CN109603535A - 等离子蒸汽液化回收处理系统及其回收处理方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种等离子蒸汽液化回收处理系统，包括光氧催化处理装置、换热器、吸附装置、补冷水箱；所述光氧催化处理装置用以对抛光机产生的蒸汽进行光氧催化处理，所述换热器用以将经过所述光氧催化处理装置光氧催化处理后的蒸汽进行冷却，所述吸附装置用以对经所述换热器冷却后得到的液体进行过滤处理并回流至所述抛光机的抛光溶液槽中；所述补冷水箱用于为所述换热器提供冷却水，经过换热器加热后的冷却水能回流至所述补冷水箱中。本发明还公开一种等离子蒸汽液化回收的方法。本发明具有保证充分净化的同时，提高净化效率、节约整套净化系统的结构、成本以及将蒸气冷凝成可再利用的基液的优点。

Description

等离子蒸汽液化回收处理系统及其回收处理方法

技术领域

本发明涉及抛光蒸汽净化处理技术领域，尤其涉及等离子蒸汽液化回收处理系统及其回收处理方法。

背景技术

等离子抛光原理是指将待抛光的工件与抛光液中通电脱离的金属离子吸附在工件表面，使得待抛光的工件其凸起处电流冲击高而进行去除，通过电流流动，使得凹凸不断变化，实现工件其粗糙表面逐渐被整平。

等离子抛光工艺伴随着加温的过程，如此，导致蒸汽的发生，蒸汽内伴随烟气的产生，为了环保要求需要对这部分蒸汽进行处理。现有技术的蒸汽处理工艺多基于“喷淋+活性炭吸附”的工艺方式进行蒸汽净化处理，具体的工艺是将蒸汽利用喷淋塔的换热、洗涤的作用，除去蒸汽中的有害物质，再经过活性炭的吸附作用，实现蒸汽的净化处理，净化后的蒸汽最后通过排气管排至外界。

由于化工溶液产生的蒸汽存在大量的挥发性有机物(VOC)、无机物、硫化氢、氨气、硫醇类，若仅通过“喷淋+活性炭吸附”的净化工艺很难满足对蒸汽的充分净化处理，所以，为了提高蒸汽的净化效率以及净化程度，部分工厂在现有的“喷淋+活性炭吸附”的基础上，加入了光催化废气处理设备。

光氧催化废气处理设备主要利用高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气如：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H₂S,VOC类、苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物的分子链在高能紫外线的光束的照射下降解转变成低分子化合物。利用高能高臭氧UV 紫外线光束分解空气中的氧分子及水分子产生游离氧(活性氧)和OH自由基，对工业废气及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。另外通过催化剂，起到将反应增速放大等一系列功能的协同作用。

如专利申请201710740244.7公开的一种用于氨基酸发酵车间的废气净化装置，通过将待净化的蒸汽经过换热冷却、喷淋洗涤、过滤吸附、光氧催化等处理，实现蒸汽的净化。

但是该技术方案存在以下不足之处：其一，众所周知，由于现有技术的喷淋净化存在洗涤效率低的缺点，导致蒸气过多，携带的烟雾处理不彻底，往往需要进行多次循环喷淋净化处理，来提高净化效果。该技术方案虽然也针对这一问题进行了相应的技术改进，通过优化喷淋装置的内部结构来提高喷淋效率。但是该技术方案其喷淋装置的改进实际是通过旋转结构来延长蒸汽在喷淋装置中的传输路径以及将多个喷淋组件集成在一个喷淋装置中来实现提高单次喷淋量、喷淋时间的技术效果。这种通过复杂喷淋装置的内部结构来提高单次喷淋时间以及喷淋量的改进方式相比现有技术的循环多次喷淋处理，在本质上的区别效果不显著。另外，多功能部件高度集成的喷淋装置无疑在制造成本、组装难度方面带来了新的问题。

其二，经喷淋洗涤后产生的废液往往集中后，进行统一处理，再直接排放，致使废液不能进行循环使用，不符合国家规划中关于节能环保的要求。专利申请201420513165.4公开的纺丝用水的冷却系统，虽然提出了将喷淋后的喷淋液经过回水管进行二次喷淋利用的技术方案。但是，由于喷淋后的喷淋液其纯净度较差，直接进行循环使用势必会影响蒸汽的洗涤效果。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于如何保证充分净化的同时，提高净化效率、节约整套净化系统的结构、成本以及将蒸气冷凝成可再利用的基液。

本发明通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：一种等离子蒸汽液化回收处理系统，包括光氧催化处理装置、换热器、吸附装置、补冷水箱；所述光氧催化处理装置用以对抛光机产生的蒸汽进行光氧催化处理，所述换热器用以将经过所述光氧催化处理装置光氧催化处理后的蒸汽进行冷却，所述吸附装置用以对经所述换热器冷却后得到的液体进行过滤处理，液体能回流至所述抛光机的抛光溶液槽中；所述补冷水箱用于为所述换热器提供冷却水，经过换热器加热后的冷却水能回流至所述补冷水箱中。

优选地，所述抛光机的抛光溶液槽的上方设置有蒸汽罩，所述蒸汽罩通过第一管路与所述光氧催化处理装置的进蒸汽口连通，所述光氧催化处理装置的出蒸汽口通过第二管路与所述换热器的进蒸汽口连通，所述换热器的出液口通过第三管路与所述吸附装置的进液口连通，所述吸附装置的出液口通过第四管路与所述抛光机的抛光溶液槽连通；所述补冷水箱的出冷水口通过第五管路与所述换热器的进水口连通，所述换热器的出水口通过第六管路与所述补冷水箱进冷水口连通。

优选地，所述第六管路与所述第四管路之间通过第七管路连通；在所述第六管路、第七管路上均分别安装有第一电磁阀。

优选地，在所述第一管路上安装有蒸汽风机、在第五管路上安装有循环泵。

优选地，还包括辅换热器，所述换热器冷却后的剩余蒸汽通过所述吸附装置过滤，所述辅换热器用以对经所述吸附装置过滤的剩余蒸汽进行冷却，经所述辅换热器冷却得到的液体能与经所述吸附装置过滤后的液体混合。

优选地，所述吸附装置包括吸附塔、活性碳层，所述吸附塔的下部设置开设有吸附塔进液口、吸附塔出液口，所述吸附塔进液口与所述第三管路连通，所述吸附塔出液口与所述第四管路连通；所述活性碳层内置于所述吸附塔的内部腔体中，所述吸附塔的顶部或者上部开设有吸附塔出蒸汽口；所述出蒸汽口通过第八管路与所述辅换热器的进蒸汽口连通，所述辅换热器的出液口与所述第四管路连通。

优选地，所述换热器为板式换热器。

优选地，在所述第四管路上还设置有第二电磁阀。

优选地，在所述第四管路上还设置有液体回收槽。

本发明还公开一种采用上述等离子蒸汽液化回收处理系统进行等离子蒸汽液化回收的方法，包括以下步骤：

步骤一、等离子抛光机产生的蒸汽通过光氧催化处理装置进行光氧催化处理；

步骤二、经过光氧催化处理后的蒸汽经过换热器进行冷却；

步骤三、冷却后得到的液体经吸附装置进行过滤处理后，回流至抛光机的抛光溶液槽中，进行二次使用；

补冷水箱用于为换热器提供冷却水，经过换热器加热后的冷却水循环至补冷水箱中。

本发明通过蒸汽罩将从抛光机的抛光溶液槽中产生的蒸汽收集至第一管路中，并输送至光氧催化处理装置中，在光氧催化处理装置的光氧催化作用下，完成初次净化；初次净化后的蒸汽通过第二管路进入换热器中，与从第五管路流入至换热器中的冷水进行热交换，初次净化后的蒸汽受热冷却液化，形成液体；该液体通过第三管路输入至吸附装置中，在吸附装置中进行吸附、过滤，完成二次净化；二次净化后的液体通过第四管路回流至抛光机的抛光溶液槽中，作为补充液体进行循环利用。

本发明的优点在于：

其一，通过本发明蒸汽液化回收处理系统，使得抛光蒸汽先在光氧催化处理装置中，利用光氧催化处理装置的高能破碎、以及臭氧对有机废气分子分解氧化作用、催化剂将反应增速放大等一系列功能的协同作用，使异味物质降解转化成无毒无味的低分子化合物、水机二氧化碳，迅速将废气化学分子裂解、断链、氧化，改变物质结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，完成一次净化；再通过换热器的冷却作用，实现高效液化；再通过吸附过滤，完成二次净化，如此进行双重净化后的液体完全能符合二次循环至抛光溶液槽作为补充液使用的要求，实现了蒸气凝结成液体可以重复利用的技术效果。

通过本发明的蒸汽液化回收处理系统，能实现抛光蒸汽的二次循环利用，充分地响应了国家关于节能环保的要求，实现节能减排、绿色环保的技术效果。

其二，本发明采用换热器代替现有技术的喷淋塔，充分利用换热器体积小、组装灵活、占地面积小的优点，便于推行标准作业，从而为进一步降低生产成本带来可能；由于其结构相比喷淋塔简单，使其具有响应迅速，运行热损失小、清洗方便，便于日常维护的优点；另外，其与喷淋装置相比，在同体积的情况下换热面积为喷淋塔几十倍以上，效率极高。

其三，本发明采用凉水或者井水作为冷却水，相比现有技术的冷媒，存在无污染的技术优势；当循环多次后冷却水温度升高至不能满足换热的要求时，本发明具体可以通过补冷水箱的补水口进行冷却水的补充，外界冷水通过第十管路输入至补水口。

进一步，补冷水箱中得冷水正常循环使用时，开启第六管路上的第一电磁阀，关闭第七管路上的第一电磁阀。由于补冷水箱中得冷水经过多次循环使用后的，其温度不断升高，不能再直接作为冷却水进行换热。如若直接排出或者通过补充新的冷水来降低这部分冷却水的温度，无疑会导致这部分冷却水热量的浪费。本实施例通过在第六管路与第四管路之间通过第七管路连通，并在第六管路、第七管路上安装有第一电磁阀，当多次循环使用后的冷却水温度较高时候，开启第七管路上的第一电磁阀或者在开启第七管路上的第一电磁阀的同时关闭第六管路上的第一电磁阀，使得一部分冷却水或者从换热器的出水口流出的所有冷却水均输入至第四管路中，与第四管路中的液体混合，提高第四管路中的液体温度，如此，提温后的液体作为补充液输入至抛光溶液槽中后，能减少维持抛光溶液槽温度而需要的额外热量的消耗，实现该一部分冷却水中热量的有效利用，节约溶液槽温度控制成本。

进一步，由于蒸汽通过换热器冷却后，可能仍然存在少部分蒸汽未形成液化，这部分蒸汽在吸附塔中经过活性碳层吸附后，上浮至吸附塔的顶部或者上部，若直接作为尾气排放的话，无疑是对资源的浪费。本发明通过辅换热器实现该部分蒸汽的二次冷却液化，并与第四管路中的液体一共输入至抛光溶液槽中，进而进一步增大蒸汽的二次循环使用率。

进一步，本发明的换热器、辅换热器有选为现有技术的板式换热器。以保证起传热效率得以极大的提高，由于板式换热器体积小，既节省了金属材料，又减少了占地面积。

进一步，在第四管路上还设置有第二电磁阀，用以方便流量的调节，在第四管路上还设置有液体回收槽，便于各部分液体的集中收集。

附图说明

图1为本发明实施例1中的一种等离子蒸汽液化回收处理系统的结构示意图。

图2为本发明中图1的局部放大图。

图3为本发明实施例2中的一种等离子蒸汽液化回收处理系统的结构示意图。

图4为本发明实施例3中的一种等离子蒸汽液化回收处理系统的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

需要说明的是，在本文中，如若存在第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

实施例1

如图1所示，本实施例公开一种等离子蒸汽液化回收处理系统，包括光氧催化处理装置1、换热器2、吸附装置3、补冷水箱4。抛光机5的抛光溶液槽的上方设置有蒸汽罩6，蒸汽罩6通过第一管路71与光氧催化处理装置11的进蒸汽口连通，光氧催化处理装置1的出蒸汽口通过第二管路 72与换热器2的进蒸汽口连通，换热器2的出液口通过第三管路73与吸附装置3的进液口连通，吸附装置3的出液口通过第四管路74与抛光机5的抛光溶液槽连通。补冷水箱4的出冷水口通过第五管路75与换热器2的进水口连通，换热器2的出水口通过第六管路76与补冷水箱4进冷水口连通。

本发明通过蒸汽罩6将从抛光机5的抛光溶液槽中产生的蒸汽收集至第一管路71中，并输送至光氧催化处理装置1中，在光氧催化处理装置1 的光氧催化作用下，完成初次净化；初次净化后的蒸汽通过第二管路72进入换热器2中，与从第五管路75流入至换热器2中的冷水进行热交换，初次净化后的蒸汽受热冷却液化，形成液体；该液体通过第三管路73输入至吸附装置3中，在吸附装置3中进行吸附、过滤，完成二次净化；二次净化后的液体通过第四管路74回流至抛光机5的抛光溶液槽中，作为补充液体进行循环利用。本发明的冷水优选为井水或者温度低于5℃的凉水。

本发明的优点在于：

其一，通过本发明蒸汽液化回收处理系统，使得抛光蒸汽先在光氧催化处理装置1中，利用光氧催化处理装置1的高能破碎、以及臭氧对有机废气分子分解氧化作用、催化剂将反应增速放大等一系列功能的协同作用，使异味物质降解转化成无毒无味的低分子化合物、水机二氧化碳，迅速将废气化学分子裂解、断链、氧化，改变物质结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，完成一次净化；再通过换热器2的冷却作用，实现高效液化；再通过吸附过滤，完成二次净化，如此进行双重净化后的液体完全能符合二次循环至抛光溶液槽作为补充液使用的要求，实现了蒸气凝结成液体可以重复利用的技术效果。

通过本发明的蒸汽液化回收处理系统，能实现抛光蒸汽的二次循环利用，充分地响应了国家关于节能环保的要求，实现节能减排、绿色环保的技术效果。

其二，本发明采用换热器2代替现有技术的喷淋塔，充分利用换热器2 体积小、组装灵活、占地面积小的优点，便于推行标准作业，从而为进一步降低生产成本带来可能；由于其结构相比喷淋塔简单，使其具有响应迅速，运行热损失小、清洗方便，便于日常维护的优点；另外，其与喷淋装置相比，在同体积的情况下换热面积为喷淋塔几十倍以上，效率极高。

其三，本发明采用凉水或者井水作为冷却水，相比现有技术的冷媒，存在无污染的技术优势；当循环多次后冷却水温度升高至不能满足换热的要求时，本发明具体可以通过补冷水箱4的补水口进行冷却水的补充，外界冷水通过第十管路710输入至补水口。

实施例2

如图3所示，本实施例与上述实施例的区别在于：第六管路76与第四管路74之间通过第七管路77连通。在第六管路76、第七管路77上分别安装有第一电磁阀81。

补冷水箱4中得冷水正常循环使用时，开启第六管路76上的第一电磁阀81，关闭第七管路77上的第一电磁阀81。由于补冷水箱4中得冷水经过多次循环使用后的，其温度不断升高，不能再直接作为冷却水进行换热。如若直接排出或者通过补充新的冷水来降低这部分冷却水的温度，无疑会导致这部分冷却水热量的浪费。本实施例通过在第六管路76与第四管路74 之间通过第七管路77连通，并在第六管路76、第七管路77上安装有第一电磁阀81，当多次循环使用后的冷却水温度较高时候，开启第七管路77上的第一电磁阀81或者在开启第七管路77上的第一电磁阀81的同时关闭第六管路76上的第一电磁阀81，使得一部分冷却水或者从换热器2的出水口流出的所有冷却水均输入至第四管路74中，与第四管路74中的液体混合，提高第四管路74中的液体温度，如此，提温后的液体作为补充液输入至抛光溶液槽中后，能减少维持抛光溶液槽温度而需要的额外热量的消耗，实现该一部分冷却水中热量的有效利用，节约溶液槽温度控制成本。

进一步，在有些实施例中，本发明可以在第六管路76上设置温度传感器，通过温度传感器在线监控第六管路76中冷却水的温度。温度传感器的输出连接控制器或者单片机或者其他现有技术的控制中心(PLC数控中心等)的输入，控制器或者单片机的输出连接电磁阀的输入端，通过温度传感器发出感应信号通过控制器或者单片机处理后，控制对应的第一电磁阀开启或者关闭，从而提高自动控制效果。

如图1所示，进一步，在第一管路71上安装有蒸汽风机91、在第五管路75上安装有循环泵92。本发明通过蒸汽风机91实现将抛光溶液槽中的蒸汽抽入至蒸汽罩6中并输入至第一管路71。由于在第五管路75上安装有循环泵92，为冷却水可持续循环提供动力。由于企业具体实施本发明时，需要铺设的各个管路较长，根据本发明可以在每一条管路或者部分管路安装泵来为管路中的流体输送补充动力来满足企业具体实施本发明的需要。也可以在每一条管路或者部分管路上均安装阀门来实现对管路开关的单独控制。另外，为了保证各条管路中流体流向的顺序性，还可以在每条管路上安装单向阀。

实施例3

如图2、4所示，本实施例与上述实施例的区别在于：吸附装置3包括吸附塔31、活性碳层32，吸附塔31的下部设置开设有吸附塔进液口、吸附塔出液口，吸附塔进液口与第三管路73连通，吸附塔出液口与第四管路 74连通。活性碳层32内置于吸附塔31的内部腔体中，吸附塔31的顶部或者上部开设有吸附塔出蒸汽口。出蒸汽口通过第八管路78与辅换热器102 的进蒸汽口连通，辅换热器102的出液口通过第十一管路711与第四管路 74连通。

辅换热器102通过补冷水箱4提供冷水，具体地第五管路75分出一个分管路751与辅换热器102的进水口连通，辅换热器102的出水口通过第九管路79与第六管路76连通。

由于蒸汽通过换热器2冷却后，可能仍然存在少部分蒸汽未形成液化，这部分蒸汽在吸附塔31中经过活性碳层32吸附后，上浮至吸附塔31的顶部或者上部，若直接作为尾气排放的话，无疑是对资源的浪费。本发明通过辅换热器102实现该部分蒸汽的二次冷却液化，并与第四管路74中的液体一共输入至抛光溶液槽中，进而进一步增大蒸汽的二次循环使用率。

实施例4

本实施例与上述实施例的区别在于：本发明的换热器2、辅换热器102 有选为现有技术的板式换热器。板式换热器优选采用0.6mm～0.8mm不锈钢片，以保证起传热效率得以极大的提高，由于板式换热器体积小，是管壳式换热器体积的1/3～1/5，既节省了金属材料，又减少了占地面积。

如图1/3所示，在有些实施例中，在第四管路74上还设置有第二电磁阀82，用以方便流量的调节，在第四管路74上还设置有液体回收槽101，便于各部分液体的集中收集。

本发明附图中箭头表示流体的走向。

实施例5

本实施例公开一种等离子蒸汽液化回收的方法，包括以下步骤：

步骤一、等离子抛光机5产生的蒸汽通过光氧催化处理装置1进行光氧催化处理。

步骤二、经过光氧催化处理后的蒸汽经过换热器2进行冷却。

步骤三、冷却后得到的液体经吸附装置3进行过滤处理后，回流至抛光机5的抛光溶液槽中，进行二次使用。

补冷水箱4用于为换热器2提供冷却水，经过换热器2加热后的冷却水能循环至补冷水箱4中。

综上所述，本发明的优点在于：(1)气体高效热交换蒸气冷凝为可再利用的基液；(2)由光氧器去除有害烟气后换热充分，再经过活性炭分层特殊设备处理，让系统更环保；(3)活性炭处理进行液体、气体分层，处理提高了处理能力。(4)整套系统设备充分利用工艺流程，最大限度节约成本。

以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种等离子蒸汽液化回收处理系统，其特征在于，包括光氧催化处理装置、换热器、吸附装置、补冷水箱；所述光氧催化处理装置用以对抛光机产生的蒸汽进行光氧催化处理，所述换热器用以将经过所述光氧催化处理装置光氧催化处理后的蒸汽进行冷却，所述吸附装置用以对经所述换热器冷却后得到的液体进行过滤处理，过滤处理后的液体能回流至所述抛光机的抛光溶液槽中；所述补冷水箱用于为所述换热器提供冷却水，经过换热器加热后的冷却水能回流至所述补冷水箱中。

2.根据权利要求1所述的等离子蒸汽液化回收处理系统，其特征在于，所述抛光机的抛光溶液槽的上方设置有蒸汽罩，所述蒸汽罩通过第一管路与所述光氧催化处理装置的进蒸汽口连通，所述光氧催化处理装置的出蒸汽口通过第二管路与所述换热器的进蒸汽口连通，所述换热器的出液口通过第三管路与所述吸附装置的进液口连通，所述吸附装置的出液口通过第四管路与所述抛光机的抛光溶液槽连通；所述补冷水箱的出冷水口通过第五管路与所述换热器的进水口连通，所述换热器的出水口通过第六管路与所述补冷水箱进冷水口连通。

3.根据权利要求2所述的等离子蒸汽液化回收处理系统，其特征在于，所述第六管路与所述第四管路之间通过第七管路连通；在所述第六管路、第七管路上均分别安装有第一电磁阀。

4.根据权利要求2所述的等离子蒸汽液化回收处理系统，其特征在于，在所述第一管路上安装有蒸汽风机、在第五管路上安装有循环泵。

5.根据权利要求2所述的等离子蒸汽液化回收处理系统，其特征在于，还包括辅换热器，经所述换热器换热后的剩余蒸汽通过所述吸附装置过滤，所述辅换热器用以对经所述吸附装置过滤的剩余蒸汽进行冷却，经所述辅换热器冷却得到的液体能与经所述吸附装置过滤后的液体混合。

6.根据权利要求5所述的等离子蒸汽液化回收处理系统，其特征在于，所述吸附装置包括吸附塔、活性碳层，所述吸附塔的下部设置开设有吸附塔进液口、吸附塔出液口，所述吸附塔进液口与所述第三管路连通，所述吸附塔出液口与所述第四管路连通；所述活性碳层内置于所述吸附塔的内部腔体中，所述吸附塔的顶部或者上部开设有吸附塔出蒸汽口；所述出蒸汽口通过第八管路与所述辅换热器的进蒸汽口连通，所述辅换热器的出液口与所述第四管路连通。

7.根据权利要求1所述的等离子蒸汽液化回收处理系统，其特征在于，所述换热器为板式换热器。

8.根据权利要求1所述的等离子蒸汽液化回收处理系统，其特征在于，在所述第四管路上还设置有第二电磁阀。

9.根据权利要求1所述的等离子蒸汽液化回收处理系统，其特征在于，在所述第四管路上还设置有液体回收槽。

10.一种采用如权利要求1-9任意项所述的等离子蒸汽液化回收处理系统进行等离子蒸汽液化回收的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、等离子抛光机产生的蒸汽通过光氧催化处理装置进行光氧催化处理；

步骤二、经过光氧催化处理后的蒸汽经过换热器进行冷却；

步骤三、冷却后得到的液体经吸附装置进行过滤处理后，回流至抛光机的抛光溶液槽中，进行二次使用；

补冷水箱用于为换热器提供冷却水，经过换热器加热后的冷却水循环至补冷水箱中。