CN109781087A - 一种基于驻波模式的saw陀螺仪 - Google Patents
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Abstract
本申请的目的是提供一种基于驻波模式的SAW陀螺仪，本申请通过采用压电耦合系数高、SAW传播速度高且声光耦合系数较大的128°Y‑X切LiNbO3压电基片，通过在收发天线触发的双端口谐振器的谐振腔之间放置材料为金的金属点阵和声光读出模式SAW接收端来实现一种新型的驻波模式的陀螺仪。收发天线的设计能够有效减少SAW陀螺仪需要的电子电路模块，即减少外电路的使用；所述SAW接收端采用高精度声光耦合模式读出角速率的变化，从而提高了SAW陀螺仪的准确度与灵敏度。
Description
技术领域
本申请涉及计算机领域，尤其涉及一种基于驻波模式的SAW陀螺仪。
背景技术
陀螺仪在消费性产品、工业以及医疗产品特别是军用领域方面有很大的应用需求，性能参数决定使用领域。目前有光纤陀螺，激光陀螺和微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)陀螺。SAW陀螺仪具有体积小、成本低、二维结构稳定性高易于大规模生产制造、灵敏度高、抗击振动能力强等显著优点，应用领域更为广泛。
目前声表面波(Surface Acoustic Wave，SAW)陀螺仪主要有驻波模式和行波模式两种。基于驻波模式的SAW陀螺仪由压电基片(11)及其上的双端口谐振器(14)、分布于双端谐振器(14)的谐振腔内的金属点阵(13)以及垂直交叉放置的接收传感器(12)组成，如图1所示；采用压控振荡器(VOC)提供输入信号使双端口谐振器振荡，接收传感器检测由哥氏力(Coriolis力)引起的垂直谐振腔内声波传播方向的二次SAW，输出端接示波器(15)检测输出电信号，从而实现对角速率的检测。基于行波模式的SAW陀螺仪由压电基片(21)、两个平行差分放置的延迟线(22)及其中的金属点阵(23)组成，直接检测由于Coriolis力影响声波传播的速度的变化，经过移向器(24)、放大器(25)、差分信号混合器(26)和频率采集模块(27)得到的差分信号，输出端接显示计算机(28)(例如，电脑等)检测输出频率信号，从而实现对角速率的检测，如图2所示。
驻波模式SAW陀螺仪输出信号为微伏级别的电信号，测量误差范围较大；基底采用LiNbO3，虽然具有高的机电耦合系数，但是大的温度系数会影响器件的不稳定性。行波模式SAW陀螺仪虽然用差分结构实现温度补偿，但是由于Coriolis力直接影响声波速度，金属点阵的质量影响器件的灵敏度，质量小灵敏度不满足实际需要，质量大影响声波传播且增加设计成本，频率的变化也很微弱。两种模式都存在信号变化微弱和收发模块电路复杂的问题，这些会增大误差的形成，器件的尺寸也会变大，而且设计过程中还需要解决匹配问题。
发明内容
本申请的一个目的是提供一种基于驻波模式的SAW陀螺仪。
根据本申请的一个方面，提供了一种基于驻波模式的SAW陀螺仪，所述SAW陀螺仪(3)包括收发天线(34)、压电基片(31)、置于所述压电基片(31)表面的双端口谐振器(312)和SAW接收端(314)以及分布于所述双端口谐振器(312)的谐振腔内的金属点阵(313)；其特征在于，
所述双端口谐振器(312)包括两个对称设置的叉指换能器(3122)，在两个所述叉指换能器(3122)之间分布有所述金属点阵(313)，在每个所述叉指换能器(3122)的外侧均设置有一个反射栅(3123)；
所述SAW接收端(314)正交设置于所述双端口谐振器(312)的一侧；
所述收发天线(34)分别与所述SAW接收端(314)和所述双端口谐振器(312)连接；
所述压电基片(31)为绕Y向旋转128°切割且沿X方向传播的LiNbO3压电基片。
进一步地，上述基于驻波模式的SAW陀螺仪中，每个所述叉指换能器(3122)包括3对叉指对且采用等间隔叉指结构，其中，叉指间隔d＝λx/4，λx为沿声波传播方向的声波波长，声孔径W的取值范围为(15～100)λx，，每对所述叉指对由两个宽度相同的电极组成且所述电极的宽度与所述叉指间隔相同；
每个所述反射栅(3123)由10～100个宽度相同的反射条组成，且反射条之间的间隔和所述反射条的宽宽度均与所述双端口谐振器(312)中的叉指换能器(3122)的叉指间隔相同。
进一步地，上述基于驻波模式的SAW陀螺仪中，所述叉指换能器(3122)与所述反射栅(3123)之间的间隔LIR为所述叉指换能器(3122)之间的间隔其中，λx为沿声波传播方向的声波波长，M为大于等于1的正整数；
所述叉指换能器(3122)与所述金属点阵(313)之间的间隔LIM为其中，N为大于等于1的正整数；
所述SAW接收端(314)与所述金属点阵(313)之间的间隔LMS为其中，λy为垂直于声波传播方向的声波波长。
进一步地，上述基于驻波模式的SAW陀螺仪中，所述叉指换能器(3122)之间的间隔LII为其中，M的取值范围为：30～80；和/或，所述叉指换能器(3122)与所述金属点阵(313)之间的间隔LIM为其中，N的取值范围为：(1～6)。
进一步地，上述基于驻波模式的SAW陀螺仪中，所述金属点阵(313)包括至少一个点阵元，每个所述点阵元沿x方向的宽度x＝λx/4，沿y方向的宽度为y＝λy/4；所述点阵元之间沿x方向的列间隔X＝λx，沿y方向的行间隔为Y＝λy。
进一步地，上述基于驻波模式的SAW陀螺仪中，所述SAW接收端(314)采用单相单向叉指换能器，其中，
所述单相单向叉指换能器由叉指对和分布于所述叉指对之间的反射电极构成，所述叉指对由两个宽度相同的叉指电极组成，其中，每个所述叉指电极的宽度为λy/8；所述反射电极的电极宽度为λy/4；
所述叉指电极之间的间隔为λy/8，所述叉指电极与所述反射电极之间的间隔为3λy/16。
进一步地，上述基于驻波模式的SAW陀螺仪中，所述SAW陀螺仪(3)还包括：设置于所述SAW接收端(314)一侧的激光发射器(36)和设置于所述SAW接收端(314)的另一侧的光电探测器(37)，其中，
所述激光发射器(36)与所述光电探测器(37)的中心位于同一直线上。
进一步地，上述基于驻波模式的SAW陀螺仪中，所述双端口谐振器(312)的引出电极、所述SAW接收端(314)的引出电极及所述金属点阵(313)采用金材料，且金电极的厚度和所述金属点阵(313)的厚度的取值范围均为200～300nm。
进一步地，上述基于驻波模式的SAW陀螺仪中，所述叉指换能器(3122)和所述反射栅(3123)采用的材料为铝且铝厚度的取值范围为100～200nm。与现有技术相比，本申请通过采用压电耦合系数高、SAW传播速度高且声光耦合系数较大的128°Y-X切LiNbO3压电基片，通过在收发天线触发的双端口谐振器的谐振腔之间放置材料为金的金属点阵和声光读出模式SAW接收端来实现一种新型的驻波模式的陀螺仪。收发天线的设计能够有效减少SAW陀螺仪需要的电子电路模块；所述SAW接收端采用高精度声光耦合模式读出角速率的变化，从而提高了SAW陀螺仪的准确度与灵敏度。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1是常规的驻波模式的SAW陀螺仪的结构示意图；
图2是常规的行波模式的SAW陀螺仪的结构示意图；
图3是本申请一实施例中的SAW陀螺仪的结构示意图；
图4是本申请一实施例中的SAW陀螺仪中的双端口谐振器的结构示意图；
图5本申请一实施例中的SAW陀螺仪中的金属点阵的结构示意图；
图6本申请一实施例中的SAW陀螺仪中的SAW接收端的结构示意图；
图7本申请一实施例中的SAW陀螺仪光读出结构示意图；
附图标示：
1、常规驻波模式的SAW陀螺仪
11、常规驻波模式的SAW陀螺仪的压电基片
12、常规驻波模式的SAW陀螺仪的SAW延迟线
13、常规驻波模式的SAW陀螺仪的金属点阵
14、常规驻波模式的SAW陀螺仪的双端口谐振器
15、常规波模式的SAW陀螺仪用于接收信号的仪器：示波器
16、常规驻波模式的SAW陀螺仪的电压源
17、常规驻波模式的SAW陀螺仪的压控振荡器(VOC)
18、常规驻波模式的SAW陀螺仪的高通滤波器
2、常规行波模式的SAW陀螺仪
21、常规行波模式的SAW陀螺仪的压电基片
22、常规行波模式的SAW陀螺仪的SAW差分延迟线
23、常规行波模式的SAW陀螺仪的金属点阵
24、常规行波模式的SAW陀螺仪的用于信号移向的移向器
25、常规行波模式的SAW陀螺仪用于放大信号的放大器
26、常规行波模式的SAW陀螺仪的差分信号混合器
27、常规行波模式的SAW陀螺仪的频率采集模块
28、常规行波模式的SAW陀螺仪的信号输出显示计算机
3、本申请一实施例中的SAW陀螺仪
31、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪的压电基片
312、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪的双端口谐振器
3122、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪的双端口谐振器中的叉指换能器
3123、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪的双端口谐振器中的反射栅
313、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪的金属点阵
314、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪的SAW接收端
32、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪中由于角速度的变化而形成的二次SAW
33、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪中形成的二次SAW与SAW接收端叠加之后的位移变化
34、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪中触发双端口谐振器与SAW接收端的收发天线
341、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪中触发双端口谐振器与SAW接收端的发出天线
342、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪中触发双端口谐振器与SAW接收端的接收天线
35、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪中的触发电磁信号的网络分析仪
36、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪中的激光发射器
37、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪中的CCD检测系统(Charge Coupled Device即电荷耦合器件)
38、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪中的激光发射器在没有旋转时的直射光路
39、本申请基于驻波模式的SAW陀螺仪中的激光发射器在有旋转时的衍射光路
附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。
具体实施方式
为了更全面的理解本申请的基于驻波模式的SAW陀螺仪，下面结合附图对本申请作进一步详细描述。
如图3所示，本申请一实施例中的一种基于驻波模式的声表面波(SurfaceAcoustic Wave，SAW)陀螺仪，该SAW陀螺仪(3)包括收发天线(34)、压电基片(31)、置于所述压电基片(31)表面的双端口谐振器(312)和SAW接收端(314)以及分布于所述双端口谐振器(312)的谐振腔内的金属点阵(313)；所述双端口谐振器(312)包括两个对称设置的叉指换能器(3122)，在两个所述叉指换能器(3122)之间分布有所述金属点阵(313)，在每个所述叉指换能器(3122)的外侧均设置有一个反射栅(3123)；所述SAW接收端(314)正交设置于所述双端口谐振器(312)的一侧。该收发天线(34)可以同时发送和接收两种不同频率的电磁信号，其中，一种带宽设置在所述双端口谐振器(312)的谐振频率附近很窄的范围内，例如，设计在所述双端口谐振器(312)的谐振频率的±5MHz，使得可以形成稳定的驻波，另一种带宽设置在SAW接收端(314)的谐振频率附近很窄的范围内，例如，设计在所述SAW接收端(314)的谐振频率的±5MHZ，使得所述收发天线(34)的设计省去了传统陀螺仪的复杂的电路结构；所述收发天线(34)中的接收天线(342)分别与所述SAW接收端(314)和所述双端口谐振器(312)连接，比如，当电磁波通过天线辐射到SAW陀螺仪(3)时，SAW陀螺仪(3)被激活，使用与双端口谐振器(312)的谐振频率相同频率的电磁能量，所述双端口谐振器(312)被激活，相同幅值、波长、周期的两列正弦波在谐振腔中干涉形成驻波，从而在双端口谐振器(312)中的两个叉指换能器(3122)之间产生稳定的驻波，同时，使用与SAW接收端(314)的谐振频率相同频率的电磁能量，所述SAW接收端(314)也被激活，由于逆压电效应产生震荡。
所述陀螺仪(3)中的压电基片(31)为绕Y向旋转128°切割且沿X方向传播的LiNbO3压电基片，在此，128°Y-X切铌酸锂单晶材料相比于其他切向铌酸锂、其他压电材料，在声速、压电响应及光电耦合性能上具有明显优势，使得所述压电基片(31)材料的选择从SAW传播速度、机电耦合系数和声光电耦合系数综合考虑。LiNbO3压电基片中所采用的LiNbO3晶体能产生明显的SAW陀螺效应，又有良好的声光性质，是一种压电性能和声光性能皆优的SAW惯性敏感材料，其中，SAW传播速度越大则SAW陀螺仪的灵敏度越大，机电耦合系数越大则SAW陀螺仪中的叉指换能器和单相单向换能器的转换效率越高；XY方向SAW传播速度具有各向异性，X方向传播速度3997m/s，Y方向传播速度3656m/s。
本实施例中，如图4所示，SAW陀螺仪(3)中的双端口谐振器(312)中的每个所述叉指换能器(3122)包括多对对叉指对且采用等间隔叉指结构，该叉指对的对数范围为：3～10对。在本申请一优选的实施例如图4中所示，优选该叉指换能器(3122)包括3对叉指对，其中，叉指间隔d＝λx/4，λx为沿声波传播方向的声波波长，声孔径W的取值范围为(15～100)λx，每对所述叉指对由两个宽度相同的电极组成且所述电极的宽度与所述叉指间隔相同，均为λx/4；且所述双端口谐振器(312)的每个所述反射栅(3123)由10～100个宽度相同的反射条组成，且反射条之间的间隔和所述反射条的宽度均与所述双端口谐振器(312)中的叉指换能器(3122)的叉指间隔相同，亦设置为λx/4。
本实施例中，为减少传输过程中的损耗，所述双端口谐振器(312)中的叉指换能器(3122)与所述反射栅(3123)之间的间隔LIR设置为
为形成稳定的驻波，该所述双端口谐振器(312)中的所述叉指换能器(3122)之间的间隔其中，λx为沿声波传播方向的声波波长，M为大于等于1的正整数，即该叉指换能器(3122)之间的间隔LII为半波长的整数倍；为能够放置更多的金属点阵，以增强陀螺效应且不影响结构尺寸下，M的取值范围为：30-80，即所述双端口谐振器(312)中的所述叉指换能器(3122)之间的间隔LII为
金属点阵(313)设计在所述双端口谐振器(312)的谐振腔中的两个叉指换能器(3122)之间，在驻波的波腹位置，其中，波腹为驻波幅值最大点(波点)，为满足金属点阵(313)在波腹位置，所述双端口谐振器(312)中的叉指换能器(3122)与所述金属点阵(313)之间的间隔LIM为其中，N为大于等于1的正整数，即该叉指换能器(3122)与所述金属点阵(313)之间的间隔LIM为半波长的整数倍；N的取值范围为：1～6，即所述双端口谐振器(312)中的叉指换能器(3122)与所述金属点阵(313)之间的间隔LIM为在此，如图5所示，所述金属点阵(313)包括至少一个点阵元，每个所述点阵元沿x方向的宽度x＝λx/4，沿y方向的宽度为y＝λy/4；所述点阵元之间沿x方向的列间隔X＝λx，沿y方向的行间隔为Y＝λy，其中，λx为沿声波传播方向的声波波长，λy为垂直于声波传播方向的声波波长。当沿X方向旋转时，会产生Y方向的Coriolis力进而在Y方向上产生二次SAW。
本实施例中，SAW接收端(314)采用声光耦合方式读出SAW陀螺仪的角速度变化，在此，该SAW接收端(314)采用单相单向叉指换能器，该SAW接收端(314)与所述金属点阵(313)之间的间隔LMS的取值范围为其中，λy为垂直于声波传播方向的声波波长。所述SAW接收端(314)的单相单向叉指换能器由叉指对和分布于所述叉指对之间的反射电极构成，所述叉指对由两个宽度相同的叉指电极组成，其中，所述叉指对中的每个所述叉指电极的宽度(d1和d2，分别表示叉指对中的两个叉指电极的宽度)为λy/8，即d1＝d2＝λy/8；所述反射电极的电极宽度d3为λy/4，即d3＝λy/4；所述叉指电极之间的间隔l1为λy/8，即l1＝λy/8，所述叉指电极与所述反射电极之间的间隔(l2或l3)为3λy/16，即l2＝l3＝3λy/16，如图6所示。在此，所述SAW接收端(314)的一侧设置有激光发射器(36)，所述SAW接收端(314)的另一侧对应设置有光电探测器(37)(Charge Coupled Device，CCD)，且保证所述激光发射器(36)与所述光电探测器(37)的中心位于同一直线上，使得激光发射器(36)射出的激光能够被所述光电探测器(37)检测并接收。单相单向叉指换能器只有向上传播的声波，与二次SAW叠加之后由光电探测器(37)检测，由于光学探测精度远大于电信号检测，使得不仅大大提高了SAW陀螺仪的精度，还降低了SAW陀螺仪的误差范围，从而提高准确度。
在此，采用声光耦合读出方式的SAW接收端(314)检测二次SAW的变化。此部分由激光发射器(36)、光电探测器(37)及单相单向叉指换能器构成。利用声光布拉格衍射效应，实现对位移的测量，从而实现对SAW陀螺仪旋转时的角速度的测量。入射的激光由于基底位移变化发生衍射，衍射光被光电探测器(37)检测到，根据衍射角角度的不同实现对角速度的测量；在没有二次SAW作用时，入射激光通过LiNbO3压电基片(31)，光线的传播路径只受到SAW接收端(314)自身作用影响。在有角速度变化引起二次SAW时，光线的传播路径由SAW接收端(314)自身作用和二次SAW叠加作用共同影响。不同大小角速度引起的二次SAW频率不同，与SAW接收端(314)自身作用叠加之后，相对应基底的位移不同，激光衍射光的角度不同。通过衍射角度的变化可以确定陀螺仪角速度的变化。相比于传统的驻波模式电信号输出精度更高，误差更小。
本实施例中，所述SAW陀螺仪(3)中的所述双端口谐振器(312)的引出电极、所述SAW接收端(314)的引出电极及所述金属点阵(313)采用金材料，该金材料方便引线键合，由于金的密度大，作为金属点阵(313)的材料时，可以增加Coriolis力的大小，从而提高SAW陀螺仪的灵敏度，其中，金属点阵(313)的质量过大会引起质量负载效应，影响SAW陀螺仪的灵敏度。综合考虑负载效应及灵敏度后，金电极的厚度和所述金属点阵(313)的厚度的取值范围均为(200～300)nm，并在溅射金之前需要溅射厚度范围为：(10～30)nm的铬层以增加金的粘附性。该所述双端口谐振器(312)中的叉指换能器(3122)和所述反射栅(3123)采用的材料为铝且铝厚度的取值范围为(100～200)nm。
综上所述，本申请通过采用压电耦合系数高、SAW传播速度高且声光耦合系数较大的128°Y-X切LiNbO3压电基片，通过在收发天线触发的双端口谐振器的谐振腔之间放置材料为金的金属点阵和声光读出模式SAW接收端来实现一种新型的驻波模式的陀螺仪。收发天线的设计能够有效减少SAW陀螺仪需要的电子电路模块，即减少外电路的使用；所述SAW接收端采用高精度声光耦合模式读出角速率的变化，从而提高了SAW陀螺仪的准确度与灵敏度。
需要注意的是，本申请可在软件和/或软件与硬件的组合体中被实施，例如，可采用专用集成电路(ASIC)、通用目的计算机或任何其他类似硬件设备来实现。在一个实施例中，本申请的软件程序可以通过处理器执行以实现上文所述步骤或功能。同样地，本申请的软件程序(包括相关的数据结构)可以被存储到计算机可读记录介质中，例如，RAM存储器，磁或光驱动器或软磁盘及类似设备。另外，本申请的一些步骤或功能可采用硬件来实现，例如，作为与处理器配合从而执行各个步骤或功能的电路。
另外，本申请的一部分可被应用为计算机程序产品，例如计算机程序指令，当其被计算机执行时，通过该计算机的操作，可以调用或提供根据本申请的方法和/或技术方案。而调用本申请的方法的程序指令，可能被存储在固定的或可移动的记录介质中，和/或通过广播或其他信号承载媒体中的数据流而被传输，和/或被存储在根据所述程序指令运行的计算机设备的工作存储器中。在此，根据本申请的一个实施例包括一个装置，该装置包括用于存储计算机程序指令的存储器和用于执行程序指令的处理器，其中，当该计算机程序指令被该处理器执行时，触发该装置运行基于前述根据本申请的多个实施例的方法和/或技术方案。
对于本领域技术人员而言，显然本申请不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本申请的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本申请。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本申请的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化涵括在本申请内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，显然“包括”一词不排除其他单元或步骤，单数不排除复数。装置权利要求中陈述的多个单元或装置也可以由一个单元或装置通过软件或者硬件来实现。第一，第二等词语用来表示名称，而并不表示任何特定的顺序。
Claims (9)
1.一种基于驻波模式的SAW陀螺仪，所述SAW陀螺仪(3)包括收发天线(34)、压电基片(31)、置于所述压电基片(31)表面的双端口谐振器(312)和SAW接收端(314)以及分布于所述双端口谐振器(312)的谐振腔内的金属点阵(313)；其特征在于，
所述双端口谐振器(312)包括两个对称设置的叉指换能器(3122)，在两个所述叉指换能器(3122)之间分布有所述金属点阵(313)，在每个所述叉指换能器(3122)的外侧均设置有一个反射栅(3123)；
所述SAW接收端(314)正交设置于所述双端口谐振器(312)的一侧；
所述收发天线(34)分别与所述SAW接收端(314)和所述双端口谐振器(312)连接；
所述压电基片(31)为绕Y向旋转128°切割且沿X方向传播的LiNbO3压电基片。
2.根据权利要求1所述的SAW陀螺仪，其特征在于，每个所述叉指换能器(3122)包括3对叉指对且采用等间隔叉指结构，其中，叉指间隔d＝λx/4，λx为沿声波传播方向的声波波长，声孔径W的取值范围为(15～100)λx，，每对所述叉指对由两个宽度相同的电极组成且所述电极的宽度与所述叉指间隔相同；
每个所述反射栅(3123)由10～100个宽度相同的反射条组成，且反射条之间的间隔和所述反射条的宽宽度均与所述双端口谐振器(312)中的叉指换能器(3122)的叉指间隔相同。
3.根据权利要求1或2所述的SAW陀螺仪，其特征在于，所述叉指换能器(3122)与所述反射栅(3123)之间的间隔LIR为所述叉指换能器(3122)之间的间隔其中，λx为沿声波传播方向的声波波长，M为大于等于1的正整数；
所述叉指换能器(3122)与所述金属点阵(313)之间的间隔LIM为其中，N为大于等于1的正整数；
所述SAW接收端(314)与所述金属点阵(313)之间的间隔LMS为其中，λy为垂直于声波传播方向的声波波长。
4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述叉指换能器(3122)之间的间隔LII为其中，M的取值范围为：30～80；和/或，
所述叉指换能器(3122)与所述金属点阵(313)之间的间隔LIM为其中，N的取值范围为：(1～6)。
5.根据权利要求3所述的SAW陀螺仪，其特征在于，所述金属点阵(313)包括至少一个点阵元，每个所述点阵元沿x方向的宽度x＝λx/4，沿y方向的宽度为y＝λy/4；所述点阵元之间沿x方向的列间隔X＝λx，沿y方向的行间隔为Y＝λy。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的SAW陀螺仪，其特征在于，所述SAW接收端(314)采用单相单向叉指换能器，其中，
所述单相单向叉指换能器由叉指对和分布于所述叉指对之间的反射电极构成，所述叉指对由两个宽度相同的叉指电极组成，其中，每个所述叉指电极的宽度为λy/8；所述反射电极的电极宽度为λy/4；
所述叉指电极之间的间隔为λy/8，所述叉指电极与所述反射电极之间的间隔为3λy/16。
7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述SAW陀螺仪(3)还包括：设置于所述SAW接收端(314)一侧的激光发射器(36)和设置于所述SAW接收端(314)的另一侧的光电探测器(37)，其中，
所述激光发射器(36)与所述光电探测器(37)的中心位于同一直线上。
8.根据权利要求1所述的SAW陀螺仪，其特征在于，所述双端口谐振器(312)的引出电极、所述SAW接收端(314)的引出电极及所述金属点阵(313)采用金材料，且金电极的厚度和所述金属点阵(313)的厚度的取值范围均为200～300nm。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其中，所述叉指换能器(3122)和所述反射栅(3123)采用的材料为铝且铝厚度的取值范围为100～200nm。
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