CN109690266A - 用于表征光源的方法和设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于表征光源(1)的方法，所述光源包括具有自由光谱范围的固定腔(2)，所述方法包括：‑产生第一辐射(3)；由至少一个传感器(4)接收该第一辐射的至少一部分；由每个传感器针对源的每个扫描状态测量信号；基于针对源的每个扫描状态所测量的信号，计算表示所述第一辐射的波长的第一数据项，所述计算包括针对源的每个扫描状态，从几个可能的值中选择所述第一数据项的选定值，所述选择包括消除第一数据项的、不对应于常数乘以固定腔的以所述第一数据项的单位表示的自由光谱范围的模的值。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于表征光源的方法。本发明还涉及用于表征光源的设备，以及包括这种设备的系统。
这种设备允许用户表征光源，例如由该光源发射的辐射的波长。
背景技术
在现有技术中已知用于测量由光源发射的辐射的波长的不同设备。
这些设备需要探索一系列可能的波长，以便从波长范围内确定哪个是由源发射的波长。这种探索通常可以如下进行：
-使用昂贵的技术方案，并通过光电二极管阵列进行探索。现有解决方案提出Fabry-Perot配置，其无需活动的机械部件，但需要阵列作为检测器。无需移动部件对于稳定性和可靠性而言是一个明确的优势。另一方面，使用检测阵列是成本方面的缺点，特别是当测量超过1100nm的波长并且不能再使用硅时。然后需要转向更昂贵的材料，例如用于电信波长的InGaAs，或甚至用于中红外的PbSe或MCT。阵列通常花费数千欧元。
-使用缓慢的技术方案，以及通过可调谐Fabry-Perot进行探索。可调谐Fabry-Perot解决方案不使用阵列，而只使用一个或更多个光电二极管。然而，为了执行期望的探索并获得期望的信息(Fabry-Perot透射峰值的位置)，需要移动Fabry-Perot反射镜中的一个。这种扫描显著减慢了测量速度。实际上，对于反射镜的每个位置都需要采集，而不是在使用阵列检测器的同时采集整个干涉图。对于0.1ms的典型响应时间和100个反射镜位置的测量，一次测量的最小时间是10ms，将刷新率限制为100Hz(不考虑处理时间)。
本发明的目的是提出一种用于表征光源的方法和/或设备，其能够实现比现有技术更经济和/或更快速的表征。
发明内容
该目的通过一种表征光源的方法来实现，所述光源包括具有自由光谱范围的固定腔，所述方法包括：
-根据源的状态或源的不同探索状态由源产生第一辐射，
-由至少一个传感器接收该第一辐射的至少一部分，每个传感器包括Fabry-Perot标准具，所述Fabry-Perot标准具后接光电二极管，
-针对源的每个探索状态由每个传感器测量信号，该信号随该传感器在源的该探索状态下接收的第一辐射的至少一部分变化，
-根据针对源的每个探索状态测量的信号，计算表示第一辐射的波长的第一数据项，该计算包括针对源的每个探索状态从几个可能的值中选择第一数据项的选定值，所述选择包括消除第一数据项的、不对应于常数乘以固定腔的以第一数据项的单位表示的自由光谱范围的模的值。
例如，在根据本发明的方法中，能够在消除步骤之前计算或确定或记录常数。例如，能够在消除步骤之前由用户输入常数。
在根据本发明的方法中，固定腔的自由光谱范围例如能够在消除步骤之前被记录。固定腔的自由光谱范围能够例如在消除步骤之前由用户输入。
源的不同状态优选地通过源的对源发射的第一辐射的波长有影响的物理参数的差异来区分。
每个传感器优选地不包括光电二极管阵列。
每个传感器的Fabry-Perot标准具优选地不包括任何移动部件。
表示第一辐射的波长的第一数据项可以是：
-第一辐射的波长，或
-第一辐射的时间频率，或
-第一辐射的时间周期，或
-第一辐射的波数。
该选择还能够消除位于第一辐射的光谱区域范围之外的第一数据项的值。在这种情况下：
-每个Fabry-Perot标准具能够具有随第一辐射的波长变化的第一辐射的透射强度曲线，优选地具有大于或等于第一辐射的光谱区域范围的周期，和/或
-接收第一辐射的至少一部分优选地包括由几个传感器接收，每个传感器包括Fabry-Perot标准具，所述Fabry-Perot标准具后接光电二极管，每个Fabry-Perot标准具具有随第一辐射的波长变化的第一辐射的透射强度曲线。不同Fabry-Perot标准具的透射曲线一起形成了随第一辐射的波长变化的第一辐射的总透射强度曲线，优选具有大于或等于第一次辐射的光谱区域范围的周期。
所述至少一个传感器优选地包括几个传感器，不同传感器的不同Fabry-Perot标准具优选地包括至少一对两个Fabry-Perot标准具，包括：
-第一Fabry-Perot标准具，其具有随第一辐射的波长变化的第一辐射的第一透射强度曲线，以及
-第二Fabry-Perot标准具，其具有随第一辐射的波长变化的第一辐射的第二透射强度曲线，
使得：
-第一辐射的同一波长对应于第一透射曲线的最大斜率和第二透射曲线的、绝对值小于或等于该最大斜率的10％的斜率两者，和/或
-第一辐射的同一波长对应于第二透射曲线的最大斜率和第一透射曲线的、绝对值小于或等于该最大斜率的10％的斜率两者。
根据本发明的方法能够包括，在执行选择消除第一数据项的、不对应于常数乘以固定腔的自由光谱范围的模的值之前，确定或获知常数。在根据源的不同探索状态由源产生第一辐射的情况下，确定常数能够包括：
-针对源的每个探索状态初步计算第一数据项，和
-根据针对源的所有不同探索状态下第一数据项的初步计算，确定常数。
选择第一数据项的选定值能够包括，在消除第一数据项的、不对应于常数乘以自由光谱范围的模的值之后，优选地通过最小二乘法最终选择选定值。
源能够是光学参量振荡器或激光器。
源能够是至少双谐振源，包括共用同一个产生辐射的晶体的两个腔，包括：
-产生第一辐射的可移动腔，和
-产生第二辐射的固定腔。
根据本发明的方法还能够包括针对源的每个探索状态计算随表示第一辐射的波长的第一数据项的计算变化的、表示第二辐射的波长的第二数据项。
根据本发明的另一个特征，提出了一种用于表征光源的设备，所述设备包括：
-至少一个传感器，其被布置成接收根据源的状态或源的不同探索状态由源产生的第一辐射的至少一部分，每个传感器包括后接光电二极管的Fabry-Perot标准具，每个传感器被布置以便针对源的每个探索状态测量随该传感器在源的该探索状态下接收的第一辐射的至少一部分变化的信号，
-计算单元，其被布置和/或编程，以便根据由每个传感器针对源的每个探索状态测量的信号计算表示第一辐射的波长的第一数据项，计算单元被布置和/或编程以便针对源的每个探索状态，从几个可能值中选择第一数据项的选定值，所述选择包括消除第一数据项的、不对应于常数乘以以第一数据项的单位表示的自由光谱范围的模的值。
计算单元优选地被布置和/或编程以便获知常数。
根据本发明的设备能够包括用于计算或确定或记录常数的装置。根据本发明的设备能够包括通信装置或输入装置，其被布置为向根据本发明的设备指示常数。
根据本发明的设备能够包括用于记录固定腔的自由光谱范围的装置。根据本发明的设备能够包括通信装置或输入装置，其被布置以向根据本发明的设备指示固定腔的自由光谱范围。
源的不同状态优选地通过源的对源发射的第一辐射的波长有影响的物理参数的差异来区分。
源优选地不形成根据本发明的设备的一部分。
计算单元能够被布置和/或编程，以便控制源处于什么状态和/或接收关于源的状态或源的不同探索状态的信息项。
计算单元还能够被布置和/或编程，以便：
-控制源处于什么状态和/或接收关于源的状态或源的不同探索状态的信息项，以及
-将源的每个探索状态与由每个传感器在源的该探索状态下测量的信号相关联或同步。
每个传感器优选地不包括光电二极管阵列。
每个传感器的Fabry-Perot标准具优选地不包括任何移动部件。
表示第一辐射波长的第一个数据项可以是：
-第一辐射的波长，或
-第一辐射的时间频率，或
-第一辐射的时间周期，或
-第一辐射的波数。
计算单元能够被布置和/或编程，以便通过消除位于第一辐射的光谱区域范围之外的第一数据项的值来执行选择。在这种情况下：
-每个Fabry-Perot标准具能够具有随第一辐射的波长变化的第一辐射的透射强度曲线，优选地具有大于或等于第一辐射的光谱区域范围的周期。
-所述至少一个传感器能够包括几个传感器，每个传感器包括后接光电二极管的Fabry-Perot标准具，每个Fabry-Perot标准具具有随第一辐射的波长变化的第一辐射的透射强度曲线，不同Fabry-Perot标准具的透射曲线一起形成了随第一辐射的波长变化的第一辐射的总透射强度曲线，优选地具有大于或等于第一辐射的光谱区域范围的周期。
所述至少一个传感器优选地包括几个传感器，不同传感器的不同Fabry-Perot标准具优选地包括至少一对两个Fabry-Perot标准具，包括：
-第一Fabry-Perot标准具，其具有随第一辐射的波长变化的第一辐射的第一透射强度曲线，以及
-第二Fabry-Perot标准具，其具有随第一辐射的波长变化的第一辐射的第二透射强度曲线，
使得：
-第一辐射的同一波长对应于第一透射曲线的最大斜率和第二透射曲线的、绝对值小于或等于该最大斜率的10％的斜率两者，和/或
-第一辐射的同一波长对应于第二透射曲线的最大斜率和第一透射曲线的、绝对值小于或等于该最大斜率的10％的斜率两者。
计算单元能够被布置和/或编程，使得在执行选择消除第一数据项的、不对应于常数乘以固定腔的自由光谱范围的模的值之前，确定或获知常数。为了确定常数，计算单元还能够被布置和/或编程以便：
-针对源的每个探索状态初步计算第一数据项，和
-根据针对源的所有不同探索状态的第一数据项的初步计算，确定常数。
计算单元能够被布置和/或编程，以便在消除第一数据项的、不对应于常数乘以自由光谱范围的模的值之后，优选地通过最小二乘法最终选择选定值。计算单元能够被布置和/或编程，以便针对源的每个探索状态计算随表示第一辐射的波长的第一数据项的计算变化的表示第二辐射的波长的第二数据项。
根据本发明的又一方面，提出了一种系统，包括：
-包括具有自由光谱范围的固定腔的光源，所述源被布置为根据源的状态或根据源的不同探索状态产生第一辐射，以及
-用于表征根据本发明的该源的设备。
源能够是光学参量振荡器或激光器。
源能够是至少双谐振源，包括共用同一个产生辐射的晶体的两个腔，包括：
-产生第一辐射的可移动腔，和
-产生第二辐射的固定腔。
附图说明
通过阅读绝非限制性的实施方式和实施例的详细描述以及根据以下附图，本发明的其他优点和特征将变得显而易见，在这些附图中：
-图1是根据本发明的系统100的优选实施例的示意图，包括根据本发明的设备10的优选实施例。
-图2示出了设备10的三个Fabry-Perot 5在设备10的源1的发射光谱范围15中的透射曲线；通过这些曲线上的垂直线示意性图示了测量噪声，
-图3示出了在源1的反射镜7a的移动期间由系统100的源1发射的一系列模式跳跃，
-图4示出了在该序列期间，以源1的固定腔2的自由光谱范围(FSR)为模的图3的波数值，
-图5示出了波数的不同值
·在考虑FSR模(圆圈)之前根据本发明计算的，和
·实际发射的模式(点)
-图6示出了在图5的值的情况下，计算的测量值与实际发射的波数之间的差异，
-图7示出了在限制可能发射的波数之后计算或模拟的测量值与实际发射的波数之间的差异：
·在计算模(圆圈)之前
·计算模(星)之后，
-图8示出了在使用FSR知识(曲线82)的情况下和在不使用FSR知识(曲线81)的情况下，在具有随机测量噪声的1000个模式跳跃序列中观察到的平均误差，以及
-图9示出了在使用FSR知识(曲线92)的情况下和在不使用FSR知识(曲线91)的情况下，在具有随机测量噪声的1000个模式跳跃序列中观察到的误差的3×σ的标准偏差。
由于这些实施例绝非限制性的，因此能够考虑本发明的变体，所述变体尤其仅包括下文描述或说明的特征的选择，只要这些特征的选择足以赋予技术优势或者将本发明与现有技术的状态区分开来，其中所述选择独立于所描述或说明的其他特征(即使该选择独立于包含这些其他特征的短语)。该选择包括至少一个优选地具有功能性而没有结构细节和/或仅具有结构细节的一部分的特征，只要该部分单独足以赋予技术优势或者将本发明与现有技术的状态区分开来。
首先，参考图1和2，将描述根据本发明的系统100，其包括根据本发明的设备10。
系统100包括光源1，光源1包括固定腔2，固定腔2由两个反射镜2a、2b界定并具有自由光谱范围，所述光源被布置为根据源的状态或根据源的不同的探索状态产生第一辐射3，所述第一辐射取决于在该辐射3的产生期间的源的状态。
自由光谱范围对应于腔2的两个连续谐振峰之间的距离(波长、频率、周期、波数等)。
源1通常是光学参量振荡器(OPO)或激光器。
源1是至少双谐振源，包括共用同一个产生辐射的晶体9的两个腔，包括：
-可移动腔7，其由两个反射镜7a、7b界定并产生第一辐射3，和
-固定腔2，其产生第二辐射8。
双谐振源1包括非线性晶体9和三个反射镜7a和2a和2b/7b，其中两个反射镜(2a和2b/7b)直接布置在晶体9上，还有一个可移动的反射镜7a。
这三个反射镜中的一个2b/7b对于两个腔2和7是共有的。
在本说明书中，源1的不同“状态”通过源1的、对源1发射的第一辐射3的波长有影响的物理参数的差异来区分。
在图1的当前描述中，将考虑其中源1的不同状态由反射镜7a的不同位置区分的非限制性情况。
将探索源1的几个状态以便改变第一辐射3的波长(即使源1的不同状态能够对应于第一辐射3的相同波长)但保持腔2的自由光谱范围。
在下文中，将考虑作为双谐振光学参量振荡器的源1的特定但非限制性的情况。
源1例如是由Blue Industry and Science制造、编号为X-FLR8的源。
系统100还包括根据本发明的用于表征该源1的设备10。
设备10包括至少一个传感器4(优选地至少两个或理想地至少三个传感器4)，每个传感器4被布置以便接收由源1根据源1的状态或源1的不同探索状态产生的第一辐射3的至少一部分，每个传感器4包括后接光电二极管6的Fabry-Perot标准具5。
每个传感器4被布置以便对源1的每个探索状态测量随着传感器4在源的该探索状态下接收的第一辐射3的至少一部分变化的信号。
设备10包括至少一个半反射镜和/或二向色镜71、72、73，其被布置以将辐射3分配到不同的传感器4。
辐射3的每个部分的光强度恰好到达每个传感器4的上游，即：
-在反射镜(或二向色镜)71和第一传感器的Fabry-Perot 51之间，
-在反射镜(或二向色镜)72和第二传感器的Fabry-Perot 52之间，
-在反射镜(或二向色镜)73和第三传感器的Fabry-Perot 53之间，
这是通过初始校准(通常在设备10的制造期间或在工厂中)已知的，或通过使用以下来得知：
-可选的参考传感器66(没有Fabry-Perot)，该参考传感器被布置以便在没有Fabry-Perot的情况下测量辐射3的一部分的强度，以及
-每个反射镜71、72和73的反射系数和透射系数的知识。
每个光电二极管6、66例如是由Hamamatsu制造的编号为G6854-01的光电二极管。
每个标准具5例如是由LightMachinery制造的OP-7423系列的标准具。
每个传感器4不包括光电二极管阵列，但包括单个光电二极管6。
每个传感器4的Fabry-Perot标准具5不包括任何移动部件。
设备10包括计算单元11。
单元11仅包括技术装置，优选地包括电子和/或硬件和/或软件装置。
计算单元11被布置和/或编程以便：
-控制源1处于什么状态和/或接收关于源1的状态或源1的不同探索状态的信息项，以及
-将源1的每个探索状态与每个传感器4在源1的该探索状态下测量的信号相关联或同步。
因此，每个光电二极管6的信号给出了关于辐射3通过每个Fabry-Perot透射的信息项。
计算单元11被布置和/或编程，以便从每个传感器4测量的信号开始并且对于源1的每个探索状态计算代表第一辐射3的波长的第一数据项(例如ks)，对于源1的每个探索状态，计算单元11被布置和/或编程，以便对于源1的每个探索状态执行从几个可能的值中选择第一数据项(例如ks)的选定值。
示出了第一辐射的波长的第一数据项是取决于第一辐射的波长或者是随第一辐射的波长变化的数据项。
示出了第一辐射的波长的第一数据项例如是：
-第一辐射的波长，或
-第一辐射的时间频率，或
-第一辐射的时间周期，或
-如该说明性但非限制性示例中所述的，第一辐射3的波数ks。
示出了第一辐射的波长的第一数据项也可以是与第一辐射的波长或第一辐射的时间频率或第一辐射的时间周期或者第一辐射3的波数ks成比例的任何数据项。
更确切地说，计算单元11被布置和/或编程以便：
-获知常数“b”；在由源1根据源1的不同探索状态产生第一辐射3的情况下，计算单元11被布置和/或编程以便确定常数“b”，并且为此其被布置和/或编程，以便：
o针对源1的每个探索状态初步计算第一数据项ks，消除位于第一辐射3的光谱区域范围15之外的第一数据项ks的值，并对源1的每个探索状态优选通过最小二乘法选择第一数据项ks的值
o根据针对源1的所有不同探索状态下第一数据项ks的初步计算，确定常数“b”。
-为了根据由每个传感器4针对源1的每个探索状态测量的信号来计算代表了针对源1的每个探索状态的第一辐射3的波长的第一数据项ks，从几个可能值中选择第一数据项ks的选定值，计算单元11被布置和/或编程以便：
o消除(形成选择步骤的一部分)位于第一辐射3的光谱区域范围15之外的第一数据项ks的值
o消除(形成选择步骤的一部分)数据项ks的、不对应于常数“b”乘以固定腔2的以第一数据项ks为单位表示的自由光谱范围的模的值，
o然后，在前两次消除之后，优选通过最小二乘法执行选定值的最终选择(形成选择步骤的一部分)。
计算单元11被布置和/或编程，以便针对源1的每个探索状态计算随着表示第一辐射3的波长的第一数据项ks的计算变化的、表示第二辐射8的波长的第二数据项kc。
示出了第二辐射8的波长的第二数据项kc是：
-第二辐射的波长，或
-第二辐射的频率，或
-如该说明性但非限制性示例中所述的，第二辐射8的波数kc。
下面将参考由设备10实现的根据本发明的方法的实施例更详细地描述计算单元11的布置和/或编程的方式。
计算单元11被布置和/或编程以便获知常数b。
设备10包括用于计算和/或确定和/或记录常数b的装置(更确切地说是单元11)。
设备10包括被布置为向装置10(更确切地说是单元11)指示常数b的通信装置和/或输入装置。
计算单元11被布置和/或编程以便获知固定腔2的自由光谱范围。
设备10包括：
-用于记录固定腔2的自由光谱范围的装置(更确切地说是单元11)，和/或
-被布置以便向设备10(更确切地说是装置11)指示固定腔2的自由光谱范围的通信装置和/或输入装置。
通信或输入装置不是必须的，特别是因为设备10能够专用于仅对单个类型或单个参考的源1进行测量，其固定腔的自由光谱范围从一个源1到另一个源1是不变的。
源1优选地不形成设备10的一部分。设备10能够作为独立于源1的用于表征或测试源1的设备来销售。
参考图2，每个Fabry-Perot标准具5具有随第一辐射3的波长变化的第一辐射3的透射强度曲线12、13、14，其具有大于或等于第一辐射3的光谱区域范围15的周期。
每个Fabry-Perot标准具5具有随第一辐射3的波长变化的第一辐射3的透射强度曲线12、13、14，不同Fabry-Perot标准具5的透射曲线一起形成了随第一辐射3的波长变化的第一辐射的总透射强度曲线16，其具有大于或等于第一辐射的光谱区域范围15的周期。
至少一个传感器4包括几个传感器4，不同传感器4的Fabry-Perot标准具5包括至少一对两个Fabry-Perot标准具5(优选仅Fabry-Perot标准具对)，每对包括：
-第一Fabry-Perot标准具，其具有随第一辐射3的波长变化的、第一辐射3的第一透射强度曲线13，和
-第二Fabry-Perot标准具，其具有随第一辐射3的波长变化的、第一辐射3的第二透射强度曲线12，
使得：
-第一辐射3的同一波长对应于第一透射曲线13的最大斜率130(即，一阶导数)和第二透射曲线12的绝对值小于或等于该最大斜率130的10％的斜率120两者，和/或
-第一辐射3的同一波长对应于第二透射曲线12的最大斜率121和第一透射曲线13的绝对值小于或等于该最大斜率121的10％的斜率131两者。
应注意，这对于装置10的所有Fabry-Perot标准具5的透射曲线的所有对12、13或13、14或14、12都是有效的。
还应注意，不同透射曲线12、13、14的同一符号(即，增加的斜率或减小的斜率)的斜率最大值121、130在区域15内规则地间隔开一个相同的间隔17。
因此，在该实施例中，在不需要在阵列检测器上成像干涉图案的情况下使用Fabry-Perot标准具5(没有移动机械部件)。每个Fabry-Perot级5仅制作一个测量点。
为了提高精度，通过仅修改相干源1的单个腔7在源1的整个发射增益带宽上调谐波长。因此，已知所有波长与源1的腔2的FSR模相同。这提供了额外的信息，使得可以获得光束3、8的每个发射波长。
该实施例具有以下优点：
-非常紧凑：技术方案的长度可达到小于10cm。
-非常快：通过使用合适的电子器件11，可以在每个激光脉冲(>100kHz)下进行测量。本发明还可以对光源1进行连续操作，在光电二极管6和电子器件11的测量最大值处进行测量。本发明不受用于移动可调Fabry-Perot的一部分的压电换能器的响应时间的限制。
-便宜：它不包括昂贵的部件：不可调谐的Fabry-Perot标准具5和非阵列的光电二极管6相对于阵列系统是非常经济的。
现在将参照图1至图9描述由设备10和系统100实现的根据本发明的方法实施例。
该方法包括下面描述的步骤1)至8)：
1)根据源的状态或源1的不同探索状态，由源1产生第一辐射3(和第二辐射8)。相干源1是双谐振OPO。具有波数kp的泵激光束穿过周期性极化反转的非线性晶体9。晶体9辐射两个新光束：具有波数ks的第一辐射3(也称为信号)和具有波数kc的第二辐射8(也称为互补)。波数由能量守恒定律关联起来，其指出：
kp＝ks+kc
如图1中示意性所示，辐射3在由反射镜7a和7b形成的可移动腔7中谐振。辐射8在反射镜2a和2b之间的固定腔2中谐振。可移动腔7的自由光谱范围(FSR)Δks约为0.26cm-1(取决于反射镜7a的位置)；固定腔2的自由光谱范围(FSR)Δkc为0.25cm-1。
反射镜7a是可移动的，例如安装在压电元件上。
源1的常规光谱接受度(称为参量增益带宽)是5cm-1。也就是说，如果设定了以下参数，则非线性晶体9只能在5cm-1的光谱范围内辐射：泵激光器的波数，晶体温度9，无极化反转光栅等。
因此，对于互补腔的固定位置可能发射的模式的数量是5/0.25＝20个模式。
假设每个光束具有以下波数：
·泵辐射波数：9,394.5cm-1；
·“信号”辐射或辐射3的波数：6,662.5cm-1到6,667.5cm-1(在本说明书中该区间称为第一辐射的光谱区域范围15)；
·“互补”辐射或辐射8的波数：2,727cm-1到2,732cm-1。
2)由单元11控制源1处于什么状态和/或由单元11接收关于源1的状态或者源1的不同探索状态的信息项；如前所述，通过改变源1的对源发射的第一辐射3的波长有影响的物理参数来探索源1的不同状态，例如通过改变反射镜7a的位置。将探索源1的几个状态以改变第一辐射3的波长(即使源1的不同状态可对应于第一辐射3的相同波长)，但保持固定腔2的自由光谱范围。
每个光束3、8在其腔中分别具有可能的模式梳7、2。如果在参量增益带宽内，在两个信号和互补模式之间存在足够的重叠，即如果满足能量守恒条件，则发生振荡。
通过在反射镜7a的压电元件上施加电压，可移动腔7将略微移动几百纳米。然后，相关联的模式梳将移位，并且重合也将根据光束1信号和光束8互补模式之间的新的重叠而移动。
图3示出了在反射镜7a的移动期间由源1执行的一系列模式跳跃ks的示例，并且图4示出了以互补腔2的FSR为模的这些相同的波数ks。
只有反射镜7a移动了。因此，互补腔2保持固定。因此，腔2可能发射的波数梳仍然是相同的。因此，根据定义，光束8的所有模式等于腔2的FSR模(这里忽略FSR色散)。通过能量守恒，对于光束3的情况也是如此。这就是为什么光束8的所有波数通过等式1相关联，并且通过能量守恒，光束3的波数通过等式2相关联：
kc＝a[FSRc]等式1
ks＝b[FSRc]等式2
其中“a”和“b”中的每一个是常数，更准确地说是大于或等于零的实数，常数“b”是在本说明书中先前已经提到的，[FSRc]是指“固定腔FSRc的FSR模”，FSRc是用波数单位(长度的倒数)表示的固定腔的FSR。通常，应该注意的是，本发明的这个原理是有效的，并且可以针对增益介质(激光晶体，非线性晶体等)包含在谐振腔中的任何源1进行推广。这两个等式自然可以表示为时间频率，或时间周期或波长。例如，在等式2的情况下：
fs＝b'[FSRc']等式2'
ts＝b”[FSRc”]等式2”
λs＝b”'[FSRc”']等式2”'
其中：
-“b'”“b””和“b”'”中的每一个都是常数，更准确地说是一个大于或等于零的实数
-fs是辐射3的时间频率
-[FSRc']表示“固定腔FSRc'的FSR模”，FSRc'是以时间频率为单位(时间的倒数)表示的固定腔的FSR，
-ts是辐射3的时间周期
-[FSRc”]表示“固定腔FSRc”的FSR模”，FSRc”是用时间周期为单位(时间)表示的固定腔的FSR，
-λs是辐射3的波长
-[FSRc”']表示“固定腔FSRc”'的FSR模”，FSRc”'是用波长单位(长度)表示的固定腔的FSR
3)由至少一个传感器4、甚至由本实施例中的几个传感器4接收第一辐射3的至少一部分。
4)由每个传感器4针对源1的每个探索状态测量信号，所述信号随该传感器4在源1的该探索状态下接收的第一辐射3的至少一部分变化。
Fabry-Perots 51、52、53的尺寸设计为使得它们的自由光谱范围(FSR)分别为961.29μm，961.54μm和961.79μm。图2描述了随参量增益带宽中的波数变化的透射。
图2还模拟了由每个光电二极管6针对图3中的每个模式读取的强度，其中在3×σ处添加了最大值的3％的白噪声，其中σ表示噪声的标准偏差。
5)由单元11将源1的每个探索状态与由每个传感器4在源1的该探索状态下测量的信号相关联或同步，
6)常数“b”的先验知识；在根据源1的不同探索状态由源1产生第一辐射3的情况下；常数“b”的获知可以源于确定该常数“b”，确定该常数“b”包括：
a.针对源1的每个探索状态，初步计算表示第一辐射3的波长第一数据项ks，该计算包括针对源1的每个探索状态，从几个可能的值中选择第一数据项ks的值，所述选择包括：
i.消除位于第一辐射3的光谱区域范围15之外的第一数据项ks的值。因此，此后的目的是从光电二极管6的信息项中，找到由源1在其可能的从6,662.5cm-1到6,667.5cm-1的发射范围内发射的辐射3的波数ks，例如5cm-1。为了获得2×10-3cm-1的分辨率，发射范围15在由2×10-3cm-1间隔开的2500个点处被采样。来自三个光电二极管6的三重透射对应于这些点中的每一个。
ii.优选地通过最小二乘法选择选定值。如果传感器4的数量等于NC，并且做出选择用NP个点对发射范围15进行采样(NP越高，精度越高)，对于源1的每个状态，由NC个传感器4(此处NC＝3)测量的Nc个信号与Np(此处为NP＝2500)组理论值进行比较；每组理论值包括Nc个传感器4的Nc个理论信号，并且与根据图2的kS值或公式或等效值表相关联，即根据随波数ks变化的Fabry-Perot NCs 51、52、53的透射。通过最小二乘法，根据等式3将每个测量的三元组与2500个理论三元组进行比较：
其中Tj thi对应于第j个三元组(从可能的2500个)的第i个Fabry-Perot从可能的3个中)的理论透射率，并且Tmi对应于第i个Fabry-Perot的测量透射率。对于测量的每个三元组，从2500个可能的值中保留光束3的波数kS的值，使“mj”的值最小化。
这些计算出的波数ks如图5所示。
不幸的是，测量噪声干扰了计算并使结果降级。图6示出了计算与实际发射的波数之间的逐点差异。
b.根据针对源1的所有不同探索状态的第一数据项ks的初步计算，确定常数“b”。实际上，根据图5中的这些噪声测量，仍然可以精确地计算等式2中所示的“b”。实际上，测量噪声在所有250次采集中被平均。如果这是高斯白噪声，则噪声会降低15倍(√250)以上。为了限制异常数的影响，使用中值(med)而不是平均值。因此：
b＝med(ks mesures[ISLc]) 等式4
在示例中，b＝0.1404cm-1。如上所述，现在已知源1只能以满足与刚刚计算出的值“b”(等式4)相关的等式2的波数发射。
确定b的另一种替代方案是将其记录(例如在工厂中)在设备10中，但是这不能考虑例如由于温度变化引起的b的变化。
7)根据针对源1的每个探索状态的测量信号，针对源1的每个探索状态计算表示第一辐射3的波长的第一数据项ks，该计算包括，针对源1的每个探索状态，从几个可能值中选择第一数据项ks的选定值，所述选择包括：
a.如在前面的步骤6.a.i中那样，消除位于第一辐射3的光谱区域范围15之外的第一数据项ks的理论值
b.消除第一数据项ks的、不对应于常数“b”乘以第一数据项为单位表示的固定腔2的自由光谱范围的模的值。如果选择用NP个点对发射范围15进行采样(NP越高，精度越高)，则存在NP(此处为NP＝2500)组理论值；每组理论值包括NC个传感器4的NC个理论信号，并且与根据图2的ks值或公式或等效值表相关联，即根据随波数ks变化的Fabry-Perot NCs51、52、53的透射率。消除第一数据项ks的、不对应于常数“b”乘以固定腔2的自由光谱范围的模的理论值，使得可以将理论值组的数量从NP减少到NR。
c.然后，在前两次消除之后，优选地通过最小二乘法最终选择选定值。再次使用最小二乘法，将可能的解决方案限制为仅满足等式2的参量增益带宽(光谱范围15)的波数。如果传感器4的数量等于NC，则剩余NR(此处NR＝19)组可能的理论值，然后对于源1的每个状态，由NC(这里是NC＝3)个传感器4测量的NC个信号与NR(此处为NR＝19)组理论值进行比较；每组理论值包括NC个传感器4的NC个理论信号，并且与根据图2的kS值或公式或等效值表相关联，即根据随波数ks变化的Fabry-Perot NCs51、52、53的透射率。因此，与步骤6不同，不再在2500个可能的三元组之间进行选择，而是在19个可能的满足模数条件的模式之间进行选择。如果b＝0，则有20种可能的模式。仅对于19个可能的三元组，重复计算等式3的“mj”。对于给定测量保留的波数值是19个计算值中的“mj”最小化的值。因此，获得图7，除了图6中呈现的结果60(分散的圆圈)之外，其还示出了源自这些新的最小二乘(几乎全部在线上的星形)的结果70。
图7清楚地示出了噪声几乎为零，并且只有一个测量点对于最近的FSR是错误的(测量编号196)。消除靠近模式跳跃的测量点的滤波器可以消除它。已知这种滤波器用于光谱学；实际上，接近模式跳跃的点反映了一个光谱上不完全纯净的源。因此，它们被滤波以便保证测量的质量，而与测量波数无关。
在所描述的例子中，因此获得了下表中显示的结果：
使用固定腔2的FSR的知识，结果明显更好。还可以看出，当应用于第一次计算(不使用模)而不是第二次计算时，滤波不会移除很多的测量点。在这两种情况下，大约70％的采样仍然存在。
图8和图9示出了以下结果：
-第一次计算的平均误差(附图标记81，不使用模)和第二次计算(附图标记82，使用等式2的模)的平均误差，和
-第一次计算的标准偏差(附图标记91，不使用模)和第二次计算(附图标记92，使用等式2的模)的标准偏差，
对于模式跳跃序列的一千次模拟，噪声从一个序列到另一个序列是随机的。
在消除不对应于常数“b”乘以7的固定腔2的自由光谱范围的模的第一数据项ks的值的步骤时，已知(由单元11)常数b。例如，在根据本发明的方法中，可以在消除不对应于常数“b”乘以7的固定腔2的自由光谱范围的模的第一数据项ks的值的步骤之前，计算或确定或记录常数b(如上面步骤6中所解释的)。例如，在消除不对应于常数“b”乘以7的固定腔2的自由光谱范围的模的第一数据项ks的值的步骤之前，用户可以输入常数b。
在消除不对应于常数“b”乘以7的固定腔2的自由光谱范围的模的第一数据项ks的值的步骤时，固定腔2的自由光谱范围是已知的(由单元11)。在根据本发明的方法中，固定腔2的自由光谱范围例如可以在消除不对应于常数“b”乘以7的固定腔2的自由光谱范围的模的第一数据项ks的值的步骤之前被记录。在消除不对应于常数“b”乘以7的固定腔2的自由光谱范围的模的第一数据项ks的值的步骤之前，可以例如由用户输入固定腔的自由光谱范围。
8)在根据本发明的方法的该实施例中，可移动腔7产生第一辐射3并且固定腔2产生第二辐射8。该方法还包括针对源的每个探索状态计算随表示第一辐射3的波长的第一数据项ks的计算变化的、表示第二辐射8的波长的第二数据项kc。已知：
-泵的kp值，已知并受控制，并且在源1的状态变化期间先验不变，和
-对于源1的不同探索状态计算的不同ks值，
然后用以下等式计算对源1的不同探索状态计算的不同kc值：
kc＝kp-ks
当然，本发明不限于刚刚描述的实施例，并且可以在不超出本发明的范围的情况下对这些实施例进行许多调整。
因此，在可以组合在一起的、先前描述的实施例的变型中：
-根据本发明的方法不一定计算常数“b”，其可能已经是已知的(例如通过在工厂校准或其他)。在这种情况下，根据本发明的方法或设备可以通过探索源1的单个状态来实现，即图7中的单个点70；
-源1可以仅包括单个固定腔2，而没有可移动腔7。在这种情况下，腔2可以包括固定反射镜2a和2b之间的晶体9。腔2的自由光谱范围FSRc总是固定的；例如，通过改变晶体9的温度来改变光源1的状态，并且这时根据本发明的设备和方法根据下面的等式kc＝b[FSRc]实现，常数b以与先前描述的相同的原理已知或确定，并且第一数据项是kc；
-在具有可移动反射镜2a或2b并且优选地具有固定反射镜7a(例如使用气体而不使用晶体9的情况下，根据本发明的设备和方法可以基于由传感器4对腔2的信号的测量，而不是对腔7的信号的测量；
-第一数据项不一定是波数；还可以利用以由至少一个传感器4接收的辐射的时间频率、时间周期或波长作为第一数据项来实施根据本发明的设备和方法。
当然，本发明的各种特征、形式、变型和实施例可以以各种组合形式组合在一起，只要它们不是不相容的或相互排斥的。特别地，上述所有变型和实施例可以组合在一起。
Claims (15)
1.一种用于表征光源(1)的方法，所述光源包括具有自由光谱范围的固定腔(2)，所述方法包括：
-根据所述源(1)的不同探索状态由所述源产生第一辐射(3)，所述源(1)的不同状态通过所述源(1)的、对所述源(1)发射的第一辐射(3)的波长有影响的物理参数的差异来区分，
-由至少一个传感器(4)接收该第一辐射的至少一部分，每个传感器包括Fabry-Perot标准具(5)，所述Fabry-Perot标准具(5)后接光电二极管(6)，
-针对所述源的每个探索状态由每个传感器测量信号，所述信号随由该传感器在所述源的该探索状态下接收的第一辐射的至少一部分变化，
-根据针对所述源的每个探索状态测量的信号，计算表示所述第一辐射的波长的第一数据项，所述计算包括针对所述源的每个探索状态从几个可能的值中选择第一数据项的选定值，所述选择包括消除所述第一数据项的、不对应于常数(b)乘以固定腔的自由光谱范围的模的值，其中所述自由光谱范围以所述第一数据项的单位表示。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，每个传感器不包括光电二极管阵列。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，每个传感器的Fabry-Perot标准具不包括任何移动部件。
4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，表示所述第一辐射的波长的第一数据项是：
-所述第一辐射的波长，或
-所述第一辐射的频率，或
-所述第一辐射的波数。
5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述选择还消除位于所述第一辐射的光谱区域范围(15)之外的第一数据项的值。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，每个Fabry-Perot标准具都具有随所述第一辐射的波长变化的所述第一辐射的透射强度曲线(12、13、14)，其具有大于或等于所述第一辐射的光谱区域范围的周期。
7.根据权利要求5或6所述的方法，其特征在于，接收所述第一辐射的至少一部分包括由几个传感器(4)接收，每个传感器包括Fabry-Perot标准具(5)，所述Fabry-Perot标准具(5)后接光电二极管(6)，每个Fabry-Perot标准具都具有随所述第一辐射的波长变化的所述第一辐射的透射强度曲线，不同Fabry-Perot标准具(5)的透射曲线一起形成了随所述第一辐射的波长变化的所述第一辐射的总透射强度曲线(16)，其具有大于或等于所述第一次辐射的光谱区域范围的周期。
8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述至少一个传感器包括几个传感器，不同传感器的不同Fabry-Perot标准具包括至少一对两个Fabry-Perot标准具，所述至少一对两个Fabry-Perot标准具包括：
-第一Fabry-Perot标准具，其具有随所述第一辐射的波长变化的所述第一辐射的第一透射强度曲线，以及
-第二Fabry-Perot标准具，其具有随所述第一辐射的波长变化的所述第一辐射的第二透射强度曲线，
使得：
-所述第一辐射(3)的同一波长对应于第一透射曲线(13)的最大斜率(130)和第二透射曲线(12)的、绝对值小于或等于该最大斜率(130)的10％的斜率(120)两者，和/或
-所述第一辐射(3)的同一波长对应于第二透射曲线(12)的最大斜率(121)和第一透射曲线(13)的、绝对值小于或等于该最大斜率(121)的10％的斜率(131)两者。
9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在执行选择消除所述第一数据项的、不对应于常数(b)乘以固定腔的自由光谱范围的模的值之前，所述方法包括确定或获知所述常数(b)。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，在根据所述源的不同探索状态由所述源产生所述第一辐射(3)的情况下，确定所述常数(b)包括：
-针对所述源的每个探索状态初步计算所述第一数据项，和
-根据针对所述源的所有不同探索状态的所述第一数据项的初步计算，确定所述常数(b)。
11.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，选择所述第一数据项的选定值包括在消除所述第一数据项的、不对应于常数(b)乘以自由光谱范围的模的值之后，优选通过最小二乘法最终选择选定值。
12.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述源是光学参量振荡器或激光器。
13.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述源是至少双谐振源，包括共用同一个产生辐射的晶体(9)的两个腔，所述两个腔包括：
-产生所述第一辐射(3)的可移动腔(7)，和
-产生第二辐射(8)的固定腔(2)。
14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述方法还包括针对所述源的每个探索状态计算随表示所述第一辐射的波长的第一数据项的计算变化的、表示所述第二辐射的波长的第二数据项。
15.一种用于表征光源(1)的设备(10)，所述设备包括：
-计算单元(11)，其被布置和/或编程以便控制源(1)处于哪个状态和/或接收关于源(1)的状态或源(1)的不同探索状态的信息项，所述计算单元(11)被布置和/或编程以便获知常数(b)，
-至少一个传感器(4)，其被布置成接收根据所述源的不同探索状态由所述源产生的第一辐射(3)的至少一部分，每个传感器包括Fabry-Perot标准具(5)，所述Fabry-Perot标准具(5)后接光电二极管(6)，每个传感器被布置成针对所述源的每个探索状态测量随该传感器在所述源的该探索状态下接收的第一辐射的至少一部分变化的信号，
所述计算单元(11)被布置和/或编程，以便根据每个传感器针对所述源的每个探索状态测量的信号来计算表示所述第一辐射的波长的第一数据项，所述计算单元被布置和/或编程以便针对所述源的每个探索状态，从几个可能值中选择所述第一数据项的选定值，所述选择包括消除所述第一数据项的、不对应于常数(b)乘以自由光谱范围的模的值，其中所述自由光谱范围以所述第一数据项的单位表示。
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Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10845251B2 (en) * | 2018-06-28 | 2020-11-24 | Zygo Corporation | Wavemeter using pairs of interferometric optical cavities |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6498800B1 (en) * | 1999-08-10 | 2002-12-24 | Coretek, Inc. | Double etalon optical wavelength reference device |
| US20060215167A1 (en) * | 2003-03-24 | 2006-09-28 | O'gorman Neal | Optical wavelength meter |
| CN101490518A (zh) * | 2006-07-07 | 2009-07-22 | Tir科技公司 | 用于表征光源的设备和方法 |
| CN102159926A (zh) * | 2008-07-25 | 2011-08-17 | 国立科学研究中心 | 具有频率梳和同步方案的干涉仪 |
| CN103067092A (zh) * | 2012-12-28 | 2013-04-24 | 华为技术有限公司 | 多波长光源装置 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4864578A (en) * | 1983-04-12 | 1989-09-05 | Coherent, Inc. | Scannable laser with integral wavemeter |
| JPS6422087A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-25 | Komatsu Mfg Co Ltd | Control equipment for laser wavelength |
| US6088142A (en) * | 1997-03-13 | 2000-07-11 | Oplink Communications, Inc. | System and method for precision wavelength monitoring |
| JP4197816B2 (ja) * | 1999-12-07 | 2008-12-17 | 株式会社小松製作所 | 波長検出装置 |
| US20030035120A1 (en) * | 2001-08-14 | 2003-02-20 | Myatt Christopher J. | Multiple-interferometer device for wavelength measuring and locking |
| JP2003315160A (ja) * | 2002-04-23 | 2003-11-06 | Sun Tec Kk | 偏波無依存型波長モニタ |
| DE602004007432T2 (de) * | 2003-05-23 | 2008-03-13 | Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C., Marlborough | Halbleiterlaser mit externem Resonator enthaltend ein Etalon und Verfahren zur Herstellung desselben |
| GB0405553D0 (en) * | 2004-03-12 | 2004-04-21 | Xyz Imaging Inc | A laser |
| JP4893026B2 (ja) * | 2005-03-03 | 2012-03-07 | 日本電気株式会社 | 波長可変共振器及びこれを用いた波長可変光源並びに多重共振器の波長可変方法 |
| US7982944B2 (en) * | 2007-05-04 | 2011-07-19 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Forderung Der Wissenschaften E.V. | Method and apparatus for optical frequency comb generation using a monolithic micro-resonator |
| WO2013126548A2 (en) * | 2012-02-21 | 2013-08-29 | Massachusetts Institute Of Technology | Spectrometer device |
| WO2017146913A1 (en) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | Michigan Aerospace Corporation | Multi-element fabry-perot etalon interferometer for direct detection lidar |
-
2016
- 2016-07-12 FR FR1656663A patent/FR3054034B1/fr active Active
-
2017
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6498800B1 (en) * | 1999-08-10 | 2002-12-24 | Coretek, Inc. | Double etalon optical wavelength reference device |
| US20060215167A1 (en) * | 2003-03-24 | 2006-09-28 | O'gorman Neal | Optical wavelength meter |
| CN101490518A (zh) * | 2006-07-07 | 2009-07-22 | Tir科技公司 | 用于表征光源的设备和方法 |
| CN102159926A (zh) * | 2008-07-25 | 2011-08-17 | 国立科学研究中心 | 具有频率梳和同步方案的干涉仪 |
| CN103067092A (zh) * | 2012-12-28 | 2013-04-24 | 华为技术有限公司 | 多波长光源装置 |
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