3-0.85之间的无限远平场消色差物镜,用以保证较好的干涉成像效果。
6.根据权利要求1所述的一种基于双液晶空间光调制器的涡旋数字全息显微系统,其特征在于:所述电控视野光阑位于物镜的共轭像面上,用以保证系统的视野大小可以自动控制,使CMOS相机上4象限的复制像能够基本充满四象限而不重叠。
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