CN109855782A - 传感器用柔性导电复合膜及其制备方法以及柔性传感器 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种传感器用柔性导电复合膜及其制备方法以及柔性传感器，属于导电复合膜技术领域。其制备方法包括：在具有凸点阵列的有机硅胶膜上分别涂覆石墨烯分散液和碳纳米管分散液，得到导电硅胶膜，将两片所述导电硅胶膜具有凸点阵列的一侧进行相对压合，使涂覆的石墨烯分散液和碳纳米管分散液位于两个有机硅胶膜之间，制得柔性导电复合膜。本发明的传感器用柔性导电复合膜能够同时感应和区分压力和摩擦力，传感器灵敏度高，耐受性强，不易损坏，并且其制备工艺简单，成本低，可实现连续性大规模生产。
Description
技术领域
本发明涉及导电复合膜技术领域，进一步涉及柔性传感器领域，具体涉及一种传感器用柔性导电复合膜及其制备方法以及柔性传感器。
背景技术
长期以来传感器技术已经成为现代技术工业领域的核心技术。各种传感器如湿度传感器、温度传感器、压力传感器、位移传感器等已在工业生产、汽车、电子、航空航天等领域得到广泛应用。随着现代科技向智能化的进一步发展，传感器的应用领域进一步拓展，其应用场景进一步复杂化。比如，可穿戴电子技术的迅猛发展相应的对传感器的多功能化、可穿戴柔性化等提出新的要求。具备可穿戴功能的柔性传感器在智能机器人、电子皮肤、电子仿生、便携式医疗健康等领域展现出广阔的应用前景。其中，柔性力学传感器作为新型电子皮肤尤其适用于仿生触觉、机械手自反馈控制、便携式医疗器械等领域的技术应用开发。
柔性力学传感器可分为电容式和电阻式两种类型，是指在外力作用下其电阻或电容值发生相应改变。电容式压力传感器的基本工作原理是：压力导致柔性电极间距离减小和电容值增加，从而通过测量电容值的变化得到其与压力之间的对应关系。电阻式力学传感器的基本工作原理是：柔性传感器因外加压力、拉伸、弯曲等发生形变，从而导致其电阻值发生相应的改变，从而测量得到电阻值与施加的压力或形变之间的关系。
在力学传感器的实际使用功能需求中，在很多场合下除了需要对垂直方向施加的压力信号进行响应外，还需要监测切向方向上施加的剪切力或摩擦力。比如在机械手臂操控重物时，若能够灵敏的感受到物体下滑产生的静摩擦力，则能够对抓握的力度进行很好的控制。另外，对压力和摩擦力的同时响应也是实现机器仿生触觉必不可少的技术环节。
目前，已出现能够同时感应压力和摩擦力的柔性传感器，但是也存在灵敏度不高、制作工艺复杂、基材韧性低而易被拉扯坏以及因敏感层位于膜的表面而使用寿命短等诸多问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种传感器用柔性导电复合膜及其制备方法以及柔性传感器，以解决现有柔性传感器灵敏度、力学耐受性以及环境耐受性差的问题。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下：
一种传感器用柔性导电复合膜的制备方法，包括：在具有凸点阵列的有机硅胶膜上分别涂覆石墨烯分散液和碳纳米管分散液，得到导电硅胶膜，将两片导电硅胶膜具有凸点阵列的一侧进行相对压合，使涂覆的石墨烯分散液和碳纳米管分散液位于两个有机硅胶膜之间，制得柔性导电复合膜。
本发明采用碳纳米管分散液和石墨烯分散液在含有凸点阵列的柔性有机硅胶膜表面构建导电膜层，然后得到的两片导电硅胶膜表面的凸点阵列相对压合，形成互锁结构，可以将石墨烯和碳纳米管构成的敏感电阻膜层封闭在两柔性的有机硅胶膜之间。此外，在凸点阵列的作用下，涂覆在凸点阵列上的石墨烯和碳纳米管形成三维导电网络，能够同时对垂直方向的压力和切向的摩擦力做出相应变化：压力导致电阻减小，摩擦力导致电阻增加。由于导电复合膜对垂直方向的压力和切向方向的摩擦力作出的电阻变化方向相反，对压力和摩擦力的响应信号很容易区分，使得传感器更加适用于压力和摩擦力共存的复杂力学加载环境，灵敏度大大提升。而且，这种封闭式结构的导电复合膜使得敏感电阻膜层处于整个导电复合膜结构的内部，在使用过程中敏感电阻膜层不与外界产生直接的物理接触，大大提高了柔性导电复合膜的耐磨、耐压等力学耐受性及环境耐受性。
进一步地，在本发明较佳的实施例中，上述石墨烯分散液和碳纳米管分散液的浓度分别为5-50mg/ml。
本发明将石墨烯分散液和碳纳米管分散液的浓度控制在5-50mg/ml的范围内，能够避免低浓度所导致的浸渍效果不明显的缺陷以及浓度太高导致溶液分散不均匀、易产生团聚和沉淀的缺陷。
进一步地，在本发明较佳的实施例中，上述石墨烯分散液和碳纳米管分散液的浓度分别为30-40mg/ml。更有选地，石墨烯分散液和碳纳米管分散液的浓度分别为35mg/ml。
进一步地，在本发明较佳的实施例中，上述凸点为圆柱形，凸点的直径为100-500μm，凸点的高度和直径的比值≥1:1。优选地，凸点的高度和直径的比值为1:1。
本发明将凸点的直径控制在100-500μm且凸点的高度和直径的比值≥1:1，使得传感器在压力或摩擦力作用下所产生的变形尺寸在微米范围，不至于因凸点尺寸太大而导致石墨烯-碳纳米管导电网络断开，同时也因为尺寸太小而致使电阻变化太小使传感器灵敏度太低。并且，当凸点的高度和直径的比值为1:1时，是两侧凸点阵列彼此紧密贴合的最小比例，基于该最小比例生产的导电复合膜容易生产加工，且成本低。
进一步地，在本发明较佳的实施例中，上述制备方法包括以下具体步骤：
(1)将石墨烯和碳纳米管分别分散于溶剂中，配制成石墨烯分散液和碳纳米管分散液；
(2)利用多孔阵列模具通过浇注固化成型制得具有凸点阵列的有机硅胶膜，采用等离子体对有机硅胶膜进行活化处理；
(3)将石墨烯分散液涂覆在有机硅胶膜具有凸点阵列的一侧，烘干后，再涂覆碳纳米管分散液，再烘干，得到导电硅胶膜；
(4)将两片导电硅胶膜具有凸点阵列的一侧进行相对压合，使涂覆的石墨烯分散液和碳纳米管分散液位于两个有机硅胶膜之间，制得柔性导电复合膜。
进一步地，在本发明较佳的实施例中，步骤(1)中，石墨烯为多层氧化石墨烯，碳纳米管为氧化多壁碳纳米管；配制石墨烯分散液和碳纳米管分散液的溶剂为水、乙醇、丙酮或N,N-二甲基甲酰胺。
本发明采用多层氧化石墨烯和多层氧化碳纳米管所形成的导电网络连续性较好，电阻小，传感器稳定性和灵敏度都高，并且多层石墨烯和多层碳纳米管的成本低，器件造价低。
进一步地，在本发明较佳的实施例中，步骤(2)中，有机硅胶膜为聚硅氧烷系有机硅胶。
本发明采用聚硅氧烷系有机硅胶作为复合膜的基底，其具有良好的柔性和弹性，拉伸断裂长度大，具有较好的力学稳定性和化学稳定性。
进一步地，在本发明较佳的实施例中，步骤(3)中，导电硅胶膜的电阻率为1-10kΩ/□。
利用上述制备方法制得的传感器用柔性导电复合膜，包括两片相互重叠的有机硅胶膜层，有机硅胶膜层具有凸点阵列，凸点阵列位于两片有机硅胶膜层之间，并且两片有机硅胶膜层上的凸点阵列彼此扣合，凸点阵列表面先后涂覆有石墨烯层和碳纳米管层。
一种柔性传感器，包括上述的传感器用柔性导电复合膜以及设置在柔性导电复合膜上的电极。
本发明具有以下有益效果：
本发明的传感器用柔性导电复合膜能够同时感应和区分压力和摩擦力，传感器灵敏度高，耐受性强，不易损坏，并且其制备工艺简单，成本低，可实现连续性大规模生产。
本发明将石墨烯和碳纳米管构成敏感电阻膜层涂覆在有机硅胶膜的凸点阵列上，使得敏感电阻膜层与柔性的有机硅胶膜成型为一体，其相对于分体的膜层结构稳定性更好，灵敏度更高。而且导电复合膜的敏感电阻膜层处于导电复合膜的内部，使得传感器在工作时敏感电阻膜层与外部环境形成物理隔离，大大提高了传感器的稳定性，同时增加了传感器的力学耐受性及环境耐受性。
附图说明
图1为本发明实施例传感器用柔性导电复合膜的制备流程示意图；
图2为本发明实施例传感器用柔性导电复合膜的电阻-力响应原理示意图；
图3为本发明实施例传感器用柔性导电复合膜的结构示意图；
图4为为本发明实施例传感器用柔性导电复合膜的垂直压力-电阻变化曲线；
图5为为本发明实施例传感器用柔性导电复合膜的切向摩擦力-电阻变化曲线；
图6为实施例6得到的传感器用柔性导电复合膜的循环压缩5000次加载下实时电阻变化曲线。
图7为实施例6得到的传感器用柔性导电复合膜的循环摩擦5000次加载下实时电阻变化曲线。
图中：10-有机硅胶膜层；20-凸点阵列；30-石墨烯层；40-碳纳米管层。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。
实施例1
本实施例的传感器用柔性导电复合膜的制备方法包括以下步骤：
(1)取0.2g多壁碳纳米管；将其置于40ml N,N-二甲基甲酰胺(缩写为DMF)溶剂中，依次经剪切搅拌30min、超声分散1h，得到均匀分散的碳纳米管分散液。取0.2g石墨烯置于40ml DMF溶剂中，依次经剪切搅拌30min、超声分散1h，得到均匀分散的石墨烯分散液。
(2)柔性凸点阵列有机硅胶膜的制备：所用模板圆柱孔径为100微米，深度100微米，孔间距125微米。将有机硅胶前驱液均匀涂敷于模板上，然后在120℃下经2小时固化、脱膜，得到具有凸点阵列的有机硅胶膜。
(3)有机硅胶膜经氧等离子体处理5分钟后，表面依次经过“涂布石墨烯溶液-干燥-涂布碳纳米管溶液-干燥”的步骤，得到碳纳米管/石墨烯修饰的导电硅胶膜。
(4)取上述两片导电硅胶膜，将其凸点阵列面相对压合，通过凸点阵列的微结构机械互锁，形成导电层(也即是前述的敏感电阻膜层)分布于膜层中间的柔性导电复合膜(同封闭式柔性导电硅胶膜)。示意图如图2中的①所示。所得封闭式导电硅胶膜的电阻率为10kΩ/□。
本实施例的柔性传感器的制备：将封闭式柔性导电复合膜裁切成2cm(长)×1cm(宽)，粘结导电胶作电极。在垂直压力或切向摩擦力作用下测试其电阻变化。
实施例2
本实施例的传感器用柔性导电复合膜的制备方法包括以下步骤：
(1)取0.6g多壁碳纳米管；将其置于40ml DMF溶剂中，依次经剪切搅拌30min、超声分散1h，得到均匀分散的碳纳米管分散液。取0.6g石墨烯置于40ml DMF溶剂中，依次经剪切搅拌30min、超声分散1h，得到均匀分散的石墨烯分散液。
(2)柔性凸点阵列有机硅胶膜制备：所用模板圆柱孔径为100微米，深度100微米，孔间距125微米。将有机硅胶前驱液均匀涂敷于模板上，然后在120℃下经2小时固化、脱膜，得到具有凸点阵列的有机硅胶膜。
(3)有机硅胶膜经氧等离子体处理5分钟后，表面依次经过“涂布石墨烯溶液-干燥-涂布碳纳米管溶液-干燥”的步骤，得到碳纳米管/石墨烯修饰的柔性导电复合膜。
(4)取上述两片柔性导电复合膜，将其凸点阵列面相对压合，通过凸点阵列的微结构机械互锁，形成导电层分布于膜层中间的柔性导电硅胶膜。示意图如图2中的①所示。所得封闭式导电硅胶膜的电阻率为5.5kΩ/□。
本实施例的柔性传感器的制备：将封闭式柔性导电硅胶膜裁切成2cm(长)×1cm(宽)，粘结导电胶作电极。在垂直压力或切向摩擦力作用下测试其电阻变化。
实施例3
本实施例的传感器用柔性导电复合膜的制备方法包括以下步骤：
(1)取1g多壁碳纳米管；将其置于40ml DMF溶剂中，依次经剪切搅拌30min、超声分散1h，得到均匀分散的碳纳米管分散液。取1g石墨烯置于40ml DMF溶剂中，依次经剪切搅拌30min、超声分散1h，得到均匀分散的石墨烯分散液。
(2)柔性凸点阵列有机硅胶膜制备：所用模板圆柱孔径为100微米，深度100微米，孔间距125微米。将有机硅胶前驱液均匀涂敷于模板上，然后在120℃下经2小时固化、脱膜，得到具有凸点阵列的有机硅胶膜。
(3)有机硅胶膜经氧等离子体处理5分钟后，表面依次经过“涂布石墨烯溶液-干燥-涂布碳纳米管溶液-干燥”等步骤，得到碳纳米管/石墨烯修饰的柔性导电复合膜。
(4)取上述两片柔性导电复合膜，将其凸点阵列面相对压合，通过凸点阵列的微结构机械互锁，形成导电层分布于膜层中间的柔性导电硅胶膜。示意图如图2中的①所示。所得封闭式导电硅胶膜的电阻率为3kΩ/□。
本实施例的柔性传感器的制备：将封闭式柔性导电硅胶膜裁切成2cm(长)×1cm(宽)，粘结导电胶作电极。在垂直压力或切向摩擦力作用下测试其电阻变化。
实施例4
本实施例的传感器用柔性导电复合膜的制备方法包括以下步骤：
(1)取2g多壁碳纳米管；将其置于40ml DMF溶剂中，依次经剪切搅拌30min、超声分散1h，得到均匀分散的碳纳米管分散液。
取2g石墨烯置于40ml DMF溶剂中，依次经剪切搅拌30min、超声分散1h，得到均匀分散的石墨烯分散液。
(2)柔性凸点阵列有机硅胶膜制备：所用模板圆柱孔径为100微米，深度100微米，孔间距125微米。将有机硅胶前驱液均匀涂敷于模板上，然后在120℃下经2小时固化、脱膜，得到具有凸点阵列的有机硅胶膜。
(3)有机硅胶膜经氧等离子体处理5分钟后，表面依次经过“涂布石墨烯溶液-干燥-涂布碳纳米管溶液-干燥”的步骤，得到碳纳米管/石墨烯修饰的柔性导电复合膜。
(5)取上述两片柔性导电复合膜，将其凸点阵列面相对压合，通过凸点阵列的微结构机械互锁，形成导电层分布于膜层中间的柔性导电硅胶膜。示意图如图2中的①所示。所得封闭式导电硅胶膜的电阻率为1kΩ/□。
本实施例的柔性传感器的制备：将封闭式柔性导电硅胶膜裁切成2cm(长)×1cm(宽)，粘结导电胶作电极。在垂直压力或切向摩擦力作用下测试其电阻变化。
实施例5
本实施例的传感器用柔性导电复合膜的制备方法包括以下步骤：
(1)取1g多壁碳纳米管；将其置于40ml DMF溶剂中，依次经剪切搅拌30min、超声分散1h，得到均匀分散的碳纳米管分散液。取1g石墨烯置于40ml DMF溶剂中，依次经剪切搅拌30min、超声分散1h，得到均匀分散的石墨烯分散液。
(2)柔性凸点阵列有机硅胶膜制备：所用模板圆柱孔径为300微米，深度300微米，孔间距375微米。将有机硅胶前驱液均匀涂敷于模板上，然后在120℃下经2小时固化、脱膜，得到具有凸点阵列的有机硅胶膜。
(3)有机硅胶膜经氧等离子体处理5分钟后，表面依次经过“涂布石墨烯溶液-干燥-涂布碳纳米管溶液-干燥”的步骤，得到碳纳米管/石墨烯修饰的柔性导电复合膜。
(5)取上述两片柔性导电复合膜，将其凸点阵列面相对压合，通过凸点阵列的微结构机械互锁，形成导电层分布于膜层中间的柔性导电硅胶膜。示意图如图2中的①所示。所得封闭式导电硅胶膜的电阻率为3.2kΩ/□。
本实施例的柔性传感器的制备：将封闭式柔性导电硅胶膜裁切成2cm(长)×1cm(宽)，粘结导电胶作电极。在垂直压力或切向摩擦力作用下测试其电阻变化。
实施例6
本实施例的传感器用柔性导电复合膜的制备方法包括以下步骤：
(1)取1.4g多壁碳纳米管；将其置于40ml DMF溶剂中，依次经剪切搅拌30min、超声分散1h，得到均匀分散的碳纳米管分散液。
取1.4g石墨烯置于40ml DMF溶剂中，依次经剪切搅拌30min、超声分散1h，得到均匀分散的石墨烯分散液。
(2)柔性凸点阵列有机硅胶膜制备：所用模板圆柱孔径为300微米，深度300微米，孔间距375微米。将有机硅胶前驱液均匀涂敷于模板上，然后在120℃下经2小时固化、脱膜，得到具有凸点阵列的有机硅胶膜。
(3)有机硅胶膜经氧等离子体处理5分钟后，表面依次经过“涂布石墨烯溶液-干燥-涂布碳纳米管溶液-干燥”的步骤，得到碳纳米管/石墨烯修饰的柔性导电复合膜。
(4)取上述两片柔性导电复合膜，将其凸点阵列面相对压合，通过凸点阵列的微结构机械互锁，形成导电层分布于膜层中间的柔性导电硅胶膜。示意图如图2中的①所示。所得封闭式导电硅胶膜的电阻率为1.8kΩ/□。
本实施例的柔性传感器的制备：将封闭式柔性导电硅胶膜裁切成2cm(长)×1cm(宽)，粘结导电胶作电极。在垂直压力或切向摩擦力作用下测试其电阻变化。
实施例7
本实施例的传感器用柔性导电复合膜的制备方法包括以下步骤：
(1)取1.4g多壁碳纳米管；将其置于40ml DMF溶剂中，依次经剪切搅拌30min、超声分散1h，得到均匀分散的碳纳米管分散液。
取1.4g石墨烯置于40ml DMF溶剂中，依次经剪切搅拌30min、超声分散1h，得到均匀分散的石墨烯分散液。
(2)柔性凸点阵列有机硅胶膜制备：所用模板圆柱孔径为500微米，深度500微米，孔间距625微米。将有机硅胶前驱液均匀涂敷于模板上，然后在120℃下经2小时固化、脱膜，得到具有凸点阵列的有机硅胶膜。
(3)有机硅胶膜经氧等离子体处理5分钟后，表面依次经过“涂布石墨烯溶液-干燥-涂布碳纳米管溶液-干燥”的步骤，得到碳纳米管/石墨烯修饰的柔性导电复合膜。
(4)取上述两片柔性导电复合膜，将其凸点阵列面相对压合，通过凸点阵列的微结构机械互锁，形成导电层分布于膜层中间的柔性导电硅胶膜。示意图如图2中的①所示。所得封闭式导电硅胶膜的电阻率为1.6kΩ/□。
本实施例的柔性传感器的制备：将封闭式柔性导电硅胶膜裁切成2cm(长)×1cm(宽)，粘结导电胶作电极。在垂直压力或切向摩擦力作用下测试其电阻变化。
实施例8
本实施例对柔性导电复合膜的结构进行说明。
请参照图3，柔性导电复合膜包括两片相互重叠的有机硅胶膜层10，有机硅胶膜层具有凸点阵列20，凸点阵列20位于两片有机硅胶膜层10之间，并且两片有机硅胶膜层10上的凸点阵列20彼此扣合，凸点阵列20表面先后涂覆有石墨烯层30和碳纳米管层40。
实施例测试分析结果及讨论：
图4和图5分别为所有实施例中的封闭式柔性垂直切向双向力传感器分别在垂直压力和切向摩擦力加载下的电阻-力响应曲线。从图4中可以看出，在0-1kPa压强范围内，电阻-压力呈较好的线性关系，垂直压力导致传感器电阻减小，1kPa后电阻变化达到饱和。从图5可以看出，在0-0.8N范围内，电阻-摩擦力呈较好的线性关系，切向摩擦力导致传感器电阻增大；0.8N后传感器电阻变化达到饱和。传感器对摩擦力、压力的响应灵敏度结果总结于表1中。
表1：传感器性能检测结果
从表1可以看出，实施例1-7得到的柔性导电复合膜其压力灵敏度在-0.26～-0.78kPa-1之间，摩擦力灵敏度在0.2～1N-1之间。从实施例1-4的测试结果可以看出，随着碳纳米管和石墨烯浓度的增加，传感器的压力和摩擦力灵敏度先增加后降低，并且压力灵敏度和摩擦力灵敏度呈正相关的关系。对比实施例3和5及6和7两组实验结果可以看出，虽然采用的柔性有机硅胶膜的凸点阵列尺寸不同，但是采用相同浓度的碳纳米管分散液和石墨烯分散液，所得到的导电复合膜的压力和摩擦力灵敏度大致相同。最佳的碳纳米管分散液和石墨烯分散液浓度为35mg/ml(实施例6和7)，在该浓度下获得的导电复合膜的压力灵敏度达到-0.83kPa-1，摩擦力灵敏度达到1.0N-1。
图6和图7分别为实施例6得到的柔性传感器进行5000次循环压缩加载和5000次循环摩擦力加载下其电阻-压力和电阻-摩擦力响应曲线。从图中可以看出：柔性传感器经多次压力和摩擦力循环加载后，其电阻-力响应特性无明显衰减，表明本发明提供的封闭式柔性双向力传感器的力学耐受性，可以达到实用化水平。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种传感器用柔性导电复合膜的制备方法，其特征在于，包括：在具有凸点阵列的有机硅胶膜上分别涂覆石墨烯分散液和碳纳米管分散液，得到导电硅胶膜，将两片所述导电硅胶膜具有凸点阵列的一侧进行相对压合，使涂覆的石墨烯分散液和碳纳米管分散液位于两个有机硅胶膜之间，制得柔性导电复合膜。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述石墨烯分散液和所述碳纳米管分散液的浓度分别为5-50mg/ml。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述石墨烯分散液和所述碳纳米管分散液的浓度分别为30-40mg/ml。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述凸点为圆柱形，所述凸点的直径为100-500μm，所述凸点的高度和直径的比值≥1:1。
5.根据权利要求1-4任一项所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下具体步骤：
(1)将石墨烯和碳纳米管分别分散于溶剂中，配制成石墨烯分散液和碳纳米管分散液；
(2)利用多孔阵列模具通过浇注固化成型制得具有凸点阵列的有机硅胶膜，采用等离子体对所述有机硅胶膜进行活化处理；
(3)将所述石墨烯分散液涂覆在所述有机硅胶膜具有凸点阵列的一侧，烘干后，再涂覆所述碳纳米管分散液，再烘干，得到导电硅胶膜；
(4)将两片所述导电硅胶膜具有凸点阵列的一侧进行相对压合，使涂覆的石墨烯分散液和碳纳米管分散液位于两个有机硅胶膜之间，制得柔性导电复合膜。
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述石墨烯为多层氧化石墨烯，所述碳纳米管为氧化多壁碳纳米管；配制所述石墨烯分散液和所述碳纳米管分散液的溶剂为水、乙醇、丙酮或N,N-二甲基甲酰胺。
7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，所述有机硅胶膜为聚硅氧烷系有机硅胶。
8.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，所述导电硅胶膜的电阻率为1-10kΩ/□。
9.利用权利要求1-8任一项所述的制备方法制得的传感器用柔性导电复合膜，其特征在于，包括两片相互重叠的有机硅胶膜层，所述有机硅胶膜层具有凸点阵列，所述凸点阵列位于两片有机硅胶膜层之间，并且两片所述有机硅胶膜层上的凸点阵列彼此扣合，所述凸点阵列表面先后涂覆有石墨烯层和碳纳米管层。
10.一种柔性传感器，其特征在于，包括权利要求9所述的传感器用柔性导电复合膜以及设置在柔性导电复合膜上的电极。
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