CN109901311B - 一种剥离装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种剥离装置，用于从待剥离面板的基板表面剥离柔性面板，包括：上盖板、下盖板、真空部件；上盖板的连接侧与下盖板的连接侧活动连接；上盖板与下盖板闭合时，上盖板的吸附面与下盖板的吸附面相对设置；上盖板的吸附面包括至少两个第一吸附单元，第一吸附单元与真空部件相连通，用于通过真空部件吸附柔性面板的面板角；第一吸附单元设置于远离连接侧的区域；下盖板的吸附面包括第二吸附单元，第二吸附单元与真空部件相连通，用于通过真空部件吸附基板。避免了中间效应对剥离的影响，更容易在面板角处将柔性面板与基板初始剥离，因此，能够降低剥离对柔性面板的损伤。

Description

一种剥离装置

技术领域

本发明涉及柔性器件制造领域，尤其涉及一种剥离装置。

背景技术

柔性面板是显示领域中的研究热点，但是其特有的柔性特征为生成制程带来了一定的困难。

一般，柔性面板的生产制程包括：在刚性基板上制作柔性基板；在柔性基板上进行器件工艺制程(如薄膜晶体管阵列工艺)等，从而获得柔性面板；将柔性面板从刚性基板剥离。剥离制程中，一般先采用激光剥离技术(LLO)降低柔性面板与刚性基板之间的附着力，之后将柔性面板剥离下来。

然而，在剥离过程容易造成柔性面板的损伤，如何降低剥离对柔性面板的损伤是一个亟需解决的问题。

发明内容

本发明提供一种剥离装置，用以降低剥离对柔性面板的损伤。

本发明实施例提供一种剥离装置，用于从待剥离面板的基板表面剥离柔性面板，包括：上盖板、下盖板、真空部件；

所述上盖板的连接侧与所述下盖板的连接侧活动连接；所述上盖板与所述下盖板闭合时，所述上盖板的吸附面与所述下盖板的吸附面相对设置；

所述上盖板的吸附面包括至少两个第一吸附单元，所述第一吸附单元与所述真空部件相连通，用于通过所述真空部件吸附所述柔性面板的面板角；所述第一吸附单元设置于远离所述连接侧的区域；

所述下盖板的吸附面包括第二吸附单元，所述第二吸附单元与所述真空部件相连通，用于通过所述真空部件吸附所述基板。

可选的，所述上盖板的吸附面还包括吸附阵列；所述吸附阵列位于与所述柔性面板的中部相对应的位置且所述吸附阵列的吸附面积不大于所述柔性面板。

可选的，所述第一吸附单元为吸盘；所述吸盘的吸附孔用于吸附所述柔性面板的面板角，所述吸附孔周围的盘部覆盖且超出所述面板角。

可选的，所述第一吸附单元为长方形或椭圆形的吸盘。

可选的，所述上盖板的外表面还包括第一把手，所述第一把手与所述第一吸附单元联动。

可选的，所述上盖板的外表面还包括第二把手，所述第二把手远离所述连接侧。

可选的，所述第一把手的提拉部位于所述第二把手提拉部的正下方。

可选的，所述下盖板的吸附面还包括风刀；所述风刀设置于所述吸附面远离所述连接侧的边缘，所述风刀的出气口面向所述连接侧。

可选的，所述下盖板的吸附面还包括一陷入所述下盖板的凹槽结构，所述第二吸附单元设置于所述凹槽结构之中；所述凹槽结构的深度不大于所述待剥离面板的厚度。

可选的，所述凹槽结构的形状是根据所述待剥离面板的形状设计的。

综上所述，本发明实施例提供一种剥离装置，用于从待剥离面板的基板表面剥离柔性面板，包括：上盖板、下盖板、真空部件；上盖板的连接侧与下盖板的连接侧活动连接；上盖板与下盖板闭合时，上盖板的吸附面与下盖板的吸附面相对设置；上盖板的吸附面包括至少两个第一吸附单元，第一吸附单元与真空部件相连通，用于通过真空部件吸附柔性面板的面板角；第一吸附单元设置于远离连接侧的区域；下盖板的吸附面包括第二吸附单元，第二吸附单元与真空部件相连通，用于通过真空部件吸附基板。在对待剥离基板进行剥离时，如何实现初始剥离口是最难的步骤之一，其对柔性面板的损伤也较大。在本发明实施例所提供的剥离装置中，上盖板的吸附单元能够吸附柔性面板的面板角，避免了中间效应对剥离的影响，更容易在面板角处将柔性面板与基板初始剥离，而且，由于在实现初始剥离口时，只对柔性面板的面板角进行剥离，避免了对柔性面板较为重要的中间区域的影响，因此，本发明实施例所提供的剥离装置能够降低剥离对柔性面板的损伤。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种剥离装置结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种上盖板吸附面示意图；

图3为本发明实施例提供的一种第一吸附单元与面板角位置关系示意图；

图4为本发明实施例提供的一种下盖板吸附面示意图；

图5为本发明实施例提供的一种上盖板吸附面示意图；

图6为本发明实施例提供的一种上盖板外表面侧视图；

图7为本发明实施例提供的一种上盖板外表面侧视图；

图8为本发明实施例提供的一种下盖板侧视图；

图9为本发明实施例提供的一种下盖板吸附面示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例所提供的剥离装置可用于剥离待剥离面板。待剥离面板一般包括基板和在基板上生长的柔性面板。图1为本发明实施例提供的一种剥离装置结构示意图，如图1所示，剥离装置包括：上盖板1、下盖板2、真空部件3，其中，上盖板1的连接侧与下盖板2的连接侧活动连接。应理解，图1仅为提现上盖板1、下盖板2、真空部件3三者的形状和连接关系，其具体结构会由之后的实施例提供。如图1中位置C所示，本发明实施例中默认位置C为上盖板1和下盖板2的连接侧C；上盖板1与下盖板2闭合时，上盖板1的吸附面与下盖板2的吸附面相对设置，如图1所示，面A为上盖板1的吸附面，面B为下盖板2的吸附面。

上盖板1和下盖板2具有不同的结构，图2为本发明实施例提供的一种上盖板吸附面示意图，如图2所示，上盖板2的吸附面包括至少两个第一吸附单元11，第一吸附单元11与图1中的真空部件3相连通(图中未示出)，用于通过真空部件3吸附柔性面板的面板角；第一吸附单元11设置于远离连接侧C的区域。图3为本发明实施例提供的一种第一吸附单元与面板角位置关系示意图，其表示的是上盖板1与下盖板2闭合时，第一吸附单元11与面板角的位置关系，如图3所示，在上盖板1与下盖板2闭合时，第一吸附单元11能够与柔性面板的面板角接触，从而能够通过真空部件3吸附柔性面板的面板角。第一吸附单元11吸附柔性面板角，可以避免中间效应对剥离的影响。在对柔性面板进行剥离时，如何实现初始剥离口是一个十分重要也十分困难的问题，所谓的中间效应，指的是从柔性面板的中间位置剥离时，其受力十分分散，因此并不容易实现初始剥离口。本发明实施例所提供的剥离装置可以从柔性面板吸附角的位置实现初始剥离口，避免了中间效应的影响，因此使得剥离更加容易，同时也减小了对柔性面板的损伤。

图4为本发明实施例提供的一种下盖板吸附面示意图，如图4所示，下盖板2的吸附面包括第二吸附单元21，第二吸附单元21与图1中的真空部件3相连通(图中未示出)，用于通过真空部件3吸附基板。

在本发明实施例所提供的剥离装置中，真空部件3分别与上盖板1和下盖板2连通，以实现上盖板1和下盖板2的吸附功能。以上盖板1为例具体来说，真空部件3通过如气体管道、气体通道等连通形式，将内部腔室与上盖板1吸附面的第一吸附单元11连通。由于在使用剥离装置时，第一吸附单元11会与待剥离面板的柔性面板接触，从而真空部件3的内部腔室、气体通道、第一吸附单元11以及柔性面板共同构成了一个密闭空间，真空部件3将该密闭空间中的气体向外界排出，使得外界大气压大于密闭空间的气压，从而将柔性面板吸附在了第一吸附单元11上。基于相同的原理，第二吸附单元21吸附待剥离面板的基板。

在对待剥离基板进行剥离时，如何实现初始剥离口是最难的步骤之一，其对柔性面板的损伤也较大。在本发明实施例所提供的剥离装置中，上盖板的吸附单元能够吸附柔性面板的面板角，避免了中间效应对剥离的影响，更容易在面板角处将柔性面板与基板初始剥离，而且，由于在实现初始剥离口时，只对柔性面板的面板角进行剥离，避免了对柔性面板较为重要的中间区域的影响，因此，本发明实施例所提供的剥离装置能够降低剥离对柔性面板的损伤。

可选的，如图5所示，为本发明实施例提供的一种上盖板吸附面示意图。图5中，上盖板1的吸附面还包括吸附阵列12，吸附阵列12位于与柔性面板的中部相对应的位置。使用时，吸附阵列12可以吸附柔性面板的中间部位。可选的，吸附阵列12的吸附面积不大于柔性面板，一般吸附阵列12相较于柔性面板各边内缩3～10mm。这是因为，柔性面板在从基板上剥离后，吸附在上盖板1吸附面的柔性面板会有一定的褶皱，而其中间位置一般褶皱较少，将吸附阵列设置在中间位置能够更好的产生真空效果从而吸附住柔性面板。同时，由于褶皱的产生，使得柔性面板与上盖板1吸附面接触的面积会小于柔性面板原有的面积，若吸附阵列12的面积与柔性面板的面积相当，那么吸附阵列边缘的部分吸附孔可能会由于没有柔性面板覆盖而漏气，从而影响真空效果，进而影响吸附阵列12对柔性面板的吸附。

可选的，第一吸附单元为吸盘；吸盘的吸附孔用于吸附柔性面板的面板角，吸附孔周围的盘部覆盖且超出面板角。请参考图3，第一吸附单元11为吸盘，其材质可以是如橡胶等软性材质，吸盘的吸附孔(图中未示出，一般位于吸盘正中间)位于柔性面板上方，能够吸附柔性面板。同时，吸盘的盘部与柔性面板之间的空气也会将吸附孔被真空装置排出，从而使吸盘能够吸附柔性面板。可选的，如图3所示，吸盘的盘部有部分超出了柔性面板，这是因为当吸盘吸附柔性面板时，超出柔性面板的盘部会对柔性面板的面板角起到一定的类似于“围起”的效果，使得剥离时，柔性面板可以从被盘部“围起”的边缘处开始从基板分离，从而使得剥离更加容易，而且还可以降低强制剥离对柔性面板的损伤。可选的，第一吸附单元为长方形或椭圆形的吸盘。长方形或椭圆形的吸盘由于具有一定长度的长轴，可以减小被第一吸附单元吸附的部分柔性面板从基板剥离下后，由于吸附效果而发生褶皱。如图3所示，吸盘长轴长度为H2，短轴长度为H1，吸盘长轴超出柔性面板的长度为L2，吸盘短轴超出柔性面板的长度为H2，可选的，L1＝0～0.8H1，L2＝0～0.8H2。

在采用本发明实施例所提供的剥离装置时，请参考图1，需要先将待剥离面板置于上盖板1和下盖板2之间，开启真空结构3，使上盖板1的第一吸附单元11吸附柔性面板的面板角，使下盖板2的第二吸附单元21吸附基板。之后，向上翻转上盖板1，使得第一吸附单元11带动柔性面板从基板上剥离。为了便于剥离，可选的，图6为本发明实施例提供的一种上盖板外表面侧视图，侧视方向为面向连接侧的方向。如图6所示，上盖板1的外表面还包括第一把手13，第一把手13与第一吸附单元11联动。在向上提拉第一把手13时，第一把手13会带动第一吸附单元11向上运动，从而使第一吸附单元11带动柔性面板的面板角从基板剥离，继续提拉第一把手13，第一吸附单元11会带动上盖板1翻起，从而将柔性面板从基板剥离。

可选的，如图7所示，为本发明实施例提供的一种上盖板外表面侧视图，如图7所示，上盖板1的外表面还包括第二把手14，第二把手14远离连接侧。使用时，先提拉第一把手13，将柔性面板的面板角从基板剥离，再提拉第二把手14，带动上盖板1翻起从而将柔性面板从基板剥离。可选的，第一把手13的提拉部位于第二把手14提拉部的正下方。在提拉第一把手13以使柔性面板角从基板剥离时，由于第二把手14固定于上盖板外表面，提拉第一把手13时可借力于第二把手14，这样同时还能够固定上盖板，利用第一吸附单元11将柔性面板的面板角从基板剥离。

在翻转上盖板从而带动柔性面板从基板剥离时，动作需要尽量地柔和。可选的，图8为本发明实施例提供的一种下盖板侧视图，侧视方向平行于连接侧C，如图8所示，下盖板2的吸附面还包括风刀22；风刀22设置于吸附面远离连接侧C的边缘，风刀的出气口面向连接侧C。在实现了初始剥离口后，缓慢拉起上盖板，与此同时，风刀22辅助将柔性面板从基板吹离，从而实现柔和剥离，保护柔性面板不受损伤。可选的，风刀出气口可以为孔状(直径为0.5mm～2mm)，也可以为条状。

在本发明实施例所提供的下盖板的吸附面还包括凹槽结构。图9为本发明实施例提供的一种下盖板吸附面示意图，如图9所示，下盖板2的吸附面还包括一陷入下盖板的凹槽结构23，第二吸附单元21设置于凹槽结构23之中。其中，凹槽结构23的深度不大于待剥离面板的厚度。在使用时，待剥离面板置于凹槽结构23之中，采用凹槽结构可以避免置入待剥离面板后，上盖板1和下盖板2无法闭合从而影响吸附效果的情况，当然，基于相同的理由，上盖板1也可以设置凹槽结构。应当注意的是，凹槽结构的深度不应大于待剥离面板的厚度，以免上盖板1无法吸附柔性面板的情况。可选的，凹槽结构的形状是根据待剥离面板的形状设计的，采用这种设计的凹槽结构还可以提供定位功能，使得使用时，上盖板的第一吸附单元能够与面板角接触，上盖板的吸附阵列能够吸附柔性面板的中间区域等等。可选的，吸附阵列和凹槽结构中都可以增加软性线路板(flexible printed circuit，FPC)区域，请参考图5和图9，对于吸附阵列12和凹槽结构23中的任一个，所占的两个矩形区域中较窄的一个即使FPC区域。

综上所述，本发明实施例提供一种剥离装置，用于从待剥离面板的基板表面剥离柔性面板，包括：上盖板、下盖板、真空部件；上盖板的连接侧与下盖板的连接侧活动连接；上盖板与下盖板闭合时，上盖板的吸附面与下盖板的吸附面相对设置；上盖板的吸附面包括至少两个第一吸附单元，第一吸附单元与真空部件相连通，用于通过真空部件吸附柔性面板的面板角；第一吸附单元设置于远离连接侧的区域；下盖板的吸附面包括第二吸附单元，第二吸附单元与真空部件相连通，用于通过真空部件吸附基板。在对待剥离基板进行剥离时，如何实现初始剥离口是最难的步骤之一，其对柔性面板的损伤也较大。在本发明实施例所提供的剥离装置中，上盖板的吸附单元能够吸附柔性面板的面板角，避免了中间效应对剥离的影响，更容易在面板角处将柔性面板与基板初始剥离，而且，由于在实现初始剥离口时，只对柔性面板的面板角进行剥离，避免了对柔性面板较为重要的中间区域的影响，因此，本发明实施例所提供的剥离装置能够降低剥离对柔性面板的损伤。而且，本发明实施例所提供的剥离装置体积小、便携可移动、成本低，而且还可根据需要改装为全自动设备。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (9)

1.一种剥离装置，用于从待剥离面板的基板表面剥离柔性面板，其特征在于，包括：上盖板、下盖板、真空部件；

所述上盖板的连接侧与所述下盖板的连接侧活动连接；所述上盖板与所述下盖板闭合时，所述上盖板的吸附面与所述下盖板的吸附面相对设置；

所述上盖板的吸附面包括至少两个第一吸附单元，所述第一吸附单元与所述真空部件相连通，用于通过所述真空部件吸附所述柔性面板的面板角；所述第一吸附单元设置于远离所述连接侧的区域；

所述下盖板的吸附面包括第二吸附单元，所述第二吸附单元与所述真空部件相连通，用于通过所述真空部件吸附所述基板；

所述第一吸附单元为吸盘；所述吸盘的吸附孔用于吸附所述柔性面板的面板角，所述吸附孔周围的盘部覆盖且超出所述面板角。

2.如权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述上盖板的吸附面还包括吸附阵列；所述吸附阵列位于与所述柔性面板的中部相对应的位置且所述吸附阵列的吸附面积不大于所述柔性面板。

3.如权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述第一吸附单元为长方形或椭圆形的吸盘。

4.如权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述上盖板的外表面还包括第一把手，所述第一把手与所述第一吸附单元联动。

5.如权利要求4所述的剥离装置，其特征在于，所述上盖板的外表面还包括第二把手，所述第二把手远离所述连接侧。

6.如权利要求5所述的剥离装置，其特征在于，所述第一把手的提拉部位于所述第二把手的提拉部的正下方。

7.如权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述下盖板的吸附面还包括风刀；所述风刀设置于所述吸附面远离所述连接侧的边缘，所述风刀的出气口面向所述连接侧。

8.如权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述下盖板的吸附面还包括一陷入所述下盖板的凹槽结构，所述第二吸附单元设置于所述凹槽结构之中；所述凹槽结构的深度不大于所述待剥离面板的厚度。

9.如权利要求8所述的剥离装置，其特征在于，所述凹槽结构的形状是根据所述待剥离面板的形状设计的。

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