CN109957834A - 滑动开合式晶体定位装置 - Google Patents

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CN109957834A CN201711022545.2A CN201711022545A CN109957834A CN 109957834 A CN109957834 A CN 109957834A CN 201711022545 A CN201711022545 A CN 201711022545A CN 109957834 A CN109957834 A CN 109957834A
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刘云俊
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Jiangsu Weffort Technology Development Ltd By Share Ltd
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    • C30B15/00Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/32Seed holders, e.g. chucks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
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    • C30B29/00Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
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Abstract

本发明公开了一种滑动开合式晶体定位装置,包括固定杆,固定杆端部连接设置开合式夹头;所述开合式夹头包括多个定位架,定位架环状设置于固定杆上,定位架端部突出设置有滑动架,滑动架上滑道设置有一滑动盖,滑动盖在固定杆的轴向上设置有一晶体夹板,晶体夹板设置于滑动盖的内侧;利用开合式的固定夹头便于对不同型号的晶体进行定位夹持,三片弧形夹板可以有效的对晶体进行固定,减少受力不均导致晶体断裂,滑动式盖板可以通过步进电机控制实现稳定移动,保证夹板对晶体的均匀受力,做到精准定位的效果。

Description

滑动开合式晶体定位装置
技术领域
本发明涉及一种晶体预制拉伸装置,尤其涉及一种用于晶体滑动开合式的定位装置。
背景技术
在拉晶炉中,硅料经高温熔融后通过光子晶体夹头部件将预制棒旋转引出,光子晶体夹头部件中的夹头旋接在拉晶炉的旋转提拉轴上,光子晶体下端与高温熔融状的晶棒上端粘接在一起,目前常用的光子晶体是圆柱形的单晶硅,为了使圆柱形光子晶体能与夹头连接,须在光子晶体的壁体上磨制一个缺口,光子晶体放入夹头的固定孔后,通过一个固定销将光子晶体固定在夹头上,这样既能防止光子晶体向下移动,又能保持光子晶体与夹头的同步旋转,从而满足拉晶工艺要求。这种结构的光子晶体夹头部件在拉制预制棒过程中,光子晶体很容易在缺口处断裂。有厂家将光子晶体改为方柱型,将夹头的光子晶体固定孔改为方孔,方柱型光子晶体套装在夹头的方形光子晶体固定孔中,这样的连接结构只能实现光子晶体与光子晶体夹头的同步旋转,要实现光子晶体与夹头之间的轴向限定同样需要通过在光子晶体壁上磨制缺口,在光子晶体与夹头之间增设固定销来防止光子晶体向下移动,这种方柱型光子晶体夹头部件,在拉制过程中,光子晶体同样存在从缺口处断裂的缺陷。
发明内容
针对上述出现的问题,本发明提供了一种有效对晶体定位夹持,减少晶体断裂的滑动开合式定位装置。
滑动开合式晶体定位装置,包括固定杆,固定杆端部连接设置开合式夹头;所述开合式夹头包括多个定位架,定位架环状设置于固定杆上,定位架端部突出设置有滑动架,滑动架上滑道设置有一滑动盖,滑动盖在固定杆的轴向上设置有一晶体夹板,晶体夹板设置于滑动盖的内侧。
所述滑动架上设置有一滑板,滑板中部设置有一凹槽,凹槽内设置有半凸出滚动齿轮。
所述滑动盖为三角形设置,滑动盖内侧与滑动架连接处设置有一滚齿板,滚齿板与滑板上凸出的滚动齿轮滚动设置。
所述滑动盖滑道方向与固定杆轴向成30°-45°。
所述定位架上设置有步进电机,步进电机通过传动轴与滚动齿轮传动连接。
与现有技术相比,具有的有益效果为:利用开合式的固定夹头便于对不同型号的晶体进行定位夹持,三片弧形夹板可以有效的对晶体进行固定,减少受力不均导致晶体断裂,滑动式盖板可以通过步进电机控制实现稳定移动,保证夹板对晶体的均匀受力,做到精准定位的效果。
附图说明
图1为本发明滑动开合式晶体定位装置的结构示意图。
图2为图1中A-a处结构示意图。
图3为图1中B-b处结构示意图。
图4为图1中C-c处结构示意图。
图5为本发明滑动盖处局部结构分解示意图。
具体实施方式
图示为本发明滑动开合式晶体定位装置的一种实施例,包括固定杆1,固定杆端部连接设置开合式夹头;所述开合式夹头包括多个定位架2,定位架环状设置于固定杆上,定位架端部突出设置有滑动架3,滑动架上滑道设置有一滑动盖4,滑动盖在固定杆的轴向上设置有一晶体夹板5,晶体夹板设置于滑动盖的内侧。
所述滑动架上设置有一滑板6,滑板中部设置有一凹槽7,凹槽内设置有半凸出滚动齿轮8。
所述滑动盖为三角形设置,滑动盖内侧与滑动架连接处设置有一滚齿板9,滚齿板与滑板上凸出的滚动齿轮滚动设置。
所述滑动盖滑道方向与固定杆轴向成45°。
所述定位架上设置有步进电机10,步进电机通过传动轴与滚动齿轮传动连接。

Claims (5)

1.滑动开合式晶体定位装置,其特征在于:包括固定杆,固定杆端部连接设置开合式夹头;所述开合式夹头包括多个定位架,定位架环状设置于固定杆上,定位架端部突出设置有滑动架,滑动架上滑道设置有一滑动盖,滑动盖在固定杆的轴向上设置有一晶体夹板,晶体夹板设置于滑动盖的内侧。
2.如权利要求1所述滑动开合式晶体定位装置,其特征在于:所述滑动架上设置有一滑板,滑板中部设置有一凹槽,凹槽内设置有半凸出滚动齿轮。
3.如权利要求1所述滑动开合式晶体定位装置,其特征在于:所述滑动盖为三角形设置,滑动盖内侧与滑动架连接处设置有一滚齿板,滚齿板与滑板上凸出的滚动齿轮滚动设置。
4.如权利要求1所述滑动开合式晶体定位装置,其特征在于:所述滑动盖滑道方向与固定杆轴向成30°-45°。
5.如权利要求1所述滑动开合式晶体定位装置,其特征在于:所述定位架上设置有步进电机,步进电机通过传动轴与滚动齿轮传动连接。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000247783A (ja) * 1999-03-03 2000-09-12 Super Silicon Kenkyusho:Kk 単結晶引き上げ装置及び単結晶引き上げ方法
CN204298510U (zh) * 2014-11-21 2015-04-29 浙江晶盛机电股份有限公司 一种晶棒夹持装置
CN205702523U (zh) * 2016-05-09 2016-11-23 四川天乐信达光电有限公司 一种晶棒的夹持装置
CN206232842U (zh) * 2016-12-09 2017-06-09 江苏维福特科技发展股份有限公司 一种陶瓷杆调节夹头

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