CN109641186B - 电阻率值调整装置和电阻率值调整方法 - Google Patents

电阻率值调整装置和电阻率值调整方法 Download PDF

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Abstract

具备：中空纤维膜组件(2)；组件经由管(5)，其经由中空纤维膜组件(2)；旁通管(6)，其旁通绕过中空纤维膜组件(2)；液体排出管(7)，其经由汇合部(14)与组件经由管(5)和旁通管(6)连通，该汇合部(14)使组件经由管(5)和旁通管(6)在中空纤维膜组件(2)的下游侧汇合；第一流量检测部(8)，其对在液体供给管(4)和液体排出管(7)中任一者流动的液体(L)的第一流量进行检测；控制阀(9)，其用于开闭组件经由管(5)；以及控制部(10)，其根据由第一流量检测部(8)检测到的第一流量设定控制阀(9)的开度。

Description

电阻率值调整装置和电阻率值调整方法
技术领域
本发明涉及一种调整液体的电阻率值的电阻率值调整装置和电阻率值调整方法。
背景技术
在半导体或液晶的制造工序中，使用超纯水而清洗基板。在该情况下，若超纯水的电阻率值较高，则产生静电。由此，介质击穿，或微粒子再附着，而给产品成品率明显带来不良影响。为了解决这样的问题，提出了使用了疏水性的中空纤维膜组件的方法。在该方法中，使用中空纤维膜组件而使二氧化碳或氨气等气体溶解于超纯水中。于是，由于离解平衡而产生离子，由于所产生的该离子，超纯水的电阻率值降低。
另外，在基板的清洗、切割等工序中，超纯水的流动变动激烈。因此，在专利文献1和2中，提出了即使流量变动、也使电阻率值稳定的技术。在专利文献1所记载的技术中，设置：中空纤维膜组件，其生成小流量的气体附加超纯水；以及旁通管路，其使大流量的超纯水通过。并且，所生成的气体附加超纯水和通过了旁通管路的超纯水汇合。由此，能够容易地调整超纯水的电阻率值。然而，在专利文献1所记载的技术中，存在如下情况：若超纯水成为低流量，则向中空纤维膜组件供给的超纯水的流量相对于旁通绕过中空纤维膜组件的超纯水的流量降低，因此，超纯水的电阻率值上升。因此，在专利文献2所记载的技术中，设置多个旁通管路，在1个或多个旁通管路设置截止阀。并且，若超纯水的流量降低，则启动一部分或全部的截止阀。由此，即使超纯水成为低流量，也能够抑制向中空纤维膜组件供给的超纯水的流量相对于旁通绕过中空纤维膜组件的超纯水的流量降低，因此，能够抑制超纯水的电阻率值上升。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特许第3951385号公报
专利文献2：日本特开2012-223725号公报
发明内容
发明要解决的问题
然而，在专利文献2所记载的技术中，存在如下问题：需要设置多个旁通配管，因此，规模变大。
因此，本发明的目的在于提供一种能够抑制规模扩大、同时即使液体成为低流量、也抑制液体的电阻率值上升的电阻率值调整装置和电阻率值调整方法。
用于解决问题的方案
本发明的一方面的电阻率值调整装置具备：中空纤维膜组件，其被中空纤维膜分隔成被供给液体的液相侧区域和被供给用于调整液体的电阻率值的调整气体的气相侧区域，使透过了中空纤维膜的调整气体溶解于液体而生成在液体中溶解有调整气体的调整气体附加液体；气体供给管，其向中空纤维膜组件供给调整气体；液体供给管，其用于供给液体；组件经由管，其经由使液体供给管分支的分支部而与液体供给管连通，经由中空纤维膜组件；旁通管，其经由分支部而与液体供给管连通，旁通绕过中空纤维膜组件；液体排出管，其经由汇合部与组件经由管和旁通管连通，该汇合部使组件经由管和旁通管在中空纤维膜组件的下游侧汇合；第一流量检测部，其用于检测向液体供给管供给的液体的第一流量；控制阀，其用于开闭组件经由管；以及控制部，其根据由第一流量检测部检测到的第一流量设定控制阀的开度。
在本发明的一方面的电阻率值调整装置中，供给到液体供给管的液体被分支部分配为向中空纤维膜组件供给的液体和旁通绕过中空纤维膜组件的液体。在中空纤维膜组件中，透过了中空纤维膜的调整气体溶解于液体，而生成在液体中溶解有调整气体的调整气体附加液体。在中空纤维膜组件中生成的调整气体附加液体和旁通绕过了中空纤维膜组件的液体在汇合部处汇合而成为电阻率值调整液体，被向液体排出管排出。
并且，根据向液体供给供给的液体的第一流量设定用于开闭组件经由管的控制阀的开度。因此，在向液体供给管供给的液体成为小流量的情况下，通过增大控制阀的开度，能够增大向中空纤维膜组件供给的液体的流量。也就是说，即使液体成为低流量，也能够抑制向中空纤维膜组件供给的液体的流量与旁通绕过中空纤维膜组件的液体的流量之间的分配比率改变。由此，抑制规模扩大，同时，即使液体成为低流量，也能够抑制液体的电阻率值上升。
而且，在变更向液体供给管供给的液体的第一流量的情况下，根据变更后的第一流量设定控制阀的开度，因此，能够抑制与第一流量的变更相伴的液体的电阻率值的变动。尤其是，在使向液体供给管供给的液体的第一流量减小地变更了该第一流量的情况下，液体难以向中空纤维膜组件供给，在该情况下，也能够抑制液体的电阻率值随着第一流量的变更而上升。
作为一技术方案，也可以是，组件经由管具备：供给侧组件经由管，其配置于中空纤维膜组件的上游侧，用于向中空纤维膜组件供给液体；以及排出侧组件经由管，其配置于中空纤维膜组件的下游侧，调整气体附加液体从中空纤维膜组件向所述排出侧组件经由管排出，控制部安装于排出侧组件经由管而对排出侧组件经由管进行开闭。在控制阀的压力损失较大的情况下，若将控制阀安装于供给侧组件经由管，则在中空纤维膜组件中，存在液体的液压相对于调整气体的气压过小而产生发泡的可能性。因此，在该电阻率值调整装置中，通过将控制阀安装于排出侧组件经由管，即使是控制阀的压力损失较大的情况下，也能够抑制在中空纤维膜组件中产生发泡。
作为一技术方案，也可以是，第一流量检测部检测在液体排出管流动的液体的流量。向液体供给管供给的液体的流量和在液体排出管流动的电阻率值调整液体的流量相同，因此，第一流量检测部可以检测在液体供给管流动的液体的流量和在液体排出管流动的电阻率值调整液体的流量中任一者作为第一流量。然而，控制阀所安装的排出侧组件经由管配置于距液体排出管比距液体供给管近的位置。因此，在该电阻率值调整装置中，通过第一流量检测部检测在该液体排出管流动的液体的流量作为第一流量，能够缩小将第一流量检测部和控制阀连接的配线的规模。
作为一技术方案，也可以是，还具备用于检测在组件经由管流动的液体的第二流量的第二流量检测部，控制部根据由第二流量检测部检测到的第二流量校正开度。在该电阻率值调整装置中，第二流量检测部检测在组件经由管流动的液体的第二流量，控制部根据由第二流量检测部检测到的第二流量校正开度，因此，即使液体成为低流量，也能够进一步抑制向中空纤维膜组件供给的液体的流量与旁通绕过中空纤维膜组件的液体的流量之间的分配比率改变。
作为一技术方案，也可以是，控制部在第一流量是设定流量以下的情况下，与第一流量大于设定流量的情况相比，增大开度。若向液体供给管供给的液体成为低流量而第一流量成为设定流量以下，则与第一流量大于设定流量的情况相比，液体难以向中空纤维膜组件供给。因此，在该电阻率值调整装置中，在第一流量是设定流量以下的情况下，与第一流量大于设定流量的情况相比，增大控制阀的开度而增大向中空纤维膜组件供给的液体的流量。由此，即使第一流量成为设定流量以下，也能够抑制向中空纤维膜组件供给的液体的流量与旁通绕过中空纤维膜组件的液体的流量之间的分配比率改变。
作为一技术方案，也可以是，在第一流量是设定流量以下的情况下，第一流量越小，控制部越增大开度。若向液体供给管供给的液体成为低流量而第一流量成为设定流量以下，则第一流量越小，液体越难以向中空纤维膜组件供给。因此，在该电阻率值调整装置中，在第一流量是设定流量以下的情况下，第一流量越小，越是增大控制阀的开度而增大向中空纤维膜组件供给的液体的流量。由此，即使第一流量成为设定流量以下，也能够进一步抑制向中空纤维膜组件供给的液体的流量与旁通绕过中空纤维膜组件的液体的流量之间的分配比率改变。
作为一技术方案，也可以是，在第一流量比设定流量大的情况下，第一流量越小，控制部越增大开度。在第一流量比设定流量大的情况下，也存在第一流量越小、液体越难以向中空纤维膜组件供给的倾向。因此，在该电阻率值调整装置中，在第一流量比设定流量大的情况下，第一流量越小，越是增大控制阀的开度而增大向中空纤维膜组件供给的液体的流量。由此，在第一流量比设定流量大的情况下，也能够抑制向中空纤维膜组件供给的液体的流量与旁通绕过中空纤维膜组件的液体的流量之间的分配比率改变。
作为一技术方案，也可以是，控制部在第一流量是设定流量以下的情况下，与第一流量大于设定流量的情况相比，增大开度的变化量相对于第一流量的变化量的比例。对于第一流量越小、液体越难以向中空纤维膜组件供给的倾向，第一流量越成为设定流量以下，该倾向越大。因此，在该电阻率值调整装置中，在第一流量是设定流量以下的情况下，与第一流量大于设定流量的情况相比，增大控制阀的开度的变化量相对于第一流量的变化量的比例。由此，能够进一步抑制向中空纤维膜组件供给的液体的流量与旁通绕过中空纤维膜组件的液体的流量之间的分配比率改变。
作为一技术方案，也可以是，调整气体附加液体是调整气体以饱和状态溶解到液体而成的调整气体饱和液体。在该电阻率值调整装置中，利用中空纤维膜组件生成调整气体以饱和状态溶解到液体而成的调整气体饱和液体作为调整气体附加液体。由此，仅凭调整向中空纤维膜组件供给的液体的流量与旁通绕过中空纤维膜组件的液体的流量之间的分配比率，就能够高精度地调整液体的电阻率值。
本发明的一方面的电阻率值调整方法是使用中空纤维膜组件而对液体的电阻率值进行调整的电阻率值调整方法，该中空纤维膜组件被中空纤维膜分隔成被供给液体的液相侧区域和被供给用于调整液体的电阻率值的调整气体的气相侧区域，使透过了中空纤维膜的调整气体溶解于液体而生成在液体中溶解有调整气体的调整气体附加液体，在该电阻率值调整方法中，向液体供给管供给液体，使供给到液体供给管的液体向经由中空纤维膜组件的组件经由管和旁通绕过中空纤维膜组件的旁通管分支，向中空纤维膜组件供给调整气体，在中空纤维膜组件中生成在液体中以饱和状态溶解有调整气体的调整气体附加液体，使在中空纤维膜组件中生成的调整气体附加液体和旁通绕过了中空纤维膜组件的液体汇合，向液体排出管排出，根据向液体供给管供给的液体的第一流量设定用于开闭组件经由管的控制阀的开度。
在本发明的一方面的电阻率值调整方法中，生成在液体中以饱和状态溶解有调整气体的调整气体附加液体，使在中空纤维膜组件中生成的调整气体附加液体和旁通绕过了中空纤维膜组件的液体汇合，从而能够容易地调整液体的电阻率值。
并且，根据向液体供给管供给的液体的第一流量设定控制阀的开度，因此，在向液体供给管供给的液体成为小流量的情况下，能够增大控制阀的开度而增大向中空纤维膜组件供给的液体的流量。也就是说，即使向液体供给管供给的液体成为低流量，也能够抑制向中空纤维膜组件供给的液体的流量与旁通绕过中空纤维膜组件的液体的流量之间的分配比率改变。由此，抑制规模扩大，同时，即使向液体供给管供给的液体成为低流量，也能够抑制液体的电阻率值上升。
而且，在变更向液体供给管供给的液体的第一流量的情况下，根据变更后的第一流量设定控制阀的开度，因此，能够抑制与第一流量的变更相伴的液体的电阻率值的变动。尤其是，在使向液体供给管供给的液体的第一流量减小地变更了该第一流量的情况下，液体难以向中空纤维膜组件供给，在该情况下，也能够抑制液体的电阻率值随着第一流量的变更而上升。
作为一技术方案，也可以是，在第一流量是设定流量以下的情况下，与第一流量大于设定流量的情况相比，增大开度。若向液体供给管供给的液体成为低流量而第一流量成为设定流量以下，则与第一流量大于设定流量的情况相比，液体难以向中空纤维膜组件供给。因此，在该电阻率值调整方法中，在第一流量是设定流量以下的情况下，与第一流量大于设定流量的情况相比，增大控制阀的开度而增大向中空纤维膜组件供给的液体的流量。由此，即使第一流量成为设定流量以下，也能够抑制向中空纤维膜组件供给的液体的流量与旁通绕过中空纤维膜组件的液体的流量之间的分配比率改变。
发明的效果
根据本发明，抑制规模扩大，同时，即使液体成为低流量，也能够抑制液体的电阻率值上升。
附图说明
图1是第一实施方式的电阻率值调整装置的示意图。
图2是表示表格的一个例子的图，该表格表示第一流量与控制阀的开度之间的关系。
图3是第二实施方式的电阻率值调整装置的示意图。
图4是比较例的汇合装置的示意图。
图5是表示实施例1和比较例1的测量结果的图。
图6是表示实施例2和比较例2的测量结果的图。
图7是表示实施例3和比较例3的测量结果的图。
图8是表示实施例4的测量结果的图，图8的(a)是表示经过时间与电阻率值之间的关系的图，图8的(b)是表示经过时间与流量之间的关系的图。
图9是表示比较例4的测量结果的图，图9的(a)是表示经过时间与电阻率值之间的关系的图，图9的(b)是表示经过时间与流量之间的关系的图。
图10是表示实施例5的测量结果的图，图10的(a)是表示经过时间与电阻率值之间的关系的图，图10的(b)是表示经过时间与流量之间的关系的图。
图11是表示比较例5的测量结果的图，图11的(a)是表示经过时间与电阻率值之间的关系的图，图11的(b)是表示经过时间与流量之间的关系的图。
图12是表示实施例6的测量结果的图，图12的(a)是表示经过时间与电阻率值之间的关系的图，图12的(b)是表示经过时间与流量之间的关系的图。
图13是表示比较例6的测量结果的图，图13的(a)是表示经过时间与电阻率值之间的关系的图，图13的(b)是表示经过时间与流量之间的关系的图。
具体实施方式
以下，参照附图，详细地说明实施方式的电阻率值调整装置和电阻率值调整方法。此外，在所有图中，对相同或相当部分标注相同附图标记，省略重复的说明。
(第一实施方式)
图1是第一实施方式的电阻率值调整装置的示意图。如图1所示，本实施方式的电阻率值调整装置1具备中空纤维膜组件2、气体供给管3、液体供给管4、组件经由管5、旁通管6、液体排出管7、第一流量检测部8、控制阀9、以及控制部10。
中空纤维膜组件2使用于调整液体L的电阻率值的调整气体G溶解于作为电阻率值的调整对象的液体L。用作液体L的液体并没有特别限定，能够设为例如用于清洗半导体、液晶等的超纯水。通常，超纯水的电阻率值处于17.5[MΩ·cm]以上至18.2[MΩ·cm]的范围内。也用作调整气体G的气体并没有特别限定，能够设为例如二氧化碳或氨气。中空纤维膜组件2具备多根中空纤维膜21和在内部收纳这些中空纤维膜21的外壳22。
中空纤维膜21是气体透过但液体不透过的中空纤维状的膜。中空纤维膜21的原材料、膜形状、膜形态等并没有特别限制。外壳22是在内部收纳中空纤维膜21的密闭容器。
中空纤维膜组件2的外壳22内的区域被中空纤维膜21分隔成液相侧区域和气相侧区域。液相侧区域是中空纤维膜组件2的外壳22内的区域的、被供给液体L的区域。气相侧区域是中空纤维膜组件2的外壳22内的区域的、被供给调整气体G的区域。作为中空纤维膜组件2的种类，有内部灌流型和外部灌流型。在本实施方式中，可以是内部灌流型和外部灌流型中任一者。在外部灌流型的中空纤维膜组件2中，中空纤维膜21的内侧(内表面侧)成为气相侧区域，中空纤维膜21的外侧(外表面侧)成为液相侧区域。在内部灌流型的中空纤维膜组件2中，中空纤维膜21的内侧(内表面侧)成为液相侧区域，中空纤维膜21的外侧(外表面侧)成为气相侧区域。并且，中空纤维膜组件2使透过了中空纤维膜21的调整气体G溶解于液体L而生成在液体L中溶解有调整气体G的调整气体附加液体L1。此时，优选的是，例如，将向中空纤维膜组件2供给的调整气体G的气压设为恒定，对向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量进行调整，从而生成在液体L中以饱和状态溶解有调整气体G的调整气体饱和液体作为调整气体附加液体L1。此外，向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量能够由控制阀9调整。
在外壳22形成有气体供给口23、液体供给口24以及液体排出口25。气体供给口23是为了向气相侧区域供给调整气体G而在外壳22形成的开口。液体供给口24是为了向液相侧区域供给液体L而在外壳22形成的开口。液体排出口25是为了从液相侧区域排出调整气体附加液体L1而在外壳22形成的开口。因此，气体供给口23与气相侧区域连通，液体供给口24和液体排出口25与液相侧区域连通。气体供给口23、液体供给口24以及液体排出口25的位置并没有特别限定。
气体供给管3是在内周侧形成有流路的管状的构件。气体供给管3与气体供给口23连接。气体供给管3与中空纤维膜组件2的气相侧区域连通，向中空纤维膜组件2的气相侧区域供给调整气体G。气体供给管3的原材料、特性(硬度、弹性等)、形状、尺寸等并没有特别限定。
在气体供给管3连接有压力调整阀11和压力计12。压力调整阀11对在气体供给管3流动的调整气体G的气压进行调整。也就是说，气相侧区域中的调整气体G的气压由压力调整阀11调整。作为压力调整阀11，能够采用众所周知的各种压力调整阀。压力计12对在气体供给管3流动的调整气体G的气压进行测量。压力计12与气体供给管3中的压力计12的下游侧、即气体供给管3中的压力计12的气相侧区域侧连接。作为压力计12，能够采用众所周知的各种压力计，能够采用例如隔膜阀。并且，用于控制电阻率值调整装置1的控制部(未图示)基于由压力计12所测量的调整气体G的气压对压力调整阀11进行控制，以使在气体供给管3流动的调整气体G的气压、即气相侧区域中的调整气体G的气压成为预定值(或处于预定范围内)。
此外，在本实施方式中，作为调整气体G未从中空纤维膜组件2的气相侧区域排出的实施方式进行说明，但也可以设为调整气体G从中空纤维膜组件2的气相侧区域排出的实施方式。在该情况下，在中空纤维膜组件2的外壳22形成作为用于从气相侧区域排出调整气体G的开口的气体排出口(未图示)。并且，从中空纤维膜组件2的气相侧区域排出调整气体G的气体排出管(未图示)与该气体排出口连接。气体排出管是在内周侧形成有流路的管状的构件。
液体供给管4是在内周侧形成有流路的管状的构件。向电阻率值调整装置1供给的液体L的总量向液体供给管4供给。液体供给管4被分支部13分支成组件经由管5和旁通管6。也就是说，在分支部13的上游侧连接有液体供给管4，在分支部13的下游侧连接有组件经由管5和旁通管6。并且，分支部13使在液体供给管4流动的液体L向组件经由管5和旁通管6分支而排出。
组件经由管5是在内周侧形成有流路的管状的构件。组件经由管5经由分支部13与液体供给管4连通。组件经由管5经由中空纤维膜组件2。也就是说，在组件经由管5的中途连接有中空纤维膜组件2。因此，组件经由管5具备：供给侧组件经由管5A，其将液体L向中空纤维膜组件2供给；以及排出侧组件经由管5B，调整气体附加液体L1从中空纤维膜组件2向排出侧组件经由管5B排出。
供给侧组件经由管5A配置于中空纤维膜组件2的上游侧，与中空纤维膜组件2的液体供给口24连接。供给侧组件经由管5A与中空纤维膜组件2的液相侧区域连通，向中空纤维膜组件2的液相区域供给液体L。供给侧组件经由管5A的原材料、特性(硬度、弹性等)、形状、尺寸等并没有特别限定。
排出侧组件经由管5B配置于中空纤维膜组件2的下游侧，与中空纤维膜组件2的液体排出口25连接。排出侧组件经由管5B与中空纤维膜组件2的液相侧区域连通，调整气体附加液体L1从中空纤维膜组件2的液相侧区域向排出侧组件经由管5B排出。排出侧组件经由管5B的原材料、特性(硬度、弹性等)、形状、尺寸等并没有特别限定。
旁通管6是在内周侧形成有流路的管状的构件。旁通管6经由分支部13而与液体供给管4连通。旁通管6旁通绕过中空纤维膜组件2。因此，在旁通管6流动的液体L不向中空纤维膜组件2供给，旁通绕过中空纤维膜组件2。旁通管6利用汇合部14而与组件经由管5的排出侧组件经由管5B汇合。
在汇合部14的上游侧连接有排出侧组件经由管5B和旁通管6，在汇合部14的下游侧连接有液体排出管7。并且，汇合部14使在排出侧组件经由管5B流动的调整气体附加液体L1和在旁通管6流动的液体L在中空纤维膜组件2的下游侧汇合。并且，汇合部14将液体L和调整气体附加液体L1汇合而成的电阻率值调整液体L2向液体排出管7排出。
液体排出管7是在内周侧形成有流路的管状的构件。液体排出管7与汇合部14连接，液体排出管7经由汇合部14而与排出侧组件经由管5B和旁通管6连通，电阻率值调整液体L2从汇合部14向液体排出管7排出。液体排出管7的原材料、特性(硬度、弹性等)、形状、尺寸等并没有特别限定。
第一流量检测部8将向液体供给管4供给的液体L的流量检测为第一流量。在此，向液体供给管4供给的液体L在分支部13处向供给侧组件经由管5A和旁通管6分支，进而在汇合部14处汇合。因此，在液体排出管7流动的电阻率值调整液体L2的流量与向液体供给管4供给的液体L相等。因此，在本实施方式中，第一流量检测部8与液体排出管7连接，将在液体排出管7流动的电阻率值调整液体L2的流量检测为第一流量。并且，第一流量检测部8将所检测的第一流量的信息向控制部10发送。作为第一流量检测部8，能够采用众所周知的各种流量计。
控制阀9是用于开闭组件经由管5的流路的阀。控制阀9由控制部10开闭控制，并且，以由控制部10设定好的开度打开组件经由管5的流路。作为控制阀9，能够采用比例控制阀等众所周知的各种电磁阀。
控制部10与控制阀9电连接。并且，控制部10设定将组件经由管5打开的开度，并且，进行控制阀9的开闭控制，以便使控制阀9的开度成为所设定的开度。因此，通过控制部10设定控制阀9的开度，能够对在组件经由管5流动的液体L的流量、也就是说向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量进行调整。
控制部10设定控制阀9的开度，以使在中空纤维膜组件2中生成的调整气体附加液体L1(调整气体饱和液体)与经由了旁通管6的液体L汇合而成为电阻率值调整液体L2。在此，饱和状态不仅包括完全的饱和状态，也包括接近饱和状态的状态。接近饱和状态的状态是指，以如下程度在液体L中溶解有调整气体G的状态：仅利用向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量与旁通绕过中空纤维膜组件2的液体L的流量之间的分配比率就能够调整液体L的电阻率值。
另外，控制部10也与第一流量检测部8电连接。并且，控制部10根据从第一流量检测部8发送来的第一流量的信息(第一流量检测部8所检测的第一流量)设定控制阀9的开度。
具体地说明，控制部10在第一流量是设定流量以下的情况下，与第一流量大于设定流量的情况相比，增大控制阀9的开度。作为设定流量，能够设为任意的流量，例如，能够设为在固定了控制阀9的开度的情况下，液体L的电阻率值随着向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量与旁通绕过中空纤维膜组件2的液体L的流量之间的分配比率改变而开始大幅度上升时的流量。
在该情况下，也可以是，在第一流量是设定流量以下的情况下，控制部10使控制阀9的开度恒定，但优选第一流量越小，越增大控制阀9的开度。另外，也可以是，在第一流量比设定流量大的情况下，控制部10使控制阀9的开度恒定，但优选第一流量越小，越增大控制阀9的开度。而且，在第一流量是设定流量以下的情况和第一流量比设定流量大的情况这两种情况下都是第一流量越小、越增大控制阀9的开度的情况下，控制部10在第一流量是设定流量以下的情况下，与第一流量大于设定流量的情况相比，增大控制阀9的开度的变化量相对于第一流量的变化量的比例。
优选的是，控制部10在设定控制阀9的开度之际预先准备表示第一流量与控制阀9的开度之间的关系的表格，根据该表格，从第一流量检测部8所检测的第一流量求出控制阀9的开度。但是，也可以是，控制部10不是根据这样的表格求出控制阀9的开度，而是通过计算求出控制阀9的开度。
在此，将表示第一流量与控制阀9的开度之间的关系的表格的一个例子表示在图2中。在图2所示的表格中，第一流量的流量域被分成第一流量域A1、第二流量域A2以及第三流量域A3这三个区域。第一流量域A1是比设定流量大的流量域。第二流量域A2是第一流量检测部8所能够检测(能够保证)的最低流量以上、且设定流量以下的流量域。第三流量域A3是小于第一流量检测部8所能够检测的最低流量的流量域。
在第一流量域A1中，第一流量与控制阀9的开度之间的关系由线段S1表示。在第二流量域A2中，第一流量与控制阀9的开度之间的关系由线段S2表示。在第三流量域A3中，第一流量与控制阀9的开度之间的关系由线段S3表示。
线段S1是用以下的式(1)表示的直线。
V＝-HB·x+HG…(1)
在式(1)中，x是第一流量[L/min]，V是控制阀9的开度[％]，HB是控制阀9的开度的变化量相对于第一流量的变化量的比例，(以下称为“偏流(bias)HB”。)，HG是将第一流量设为0[L/min]的情况下的控制阀9的开度(以下称为“增益(gain)HG”。)。偏流HB例如由控制阀9在第一流量域A1整个区域中的开度的变化量Hb相对于第一流量在第一流量域A1整个区域中的变化量Ha的比例(Hb/Ha)表示。
偏流HB和增益HG如下这样设定。首先，为了易于生成调整气体饱和液体，将偏流HB设定成，第一流量越小，控制阀9的开度越大。如上述这样，在中空纤维膜组件2中，优选生成在液体L中以饱和状态溶解有调整气体G的调整气体饱和液体作为调整气体附加液体L1。另一方面，在中空纤维膜组件2中，调整气体G的气压被保持恒定，因此，根据向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量，调整气体G相对于液体L的溶解比例改变。因此，在第一流量域A1的整个区域或大致整个区域中，设定偏流HB和增益HG，以在中空纤维膜组件2中生成调整气体饱和液体。在该情况下，优选通过事先实验，一边在第一流量域A1中改变第一流量、一边对在中空纤维膜组件2中生成调整气体饱和液体的情况下的控制阀9的开度进行测量，并且基于其测量结果设定偏流HB和增益HG。
线段S2是用以下的式(2)表示的直线。
V＝-MB·x+MG…(2)
在式(2)中，x是第一流量[L/min]，V是控制阀9的开度[％]，MB是控制阀9的开度的变化量相对于第一流量的变化量的比例(以下称为“偏流MB”。)，MG是将第一流量设为0[L/min]的情况下的控制阀9的开度(以下称为“增益MG”。)。偏流MB例如由控制阀9在第二流量域A2整个区域中的开度的变化量Mb相对于第一流量在第二流量域A2整个区域中的变化量Ma的比例(Mb/Ma)表示。
偏流HB和增益HG如下这样设定。首先，若第一流量在第一流量域A1与第二流量域A2之间的边界处急剧地变动，在改变了第一流量时，存在液体L的电阻率值大幅度变动的可能性。因此，以线段S1和线段S2连续的方式设定偏流MB和增益MG。另外，将偏流MB和增益MG设定成，与第一流量域A1相比，第二流量域A2的第一流量变大，第一流量越小，控制阀9的开度越大，偏流MB(控制阀9在第二流量域A2中的开度的变化量Mb相对于第一流量在第二流量域A2中的变化量Ma的比例)比偏流HB(控制阀9的开度的变化量Hb相对于第一流量的变化量Ha的比例)大。此外，在第二流量域A2中，为了生成调整气体饱和液体，也优选通过事先实验，一边在第二流量域A2中改变第一流量、一边对在中空纤维膜组件2中生成调整气体饱和液体的情况下的控制阀9的开度进行测量，并且基于其测量结果设定偏流MB和增益MG。
线段S3是用以下的式(3)表示的直线。
V＝LG…(3)
在式(3)中，V是控制阀9的开度[％]，LG是比控制阀9在第二流量域A2中的最大开度大的值。也就是说，在第三流量域A3中，无法利用第一流量检测部8准确地检测第一流量。因此，在第三流量域A3中，出于防止误差的观点考虑，以比控制阀9在第二流量域A2中的最大开度高的开度固定控制阀9的开度。
如此，在本实施方式中，供给到液体供给管4的液体L被分支部13分配为向中空纤维膜组件2供给的液体L和旁通绕过中空纤维膜组件2的液体L。在中空纤维膜组件2中，透过了中空纤维膜21的调整气体G被溶解于液体L，而生成在液体L中溶解有调整气体G的调整气体附加液体L1。由中空纤维膜组件2生成的调整气体附加液体和旁通绕过了中空纤维膜组件2的液体L在汇合部14处汇合而成为电阻率值调整液体L2，向液体排出管7排出。
并且，根据向液体供给管4供给的液体L的第一流量设定用于开闭组件经由管5的控制阀9的开度。因此，在向液体供给管4供给的液体L成为小流量的情况下，通过增大控制阀9的开度，能够增大向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量。也就是说，即使液体L成为低流量，也能够抑制向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量与旁通绕过中空纤维膜组件2的液体L的流量之间的分配比率改变。由此，抑制规模扩大，同时即使液体L成为低流量，也能够抑制液体L的电阻率值上升。
而且，在变更向液体供给管4供给的液体L的第一流量的情况下，根据变更后的第一流量设定控制阀9的开度，因此，能够抑制与第一流量的变更相伴的液体L的电阻率值的变动。尤其是，在使向液体供给管4供给的液体L的第一流量减小地变更了该第一流量的情况下，难以向中空纤维膜组件2供给液体L，在该情况下，也能够抑制液体L的电阻率值随着第一流量的变更而上升。
不过，在控制阀9的压力损失较大的情况下，若将控制阀9安装于供给侧组件经由管5A，则在中空纤维膜组件2中，存在液体L的液压相对于调整气体G的气压过小而产生发泡的可能性。因此，通过将控制阀9安装于排出侧组件经由管5B，即使是控制阀9的压力损失较大的情况下，也能够抑制在中空纤维膜组件2中产生发泡。
另外，向液体供给管4供给的液体L的流量与在液体排出管7流动的电阻率值调整液体L2的流量相同，因此，第一流量检测部8可以检测在液体供给管4流动的液体L的流量和在液体排出管7流动的电阻率值调整液体L2的流量中任一者作为第一流量。然而，控制阀9所安装的排出侧组件经由管5B配置于距液体排出管7比距液体供给管4近的位置。因此，第一流量检测部8通过检测在液体排出管7流动的电阻率值调整液体L2的流量作为第一流量，能够缩小将第一流量检测部8和控制阀9连接的配线的规模。
另外，若向液体供给管4供给的液体L成为低流量而第一流量成为设定流量以下，则与第一流量大于设定流量的情况相比，液体L难以向中空纤维膜组件2供给。因此，在第一流量是设定流量以下的情况下，与第一流量大于设定流量的情况相比，增大控制阀9的开度而增大向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量。由此，即使第一流量成为设定流量以下，也能够抑制向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量与旁通绕过中空纤维膜组件2的液体L的流量之间的分配比率改变。
另外，若向液体供给管4供给的液体L成为低流量而第一流量成为设定流量以下，则第一流量越小，液体L越难以向中空纤维膜组件2供给。因此，在第一流量是设定流量以下的情况下，第一流量越小，越是增大控制阀9的开度而增大向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量。由此，即使第一流量成为设定流量以下，也能够进一步抑制向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量与旁通绕过中空纤维膜组件2的液体L的流量之间的分配比率改变。
另外，在第一流量比设定流量大的情况下，也存在第一流量越小、液体L越难以向中空纤维膜组件2供给的倾向。因此，在第一流量比设定流量大的情况下，第一流量越小，越是增大控制阀9的开度而增大向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量。由此，在第一流量比设定流量大的情况下，也能够抑制向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量与旁通绕过中空纤维膜组件2的液体L的流量之间的分配比率改变。
另外，对于第一流量越小、液体L越难以向中空纤维膜组件2供给的倾向，第一流量越成为设定流量以下，该倾向越大。因此，在第一流量是设定流量以下的情况下，与第一流量大于设定流量的情况相比，控制阀9的开度的变化量相对于第一流量的变化量的比例增大。由此，能够进一步抑制向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量与旁通绕过中空纤维膜组件2的液体L的流量之间的分配比率改变。
另外，利用中空纤维膜组件2生成在液体L中以饱和状态溶解有调整气体G的调整气体饱和液体作为调整气体附加液体L1。由此，仅凭对向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量与旁通绕过中空纤维膜组件2的液体L的流量之间的分配比率进行调整，就能够高精度地调整液体L的电阻率值。
(第二实施方式)
接着，对第二实施方式进行说明。第二实施方式基本上与第一实施方式相同，仅在电阻率调整装置新设置第二流量检测部这一方面与第一实施方式不同。因此，以下，仅对与第一实施方式不同的事项进行说明，省略与第一实施方式同样的事项的说明。
图3是第二实施方式的电阻率值调整装置的示意图。如图3所示，本实施方式的电阻率值调整装置1A具备中空纤维膜组件2、气体供给管3、液体供给管4、组件经由管5、旁通管6、液体排出管7、第一流量检测部8、控制阀9、控制部10以及第二流量检测部8A。
第二流量检测部8A将在组件经由管5流动的液体的流量检测为第二流量。在此，在供给侧组件经由管5A流动的液体L的流量和在排出侧组件经由管5B流动的调整气体附加液体L1的流量相同。因此，第二流量检测部8A可以检测在供给侧组件经由管5A流动的液体L的流量和在排出侧组件经由管5B流动的调整气体附加液体L1的流量中任一者作为第二流量。但是，出于抑制向中空纤维膜组件2供给的液体L的液压降低的观点考虑，优选第二流量检测部8A安装于排出侧组件经由管5B而检测在排出侧组件经由管5B流动的调整气体附加液体L1的流量。此外，在附图中，示出了第二流量检测部8A安装于排出侧组件经由管5B而检测在排出侧组件经由管5B流动的调整气体附加液体L1的流量的情况。并且，第二流量检测部8A将所检测的第二流量的信息向控制部10发送。作为第二流量检测部8A，能够采用众所周知的各种流量计。
控制部10也与第二流量检测部8A电连接。并且，控制部10根据从第二流量检测部8A发送来的第二流量的信息(第二流量检测部8A所检测的第二流量)修正所设定的控制阀9的开度。也就是说，若控制部10根据第一流量设定控制阀9的开度，则与控制阀9的开度相对应的规定流量的液体L向在组件经由管5流动。然而，实际上，存在如下情况：由于中空纤维膜组件2的经年变化等，在组件经由管5流动的液体L的流量相对于与控制阀9的开度相对应的规定流量背离。因此，控制部10首先根据第一流量设定控制阀9的开度。并且，控制部10根据第二流量校正控制阀9的开度，以使在组件经由管5流动的液体L的流量不相对于与控制阀9的开度相对应的规定流量背离。
如此，在本实施方式中，根据向液体供给管4供给的液体L的第一流量设定控制阀9的开度，并且，根据在组件经由管5流动的液体的第二流量校正控制阀9的开度，因此，即使向液体供给管4供给的液体L成为低流量，也能够进一步抑制向中空纤维膜组件2供给的液体L的流量与旁通绕过中空纤维膜组件2的液体L的流量之间的分配比率改变。
以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不被限定于上述实施方式。例如，在上述实施方式中，对第一流量检测部8设为检测在液体排出管7流动的电阻率值调整液体L2的流量作为第一流量的流量检测部进行了说明，但也可以设为检测在液体供给管4流动的液体L的流量作为第一流量的流量检测部。
实施例
接着，对本发明的实施例进行说明，但本发明并不被限定于以下的实施例。
(实施例1)
在实施例1中，使用了图1所示的第一实施方式的电阻率值调整装置1。
作为向液体供给管4供给的液体L，使用了25[℃]时的电阻率值是18.2[MΩ·cm]的超纯水。使向液体供给管4供给的超纯水的流量在1[L/min]～15[L/min]之间变动。维持恒定流量的流量维持时间设为30秒，使该流量阶段性地变动。向液体供给管4供给的超纯水的水压设为0.2[MPa]。
作为向气体供给管3供给的调整气体G，使用了二氧化碳。二氧化碳的供给源使用7[m3]的二氧化碳储气瓶。作为压力调整阀11，使用了两级式压力调整器和调压阀，向中空纤维膜组件2的气相侧区域供给的二氧化碳的气压设为0.1[MPa]。
作为中空纤维膜组件2，使以聚-4-甲基-1-戊烯为原材料的内径200[μm]、外径250[μm]的中空纤维膜21成束，在PP树脂制的外壳22内，利用树脂固定中空纤维膜21的束的两端，获得了具有0.5[m2]的膜面积的外部灌流型的气体供气用中空纤维组件(DIC株式会社制SEPAREL PF-001L)。中空纤维膜21的二氧化碳透气速度是3.5×10-5[cm3/cm2·sec·cmHg]。
然后，向液体供给管4供给超纯水，并且，向气体供给管3供给了二氧化碳。供给到液体供给管4的超纯水被分支部13分配为从供给侧组件经由管5A向中空纤维膜组件2的液相侧区域供给的流量比较小的流动和旁通绕过中空纤维膜组件2而向旁通管6供给的流量比较大的流动。供给到气体供给管3的二氧化碳被压力调整阀11调整成0.1[MPa]之后，供给到中空纤维膜组件2的气相侧区域。在中空纤维膜组件2中，二氧化碳透过中空纤维膜21而溶解于在液相侧区域流动的超纯水，超纯水成为溶解有二氧化碳的二氧化碳附加超纯水。从中空纤维膜组件2排出到排出侧组件经由管5B的二氧化碳附加超纯水和在旁通管6流动的超纯水被汇合部14汇合而成为作为目标的电阻率值调整超纯水，排出到液体排出管7。
此时，在向液体供给管4供给的超纯水的流量是15[L/min]时，利用控制部10设定控制阀9的开度，对在排出侧组件经由管5B流动的二氧化碳附加超纯水的流量进行了调整，以使电阻率值调整超纯水的电阻率值成为0.7[MΩ·cm]。然后，使向液体供给管4供给的超纯水的流量阶段性地减少，并且，根据第一流量调整控制阀9的开度，对各流量下的电阻率值调整超纯水的电阻率值进行了测量。
(实施例2)
在实施例2中，与实施例1同样地，使用了图1所示的第一实施方式的电阻率值调整装置1。
在该电阻率值调整装置1中，在向液体供给管4供给的超纯水的流量是15[L/min]时，利用控制部10设定控制阀9的开度，对在排出侧组件经由管5B流动的二氧化碳附加超纯水的流量进行了调整，以使电阻率值调整超纯水的电阻率值成为0.5[MΩ·cm]。其他条件与实施例1相同。然后，使向液体供给管4供给的超纯水的流量阶段性地减少，并且，根据第一流量调整控制阀9的开度，对各流量下的电阻率值调整超纯水的电阻率值进行了测量。
(实施例3)
在实施例3中，与实施例1同样地，使用了图1所示的第一实施方式的电阻率值调整装置1。
在该电阻率值调整装置1中，在向液体供给管4供给的超纯水的流量是15[L/min]时，利用控制部10设定控制阀9的开度，对在排出侧组件经由管5B流动的二氧化碳附加超纯水的流量进行了调整，以使电阻率值调整超纯水的电阻率值成为0.3[MΩ·cm]。其他条件与实施例1相同。然后，使向液体供给管4供给的超纯水的流量阶段性地减少，并且，根据第一流量对控制阀9的开度进行调整，对各流量下的电阻率值调整超纯水的电阻率值进行了测量。
(比较例1)
在比较例1中，使用了图4所示的电阻率值调整装置31。
电阻率值调整装置31基本上与电阻率值调整装置1(参照图1)同样，仅在具备流量调整阀32来替代第一流量检测部8、控制阀9、以及控制部10这一方面与电阻率值调整装置1不同。流量调整阀32是对供给侧组件经由管5A的流路进行开闭、并且以手动调整其开度的流量调整阀。因此，流量调整阀32以手动调整在供给侧组件经由管5A流动的液体L的流量。
在该电阻率值调整装置31中，与实施例1同样地，在向液体供给管4供给的超纯水的流量是15[L/min]时，利用流量调整阀32对在供给侧组件经由管5A流动的超纯水的流量进行了调整，以使电阻率值调整超纯水的电阻率值成为0.7[MΩ·cm]。其他条件与实施例1相同。然后，使向液体供给管4供给的超纯水的流量阶段性地减少，对各流量下的电阻率值调整超纯水的电阻率值进行了测量。
(比较例2)
在比较例2中，与比较例1同样地，使用了图4所示的电阻率值调整装置31。
在该电阻率值调整装置31中，在向液体供给管4供给的超纯水的流量是15[L/min]时，利用流量调整阀32对在供给侧组件经由管5A流动的超纯水的流量的流量进行了调整，以使电阻率值调整超纯水的电阻率值成为0.5[MΩ·cm]。其他条件与实施例1相同。然后，使向液体供给管4供给的超纯水的流量阶段性地减少，对各流量下的电阻率值调整超纯水的电阻率值进行了测量。
(比较例3)
在比较例3中，与比较例1同样地，使用了图4所示的电阻率值调整装置31。
在该电阻率值调整装置31中，在向液体供给管4供给的超纯水的流量是15[L/min]时，利用流量调整阀32对在供给侧组件经由管5A流动的超纯水的流量的流量进行了调整，以使电阻率值调整超纯水的电阻率值成为0.3[MΩ·cm]。其他条件与实施例1相同。然后，使向液体供给管4供给的超纯水的流量阶段性地减少，对各流量下的电阻率值调整超纯水的电阻率值进行了测量。
(评价1)
在图5中表示实施例1和比较例1的测量结果，在图6中表示实施例2和比较例2的测量结果，在图7中表示实施例3和比较例3的测量结果。在图5～图7中，横轴表示向液体供给管4供给的超纯水的流量，纵轴表示电阻率值调整超纯水的电阻率值。
如图5～图7所示，在超纯水的流量是大流量的情况下，在实施例1～3和比较例1～3中，电阻率值没有较大的不同。另一方面，超纯水的流量越成为小流量，在比较例1～3中，电阻率值越是大幅度上升，而在实施例1～3中，电阻率值上升的情况受到了抑制。
根据这样的结果可知：通过根据向液体供给管4供给的超纯水的流量设定控制阀9的开度，即使超纯水成为低流量，也能够抑制超纯水的电阻率值上升。
(实施例4)
在实施例4中，与实施例1同样地，使用了图1所示的第一实施方式的电阻率值调整装置1。
在该电阻率值调整装置1中，在向液体供给管4供给的超纯水的流量是15[L/min]时，利用控制部10设定控制阀9的开度，对在排出侧组件经由管5B流动的二氧化碳附加超纯水的流量进行了调整，以使电阻率值调整超纯水的电阻率值成为0.7[MΩ·cm]。其他条件与实施例1相同。
然后，使向液体供给管4供给的超纯水的流量每隔3分钟在15[L/min]与1[L/min]之间变化，对随着时间的经过的电阻率值调整超纯水的电阻率值的变化进行了测量。
(实施例5)
在实施例5中，与实施例1同样地，使用了图1所示的第一实施方式的电阻率值调整装置1。
在该电阻率值调整装置1中，在向液体供给管4供给的超纯水的流量是15[L/min]时，利用控制部10设定控制阀9的开度，对在排出侧组件经由管5B流动的二氧化碳附加超纯水的流量进行了调整，以使电阻率值调整超纯水的电阻率值成为0.5[MΩ·cm]。其他条件与实施例1相同。
然后，使向液体供给管4供给的超纯水的流量每隔3分钟在15[L/min]与1[L/min]之间变化，对随着时间的经过的电阻率值调整超纯水的电阻率值的变化进行了测量。
(实施例6)
在实施例6中，与实施例1同样地，使用了图1所示的第一实施方式的电阻率值调整装置1。
在该电阻率值调整装置1中，在向液体供给管4供给的超纯水的流量是15[L/min]时，利用控制部10设定控制阀9的开度，对在排出侧组件经由管5B流动的二氧化碳附加超纯水的流量进行了调整，以使电阻率值调整超纯水的电阻率值成为0.3[MΩ·cm]。其他条件与实施例1相同。
然后，使向液体供给管4供给的超纯水的流量每隔3分钟在15[L/min]与1[L/min]之间变化，对随着时间的经过的电阻率值调整超纯水的电阻率值的变化进行了测量。
(比较例4)
在比较例4中，与比较例1同样地，使用了图4所示的电阻率值调整装置31。
在该电阻率值调整装置31中，与实施例4同样地，在向液体供给管4供给的超纯水的流量是15[L/min]时，利用流量调整阀32对在供给侧组件经由管5A流动的超纯水的流量进行了调整，以使电阻率值调整超纯水的电阻率值成为0.7[MΩ·cm]。其他条件与实施例1相同。然后，使向液体供给管4供给的超纯水的流量每隔3分钟在15[L/min]与1[L/min]之间变化，对随着时间的经过的电阻率值调整超纯水的电阻率值的变化进行了测量。
(比较例5)
在比较例5中，与比较例1同样地，使用了图4所示的电阻率值调整装置31。
在该电阻率值调整装置31中，与实施例5同样地，在向液体供给管4供给的超纯水的流量是15[L/min]时，利用流量调整阀32对在供给侧组件经由管5A流动的超纯水的流量进行了调整，以使电阻率值调整超纯水的电阻率值成为0.5[MΩ·cm]。其他条件与实施例1相同。并且，使向液体供给管4供给的超纯水的流量每隔3分钟在15[L/min]与1[L/min]之间变化，对随着时间的经过的电阻率值调整超纯水的电阻率值的变化进行了测量。
(比较例6)
在比较例6中，与比较例1同样地，使用了图4所示的电阻率值调整装置31。
在该电阻率值调整装置31中，与实施例6同样地，在向液体供给管4供给的超纯水的流量是15[L/min]时，利用流量调整阀32对在供给侧组件经由管5A流动的超纯水的流量进行了调整，以使电阻率值调整超纯水的电阻率值成为0.3[MΩ·cm]。其他条件与实施例1相同。然后，使向液体供给管4供给的超纯水的流量每隔3分钟在15[L/min]与1[L/min]之间，对随着时间的经过的电阻率值调整超纯水的电阻率值的变化进行了测量。
(评价2)
在图8中表示实施例4的测量结果，在图9中表示比较例4的测量结果，在图10中表示实施例5的测量结果，在图11中表示比较例5的测量结果，在图12中表示实施例6的测量结果，在图13中表示比较例6的测量结果。图8的(a)、图9的(a)、图10的(a)、图11的(a)、图12的(a)以及图13的(a)表示经过时间与电阻率值之间的关系。在图8的(a)、图9的(a)、图10的(a)、图11的(a)、图12的(a)以及图13的(a)中，横轴表示从开始测量经过的经过时间，纵轴表示电阻率值调整超纯水的电阻率值。图8的(b)、图9的(b)、图10的(b)、图11的(b)、图12的(b)以及图13的(b)表示经过时间与流量之间的关系。在图8的(b)、图9的(b)、图10的(b)、图11的(b)、图12的(b)以及图13的(b)中，横轴表示从开始测量经过的经过时间，纵轴表示向液体供给管4供给的超纯水的流量。
如图9、图11以及图13所示，在比较例4～6中，若将向液体供给管4供给的超纯水的流量从15[L/min]变成1[L/min]，则电阻率值大幅度上升了。而且，在将向液体供给管4供给的超纯水的流量从15[L/min]变成1[L/min]之后，到电阻率值稳定为止需要较长时间。
如图8、图10以及图12所示，在实施例4～6中，即使将向液体供给管4供给的超纯水的流量从15[L/min]变成1[L/min]，电阻率值也几乎不上升。另一方面，若将向液体供给管4供给的超纯水的流量从1[L/min]改变成15[L/min]，则电阻率值上升。然而，其上升的程度与在比较例4～6中将向液体供给管4供给的超纯水的流量从15[L/min]变成1[L/min]的情况下的电阻率值的上升的程度相比相当小。另外，在将向液体供给管4供给的超纯水的流量从1[L/min]变成15[L/min]之后，电阻率值在短时间内稳定。
根据这样的结果可知：通过根据向液体供给管4供给的超纯水的流量设定控制阀9的开度，能够抑制超纯水的电阻率值随着向液体供给管4供给的超纯水的流量的变更而上升。
附图标记说明
1、电阻率值调整装置；1A、电阻率值调整装置；2、中空纤维膜组件；3、气体供给管；4、液体供给管；5、组件经由管；5A、供给侧组件经由管；5B、排出侧组件经由管；6、旁通管；7、液体排出管；8、第一流量检测部；8A、第二流量检测部；9、控制阀；10、控制部；11、压力调整阀；12、压力计；13、分支部；14、汇合部；21、中空纤维膜；22、外壳；23、气体供给口；24、液体供给口；25、液体排出口；31、电阻率值调整装置；32、流量调整阀；A1、第一流量域；A2、第二流量域；A3、第三流量域；G、调整气体；L、液体；L1、调整气体附加液体；L2、电阻率值调整液体。

Claims (11)

1.一种电阻率值调整装置，其具备：
中空纤维膜组件，其被中空纤维膜分隔成被供给液体的液相侧区域和被供给用于调整所述液体的电阻率值的调整气体的气相侧区域，使透过了所述中空纤维膜的所述调整气体溶解于所述液体而生成在所述液体中溶解有所述调整气体的调整气体附加液体；
气体供给管，其向所述中空纤维膜组件供给所述调整气体；
液体供给管，其用于供给所述液体；
组件经由管，其经由使所述液体供给管分支的分支部而与所述液体供给管连通，经由所述中空纤维膜组件；
旁通管，其经由所述分支部而与所述液体供给管连通，旁通绕过所述中空纤维膜组件；
液体排出管，其经由汇合部与所述组件经由管和所述旁通管连通，该汇合部使所述组件经由管和所述旁通管在所述中空纤维膜组件的下游侧汇合；
第一流量检测部，其用于检测向所述液体供给管供给的所述液体的第一流量；
控制阀，其用于开闭所述组件经由管；以及
控制部，其根据由所述第一流量检测部检测到的所述第一流量设定所述控制阀的开度，
所述组件经由管具备：
供给侧组件经由管，其配置于所述中空纤维膜组件的上游侧，用于向所述中空纤维膜组件供给所述液体；以及
排出侧组件经由管，其配置于所述中空纤维膜组件的下游侧，所述调整气体附加液体从所述中空纤维膜组件向所述排出侧组件经由管排出，
所述控制阀安装于所述排出侧组件经由管而对所述排出侧组件经由管进行开闭，
所述第一流量检测部检测在所述液体排出管流动的所述液体的流量。
2.根据权利要求1所述的电阻率值调整装置，其中，
该电阻率值调整装置还具备用于检测在所述组件经由管流动的所述液体的第二流量的第二流量检测部，
所述控制部根据由所述第二流量检测部检测到的所述第二流量校正所述开度。
3.根据权利要求1所述的电阻率值调整装置，其中，
所述控制部在所述第一流量是设定流量以下的情况下，与所述第一流量大于所述设定流量的情况相比，增大所述开度。
4.根据权利要求3所述的电阻率值调整装置，其中，
在所述第一流量是所述设定流量以下的情况下，所述第一流量越小，所述控制部越增大所述开度。
5.根据权利要求4所述的电阻率值调整装置，其中，
在所述第一流量比所述设定流量大的情况下，所述第一流量越小，所述控制部越增大所述开度。
6.根据权利要求4所述的电阻率值调整装置，其中，
所述控制部在所述第一流量是设定流量以下的情况下，与所述第一流量大于所述设定流量的情况相比，增大所述开度的变化量相对于所述第一流量的变化量的比例。
7.根据权利要求1所述的电阻率值调整装置，其中，
所述调整气体附加液体是所述调整气体以饱和状态溶解到所述液体而成的调整气体饱和液体。
8.一种电阻率值调整方法，其使用权利要求1所述的电阻率值调整装置，在该电阻率值调整方法中，
向液体供给管供给所述液体，
使供给到液体供给管的所述液体向经由所述中空纤维膜组件的组件经由管和旁通绕过所述中空纤维膜组件的旁通管分支，
向所述中空纤维膜组件供给所述调整气体，在所述中空纤维膜组件中生成在所述液体中以饱和状态溶解有所述调整气体的所述调整气体附加液体，
使在所述中空纤维膜组件中生成的所述调整气体附加液体和旁通绕过了所述中空纤维膜组件的所述液体汇合，向液体排出管排出，
根据向所述液体供给管供给的所述液体的第一流量设定用于开闭所述组件经由管的控制阀的开度。
9.根据权利要求8所述的电阻率值调整方法，其中，
在所述第一流量是设定流量以下的情况下，与所述第一流量大于所述设定流量的情况相比，增大所述开度。
10.根据权利要求8所述的电阻率值调整方法，其中，
检测在所述组件经由管流动的所述液体的第二流量，根据所述第二流量校正所述开度。
11.根据权利要求8所述的电阻率值调整方法，其中，
在所述第一流量是设定流量以下的情况下，
与所述第一流量大于所述设定流量的情况相比，增大所述开度，
所述第一流量越小，越增大所述开度，
与所述第一流量大于所述设定流量的情况相比，增大所述开度的变化量相对于所述第一流量的变化量的比例，
在所述第一流量比所述设定流量大的情况下，所述第一流量越小，越增大所述开度。
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