CN109874309A - 双面镀膜设备及其载板处理单元 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种双面镀膜设备及其载板处理单元，载板处理单元包括：与工作腔(4)连通的附加腔体(10)；用于将所述工作腔(4)内的载板(1)移至所述附加腔体(10)的处理装置(101)。本申请提供的载板处理单元，通过在附加腔体内设置处理装置，并使得附加腔体连通工作腔。由于工作腔设置在工艺腔前，通过处理装置将工作腔内的载板移至附加腔体，有效避免了具有碎片的载板进入工艺腔，避免碎片落到工艺腔的下镀膜装置上，确保了镀膜效果；避免了开腔处理的操作，提高了镀膜效率。

Description

双面镀膜设备及其载板处理单元

本申请要求于2018年04月24日提交中国专利局、申请号为201820596729.3、发明名称为“双面镀膜设备及其载板处理单元”的中国专利申请的优先权，其全部内容通过引用结合在本申请中。

技术领域

本申请涉及光伏组件制造设备技术领域，特别涉及一种双面镀膜设备及其载板处理单元。

背景技术

目前，双面镀膜设备中，电池片在整个传输过程中由载板进行承载。

如图1、图2及图3所示，载板01为一个框体结构，对电池片的边缘进行支撑定位，以便于对电池片的上下面进行镀膜。载板01由底板011与盖板013组成。电池片放在载板底板011的凹槽012上，再用盖板013通过定位销与孔安装在底板011上，将电池片固定。盖板013上具有沉积窗口014。

如图4及图5所示，双面镀膜设备中，沿载板01的工艺流程方向为依此经过进片腔03、前置隔离腔04、前置缓冲腔05、工艺腔06、后置缓冲腔07、后置隔离腔08及出片腔09，进片腔03与工作腔04之间设置有第一门阀a1，前置隔离腔04与前置缓冲腔05第二门阀a2，后置缓冲腔07与后置隔离腔08之间设置有第三门阀a3，后置隔离腔08与出片腔09之间设置有第四门阀a4。由于电池片很薄，仅有180um-200um，在镂空的载板01上，电池片仅四周与载板01接触，其他部位完全悬空。

载板01进入进片腔03内后，进行真空工艺操作，需要对进片腔03进行抽真空操作。由于抽气出口安装在进片腔03底部，抽真空时，电池片上表面与下表面具有压差，电池片极易在此道工序内破碎。并且，进片腔03内还会对电池片进行加热，加热过程中，因载板01或电池片变形也会导致电池片破碎。

由于工艺腔06为用于镀膜沉积腔室，具有上镀膜装置061及下镀膜装置062，如果载板01中电池片破碎，载板01的中间会有一个空穴。镀膜工艺时，上镀膜装置061的膜层会通过缺口绕镀到电池片的下表面，而下镀膜装置062的膜层又会绕镀到电池片的上表面，导致该板缺口附近的电池工艺失败。

因此，如何确保镀膜效果，提高镀膜效率，是本技术领域人员亟待解决的问题。

申请内容

有鉴于此，本申请提供了一种载板处理单元，以确保镀膜效果，提高镀膜效率。本申请还公开了一种具有上述载板处理单元的双面镀膜设备。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

一种载板处理单元，包括：

与工作腔连通的附加腔体；

用于将所述工作腔内的载板移至所述附加腔体的处理装置。

优选地，上述载板处理单元中，所述处理装置设置在所述附加腔体内，能够伸入所述工作腔内拿取所述载板的机械手。

优选地，上述载板处理单元中，所述附加腔体与所述工作腔的排列方向垂直于所述载板的工艺流程方向；

所述载板的工艺流程方向为所述工作腔到所述工艺腔的方向。

优选地，上述载板处理单元中，所述工作腔内设置有用于检测所述载板是否有碎片的碎片检测装置。

本申请还提供了一种双面镀膜设备，包括如上述任一项所述的载板处理单元。

优选地，上述双面镀膜设备中，所述工作腔为前置隔离腔。

优选地，上述双面镀膜设备中，所述工作腔设置有供所述载板沿其工艺流程方向进入所述工作腔的工作腔进口，供所述载板沿其工艺流程方向移出所述工作腔的工作腔出口，供所述载板移至所述附加腔体的附加出口。

优选地，上述双面镀膜设备中，所述工作腔进口与所述工作腔出口位于同一水平面上，所述附加出口与所述工作腔出口之间具有高度差，有碎片的所述载板能够与所述附加出口对齐；

所述处理装置为能够由所述附加出口进入所述工作腔的平动型单轴机械手。

优选地，上述双面镀膜设备中，所述工作腔进口、所述工作腔出口和所述附加出口均设置有密封门阀。

优选地，上述双面镀膜设备中，所述附加出口高于所述工作腔出口所述工作腔内还具有能够将所述载板顶至与所述附加出口水平对齐的位置的升顶装置。

优选地，上述双面镀膜设备中，所述升顶装置包括：

升降驱动单元；

与所述升降驱动单元的驱动端连接的连接板；

设置于所述连接板远离所述升降驱动单元的一侧的升顶柱。

优选地，上述双面镀膜设备中，所述工作腔设置有供所述载板移至所述附加腔体的附加出口；

所述处理装置为能够由所述附加出口进入所述工作腔的机械手，所述机械手为能够实现平动与升降的多轴机械手。

优选地，上述双面镀膜设备中，所述工作腔与所述附加腔体之间设置有附加门阀。

从上述的技术方案可以看出，本申请提供的载板处理单元，通过在附加腔体内设置处理装置，并使得附加腔体连通工作腔。由于工作腔设置在工艺腔前，通过处理装置将工作腔内的载板移至附加腔体，有效避免了具有碎片的载板进入工艺腔，避免碎片落到工艺腔的下镀膜装置上，确保了镀膜效果；避免了开腔处理的操作，提高了镀膜效率。

本申请还提供了一种双面镀膜设备，包括载板处理单元，载板处理单元为如上述任一种载板处理单元。由于上述载板处理单元具有上述技术效果，具有上述载板处理单元的双面镀膜设备也应具有同样的技术效果，在此不再一一累述。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中的一种载板的结构示意图；

图2为现有技术中的一种载板底板的结构示意图；

图3为现有技术中的一种载板盖板的结构示意图；

图4为现有技术中的双面镀膜设备的第一种结构示意图；

图5为本申请实施例提供的双面镀膜设备的结构示意图；

图6为本申请实施例提供的升顶装置的第一状态结构示意图；

图7为本申请实施例提供的升顶装置的第二状态结构示意图；

图8为本申请实施例提供的在工作腔内传输的载板的俯视结构示意图；

图9为本申请实施例提供的载板处理单元的第一状态结构示意图；

图10为本申请实施例提供的载板处理单元的第二状态结构示意图；

图11为本申请实施例提供的载板处理单元的第三状态结构示意图。

具体实施方式

本申请公开了一种载板处理单元，以确保镀膜效果，提高镀膜效率。本申请还公开了一种具有上述载板处理单元的双面镀膜设备。

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

如图5、图9、图10及图11所示，本申请实施例提供了一种载板处理单元，包括：与工作腔4连通的附加腔体10；用于将工作腔4内的载板1移至附加腔体10的处理装置101。

本申请实施例提供的载板处理单元，通过在附加腔体10内设置处理装置101，并使得附加腔体10连通工作腔。由于工作腔4设置在工艺流程方向的工艺腔6前，通过处理装置101将工作腔4内的载板1移至附加腔体10，有效避免了具有碎片的载板1进入工艺腔6，避免碎片落到工艺腔6的下镀膜装置上，确保了镀膜效果；避免了开腔处理的操作，提高了镀膜效率。

可以理解的是，工作腔4可以设置在工艺腔6前，如此，载板1的工艺流程方向为经过工作腔4后再经过工艺腔6。当然，附加腔体10可以设置在工艺腔6前，也可以设置在审核工作腔旁边或者工艺腔旁边，可以在任何腔体检测到碎片时,为了不影响后续工艺或者节约工艺时间，及时将碎片移动到附加腔体内。

在本实施例中，处理装置101设置于附加腔体10内，且处理装置101能够伸入工作腔4内拿取载板1的机械手。处理装置101优先选用为机械手，通过机械手伸入工作腔4内拿取具有碎片的载板1，将具有碎片的载板1移至附加腔体10内，方便了具有碎片的载板1的移动。也可以在工作腔4内设置能够将载板1推至附加腔体10内的推动装置，同样可以实现将工作腔4内的载板1移至附加腔体10内。

如图5所示，附加腔体10与工作腔4的排列方向垂直于载板1的工艺流程方向；载板1的工艺流程方向为工作腔4到工艺腔6的方向。通过上述设置，避免了附加腔体10与载板1沿工艺流程方向所需经过的腔体(如进片腔3或前置缓冲腔5等)，方便了双面镀膜设备的结构布置，减少了双面镀膜设备的改进成本。

进一步地，工作腔4内设置有用于检测载板1是否有碎片的碎片检测装置。也可以在位于工作腔4之前的腔体内设置碎片检测装置。通过上述设置，方便了检测操作。或，在工作腔4上设置观察窗，通过人为观察或设置外置装置对工作腔4内的载板1进行检测，外置装置能够透过观察窗观察工作腔4内载板1是否有碎片的状态进行检测。

本申请实施例还提供了一种双面镀膜设备，包括如上述任一种载板处理单元。由于上述载板处理单元具有上述技术效果，具有上述载板处理单元的双面镀膜设备也应具有同样的技术效果，在此不再一一累述。

优选地，工作腔4为前置隔离腔，方便了结构布置。也可以将前置缓冲腔5或进片腔3作为工作腔4，仅需确保工作腔4设置在工艺腔6前即可。

如图6及图7所示，工作腔4设置有：供载板1沿其工艺流程方向进入工作腔4的工作腔进口3-4，供载板1沿其工艺流程方向移出工作腔4的工作腔出口4-5，供载板1移至附加腔体10的附加出口4-10。

在本实施例中，工作腔4为隔离腔，因此，工作腔进口3-4连通进片腔3与工作腔4；工作腔出口4-5连通工作腔4与前置缓冲腔5。

在本实施例中，工作腔进口3-4与工作腔出口4-5位于同一水平面上，附加出口4-10与工作腔出口4-5之间具有高度差，有碎片的载板1能够与附加出口4-10对齐；处理装置101为能够由附加出口4-10进入工作腔4的平动型单轴机械手。由于工作腔进口3-4与工作腔出口4-5位于同一水平面上，因此，载板1位于工作腔4内的传输轮2上传递的过程中，载板1由工作腔进口3-4进入工作腔4时由传输轮2传递，并在传输轮2的传递操作下由工作腔出口4-5移出工作腔4。附加出口4-10与工作腔出口4-5之间具有高度差，使得有碎片的载板1能够与附加出口4-10对齐，避免了有碎片的载板1在移至附加腔体10的过程中与传输装置(如传输轮2)发生干涉。

优选地，在本实施例中，附加出口4-10高于工作腔出口4-5，工作腔4内还具有能够将载板1顶至与附加出口4-10水平对齐的位置的升顶装置。通过上述设置，方便了载板1移出工作腔4。也可以将工作腔4内的传输轮2设置为能够升降的升降传输轮2，附加出口4-10可以高于工作腔出口4-5，也可以使附加出口4-10低于工作腔出口4-5。

如图6、图7及图8所示，升顶装置包括：升降驱动单元410；与升降驱动单元410的驱动端连接的连接板411；设置于连接板411远离升降驱动单元410的一侧的升顶柱412，为了避免升顶412与传送载板的载板的传输轮2干涉，将升顶柱412设置于能够穿过工作腔4内相邻两个传输轮2之间的缝隙。通过上述设置，确保了升顶装置对载板1顶至与附加出口4-10水平对齐的位置的操作，提高了结构紧凑性。也可以将升顶装置设置为用于升降传输轮2的装置。

本实施例中，升降驱动单元410为升降气缸，也可以设置为直线电机。如图8所示，升顶柱412优选为4个，且在对载板1进行升顶操作时，升顶柱412与载板1的边框接触。

在另一种实施例中，工作腔4内具有供载板1移至附加腔体10的附加出口4-10；处理装置101为能够由附加出口4-10进入工作腔4的机械手，机械手为能够实现平动与升降的多轴机械手。同样方便载板1移至附加腔体10。

优选地，在相邻两个腔体之间设置门阀。

如图5所示，双面镀膜设备中，载板1的工艺流程方向为依此经过进片腔3、工作腔4(前置隔离腔)、前置缓冲腔5、工艺腔6、后置缓冲腔7、后置隔离腔8及出片腔9，为了确保各腔室之间的真空度要求及工艺环境要求，各腔室之间密封设置，优先选用隔板密封，为了使得载板能够通过隔板，其隔板上设置有通过载板的通过口，且通过口处设置密封门阀，门阀用于密封载板的通过口，如本实施例中进片腔3与工作腔4之间设置有第一门阀a1，工作腔4与前置缓冲腔5第二门阀a2，后置缓冲腔7与后置隔离腔8之间设置有第三门阀a3，后置隔离腔与出片腔9之间设置有第四门阀a4，以便于确保各个腔体的独立操作，避免相互干涉。

优选地，工作腔4与附加腔体10之间设置有附加门阀a10，有效确保了工作腔4的独立使用。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (13)

1.一种载板处理单元，其特征在于，包括：

与工作腔(4)连通的附加腔体(10)；

用于将所述工作腔(4)内的载板(1)移至所述附加腔体(10)的处理装置(101)。

2.如权利要求1所述的载板处理单元，其特征在于，所述处理装置(101)设置在所述附加腔体(10)内，能够伸入所述工作腔(4)内拿取所述载板(1)的机械手。

3.如权利要求1所述的载板处理单元，其特征在于，所述附加腔体(10)与所述工作腔(4)的排列方向垂直于所述载板(1)的工艺流程方向；

所述载板(1)的工艺流程方向为所述工作腔(4)到所述工艺腔(6)的方向。

4.如权利要求1-3任一项所述的载板处理单元，其特征在于，所述工作腔(4)内设置有用于检测所述载板(1)是否有碎片的碎片检测装置。

5.一种双面镀膜设备，其特征在于，包括如权力要求1-4任一项所述的载板处理单元。

6.如权利要求5所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述工作腔(4)为前置隔离腔。

7.如权利要求5所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述工作腔(4)设置有供所述载板(1)沿其工艺流程方向进入所述工作腔(4)的工作腔进口(3-4)，供所述载板(1)沿其工艺流程方向移出所述工作腔(4)的工作腔出口(4-5)，供所述载板(1)移至所述附加腔体(10)的附加出口(4-10)。

8.如权利要求7所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述工作腔进口(3-4)与所述工作腔出口(4-5)位于同一水平面上，所述附加出口(4-10)与所述工作腔出口(4-5)之间具有高度差，有碎片的所述载板(1)能够与所述附加出口(4-10)对齐；

所述处理装置(101)为能够由所述附加出口(4-10)进入所述工作腔(4)的平动型单轴机械手。

9.如权利要求7所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述工作腔进口(3-4)、所述工作腔出口(4-5)和所述附加出口(4-10)均设置有密封门阀。

10.如权利要求7所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述附加出口(4-10)高于所述工作腔出口(4-5)，所述工作腔(4)内还设置具有能够将所述载板(1)顶至与所述附加出口(4-10)水平对齐的位置的升顶装置。

11.如权利要求10所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述升顶装置包括：

升降驱动单元(410)；

与所述升降驱动单元(410)的驱动端连接的连接板(411)；

设置于所述连接板(411)远离所述升降驱动单元(410)的一侧的升顶柱(412)。

12.如权利要求5所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述工作腔(4)设置有供所述载板(1)移至所述附加腔体(10)的附加出口(4-10)；

所述处理装置(101)为能够由所述附加出口(4-10)进入所述工作腔(4)的机械手，所述机械手为能够实现平动与升降的多轴机械手。

13.如权利要求5-12任一项所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述工作腔(4)与所述附加腔体(10)之间设置有附加门阀(a10)。