CN109652287B - 一种微控基板及其制作方法和微流控芯片 - Google Patents

一种微控基板及其制作方法和微流控芯片 Download PDF

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Abstract

本发明公开一种微控基板及其制作方法和微流控芯片，涉及基因测序技术领域，以在简化微控基板的结构，提高微控基板的生产良率。所述微控基板包括电极基板以及形成在电极基板表面的介电单元，所述介电单元所含有的介电材料的分子结构具有疏水基团，所述介电单元包括基体层以及设在所述基体层上的多个柱状结构。所述微控基板的制作方法用于制作上述微控基板。本发明提供的微控基板及其制作方法和微流控芯片用于基因测序。

Description

一种微控基板及其制作方法和微流控芯片
技术领域
本发明涉及基因测序技术领域，尤其涉及一种微控基板及其制作方法、基板和微流控芯片。
背景技术
基因测序是一种对目标DNA进行碱基的序列测定，并进行各种相关分析的重要手段，其可使得而研究人员从分子生物学水平上对生物进行研究。
在基因测序过程中经常使用到数字微流控芯片(Digital MicrofluidicBiochip，缩写为DMFB)对基因进行研究分析。现有数字微流控芯片可利用微控基板对测试液体进行控制，以实现对测试液体的检测。然而，如图1所示，现有微控基板100包括层叠设置的电极层112、介电层120’和疏水层130沿着靠近测试液体的方向排布；介电层120’可防止在微控基板100通电过程中被击穿，以使得微控基板100控制测试液体。
制作微控基板100时，在衬底基板111的表面逐次形成电极层112、介电层120’和疏水层130，而如果在电极层112的表面形成介电层120’后，介电层120’远离电极层112的表面附着有硬度较高的异物，硬度较高的异物会刺穿介电层120’，导致介电层120’所具有的介电作用失效，使得微控基板100的生产良率比较低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种微控基板及其制作方法和微流控芯片，以在简化微控基板的结构，提高微控基板的生产良率。
为了实现上述目的，本发明提供一种微控基板，包括电极基板以及形成在电极基板表面的介电单元，所述介电单元所含有的介电材料的分子结构具有疏水基团，所述介电单元包括基体层以及设在所述基体层上的多个柱状结构。
与现有技术相比，本发明提供的微控基板中，介电单元所含有的介电材料的分子结构具有疏水基团，使得介电单元既具有介电功能又具有一定的疏水功能；而介电单元包括基体层以及设在所述基体层上的多个柱状结构，多个柱状结构可增加液体与单位面积的介电单元的接触面积，而液体与单位面积的介电单元的接触面积越大，那么介电单元的疏水性能越好；因此，可控制形成在基板层上设置的柱状结构数量，以使得介电单元满足微控基板对于测试液体的疏水要求，同时微控基板所含有介电单元不仅具有介电性能，而且还具有疏水性能，从而简化微控基板的结构，无需专门在介电单元远离电极基板的表面设置疏水层。
另外，本发明提供的微控基板在制作过程中，无需专门在介电单元远离电极基板的表面形成疏水层，这不仅简化了微控基板的制作工艺，提高了生产效率，而且还降低了异物刺穿介电单元机率，提高了微控基板的生产良率。
本发明还提供了一种微控基板的制作方法，该微控基板的制作方法包括：
提供一电极基板，
在所述电极基板的表面形成介电单元，使得所述介电单元所含有的介电材料的分子结构具有疏水基团，所述介电单元包括基体层以及设在所述基体层上的多个柱状结构。
与现有技术相比，本发明实施例提供的微控基板的制作方法的有益效果与上述微控基板的有益效果相同，在此不做赘述。
本发明还提供了一种微流控芯片，包括相对设置的第一微控基板和第二微控基板，所述第一微控基板和所述第二微控基板均为上述微控基板，所述第一微控基板所包括的介电单元与所述第二微控基板所包括的介电单元之间形成有容纳测试液体的容纳空间。
与现有技术相比，本发明提供的微流控芯片的有益效果与上述微控基板层的有益效果相同，在此不做赘述。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1为现有技术中微控基板的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的微控基板的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的介电单元的剖视图；
图4为本发明实施例中柱状结构的俯视图；
图5为本发明实施例中柱状结构的剖视图；
图6为本发明实施例提供的介电单元的俯视图一；
图7为本发明实施例提供的介电单元的剖视图二；
图8为本发明实施例提供的介电单元的电镜图；
图9为本发明实施例中柱状结构的电镜图；
图10为本发明实施例中粗糙化结构的电镜图；
图11为本发明实施例中气液固三相体系的示意图；
图12为本发明实施例提供的介电单元的制作流程图一；
图13为本发明实施例中模具的结构示意图；
图14为本发明实施例提供的介电单元的制作流程图二；
图15为本发明实施例提供的介电单元的制作流程图三；
图16为本发明实施例提供的介电单元的制作流程图四；
图17为本发明实施例提供的微流控芯片的结构示意图。
附图标记：
100-微控基板， 110-电极基板；
111-衬底基板， 112-电极层；
120’-介电层， 120-介电单元；
121-基体层， 122-柱状结构；
123-粗糙化结构， 130-疏水层；
200-微流控芯片， 210-第一微控基板；
211-第一衬底基板， 212-参考电极层；
213-第一介电单元， 220-第二微控基板；
221-第二衬底基板， 222-驱动电极阵列；
223-第二介电单元， 300-模板；
310-模板主体， 320-微米井结构；
400-液体介电材料， 500-隔离板；
600-压辊， L-左侧液面；
R-右侧液面， O-气液固三相体系。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
基因是指携带有遗传信息的DNA或RNA序列，也称为遗传因子，是控制性状的基本遗传单位。基因通过指导蛋白质的合成来表达自己所携带的遗传信息，从而控制生物个体的性状表现。基因有控制遗传性状和活性调节的功能。基因通过复制把遗传信息传递给下一代，并通过控制酶的合成来控制代谢过程，从而控制生物的个体性状表现。基因还可以通过控制结构蛋白的成分，直接控制生物性状。因此，现代生物学研究过程中经常应用基因测序对基因进行研究和分析。
基因测序是一种新型基因检测技术，能够从血液或唾液中分析测定基因全序列，预测罹患多种疾病的可能性，个体的行为特征及行为合理。基因测序技术能锁定个人病变基因，提前预防和治疗。它可对目标DNA进行碱基的序列测定，并进行各种相关分析，是现代生物学的重要研究手段之一，同时也是推动生物学迅猛发展的重要动力。
在基因测序过程中经常使用到数字微流控芯片(Digital MicrofluidicBiochip，缩写为DMFB)对基因进行研究分析，其凭借试剂用量小、可配置、可并行处理和易实现自动化等优势在生物、医药、化学和检测等领域展现出良好的应用前景。现有数字微流控芯片可利用微控基板对测试液体进行控制，以实现对测试液体的检测。然而，如图1所示，现有微控基板100包括层叠设置的电极层112、介电层120’和疏水层130沿着靠近测试液体的方向排布；介电层120’可防止微控基板100通电过程中被击穿，以保护微控基板100对测试液体进行控制，疏水层是为了使得测试液体与微控基板100之间具有一定的接触角，从而使得微控基板100可控制测试液体运动。
制作微控基板100时，在衬底基板111的表面逐次形成电极层112、介电层120’和疏水层130，而如果在电极层112的表面形成介电层120’后，介电层120’远离电极层112的表面附着有硬度较高的异物，硬度较高的异物会刺穿介电层120’，导致介电层120’所具有的介电作用失效，使得微控基板100无法正常工作。同时，现有微控基板100所包括的疏水层130含有疏水材料具有较低的表面能，使得疏水层与介电层120’的附着力差。
针对上述问题，如图2所示，本发明实施例还提供了一种微控基板100，该微控基板100包括电极基板110以及形成在电极基板表面的介电单元120。该介电单元120包括基体层121和以及设在基体层121上的多个柱状结构122，多个柱状结构122可构成比表面积调节单元，介电单元120所含有的介电材料的分子结构具有疏水基团，该疏水基团一般为烷基、酯基、卤素等中的一种或多种。
可以理解的是，上述微控基板100包括衬底基板111以及形成在衬底基板111表面的电极层112。介电单元120所包括的基体层121形成在电极层远离衬底基板的表面。
制作上述微控基板100的方法多种多样，下面结合附图对本发明实施例提供的微控基板100的制作方法。
示例性的，采用压印的方式在电极基板表面制作介电单元，使得介电单元基体层121设在基体层121上的多个柱状结构122，该介电单元所含有的介电材料的分子结构具有疏水基团。
示例性的，如图2和图16所示，可提供一电极基板110，并在该电极基板110的表面形成介电单元120，即可获得微控基板100；该电极层112可以为面状的参考电极层212，也可以为相互独立的多个电极片组成的驱动电极层222。
基于上述本发明提供的微控基板100的结构和制作过程可知，介电单元120所含有的介电材料的分子结构具有疏水基团，使得介电单元120既具有介电功能又具有一定的疏水功能；而介电单元120包括基体层121以及设在基体层121上的多个柱状结构122，多个柱状结构122可增加液体与单位面积的介电单元120的接触面积，而液体与单位面积的介电单元120的接触面积越大，那么介电单元120的疏水性能越好；因此，可控制形成在基板层121上设置的柱状结构122数量，以使得介电单元120满足微控基板100对于测试液体的疏水要求，同时微控基板100所含有介电单元120不仅具有介电性能，而且还具有疏水性能，从而简化微控基板100的结构，无需专门在介电单元120远离电极基板110的表面设置疏水层130。
另外，本发明提供的微控基板在制作过程中，无需专门在介电单元120远离电极基板110的表面形成疏水层130，这不仅简化了微控基板100的制作工艺，提高了生产效率，而且还降低了异物刺穿介电单元120机率，提高了微控基板100的生产良率。
此外，本发明实施例提供的介电单元120具有介电和疏水两种功能，使得介电单元120可同时作为疏水层和介电层使用，这样就能解决现有微控基板100所包括的疏水层和介电层之间不匹配所产生的附着力差的问题。经测试发现，本发明实施例提供的介电单元120对于水接触角达到135°，其具有良好的疏水性能。
在一些实施例中，为了使得上述微流基板100可控制测试液体运动，上述介电单元120的厚度
Figure GDA0002946602810000061
V为驱动电压，ε0为相对介电常数，ε为介电单元120所含有的介电材料的介电常数，θ0为测试液体在基体层121上的初始接触角(在没有施加电压的情况下测试液体在基体层121上的接触角)，θ为在驱动电压作用下测试液体在基体层121上的接触角，γLG为25℃时测试液体在气液界面的表面张力。
例如：当测试液体为水，介电材料为二甲基硅氧烷时，ε0＝8.854×10-12F/m，ε＝2.8，θ0＝112°，θ＝90°，γLG＝0.07N/m，d＝3.5416*10-10V2。
可以理解的是，上述介电单元120的厚度是指柱状结构的高度和基体层的厚度之和，柱状结构的高度方向与基体层的厚度方向相同。
在一些实施例中，上述介电单元120所含有的介电材料的介电常数可根据实际需要选择，例如：上述介电单元120所含有的介电材料所含有的介电材料的介电常数为2～8，在该范围内，介电单元120既具有较好的疏水性能，又可有效的防止电极层被击穿。例如：上述介电单元120所含有的介电材料所含有的介电材料的介电常数为2～4。
至于上述介电单元120所含有的介电材料多种多样，但不仅限于此。例如：上述介电单元120所含有的介电材料为二甲基硅氧烷、聚甲基丙烯酸甲酯、含氟硅橡胶中的一种或多种。
在一些实施例中，如图2、图3、图8和图9所示，上述介电单元120所包括的多个柱状结构122可构成微纳结构，每个柱状结构122在基体层121所在面的正投影为微米级的正投影，以使得介电单元120的比表面积更大(相对于表面没有柱状结构的介电单元120的比表面积)，因此，本发明实施例提供的微控基板100中，单位面积的介电单元120与测试液体的接触面积更大，而由于介电单元120所含有的介电材料的分子结构具有疏水基团，因此，虽然单位面积的介电单元120具有更多的疏水基团与测试液体相接触，但是介电单元120的疏水性能更好。
可以理解的是，如图2、图3和图11所示，上述介电单元120所含有的介电材料的分子结构具有疏水基团，而介电单元120包括基体层121和多个柱状结构122，这使得基体层121和多个柱状结构122均具有一定的疏水性。如果相邻两个柱状结构122之间存在微量气体，就容易使得测试液体、微量气体与介电单元120所包括的基体层121和柱状结构122之间形成气液固三相体系O，使得上述介电单元120的疏水性能更好。
需要说明的是，如图3、图6和图7所示，上述柱状结构122为广义上的柱状结构122，不仅限于此圆柱状结构，还包括圆台结构、棱台结构或异形结构，但不仅限于此。例如：当上述柱状结构122为圆台结构或棱台结构时，每个柱状结构122靠近基体层121的端面面积大于对应柱状结构122远离基体层121的端面面积。
在一些实施例中，从分布均匀性的角度来说，为了保证上述介电单元120各个部分的疏水性能比较均匀，多个柱状结构122均匀的分布在基体层121的表面。多个柱状结构122均匀分布在基体层121的表面时，一般采用如图6所示的矩阵形式排列或如图7所示的周期性排列。
在一些实施例中，如图2、图3和8所示，从分布密度的角度来说，为了使得介电单元120的疏水性能比较好，以便于上述介电单元120应用于微控基板100时，测试液体比较容易的被微控基板100控制，每平米基体层121的表面形成1×1012～3×1012个的柱状结构122，在这个范围内，本发明实施例提供的介电单元120具有良好的疏水性能，且应用于微控基板100时，可使得微控基板100更好的控制测试液体。例如：每平米基体层121的表面形成1.38×1012个的柱状结构122。
示例性的，如图3所示，每个柱状结构122的径向长度大于相邻两个柱状结构122的轴间距r，使得基体层121表面空间尽量被柱状结构122利用，以减少不必要的空间浪费，这样就可以保证柱状结构122在基体层121表面的分布数量尽量多，从而进一步提高上述介电单元120的疏水性。
示例性的，如图3、图5和图11所示，每个柱状结构122的径向长度小于每个柱状结构122的轴向长度H，以使得相邻两个柱状结构122之间存在微量气体的机率更大，从而更有利于形成上述气液固三相体系O，以进一步提高介电单元120的疏水性能。
具体的，如图3和图5所示，每个柱状结构122为圆台结构，每个柱状结构122远离基体层121的端面定义为上端面，每个柱状结构122相对基体层121的端面为下端面。此时，每个柱状结构122的高度(柱状结构122的轴向长度H)为1μm～5μm，上端面的直径为0.5μm-2μm，相邻两个圆台的轴间距(相邻两个柱状结构的轴间距r)是上端面直径的0.5倍～0.8倍。
在一些实施例中，如图4、图5、图9和图10所示，每个柱状结构122的柱面设有多个粗糙化结构123，其中，粗糙化结构123与柱状结构122可以为一体结构，也可以为分体结构；但无论如何，粗糙化结构123应当含有介电材料，并且介电材料的分子结构具有疏水基团，以使得介电单元具有很低的表面能，这样粗糙化结构123具有一定的疏水性。而粗糙化结构123可增加柱状结构122的比表面积，使得单位面积的介电单元120与测试液体的接触面积进一步提高，从而进一步提高介电单元120的疏水性。
示例性的，如图5所示，多个粗糙化结构123从柱状结构122远离基体层121的一端向柱状结构122靠近基体层121的一端延伸，每个粗糙化结构123沿着柱状结构122的轴向方向的长度Hc小于柱状结构122的轴向长度H，此时沿着柱状结构的轴向方向，柱状结构的表面并不是全部设置有粗糙化结构123，这使得柱状结构远离基体层121的柱面的疏水性比较好，使得柱状结构远离基体层121的柱面与测试液体的接触性比较差；因此，当测试液体开始沿着柱状结构的柱面靠近基体层121时，柱状结构122远离基体层121的柱面可阻止测试液体沿着柱状结构122的柱面向基体层121所在方向移动，这样就减少了柱状结构122靠近基体层121的柱面(柱状结构122的柱面没有形成粗糙化结构123的部分)和基体层121的表面接触测试液体的机率，从而进一步提高介电单元120的疏水性。
同时，如图5和图11所示，如果相邻两个柱状结构122内存在微量气体时，柱状结构122靠近基体层121的柱面(柱状结构122的柱面没有形成粗糙化结构123的部分)和基体层121的表面接触测试液体的机率比较低，也有利于气液固三相体系O的形成。
可选的，如图5所示，当每个粗糙化结构123沿着柱状结构122的轴向方向的长度Hc小于柱状结构122的轴向长度H时，上述每个粗糙化结构123沿着柱状结构122的轴向方向的长度Hc是柱状结构122的轴向长度H的0.06倍～0.1倍，在这个范围内，可有效的提高介电单元120的疏水性。例如：当柱状结构122的轴向长度为1μm～5μm时，粗糙化结构123沿着柱状结构122的轴向方向的长度为100nm-300nm。
可选的，如图4和图5所示，每个粗糙化结构123沿着柱状结构122的径向方向D的长度是柱状结构122的轴向长度H的0.25倍～0.5倍，以避免粗糙化结构123影响柱状结构122的重心，使得柱状结构122的稳定性差。
可选的，如图4、图5、图9和图10所示，沿着柱状结构122的周向方向，多个粗糙化结构123形成在所述柱状结构122的柱面，每个柱状结构122远离基体层121的端面在基体层121的正投影为圆形投影，圆形投影中每微米弧长具有16个～32个的粗糙化结构123在基体层121的正投影；此时，每个柱状结构122不会因为粗糙化结构123过多而出现重心不稳的问题。例如：当圆形投影的直径为0.5μm～2μm时，上述粗糙化结构123的数量为50条-100条。
在一些实施例中，如图10所示，上述至少一个粗糙化结构123为沿着所述柱状结构122的周向设在柱状结构122柱面的凸起；该凸起的具体形式多种多样，例如：该凸起可以是设在柱状结构122柱面上的锥形结构，该锥形结构的尖端沿着柱状结构122的径向方向远离柱状结构122的柱面，该锥形结构的锥底与柱状结构122的柱面结合在一起。
在一些实施例中，如图9所示，上述至少一个粗糙化结构123为沿着柱状结构122的周向开设在柱状结构122柱面上的凹坑。该凹坑的具体形式多种多样，例如：该凹坑可以是开设在柱状结构122的柱面上的导槽，该导槽从柱状结构122的柱面远离基体层121的一端开始向柱状结构122靠近基体层121的一端延伸。进一步，该导槽沿着柱状结构122的轴向方向的长度小于柱状结构122的轴向长度，具体效果可参见前文对于粗糙化结构123的效果描述。
如图2～图11所示，本发明实施例还提供了一种微控基板100的制作方法，该微控基板100的制作方法包括：
提供一电极基板110，在电极基板110的表面形成介电单元120，使得介电单元120所含有的介电材料的分子结构具有疏水基团，介电单元120包括基体层121以及设在基体层121上的多个柱状结构122。
与现有技术相比，本发明实施例提供的微控基板100的制作方法的有益效果与上述微控基板100的有益效果相同，在此不做赘述。
如图2、图12～图14所示，上述提供一电极基板110，在电极基板110的表面形成介电单元120包括：
步骤S100：采用压印的方式压印液体介电材料400；
步骤S200：将压印后的液体介电材料400进行固化，获得形成在电极基板110表面的介电单元120。
具体的，如图2、图12、图13和图15所示，上述提供一电极基板，在所述电极基板的表面形成介电单元120包括：
步骤S110：提供一模板300，该模板300的制作方法比较多，如：可以采用也可以采用电子束曝光的方式制作而成。该模板300包括模板主体310以及开设在模板主体310上的多个微米井结构320，沿着微米井结构320的内侧壁的周向方向，微米井结构320的内侧壁设有多个凸起母版或多个凹坑母版。凸起母版是设在微米井结构的内侧壁上的凹坑，凹坑母版是设在微米井结构的内侧壁上的凸起。
步骤S120：在模板主体310的表面和多个微米井结构320内形成液体介电材料400。
步骤S210：将模板主体310的表面所形成的液体介电材料400和多个微米井结构内所形成的液体介电材料400进行固化，获得与模板主体310的表面和多个微米井结构的内壁贴覆在一起的介电单元120。固化方法由液体介电材料400的性质决定，例如：当液体介电材料400为二甲基硅氧烷，固化方法可选择紫外光固化方法。
步骤S220：将介电单元120从模板主体的表面和多个微米井结构的内壁剥离。
具体的，如图2、图12、图13和图16所示，在基板的表面和多个微米井结构内形成液体介电材料400包括：
步骤S121：在模板主体310的表面涂覆液体介电材料；
步骤S122：提供一电极基板110，在模板主体涂覆液体介电材料400的表面上方设置作为隔离板500的电极基板110，电极基板110包括层叠在一起的衬底基板111和电极层112，电极层112与模板主体涂覆液体介电材料的表面相对。
步骤S123：利用压辊600按压隔离板500，使得模板主体的表面涂覆的液体介电材料400在隔离板500的作用下进入多个微米井结构内。
由上可知，当电极基板110作为隔离板500使用时，电极基板110可隔离压辊600与液体介电材料400，以防止压辊600与液体介电材料400直接接触所导致的液体压印材料的污染，而且在获得与模板主体的表面和多个微米井结构的内壁贴覆在一起的介电单元120后，无需去除隔离板500，将介电单元120直接从模板主体的表面和多个微米井结构的内壁剥离，所获得的结构即为微控基板100，可见，当电极基板110作为隔离板500使用时，可简化微控基板100的制作过程。
如图17所示，本发明实施例还提供了一种微流控芯片200，该微流控芯片200包括相对设置的第一微控基板210和第二微控基板220，第一微控基板210和第二微控基板220均为上述实施例所提供的微控基板100。第一介电单元213与第二介电单元223之间形成有容纳测试液体的容纳空间；
与现有技术相比，本发明提供的微流控芯片的有益效果与上述微控基板的有益效果相同，在此不做赘述。
其中，如图17所示，第一微控基板210包括第一衬底基板211、参考电极层212以及形成在参考电极层212表面的第一介电单元213，参考电极层212为面状电极。第二微控基板220包括第二衬底基板221外，还包括驱动电极阵列222以及形成在驱动电极阵列222表面的第二介电单元223。
在具体实施时，向参考电极层212提供参考电压，向驱动电极阵列222所包括的多个驱动电极提供驱动电压，各个驱动电极的电压大小根据实际情况控制，以使得测试液滴(即测试液体)的液面的左侧位置和右侧位置具有不同的接触角，从而控制测试液滴在第一微控基板210和第二微控基板220之间的容纳空间滚动。具体而言，对于一个测试液滴来说，将测试液滴的液面按照方位划分为左侧液面L和右侧液面R，利用驱动电极分别控制测试液滴与第一微控基板210或第二微控基板220的表面的接触角减小，由于接触角变化的滞后性，使得测试液滴在第一微控基板210或第二微控基板220的表面滚动。例如：右侧液面B垂直于第一微控基板210或第二微控基板220的方向的液面曲率半径增加时，左侧液面L垂直于第一微控基板210或第二微控基板220的方向的液面曲率半径还没有发生变化，此时左侧液面L垂直于第一微控基板210或第二微控基板220的方向的液面曲率半径与右侧液面R垂直于第一微控基板210或第二微控基板220的方向的左侧液面L曲率半径不同，这样就可以使得第一微控基板210或第二微控基板220对右侧液面R的附加压强减小，而第一微控基板210或第二微控基板220对右侧液面R的附加压强没有变化，这样就能够使得测试液滴在第一微控基板210或第二微控基板220的表面滚动。
与现有技术相比，本发明实施例提供的微流控芯片200的有益效果与上述微控基板100的有益效果相同，在此不做赘述。
在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种微控基板，其特征在于，包括电极基板以及形成在电极基板表面的介电单元，所述介电单元所含有的介电材料的分子结构具有疏水基团，所述介电单元包括基体层以及设在所述基体层上的多个柱状结构；
所述介电单元还包括设在每个柱状结构柱面的多个粗糙化结构，多个粗糙化结构从所述柱状结构远离基体层的一端向所述柱状结构靠近基体层的一端延伸，每个所述粗糙化结构沿着所述柱状结构的轴向方向的长度小于对应柱状结构的轴向长度；
沿着所述柱状结构的周向方向，多个所述粗糙化结构形成在所述柱状结构的柱面，所述粗糙化结构含有所述介电材料；
所述介电单元的厚度
Figure FDA0002946602800000011
V为驱动电压，ε0为相对介电常数，ε为介电单元所含有的介电材料的介电常数，θ0为测试液体在基体层上的初始接触角，θ为在驱动电压作用下测试液体在基体层上的接触角，γLG为25℃时测试液体在气液界面的表面张力。
2.根据权利要求1所述的微控基板，其特征在于，
每个所述粗糙化结构沿着所述柱状结构的轴向方向的长度是所述柱状结构的轴向长度的0.06倍～0.1倍；和/或，
每个所述粗糙化结构沿着所述柱状结构的径向方向的长度是所述柱状结构的轴向长度的0.25倍～0.5倍。
3.根据权利要求1所述的微控基板，其特征在于，每个柱状结构远离基体层的端面在基体层的正投影为圆形投影，所述圆形投影中每微米弧长具有16个～32个的粗糙化结构在基体层的正投影。
4.根据权利要求1所述的微控基板，其特征在于，
至少一个所述粗糙化结构为沿着所述柱状结构的周向设在柱状结构柱面的凸起；和/或，
至少一个所述粗糙化结构为沿着所述柱状结构的周向开设在所述柱状结构柱面上的凹坑。
5.根据权利要求1所述的微控基板，其特征在于，
每个所述柱状结构在基体层所在面的正投影为微米级的正投影；和/或，
多个所述柱状结构均匀的分布在所述基体层的表面；和/或，
每平米所述基体层的表面形成1×1012～3×1012个的柱状结构；和/或，
每个所述柱状结构的径向长度大于相邻两个柱状结构的轴间距；和/或，
每个所述柱状结构的径向长度小于每个柱状结构的轴向长度；和/或，
每个所述柱状结构靠近基体层的端面面积大于对应柱状结构远离基体层的端面面积。
6.根据权利要求1～5任一项所述的微控基板，其特征在于，所述介电单元所含有的介电材料的介电常数为2～8。
7.一种微控基板的制作方法，其特征在于，包括：
提供一电极基板，在所述电极基板的表面形成介电单元，使得所述介电单元所含有的介电材料的分子结构具有疏水基团，所述介电单元包括基体层以及设在所述基体层上的多个柱状结构；
所述介电单元还包括设在每个柱状结构柱面的多个粗糙化结构，多个粗糙化结构从所述柱状结构远离基体层的一端向所述柱状结构靠近基体层的一端延伸，每个所述粗糙化结构沿着所述柱状结构的轴向方向的长度小于对应柱状结构的轴向长度；
沿着所述柱状结构的周向方向，多个所述粗糙化结构形成在所述柱状结构的柱面，所述粗糙化结构含有所述介电材料；
所述介电单元的厚度
Figure FDA0002946602800000021
V为驱动电压，ε0为相对介电常数，ε为介电单元所含有的介电材料的介电常数，θ0为测试液体在基体层上的初始接触角，θ为在驱动电压作用下测试液体在基体层上的接触角，γLG为25℃时测试液体在气液界面的表面张力。
8.根据权利要求7所述的微控基板的制作方法，其特征在于，所述提供一电极基板，在所述电极基板的表面形成介电单元包括：
提供一模板，所述模板包括模板主体以及开设在所述模板主体上的多个微米井结构，沿着所述微米井结构的内侧壁的周向方向，所述微米井结构的内侧壁设有多个凸起母版或多个凹坑母版；
在所述模板主体的表面和多个所述微米井结构内形成液体介电材料；
将所述模板主体的表面所形成的液体介电材料和多个所述微米井结构内所形成的液体介电材料进行固化，获得与所述模板主体的表面和多个所述微米井结构的内壁贴覆在一起的介电单元；
将所述介电单元从所述模板主体的表面和多个所述微米井结构的内壁剥离。
9.根据权利要求8所述的微控基板的制作方法，其特征在于，所述在所述模板主体的表面和多个所述微米井结构内形成液体介电材料包括：
在所述模板主体的表面涂覆液体介电材料；
提供一电极基板，在所述模板主体涂覆液体介电材料的表面上方设置作为隔离板的电极基板，所述电极基板包括层叠在一起的衬底基板和电极层，所述电极层与所述模板主体涂覆液体介电材料的表面相对；
利用压辊按压所述隔离板，使得所述模板主体的表面涂覆的液体介电材料在所述隔离板的作用下进入多个所述微米井结构内。
10.一种微流控芯片，其特征在于，包括相对设置的第一微控基板和第二微控基板，所述第一微控基板和所述第二微控基板均为权利要求1～6任一项所述微控基板，所述第一微控基板所包括的介电单元与所述第二微控基板所包括的介电单元之间形成有容纳测试液体的容纳空间。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102707707B1 (ko) * 2018-03-02 2024-09-19 내셔날 리서치 카운실 오브 캐나다 중합체 미세 유체 밸브
CN109652287B (zh) * 2019-01-03 2021-04-30 京东方科技集团股份有限公司 一种微控基板及其制作方法和微流控芯片
WO2021174471A1 (en) * 2020-03-05 2021-09-10 Boe Technology Group Co., Ltd. Microfluidic chip and fabricating method thereof

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7595883B1 (en) * 2002-09-16 2009-09-29 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Biological analysis arrangement and approach therefor
FR2890875B1 (fr) * 2005-09-22 2008-02-22 Commissariat Energie Atomique Fabrication d'un systeme diphasique liquide/liquide ou gaz en micro-fluidique
US20070225800A1 (en) * 2006-03-24 2007-09-27 Sahatjian Ronald A Methods and devices having electrically actuatable surfaces
ES2639183T3 (es) * 2007-09-19 2017-10-25 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Estructuras microfluídicas con sección transversal circular
US8514474B2 (en) * 2011-08-30 2013-08-20 Delta Electronics, Inc. Three-dimensional display device
CN102500436A (zh) * 2011-09-28 2012-06-20 复旦大学 基于电润湿的单面二维驱动数字微流控芯片
JP6030153B2 (ja) * 2013-01-17 2016-11-24 株式会社日立ハイテクノロジーズ 生体分子計測装置
CN104388299B (zh) * 2014-10-30 2016-03-16 东南大学 一种用于细胞捕获的微流控芯片
JP6622811B2 (ja) * 2014-12-31 2019-12-18 アボット・ラボラトリーズＡｂｂｏｔｔ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓ デジタルマイクロ流体希釈装置、システムおよび関連方法
CN105505742A (zh) * 2015-12-25 2016-04-20 中国科学院深圳先进技术研究院 一种液滴阵列芯片及其制备方法
CN106291911B (zh) * 2016-08-10 2019-06-11 华南师范大学 复合层结构的疏水性介电层、其制备方法和电润湿器件
CN106540762B (zh) * 2016-11-09 2018-05-25 太原理工大学 一种常温下聚苯乙烯微流控芯片的制备方法
CN106770294B (zh) * 2016-12-26 2019-04-16 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种离心式微流控芯片、制作方法及其应用方法
CN107754962B (zh) * 2017-11-22 2020-09-18 南方科技大学 一种数字微流控液滴驱动装置及驱动方法
CN109092379B (zh) * 2018-09-05 2024-04-16 仲恺农业工程学院 微流反应芯片及其液滴定位控制系统和控制方法
CN109652287B (zh) * 2019-01-03 2021-04-30 京东方科技集团股份有限公司 一种微控基板及其制作方法和微流控芯片

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