CN109830451B - 基板干燥装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种基板干燥装置，其包括腔体、供气结构、第一出气结构和第二出气结构；腔体用于放置基板；供气结构设置在腔体顶部的四周区域，用于提供气体；第一出气结构设置在腔体顶部的中间区域，用于排出腔体中部的废气和挥发物；第二出气结构设置在腔体的两侧，用于排出腔体两侧的废气和挥发物。本申请通过在腔体的顶部设置第一出气结构和在腔体的两侧设置第二出气结构，使得腔体内的挥发物可以及时从腔体的顶部和两侧排出，避免了挥发物的聚集和扩散。

Description

基板干燥装置

技术领域

本申请涉及一种干燥烘烤技术，特别涉及一种基板干燥装置。

背景技术

基板在干燥装置中进行黄化(聚酰胺酸亚胺化过程)过程中挥发物会扩散，使得挥发物在装置腔体内形成颗粒聚集物，掉落在基板膜表面，造成基板不良，甚至报废。

发明内容

本申请实施例提供一种基板干燥装置，以解决现有的基板干燥装置在进行黄化时，挥发物附着于装置腔体内壁形成颗粒聚集物，掉落于基板膜表面，造成基板不良，甚至报废的技术问题。

本申请实施例提供一种基板干燥装置，其包括：

腔体，用于放置基板；

供气结构，设置在所述腔体顶部的四周区域，用于提供气体；

第一出气结构，设置在所述腔体顶部的中间区域，用于排出所述腔体中部的废气和挥发物；以及

第二出气结构，设置在所述腔体的两侧，用于排出所述腔体两侧的废气和挥发物。

在本申请的基板干燥装置中，所述供气结构包括多根供气管道和进气口，所述多根供气管道依次首尾相互连通设置在所述腔体顶部的四周区域，所述进气口均匀设置在所述供气管道上。

在本申请的基板干燥装置中，所述供气结构包括四根所述供气管道，四根所述供气管道两两相对设置形成一矩形环状结构；

其中相对设置的两个所述供气管道之间的所述进气口相对设置。

在本申请的基板干燥装置中，所述供气结构还包括两个相对设置的连接口，所述连接口连通于所述供气管道并延伸出所述腔体，用于与外部供气设备连接。

在本申请的基板干燥装置中，所述第一出气结构包括至少一第一出气管道和多个第一出气口，所述第一出气口沿着所述第一出气管道的延长方向间隔设置且连通于所述腔体；

在每一所述第一出气管道中，设置有两排所述第一出气口，所述第一出气口设置在所述第一出气管道的侧下方。

在本申请的基板干燥装置中，在每一所述第一出气管道纵向截面中，所述第一出气管道包括一竖直的中轴线，两排所述第一出气口的开口方向关于所述中轴线对称设置。

在本申请的基板干燥装置中，在每一所述第一出气管道中，两排所述第一出气口的开口方向的夹角小于等于135°且大于等于45°。

在本申请的基板干燥装置中，在每一所述第一出气管道中，两排所述第一出气口之间相错设置。

在本申请的基板干燥装置中，所述第一出气结构还包括连通于所述第一出气管道的第一排气管道，所述第一排气管道设置在所述腔体的外侧顶部。

在本申请的基板干燥装置中，每个所述第二出气结构包括第二出气管道和至少一第二出气口，所述第二出气口连通并设置在所述腔体的一侧，所述第二出气管道设置在所述腔体的外侧并连通于所述第二出气口。

在本申请的基板干燥装置中，所述第一出气管道和所述第二出气管道的内壁均电镀处理，电镀的材料为耐高温材料，比如铬或铬镍合金。电镀后的第一出气管道和第二出气管道的内壁更为光滑，不易于挥发物的聚集。

在本申请的基板干燥装置中，所述腔体内还设置有压力感应器，用于实时监控所述腔体内压力的变化，以便调控供气气体的流量。其中供气气体的流量可以通过流量阀进行控制。

相较于现有技术的基板干燥装置，本申请的基板干燥装置通过在腔体的顶部设置第一出气结构和在腔体的两侧设置第二出气结构，使得腔体内的挥发物可以及时从腔体的顶部和两侧排出，避免了挥发物的聚集和扩散；解决了现有的基板干燥装置在进行黄化时，挥发物附着于装置腔体内壁形成颗粒聚集物，掉落于基板膜表面，造成基板不良，甚至报废的技术问题。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍。下面描述中的附图仅为本申请的部分实施例，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获取其他的附图。

图1为本申请的基板干燥装置的实施例的结构示意图；

图2为本申请的基板干燥装置的实施例的另一结构示意图；

图3为本申请的基板干燥装置的实施例的第一出气管道的结构示意图；

图4为本申请的基板干燥装置的实施例的第一出气管道的另一结构示意图。

具体实施方式

请参照附图中的图式，其中相同的组件符号代表相同的组件。以下的说明是基于所例示的本申请具体实施例，其不应被视为限制本申请未在此详述的其它具体实施例。

请参照图1和图2，图1为本申请的基板干燥装置的实施例的结构示意图；图2为本申请的基板干燥装置的实施例的另一结构示意图。本实施例的基板干燥装置100包括腔体10、供气结构20、第一出气结构30和第二出气结构40。

腔体10用于放置基板。供气结构20设置在腔体10顶部的四周区域，用于提供气体。第一出气结构30设置在腔体10顶部的中间区域，用于排出腔体10中部的废气和挥发物。第二出气结构40设置在腔体10的两侧，用于排出腔体10两侧的废气和挥发物。

在本实施例中，供气结构20提供的气体为氮气(N₂)，但并不限于此。腔体10内的废气和挥发物为本实施例对基板进行黄化时，产生的废气和挥发物。

本实施例的基板干燥装置100通过在腔体10的顶部设置第一出气结构30和在腔体10的两侧设置第二出气结构40，使得腔体10内的挥发物可以及时从腔体的顶部和两侧排出，避免了挥发物的聚集和扩散。

具体的，供气结构20包括多根供气管道21和进气口22。多根供气管道21依次首尾相互连通设置在腔体10顶部的四周区域。进气口22均匀设置在供气管道21上。

在一些实施例中，供气结构20包括四根供气管道21。四根供气管道21两两相对设置形成一矩形环状结构。其中相对设置的两个供气管道21之间的进气口22相对设置。这样的设置，使得所有的供气管道21的进气口22均朝向腔体10的中心方向，以致气体可以均匀的进入腔体10并迅速使腔体10达到设定压力。

其中，进气口22均匀且间隔设置在每一供气管道21上，以提高进气的均一性。

另外，腔体10内还设置有压力感应器，用于实时监控腔体10内压力的变化，以便调控供气气体的流量。且供气气体的流量可以通过流量阀进行控制。

在一些实施例中，供气结构20还包括两个相对设置的连接口23。连接口23连通于供气管道21并延伸出腔体10，用于与外部供气设备连接。将两个连接口23设置在矩形环状结构的供气管道21的二等分点上，提高了进气的效率和均一性。当然在本申请中，连接口也可以是一个或大于两个，具体的情况根据实际情况而定。

在一些实施例中，第一出气结构30包括至少一第一出气管道31和多个第一出气口32。第一出气口32沿着第一出气管道31的延长方向间隔设置且连通于腔体10。第一出气结构30的设置，使得处于腔体10中部的挥发物迅速的被第一出气结构30排出。

在一些实施例中，第一出气管道31设置有多根，且多根第一出气管道31并排且间隔设置，以将挥发物快速且均衡的排出腔体10。

进一步的，第一出气结构30还包括连通于所有第一出气管道31的第一排气管道(图中未示出)。第一排气管道设置在腔体10的外侧顶部，以便挥发物和废气从腔体10的顶部排出。

具体的，请参照图3和图4，在每一第一出气管道31中，设置有两排第一出气口32。第一出气口32设置在第一出气管道31的侧下方。由于高温的废气和挥发物首先是向上流动，因此将第一出气口32设置在第一出气管道31的侧下方，便于废气和挥发物快速的通过第一出气口32进行第一出气管道31，并排出腔体10外。而采用两排第一出气口32的设置，一方面加快了排出挥发物的效率，另一方面提高了排出挥发物的均一性，避免了挥发物在腔体10的某一区域聚集。

在一些实施例中，在每一第一出气管道31纵向截面中，第一出气管道31包括一竖直的中轴线311。两排第一出气口32的开口方向关于中轴线311对称设置。这样的设置，进一步提高了挥发物的排出效率。

在一些实施例中，在每一第一出气管道31中，两排第一出气口32的开口方向的夹角α小于等于135°且大于等于45°。显而易见的是，随着夹角α的缩小，第一出气口32越向第一出气管道31的正下方偏转。此时，第一出气口32排出挥发物和废气的效率就越高。可选的，夹角α为小于90°。

在一些实施例中，在每一第一出气管道31中，两排第一出气口32之间相错设置。便于提高排出挥发物和废气的效率和均衡性。

另外，第一出气管道31的内壁均电镀处理，电镀的材料为耐高温材料，比如铬或铬镍合金。电镀后的第一出气管道内壁更为光滑，不易于挥发物的聚集。

在一些实施例中，每个第二出气结构40包括第二出气管道41和至少一第二出气口42。第二出气口42连通并设置在腔体10的一侧。第二出气管道41设置在腔体10的外侧并连通于第二出气口42。其中，为了提高挥发物和废气的排出效率，在每个第二出气结构40中，设置有至少两个第二出气口42，第二出气口42设置在腔体10一侧的等分点上。比如，设置有三个第二出气口42，则三个第二出气口42分别设置在腔体10一侧的三个三等分点上。

另外，第二出气管道41的内壁均电镀处理，电镀的材料为耐高温材料，比如铬或铬镍合金。电镀后的第二出气管道的内壁更为光滑，不易于挥发物的聚集。

基于上述的结构，供气管道21、第一出气管道31和第二出气管道41的材质均为SUS(不锈钢)。

本实施例的基板干燥装置100的工作过程是：

首先，打开干燥装置100的门体50，并将基板放置腔体10内，随后关闭门体50，使腔体10处于密封状态。

然后，通过供气结构20将氮气输入腔体10内；其中，氮气依次经两个连接口23、供气管道21和进气口22进入腔体10内。此时腔体10内的压力感应器实时感测腔体10内的压力，直到腔体10的压力达到设定值，则停止氮气的通入。

接着，对基板进行加热干燥处理；在此过程中，基板上的残余的NMP溶剂在高温的作用下挥发，在腔体10内形成挥发物扩散在腔体10内。

最后，挥发物经第一出气结构30和第二出气结构40排出腔体10；其中在腔体10中间聚集的挥发物依次经第一出气结构30的第一出气口32、第一出气管道31和第一排出管排自废气处理装置。腔体10两侧聚集的挥发物依次经第二出气结构40的第二出气口42和第二出气管道41排自废气处理装置。

这样便完成了本实施例的操作过程。

相较于现有技术的基板干燥装置，本申请的基板干燥装置通过在腔体的顶部设置第一出气结构和在腔体的两侧设置第二出气结构，使得腔体内的挥发物可以及时从腔体的顶部和两侧排出，避免了挥发物的聚集和扩散；解决了现有的基板干燥装置在进行黄化时，挥发物附着于装置腔体内壁形成颗粒聚集物，掉落于基板膜表面，造成基板不良，甚至报废的技术问题。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。

Claims (9)

1.一种基板干燥装置，其特征在于，包括：

腔体，用于放置基板；

供气结构，设置在所述腔体顶部的四周区域，用于提供气体；所述供气结构包括多根供气管道和进气口，所述多根供气管道依次首尾相互连通形成环状结构，且设置在所述腔体顶部的四周区域，所述进气口设置在所述供气管道上；

第一出气结构，设置在所述腔体顶部的中间区域，用于排出所述腔体中部的废气和挥发物；所述第一出气结构包括至少一第一出气管道和多个第一出气口，所述至少一第一出气管道设置在所述环状结构的内环侧，所述第一出气口沿着所述第一出气管道的延长方向间隔设置且连通于所述腔体；所述第一出气管道的内壁覆盖有电镀层；以及

第二出气结构，设置在所述腔体的两侧，用于排出所述腔体两侧的废气和挥发物。

2.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，所述供气结构包括四根所述供气管道，四根所述供气管道两两相对设置形成一矩形环状结构；

其中相对设置的两个所述供气管道之间的所述进气口相对设置。

3.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，所述供气结构还包括两个相对设置的连接口，所述连接口连通于所述供气管道并延伸出所述腔体，用于与外部供气设备连接。

4.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，在每一所述第一出气管道中，设置有两排所述第一出气口，所述第一出气口设置在所述第一出气管道的侧下方。

5.根据权利要求4所述的基板干燥装置，其特征在于，在每一所述第一出气管道纵向截面中，所述第一出气管道包括一竖直的中轴线，两排所述第一出气口的开口方向关于所述中轴线对称设置。

6.根据权利要求5所述的基板干燥装置，其特征在于，在每一所述第一出气管道中，两排所述第一出气口的开口方向的夹角小于等于135°且大于等于45°。

7.根据权利要求5所述的基板干燥装置，其特征在于，在每一所述第一出气管道中，两排所述第一出气口之间相错设置。

8.根据权利要求4所述的基板干燥装置，其特征在于，所述第一出气结构还包括连通于所述第一出气管道的第一排气管道，所述第一排气管道设置在所述腔体的外侧顶部。

9.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，每个所述第二出气结构包括第二出气管道和至少一第二出气口，所述第二出气口连通并设置在所述腔体的一侧，所述第二出气管道设置在所述腔体的外侧并连通于所述第二出气口。

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