CN109628291A - 一种用于3d细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器及制备方法 - Google Patents

一种用于3d细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器及制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109628291A
CN109628291A CN201811474716.XA CN201811474716A CN109628291A CN 109628291 A CN109628291 A CN 109628291A CN 201811474716 A CN201811474716 A CN 201811474716A CN 109628291 A CN109628291 A CN 109628291A
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrode
cell
microcavity
layer
impedance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201811474716.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN109628291B (zh
Inventor
王平
潘宇祥
顾陈磊
邱勇
孔留兵
魏鑫伟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang University ZJU
Original Assignee
Zhejiang University ZJU
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhejiang University ZJU filed Critical Zhejiang University ZJU
Priority to CN201811474716.XA priority Critical patent/CN109628291B/zh
Publication of CN109628291A publication Critical patent/CN109628291A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109628291B publication Critical patent/CN109628291B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/48—Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
    • G01N33/50—Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing
    • G01N33/5005—Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing involving human or animal cells
    • G01N33/5008—Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing involving human or animal cells for testing or evaluating the effect of chemical or biological compounds, e.g. drugs, cosmetics
    • G01N33/5011—Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing involving human or animal cells for testing or evaluating the effect of chemical or biological compounds, e.g. drugs, cosmetics for testing antineoplastic activity
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/021—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance before and after chemical transformation of the material

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Urology & Nephrology (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Tropical Medicine & Parasitology (AREA)
  • Bioinformatics & Cheminformatics (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Microbiology (AREA)
  • Cell Biology (AREA)
  • Biotechnology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)

Abstract

本发明公布了一种用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器及制备方法。本发明首先采用微纳加工技术制作3D微腔阻抗传感器；对肿瘤细胞进行3D球体细胞培养；将3D球体细胞接种至微腔阻抗传感器中的梯形微槽结构内，3D球体细胞会与微槽侧壁上的对电极贴附并会引起对电极表面电子转移效率下降，使对电极的阻抗值上升，随着3D球体细胞增殖球体的直径增大，对电极的阻抗值增大，而当抗肿瘤药物作用于3D球体细胞引起细胞凋亡之后，对电极的阻抗值会下降，通过计算3D球体细胞的阻抗值变化率监测3D球体细胞的活性及增殖能力。本发明构建的微腔阻抗传感器可以实时长时高通量的监测3D球体细胞活性及增殖能力。

Description

一种用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器 及制备方法
技术领域
本发明涉及细胞活性检测技术，尤其涉及一种用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器及制备方法。
背景技术
候选药物的临床前疗效和毒性评价对药物的发现和开发具有重要意义。药物筛选技术常采用体外培养的细胞进行敏感化合物初筛。传统体外培养的细胞是二维的，存在接触抑制、异质性丢失等问题，与体内三维生长的细胞差异过大，无法准确地反映细胞在体内的情况。一些基于2D细胞实验的药物筛选结果常表现出非常优秀的疗效，然而在后续的动物实验及临床试验中却没有相应的疗效。这些基于2D细胞的药物筛选技术目前面临着准确性不足、偶然性过大的问题，会对药物筛选产生比较大的误导，造成药物开发过程中不必要的经济损失。为了提高基于细胞模型的药物筛选技术的准确性，国际上越来越多地采用三维培养的细胞用以药物筛选。目前三维细胞的活性主要通过live/dead荧光染色来验证，需要配合荧光染料、共聚焦显微镜等材料设备，具有效率低、耗费大、操作繁琐等问题。因此在药物筛选领域，急需一种可以实时监测三维细胞活性的装置及方法。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的不足，提供一种用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器及制备方法。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：一种用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器，该传感器以硅晶圆作为基底，在基底上覆盖 SiO2层，在SiO2层上刻蚀出若干梯形微槽结构，在梯形微槽结构的侧壁上设置两个对电极，在SiO2层的边缘设置金属接触盘，对电极通过引线连接金属接触盘，并在引线上方覆盖绝缘层，横截面为正方环形的PMMA材质腔体固定在基底上；3D细胞接种在梯形微槽结构内，与对电极接触，检测阻抗指标。
进一步地，所述基底的厚度为0.52mm；所述梯形微槽结构的深度为100μm，顶部边长为400μm，坡度57.3°；所述对电极的尺寸为50μm x100μm的长方形结构，长边与梯形微槽结构的边长平行；所述腔体高度为15mm，外边长为10mmx10mm。
一种用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器的制备方法，该方法包括以下步骤：
(1)选择4英寸的硅晶圆作为传感器基底，硅晶圆的晶向为1 0 0；采用标准清洗工艺技术清洗表面污渍；
(2)采用热氧化技术对基底进行表面氧化，在基底表面获得一层1μm厚的 SiO2层；
(3)在步骤(2)获得的基底上涂满光刻胶，采用正胶光刻技术及HF湿法蚀刻技术，在SiO2层上刻蚀出直径为400μm的正方形图案；
(4)采用湿法蚀刻技术，利用质量浓度40％的KOH溶液在60℃下在步骤 (3)所获的基底上蚀刻出深度为100μm的梯形微槽结构；
(5)重新进行热氧化，使步骤(4)蚀刻出的微槽内表面及基底表面均覆盖一层1μm厚的SiO2层易于金属层溅射；
(6)利用磁控溅射技术在步骤(5)所获的基底上先溅射一层5nm厚的钛层，然后溅射一层200nm厚的金层；
(7)采用正胶光刻技术，在梯形微槽结构上保留对电极，在基底上保留引线及金属接触盘；
(8)采用PECVD技术在步骤(7)所获的基底上沉积700nm的SiN4钝化层；
(9)采用反应离子蚀刻技术，去除梯形微槽结构对电极表面的钝化层，去除金属接触盘表面的钝化层；
(10)采用标准清洗工艺技术进行清洗，获得微腔阻抗传感器芯片；
(11)对步骤(10)所获传感器芯片进行划片，划片后将传感器芯片粘附于PCB板上，采用飞线技术将电极引线引出的接触盘与PCB板上的焊盘电气连接；
(12)将横截面为正方环形的PMMA材质腔体用环氧树脂封在芯片上，最终得到用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器。
一种利用微腔阻抗传感器进行3D细胞活性及增殖能力实时监测的方法，该方法包括以下步骤：
(1)3D细胞培养：将肿瘤细胞培养成直径100μm-300μm的3D球体细胞；
(2)3D细胞阻抗检测：将步骤(1)培养的3D球体细胞接种至微腔阻抗传感器中的梯形微槽结构内，3D球体细胞会与微槽侧壁上的对电极贴附并会引起对电极表面电子转移效率下降，使对电极的阻抗值上升，随着3D球体细胞增殖球体的直径增大，对电极的阻抗值增大，而当抗肿瘤药物作用于3D球体细胞引起细胞凋亡之后，对电极的阻抗值会下降，通过计算3D球体细胞的阻抗值变化率监测3D球体细胞的活性及增殖能力。
进一步地，所述步骤(1)具体为：
(1.1)使用质量浓度0.25％的胰酶消化细胞融合度达到80-90％的肿瘤细胞(HepG2)，形成细胞密度为5x106个/毫升的细胞悬液；
(1.2)在细胞悬液中加入15μg/ml胶原蛋白Ⅰ型和2mg/ml甲基纤维素用以增加细胞粘附聚合能力；
(1.3)吸取35μL上述细胞悬液，滴加到细胞培养皿的盖子上，并确保每个液滴中有4000-6000个细胞；然后将盖子翻过来扣在培养皿上形成悬滴；
(1.4)24小时后，培养皿上的培养基液滴内形成3D球体细胞，离心之后使用移液枪将3D球体细胞吸出加入至微腔阻抗传感器中等待检测。
本发明的有益效果是，本发明利用微纳加工技术加工了一种具有微腔结构的阻抗传感器，用于实时监测3D球体细胞的活性及增殖能力。本发明构建的微腔阻抗传感器可以实时长时高通量的监测3D球体细胞活性及增殖能力。
附图说明
图1为本发明微腔阻抗传感器的电极排布图；
图2为本发明微腔阻抗传感器的腔体图；
图3为本发明3D球体细胞普通显微镜下的形态图；
图4为本发明微腔阻抗传感器检测3D球体细胞活性及增殖能力的阻抗值变化率曲线。
具体实施方式
以下结合附图及具体实施例对本发明作详细描述，但并不是限制本发明。
本发明提供的一种用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器，该传感器以硅晶圆作为基底，在基底上覆盖SiO2层，在SiO2层上刻蚀出若干梯形微槽结构，在梯形微槽结构的侧壁上设置两个对电极，在SiO2层的边缘设置金属接触盘，对电极通过引线连接金属接触盘，并在引线上方覆盖绝缘层，横截面为正方环形的PMMA材质腔体固定在基底上；3D细胞接种在梯形微槽结构内，与对电极接触，检测阻抗指标。所述基底的厚度为0.52mm；所述梯形微槽结构的深度为100μm，顶部边长为400μm，坡度57.3°；所述对电极的尺寸为50μm x100μm的长方形结构，长边与梯形微槽结构的边长平行；所述腔体高度为15mm，外边长为10mm x 10mm。
一种用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器的制备方法，该方法包括以下步骤：
(1)选择4英寸的硅晶圆作为传感器基底，硅晶圆的晶向为1 0 0；采用标准清洗工艺技术清洗表面污渍：采用硫酸和双氧水溶液去除基底上的有机物，氨水和双氧水溶液去除基底上的非金属玷污，盐酸和双氧水溶液去除基底上的金属玷污；
(2)采用热氧化技术对基底进行表面氧化，在基底表面获得一层1μm厚的 SiO2层；
(3)在步骤(2)获得的基底上涂满光刻胶，采用正胶光刻技术及HF湿法蚀刻技术，在SiO2层上刻蚀出直径为400μm的正方形图案；
(4)采用湿法蚀刻技术，利用质量浓度40％的KOH溶液在60℃下在步骤(3)所获的基底上蚀刻出深度为100μm的梯形微槽结构；
(5)重新进行热氧化，使步骤(4)蚀刻出的微槽内表面及基底表面均覆盖一层1μm厚的SiO2层易于金属层溅射；
(6)利用磁控溅射技术在步骤(5)所获的基底上先溅射一层5nm厚的钛层，然后溅射一层200nm厚的金层；
(7)采用正胶光刻技术，在梯形微槽结构上保留对电极，在基底上保留引线及金属接触盘；
(8)采用PECVD技术在步骤(7)所获的基底上沉积700nm的SiN4钝化层；
(9)采用反应离子蚀刻技术，去除梯形微槽结构对电极表面的钝化层，去除金属接触盘表面的钝化层；
(10)采用标准清洗工艺技术进行清洗，获得微腔阻抗传感器芯片；
(11)对步骤(10)所获传感器芯片进行划片，得到单片芯片如图1所示；每个芯片上含有4个梯形微槽结构4，每个梯形微槽结构4侧壁上有2个对电极 3；对电极3通过引线2与芯片边缘上的接触盘1相连，然后使用AB胶将芯片粘附于PCB板上，采用飞线技术将电极引线2引出的接触盘1与PCB板上的焊盘电气连接；
(12)将横截面为正方环形的PMMA材质腔体用环氧树脂封在芯片上，用于细胞培养，腔体如图2所示，约为15mm高，外边长为10mm x 10mm；最终得到用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器。
一种利用微腔阻抗传感器进行3D细胞活性及增殖能力实时监测的方法，该方法包括以下步骤：
(1)将肿瘤细胞培养成直径100μm-300μm的3D球体细胞，具体如下：HepG2细胞培养在25cm2的培养瓶中，细胞培养液采用了DMEM培养基，其中添加了体积分数为10％的胎牛血清，质量分数为1％的丙酮酸钠，质量分数为1％的非必需氨基酸、质量分数为1％谷氨酰胺、质量分数为1％的P/S 双抗；HepG2细胞需要每天更换新鲜的培养基，待细胞的融合度达到80-90％，使用质量浓度0.25％的胰酶将HepG2细胞消化，形成细胞密度为5x106个/毫升的细胞悬液；在细胞悬液中加入15μg/ml胶原蛋白Ⅰ型和2mg/ml甲基纤维素用以增加细胞粘附聚合能力；吸取35μL上述细胞悬液，滴加到细胞培养皿的盖子上，并确保每个液滴中有大约5000个细胞；然后将盖子翻过来扣在培养皿上形成悬滴，为了防止悬滴内培养基的蒸发，在培养皿内需要加入5mL的PBS 溶液；24小时后，培养皿上的培养基液滴内形成了球体细胞，离心之后使用移液枪将球体细胞吸出加入至微腔阻抗传感器中等待检测；3D培养的球体细胞如图3所示。
(2)3D细胞阻抗检测：将步骤(1)培养的3D球体细胞接种至微腔阻抗传感器中的梯形微槽结构内，3D球体细胞会与微槽侧壁上的对电极贴附并会引起对电极表面电子转移效率下降，使对电极的阻抗值上升，随着3D球体细胞增殖球体的直径增大，对电极的阻抗值增大，而当抗肿瘤药物作用于3D球体细胞引起细胞凋亡之后，对电极的阻抗值会下降，通过计算3D球体细胞的阻抗值变化率监测3D球体细胞的活性及增殖能力。
当细胞种植在微腔阻抗芯片内后，阻抗分析仪器产生幅值为60mV，频率为1000Hz的正弦激励作为工作电压施加在微腔阻抗传感器芯片的激励电极上，再从微腔阻抗传感器芯片的工作电极上接收传感器信号，通过阻抗转换计算出传感器芯片阻抗值，再通过阻抗变化率算法算出微腔阻抗传感芯片的阻抗变化率，其中阻抗变化率计算公式为(Z-Z0)/Z0x100％。随着长时间的监测，以阻抗值的变化率为纵坐标，时间为横坐标，制作线性曲线反映3D球体细胞的活性，如图4所示。随着时间的增长，3D球体细胞的阻抗值呈上升趋势，与显微镜下观察的结果相似，说明本发明设计的微腔阻抗传感器可以有效监测3D球体细胞的活性及增殖能力。
本技术领域的人员根据本发明所提供的文字描述、附图以及权利要求书能够很容易在不脱离权利要求书所限定的本发明的思想和范围条件下，可以做出多种变化和改动。凡是依据本发明的技术思想和实质对上述实施例进行的任何修改、等同变化，均属于本发明的权利要求所限定的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器，其特征在于，该传感器以硅晶圆作为基底，在基底上覆盖SiO2层，在SiO2层上刻蚀出若干梯形微槽结构，在梯形微槽结构的侧壁上设置两个对电极，在SiO2层的边缘设置金属接触盘，对电极通过引线连接金属接触盘，并在引线上方覆盖绝缘层，横截面为正方环形的PMMA材质腔体固定在基底上；3D细胞接种在梯形微槽结构内，与对电极接触，检测阻抗指标。
2.根据权利要求1所述的一种用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器，其特征在于，所述基底的厚度为0.52mm；所述梯形微槽结构的深度为100μm，顶部边长为400μm，坡度57.3°；所述对电极的尺寸为50μmx100μm的长方形结构，长边与梯形微槽结构的边长平行；所述腔体高度为15mm，外边长为10mmx10mm。
3.一种用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
(1)选择4英寸的硅晶圆作为传感器基底，硅晶圆的晶向为1 0 0；采用标准清洗工艺技术清洗表面污渍；
(2)采用热氧化技术对基底进行表面氧化，在基底表面获得一层1μm厚的SiO2层；
(3)在步骤(2)获得的基底上涂满光刻胶，采用正胶光刻技术及HF湿法蚀刻技术，在SiO2层上刻蚀出直径为400μm的正方形图案；
(4)采用湿法蚀刻技术，利用质量浓度40％的KOH溶液在60℃下在步骤(3)所获的基底上蚀刻出深度为100μm的梯形微槽结构；
(5)重新进行热氧化，使步骤(4)蚀刻出的微槽内表面及基底表面均覆盖一层1μm厚的SiO2层易于金属层溅射；
(6)利用磁控溅射技术在步骤(5)所获的基底上先溅射一层5nm厚的钛层，然后溅射一层200nm厚的金层；
(7)采用正胶光刻技术，在梯形微槽结构上保留对电极，在基底上保留引线及金属接触盘；
(8)采用PECVD技术在步骤(7)所获的基底上沉积700nm的SiN4钝化层；
(9)采用反应离子蚀刻技术，去除梯形微槽结构对电极表面的钝化层，去除金属接触盘表面的钝化层；
(10)采用标准清洗工艺技术进行清洗，获得微腔阻抗传感器芯片；
(11)对步骤(10)所获传感器芯片进行划片，划片后将传感器芯片粘附于PCB板上，采用飞线技术将电极引线引出的接触盘与PCB板上的焊盘电气连接；
(12)将横截面为正方环形的PMMA材质腔体用环氧树脂封在芯片上，最终得到用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器。
4.一种利用微腔阻抗传感器进行3D细胞活性及增殖能力实时监测的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
(1)3D细胞培养：将肿瘤细胞培养成直径100μm-300μm的3D球体细胞；
(2)3D细胞阻抗检测：将步骤(1)培养的3D球体细胞接种至微腔阻抗传感器中的梯形微槽结构内，3D球体细胞会与微槽侧壁上的对电极贴附并会引起对电极表面电子转移效率下降，使对电极的阻抗值上升，随着3D球体细胞增殖球体的直径增大，对电极的阻抗值增大，而当抗肿瘤药物作用于3D球体细胞引起细胞凋亡之后，对电极的阻抗值会下降，通过计算3D球体细胞的阻抗值变化率监测3D球体细胞的活性及增殖能力。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述步骤(1)具体为：
(1.1)使用质量浓度0.25％的胰酶消化细胞融合度达到80-90％的肿瘤细胞(HepG2)，形成细胞密度为5x106个/毫升的细胞悬液；
(1.2)在细胞悬液中加入15μg/ml胶原蛋白Ⅰ型和2mg/ml甲基纤维素用以增加细胞粘附聚合能力；
(1.3)吸取35μL上述细胞悬液，滴加到细胞培养皿的盖子上，并确保每个液滴中有4000-6000个细胞；然后将盖子翻过来扣在培养皿上形成悬滴；
(1.4)24小时后，培养皿上的培养基液滴内形成3D球体细胞，离心之后使用移液枪将3D球体细胞吸出加入至微腔阻抗传感器中等待检测。
CN201811474716.XA 2018-12-04 2018-12-04 一种用于3d细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器及制备方法 Active CN109628291B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811474716.XA CN109628291B (zh) 2018-12-04 2018-12-04 一种用于3d细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器及制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811474716.XA CN109628291B (zh) 2018-12-04 2018-12-04 一种用于3d细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器及制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109628291A true CN109628291A (zh) 2019-04-16
CN109628291B CN109628291B (zh) 2021-02-12

Family

ID=66071172

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811474716.XA Active CN109628291B (zh) 2018-12-04 2018-12-04 一种用于3d细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器及制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109628291B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110187091A (zh) * 2019-04-18 2019-08-30 浙江大学 一种用于抗肿瘤药物筛选的高通量3d细胞阻抗传感器及检测方法
CN113030215A (zh) * 2021-03-05 2021-06-25 浙江大学 一种用于3d心肌细胞胞外电位检测的高通量微腔电位传感器及检测方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101712925A (zh) * 2009-11-23 2010-05-26 浙江大学 检测单细胞和群细胞行为的多尺度集成细胞阻抗传感器
CN101713757A (zh) * 2009-11-19 2010-05-26 浙江大学 检测细胞生理参数的光电复合一体式传感器及其制备方法
CN102382758A (zh) * 2011-10-14 2012-03-21 杭州电子科技大学 基于细胞打印和多参数传感阵列集成技术的三维细胞芯片

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101713757A (zh) * 2009-11-19 2010-05-26 浙江大学 检测细胞生理参数的光电复合一体式传感器及其制备方法
CN101712925A (zh) * 2009-11-23 2010-05-26 浙江大学 检测单细胞和群细胞行为的多尺度集成细胞阻抗传感器
CN102382758A (zh) * 2011-10-14 2012-03-21 杭州电子科技大学 基于细胞打印和多参数传感阵列集成技术的三维细胞芯片

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PAN ET AL.: "3D cell-based biosensor for cell viability and drug assessment by 3D electric cell/matrigel-substrate impedance sensing", 《BIOSENSORS AND BIOELECTRONICS》 *
WU ET AL.: "Bionic 3D spheroids biosensor chips for high-throughput and dynamic drug screening", 《BIOMEDICAL MICRODEVICES》 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110187091A (zh) * 2019-04-18 2019-08-30 浙江大学 一种用于抗肿瘤药物筛选的高通量3d细胞阻抗传感器及检测方法
CN113030215A (zh) * 2021-03-05 2021-06-25 浙江大学 一种用于3d心肌细胞胞外电位检测的高通量微腔电位传感器及检测方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN109628291B (zh) 2021-02-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105460882B (zh) 一种石墨烯三维微电极阵列芯片、方法及其应用
CN101712925B (zh) 检测单细胞和群细胞行为的多尺度集成细胞阻抗传感器
Hofmann et al. Nanocavity electrode array for recording from electrogenic cells
CN103199020B (zh) 基于pi的液栅型石墨烯场效应管的制备方法和检测方法
CN102692439B (zh) 双螺旋结构的微电极系统、电化学传感器及其制备方法
CN109628291A (zh) 一种用于3d细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器及制备方法
CN104965011B (zh) 检测细胞外生化参数的光电集成电位传感器及其制备方法
CN101915793A (zh) 微电极阵列与微流通道集成的传感器结构及其制作方法
CN108918662B (zh) 一种CMUTs流体密度传感器及其制备方法
CN106959169B (zh) 一种新型多功能传感器芯片及其制备方法
CN108383075B (zh) 一种柔性的mems双电层电容压力传感器及其制备方法
CN107478359A (zh) 一种双膜电容式压力传感器及制作方法
CN111272819B (zh) 心肌细胞多元活性检测的叉指排布导电纳米管传感装置
CN111007129A (zh) 一种石墨烯生物传感器电极的制备工艺
CN105319245A (zh) 一种可同时感应湿度和气体的柔性有机薄膜电容传感器及其制作方法
CN107271332B (zh) 一种基于面内谐振的mems流体黏度传感器芯片及其制备方法
CN101358941A (zh) 一种可裁剪的双面纳米带电极阵列集成传感器及制备方法
CN110398536A (zh) 一种多功能薄膜高灵敏度CMUTs气体传感器及其制备方法
CN108663426A (zh) 一种葡萄糖传感器电极及其制备方法与应用
CN103217228B (zh) 一种基于cmut的温度传感器及制备和应用方法
CN205120654U (zh) 感光干膜-铟锡氧化物电极及细胞阻抗传感器
CN101713757B (zh) 检测细胞生理参数的光电复合一体式传感器及其制备方法
CN207866749U (zh) 一种集成化湿度传感器
CN201289468Y (zh) 一种可裁剪的双面纳米带电极阵列集成传感器
CN112968123B (zh) 一种柔性薄膜式压电声发射传感器及其制作方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
CB03 Change of inventor or designer information

Inventor after: Wang Ping

Inventor after: Qiu Yong

Inventor after: Pan Yuxiang

Inventor after: Gu Chenlei

Inventor after: Kong Liubing

Inventor after: Wei Xinwei

Inventor before: Wang Ping

Inventor before: Pan Yuxiang

Inventor before: Gu Chenlei

Inventor before: Qiu Yong

Inventor before: Kong Liubing

Inventor before: Wei Xinwei

CB03 Change of inventor or designer information
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant