CN109596222A - 一种显微热分布测试方法及系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种显微热分布测试方法及系统，所述显微热分布测试方法包括：将测试件固定在测试平台中；通过万向调节样品台对测试平台的方位进行调节，通过循环水冷装置、加热电路和高低温数显控温仪对测试平台温度进行调节；可编程直流电源为测试件提供的测试输入信号通过探针传输到测试件中；通过微距镜和探针台显微镜观测测试件表面对测试输入信号的光学响应信息，以光学影像的形式记录并传递到终端中；通过热分布测试仪获取测试件对测试输入信号的热分布响应信息，以数据参数和热分布影像的形式传递到终端中；终端对光学影像、数据参数和热分布影像进行分析处理。在本发明中，通过对测试件的热分布响应信息进行分析，可准确找出测试件的缺陷。
Description
技术领域
本发明涉及热分布测试领域，具体而言，涉及一种显微热分布测试方法及系统。
背景技术
由于黑体辐射的存在，任何物体都依据温度的不同对外进行电磁波辐射，其中波长为2.0～1000微米的部分称为热红外线。热红外成像通过热红外对物体进行成像，能反映出物体表面的温度场。其中，热红外成像原理在军事、工业、汽车辅助驾驶、医学领域都有广泛的应用。
近年来，热红外成像原理在工业领域的应用尤为广泛，生产制造商利用热红外成像原理对电子元器件的缺陷进行检测，检测效果得到了普遍的认可。但是，传统热分布方法及系统存在检测过程过于复杂、检测结果不够准确、对测试的数据和热分布图像处理能力差的不足，限制了热红外成像原理更大范围地应用。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明提供了一种显微热分布测试方法及系统，所述显微热分布测试方法及系统有检测过程简单便捷、检测结果准确且全面以及对测试的数据和热分布图像处理能力强的特点。
具体的，本发明实施例提供了一种显微热分布测试方法及系统，所述显微热分布测试方法包括：
将测试件固定在测试平台上的测试区域中；
通过万向调节样品台对测试平台的方位进行调节，通过循环水冷装置、加热电路和高低温数显控温仪对测试平台的温度进行调节；
可编程直流电源为测试件提供测试输入信号，并通过精密三维探针台上的探针将测试输入信号传输到测试件中；
通过微距镜和探针台显微镜观测测试件表面对测试输入信号的光学响应信息，所述光学响应信息以光学影像的形式记录并传递到终端中；
通过热分布测试仪获取测试件对测试输入信号的热分布响应信息，所述热分布响应信息以数据参数和热分布影像的形式传递到终端中；
通过终端对光学影像、数据参数和热分布影像进行分析处理。
可选的实施方式，所述将测试件固定在测试平台上的测试区域中，包括：
所述测试平台上设置有设置测试区域，所述测试区域上铺有一层磁铁，利用磁铁对测试件进行吸附固定；或
所述测试平台上设置有测试件固定装置，利用所述测试件固定装置对测试件进行装夹固定。
可选的实施方式，所述通过万向调节样品台对测试平台的方位进行调节，包括：
所述测试平台设置在万向调节样品台上，在对测试件进行测试前，通过万向调节样品台上配备的万向调整样品台触控屏对测试平台的方位进行调节。
可选的实施方式，所述通过循环水冷装置、加热电路和高低温数显控温仪对测试平台的温度进行调节，包括：
所述高低温数显控温仪通过设置在测试平台的温度传感器感应测试件的当前温度，并与预设的温度值范围进行对比；
若当前温度大于预设的温度值范围时，所述高低温数显精密控温仪会加快循环水冷装置的液体流速，通过循环水冷装置降低测试平台的温度到预设的温度值范围中；
若当前温度值小于预设的温度值范围时，所述高低温数显精密控温仪会接通铺设在测试平台下方的加热电路，通过加热电路提高测试平台的温度到预设的温度值范围中；
若当前温度在预设的温度值范围时，所述循环水冷装置和加热电路停止运转。
可选的实施方式，所述高低温数显精密控温仪还内设有报警装置和跳闸装置；
测试过程中，若测试平台的当前温度超过预设的报警温度时，报警装置会产生报警声音；
测试过程，若测试平台的当前温度超过预设的跳闸温度时，跳闸装置会切断电源来停止设备继续运行。
可选的实施方式，所述可编程直流电源为测试件提供测试输入信号，并通过精密三维探针台上的探针将测试输入信号传输到测试件中，包括：
测试前通过电脑终端对所述可编程直流电源进行编程控制；
通过精密三维探针台上配备的精密三维探针台触控屏对探针的方位进行调节，通过探针将可编程直流电源提供的测试输入信号传输到测试件指定的位置上。
可选的实施方式，所述通过微距镜和探针台显微镜观测测试件表面对测试输入信号的光学响应信息，所述光学响应信息以光学影像的形式记录并传递到终端中，包括：
测试过程中，所述微距镜与探针台显微镜配合使用；
所述探针台显微镜上设置有拍摄设备，通过所述拍摄设备对测试件的光学响应信息进行记录；
所述拍摄设备与终端连接，将所述光学响应信息以光学影像的形式传递到终端中。
可选的实施方式，所述通过热分布测试仪获取测试件对测试输入信号的热分布响应信息，所述热分布响应信息以数据参数和热分布影像的形式传递到终端中，包括：
所述热分布测试仪对测试件的红外辐射量进行汇聚并转化为数据参数和热分布数字影像；
所述热分布测试仪与终端连接，将得到的数据参数和热分布数字影像传递到终端中。
可选的实施方式，所述通过终端对光学影像、数据参数和热分布影像进行分析处理，包括：
所述光学影像、数据参数和热分布影像传递到终端上进行存储；
所述终端基于终端上的分析软件对光学影像、数据参数和热分布影像进行分析处理。
本发明实施例提供了一种显微热分布测试方法及系统，在所述显微热分布测试方法中，所述测试平台为测试件提供了测试区域，并将测试件固定在测试平台上；所述万向调节样品台对测试平台和测试件的方位进行调节，所述循环水冷装置、加热电路和高低温数显控温仪对测试平台的温度进行调节，使测试能在合适、合理的条件和测试环境下进行，可以提高测试的效率和测试的真实性；所述可编程直流电源可根据需要为测试件提供测试输入信号，并通过芯片级精度探针将测试输入信号传输到测试件特定的位置上，可多点、多方位、多条件地对测试件进行探测，提高了测试的全面性；所述微距镜和探针台显微镜的设置，便于观测测试件表面对测试输入信号的光学响应信息，配以拍摄设备可以将所述光学响应信息以光学影像的形式进行记录并传递到终端；所述热分布测试仪可以获取测试件对测试输入信号的热分布响应信息，所述热分布响应信息以数据参数和热分布影像的形式传递到终端中，使测试件的热分布情况更加直观，更容易发现测试件存在的问题和缺陷；测试件的光学影像、数据参数和热分布影像传递到终端中，终端基于定制软件进行分析处理，可使测试结果更加直观和准确。
本发明实施例提供了一种显微热分布测试系统，所述显微热分布测试系统包括：
固定模块：用于将测试件固定在测试平台上的测试区域中；
调节模块：用于通过万向调节样品台对测试平台的方位进行调节，通过循环水冷装置、加热电路和高低温数显控温仪对测试平台的温度进行调节；
探测模块：用于通过可编程直流电源为测试件提供测试输入信号，并通过精密三维探针台上的探针将测试输入信号传输到测试件中；通过微距镜和探针台显微镜观测测试件表面对测试输入信号的光学响应信息，所述光学响应信息以光学影像的形式记录并传递到终端中；通过热分布测试仪获取测试件对测试输入信号的热分布响应信息，所述热分布响应信息以数据参数和热分布影像的形式传递到终端中；
分析模块：用于通过终端对探测模块得到的光学影像、数据参数和热分布影像进行分析处理。
本发明实施例提供了一种显微热分布测试系统，在所述显微热分布测试系统中，所述固定模块主要用于测试件的固定；所述调节模块用于对测试环境和测试条件根据测试需要进行调节，使测试能在合适、合理的条件和测试环境下进行，可以提高测试的效率和测试的真实性；所述探测模块用于将所述可编程直流电源提供的测试输入信号传输到测试件中，并探测测试件对测试输入信号的响应信息，探测模块可多点、多方位、多条件地对测试件进行探测，提高了测试的全面性；分析模块用于对探测模块得到的光学影像、数据参数和热分布影像进行进行分析处理，使测试结果更加直观、更加全面。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1是本发明实施例中的一种显微热分布测试方法的流程示意图；
图2是本发明实施例中的一种显微热分布测试系统的组成示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例：
请参阅图1，图1是本发明实施例中的一种显微热分布测试方法的流程示意图。
如图1所示，一种显微热分布测试方法，所述方法包括：
S11：将测试件固定在测试平台上的测试区域中。
具体的，所述测试平台上设置有测试区域，所述测试区域表面铺有一层磁铁，当测试件中含有铁磁性物质如铁、镍、钴等金属时，测试区域可以吸引住测试件从而对测试件进行固定；另外，所述测试平台上还设置有测试件固定装置，当测试件无法被测试区域表面的磁铁吸附或需要进一步进行固定时，还可通过测试件固定装置对测试件进行固定。
S12：通过万向调节样品台对测试平台的方位进行调节，通过循环水冷装置、加热电路和高低温数显控温仪对测试平台的温度进行调节；
在对测试件进行测试前，需要通过万向调节样品台将测试件的位置调节到合适的地方以便于测试的进行；还需要通过对循环水冷装置、加热电路和高低温数显控温仪测试平台的温度进行调节，使测试件在实际工作环境温度下进行测试，提高测试的仿真度。
具体的，所述万向调整样品台主要用于对测试平台的方位进行三维高精度的调节。其中，所述万向调整样品台上设置有X、Y、Z三维轴向直线导轨，所述直线导轨通过滚珠丝杆进行传动，即由伺服电机通过联轴器或同步带轮驱动滚珠丝杆转动，进而推动固定在直线导轨上的滑块进行移动；在本发明具体实施过程中，所述测试平台固定在直线滑轨的滑块上，所述伺服电机受控于伺服驱动器，而万向调整样品台触控屏中的触觉反馈系统可根据预先编程的程式控制伺服驱动器，即测试人员只要控制万向调整样品触控屏即可对测试平台的方位进行三维调节。
具体的，所述循环水冷装置、加热电路和高低温数显控温仪主要用于对测试平台的温度进行调节。其中，所述循环水冷装置环绕地设置在所述测试平台中，所述加热电路铺设在所述测试平台的正下方，所述高低温数显控温仪对所述循环水冷装置和加热电路进行控制。在本发明具体实施过程中，所述高低温数显精密控温仪通过设置在测试平台的温度传感器感应测试件的当前温度，对测试件的当前温度自动进行采样、即时监控，并将当前温度以数字形式显示在高低温数显精密控温仪的屏幕中；测试人员可根据需要预设温度值范围：若当前温度大于预设的温度值范围时，所述高低温数显精密控温仪会加快循环水冷装置的液体流速，通过循环水冷装置降低测试平台的温度到预设的温度值范围中；若当前温度值小于预设的温度值范围时，所述高低温数显精密控温仪会接通铺设在测试平台下方的加热电路，通过加热电路提高测试平台的温度到预设的温度值范围中；若当前温度在预设的温度值范围时，所述循环水冷装置和加热电路停止运转。另外，所述高低温数显精密控温仪还内设有报警装置和跳闸装置：当加热电路或循环水冷装置出现故障时，测试平台的当前温度不能有效进行控制；当当前温度超过预设的报警温度时，报警装置会产生报警声音提示测试人员；若测试人员不能及时处理导致当前温度超过预设的跳闸温度时，为了防止设备的毁坏，高低温数显精密控温仪会通过跳闸装置切断电源来停止设备继续运行。
S13：可编程直流电源为测试件提供测试输入信号，并通过精密三维探针台上的探针将测试输入信号传输到测试件中。
测试过程中，需要将特定的测试输入信号传输到测试件中，所述可编程直流电源主要用于提供测试输入信号，所述测试输入信号经由精密三维探针台上的探针传输到测试件特定的位置中，对测试件进行测试。
具体的，所述可编程直流电源主要用于提供测试输入信号；在本发明具体实施过程中，所述可编程直流电源在测试前需与终端连接，测试人员需要根据测试条件通过终端对其输出如电压、电流以及功率等进行编程控制，经过编程后的输出将作为测试输入信号经由精密三维探针台上的探针作用在测试件特定的位置上。
具体的，所述精密三维探针台上配置有微米级精度的探针，所述探针的尺寸与型号需要根据测试件进行定制，所述探针主要将测试输入信号作用在测试件特定位置上。在本发明具体实施过程中，所述可编程直流电源与所述精密三维探针台上的探针连接，所述探针与测试件直接接触，所述探针将可编程直流电源编程后的测试输入信号附加到测试件上。另外，所述精密三维探针台与万向调整样品台结构类似，也设置有X、Y、Z三维轴向直线导轨，所述直线导轨也通过滚珠丝杆进行传动；在本发明具体实施过程中，所述探针固定在直线滑轨的滑块上，所述伺服电机受控于伺服驱动器，而精密三维探针台触控屏中的触觉反馈系统可根据预先编程的程式控制伺服驱动器，即测试人员只要控制精密三维探针台触控屏即可对探针的方位进行三维高精度调节；探针的三维高精度调节，使探针的测试输入信号可以附加到测试件内指定的位置中，方便对测试件进行多方位探测。
S14：通过微距镜和探针台显微镜观测测试件表面对测试输入信号的光学响应信息，所述光学响应信息以光学影像的形式记录并传递到终端中。
当测试件接收到可编程直流电源提供的测试输入信号后，测试件会对测试输入信号做出相应的响应；通过微距镜和探针台显微镜可观测到测试件表面对测试输入信号的光学响应信息，通过探针台显微镜上设置的拍摄设备可将所述光学响应信息以光学影像的形式进行记录并传递到终端。
具体的，所述微距镜和探针台显微镜主要用于观测测试件表面对测试输入信号的光学响应信息。其中，所述微距镜的作用是缩短最近对焦距离以拍摄更近的景物；在本发明具体实施过程中，将所述微距镜与探针台显微镜配合使用，可以得到放大倍数更大、清晰度更高的影像；另外，所述探针台显微镜上还可以增设如数码相机、手机等拍摄设备，对经过微距镜与探针台显微镜放大后的测试件光学影像进行记录，其记录到的光学影像传递到终端上。
S15：通过热分布测试仪获取测试件对测试输入信号的热分布响应信息，所述热分布响应信息以数据参数和热分布影像的形式传递到终端中。
当测试件接收到可编程直流电源提供的测试输入信号后，测试件会对测试输入信号做出相应的响应；通过热分布测试仪可获取测试件对测试输入信号的热分布响应信息，并将所述热分布响应信息以数据参数和热分布影像的形式传递到终端中。
具体的，所述显微红外热分布测试仪主要用于获取测试件对测试输入信号的热分布响应信息，并将所述热分布响应信息以数据参数和热分布影像的形式传递到终端中。显微红外热分布测试仪是一种非接触式的测试工具，其工作过程如下：当测试件通过测试输入信号时就要消耗功率，引起测试件温度上升，而温度的升高会提高红外辐射量(基于普朗克分布定律：一切温度高于绝对零度的物体都在以电磁波的形式向外辐射能量)，而这种辐射量会被显微红外热分布测试仪探测到，显微红外热分布测试仪将测试件的红外辐射汇聚并转化为热分布数字影像。采用显微红外热分布测试仪进行检测，具有检测速度快，精度高、费用低、通用性强、故障检出率和隔离率高、操作简便等优点。
其中，所述显微红外热分布测试仪主要由显微红外镜头、红外探测器、电子组件和显示屏四个部分组成：所述显微红外镜头用于接收和汇聚所述测试件的红外辐射，并将红外辐射成像于红外探测器上；所述红外探测器主要将显微红外镜头接收到的热辐射信号变成电信号，所述电子组件主要对红外探测器的电信号进行处理；所述显示屏中设置有图像采集卡，经图像采集卡可将处理后的电信号形成热分布影像，并显示在显示屏。所述显微红外热分布测试仪得到的热分布影像，可以传递到终端中进一步分析处理。
S16：通过终端对光学影像、数据参数和热分布影像进行分析处理。
在本发明具体实施过程中，所述终端上安装有定制软件，所述定制软件可以将得到的光学影像、数据参数和热分布影像进行分析处理；另外，终端能将光学影像、数据参数和热分布影像长时间地存储，方便测试人员进行查阅。
在本发明实施例中，所述测试平台为测试件提供了测试区域，并将测试件固定在测试平台上；所述万向调节样品台对测试平台和测试件的方位进行调节，所述循环水冷装置、加热电路和高低温数显控温仪对测试平台的温度进行调节，使测试能在合适、合理的条件和测试环境下进行，可以提高测试的效率和测试的真实性；所述可编程直流电源可根据需要为测试件提供测试输入信号，并通过芯片级精度探针将测试输入信号传输到测试件特定的位置上，可多点、多方位、多条件地对测试件进行探测，提高了测试的全面性；所述微距镜和探针台显微镜的设置，便于观测测试件表面对测试输入信号的光学响应信息，配以拍摄设备可以将所述光学响应信息以光学影像的形式进行记录并传递到终端；所述热分布测试仪可以获取测试件对测试输入信号的热分布响应信息，所述热分布响应信息以数据参数和热分布影像的形式传递到终端中，使测试件的热分布情况更加直观，更容易发现测试件存在的问题和缺陷；测试件的光学影像、数据参数和热分布影像传递到终端中，终端基于定制软件进行分析处理，可使测试结果更加直观和准确。
实施例：
请参阅图2，图2是本发明实施例中的一种显微热分布测试系统的组成示意图。
如图2所示，一种显微热分布测试系统，所述系统包括：
固定模块11：用于将测试件固定在测试平台上的测试区域中。
在本发明实施例中，设置有测试平台用于测试件的固定。具体的，所述测试平台上设置有测试区域，所述测试区域表面铺有一层磁铁，当测试件中含有铁磁性物质如铁、镍、钴等金属时，测试区域可以吸引住测试件从而对测试件进行固定；另外，所述测试平台上还设置有测试件固定装置，当测试件无法被测试区域表面的磁铁吸附或需要进一步进行固定时，还可通过测试件固定装置对测试件进行固定。
当然，所述固定模块11不仅限于只用测试平台对测试件进行固定，还可以通过其它设备对测试件进行固定。
调节模块12：用于通过万向调节样品台对测试平台的方位进行调节，通过循环水冷装置、加热电路和高低温数显控温仪对测试平台的温度进行调节。
在本发明实施例中，所述调节模块12包括万向调整样品台、循环水冷装置、加热电路、高低温数显精密控温仪以及可编程直流电源。其中，所述万向调整样品台主要用于测试前调节测试件的方位；所述循环水冷装置、加热电路和高低温数显精密控温仪用于对测试平台的温度进行调节；所述可编程直流电源主要用于为测试件提供可调节的测试输入信号。
具体的，所述万向调整样品台上设置有X、Y、Z三维轴向直线导轨，所述直线导轨通过滚珠丝杆进行传动，即由伺服电机通过联轴器或同步带轮驱动滚珠丝杆转动，进而推动固定在直线导轨上的滑块进行移动；在本发明具体实施过程中，所述测试平台固定在直线滑轨的滑块上，所述伺服电机受控于伺服驱动器，而万向调整样品台触控屏中的触觉反馈系统可根据预先编程的程式控制伺服驱动器，即测试人员只要控制万向调整样品触控屏即可对测试平台的方位进行三维调节。
具体的，所述循环水冷装置环绕地设置在所述测试平台中，所述加热电路铺设在所述测试平台的正下方，所述高低温数显控温仪对所述循环水冷装置和加热电路进行控制。在本发明具体实施过程中，所述高低温数显精密控温仪通过设置在测试平台的温度传感器感应测试件的温度，对测试件的温度自动进行采样、即时监控，并将温度以数字形式显示在高低温数显精密控温仪的屏幕中；测试人员可根据需要预设温度：当预设的温度高于当前检测温度时，所述高低温数显精密控温仪会接通铺设在测试平台下方的加热电路，通过加热电路提高测试平台的温度到预设的温度；当预设的温度低于当前检测温度时，所述高低温数显精密控温仪会加快循环水冷装置的液体流速，通过循环水冷装置降低测试平台的温度到预设的温度。
具体的，所述可编程直流电源在测试前需与终端连接，测试人员需要根据测试条件通过终端对其输出如电压、电流以及功率等进行编程控制，经过编程后的输出将作为测试输入信号经由探测模块13作用到测试件上。
当然，所述调节模块12不仅限于只对测试环境的温度进行调节，还可以通过增设各种设备对测试环境的其他参数如湿度、亮度等进行调节。
探测模块13：用于通过可编程直流电源为测试件提供测试输入信号，并通过精密三维探针台上的探针将测试输入信号传输到测试件中；通过微距镜和探针台显微镜观测测试件表面对测试输入信号的光学响应信息，所述光学响应信息以光学影像的形式记录并传递到终端中；通过热分布测试仪获取测试件对测试输入信号的热分布响应信息，所述热分布响应信息以数据参数和热分布影像的形式传递到终端中。
在本发明实施例中，所述探测模块包括精密三维探针台、微距镜、探针台显微镜和热分布测试仪。其中，所述精密三维探针台主要用于将所述可编程直流电源提供的测试输入信号传输到测试件中；所述微距镜和探针台显微镜主要用于观测测试件表面对测试输入信号的光学响应信息；所述显微红外热分布测试仪主要用于获取测试件对测试输入信号的热分布响应信息。
具体的，所述精密三维探针台上配置有微米级精度的探针，所述探针的尺寸与型号需要根据测试件进行定制，所述探针主要将测试输入信号作用在测试件特定位置上。在本发明具体实施过程中，所述可编程直流电源与所述精密三维探针台上的探针连接，所述探针与测试件直接接触，所述探针将可编程直流电源编程后的测试输入信号附加到测试件上。另外，所述精密三维探针台与万向调整样品台结构类似，也设置有X、Y、Z三维轴向直线导轨，所述直线导轨也通过滚珠丝杆进行传动；在本发明具体实施过程中，所述探针固定在直线滑轨的滑块上，所述伺服电机受控于伺服驱动器，而精密三维探针台触控屏中的触觉反馈系统可根据预先编程的程式控制伺服驱动器，即测试人员只要控制精密三维探针台触控屏即可对探针的方位进行三维高精度调节；探针的三维高精度调节，使探针的测试输入信号可以附加到测试件内指定的位置中，方便对测试件进行多方位探测。
具体的，所述微距镜的作用是缩短最近对焦距离以拍摄更近的景物；在本发明具体实施过程中，将所述微距镜与探针台显微镜配合使用，可以得到放大倍数更大、清晰度更高的影像；另外，所述探针台显微镜上还可以增设如数码相机、手机等拍摄设备，对经过微距镜与探针台显微镜放大后的测试件光学影像进行记录，其记录到的光学影像传递到终端上。
具体的，所述显微红外热分布测试仪是一种非接触式的测试工具，其工作过程如下：当测试件通过测试输入信号时就要消耗功率，引起测试件温度上升，而温度的升高会提高红外辐射量(基于普朗克分布定律：一切温度高于绝对零度的物体都在以电磁波的形式向外辐射能量)，而这种辐射量会被显微红外热分布测试仪探测到，显微红外热分布测试仪将测试件的红外辐射汇聚并转化为热分布数字影像。其中，所述显微红外热分布测试仪主要由显微红外镜头、红外探测器、电子组件和显示屏四个部分组成：所述显微红外镜头用于接收和汇聚所述测试件的红外辐射，并将红外辐射成像于红外探测器上；所述红外探测器主要将显微红外镜头接收到的热辐射信号变成电信号，所述电子组件主要对红外探测器的电信号进行处理；所述显示屏中设置有图像采集卡，经图像采集卡可将处理后的电信号形成热分布影像，并显示在显示屏。所述显微红外热分布测试仪得到的热分布影像，可以传递到终端中进一步分析处理。
在本发明具体实施过程中，所得到的光学影像、数据参数和热分布影像还可以传递到分析模块14中进行分析处理。
分析模块14：用于通过终端对探测模块得到的光学影像、数据参数和热分布影像进行分析处理。
在本发明实施例，所得到的光学影像、数据参数和热分布影像主要传递到电脑PC端上进行分析处理。具体的，电脑端上安装有定制软件，用户可基于所述定制软件指定生成任意一点的温度、温差大数据曲线图，使测试结果更加直观可见，方便测试人员进行分析。需要说明的是，所述定制软件为自主开发定制的软件，其功能可随测试需求的改变而改变。
当然，所述分析模块14不仅限于只用定制软件对光学影像、数据参数和热分布影像进行分析处理，还可以通过其它软件对光学影像、数据参数和热分布影像进行分析处理。
本发明实施例提供了一种显微热分布测试系统，在所述显微热分布测试系统中，所述固定模块主要用于测试件的固定；所述调节模块用于对测试环境和测试条件根据测试需要进行调节，使测试能在合适、合理的条件和测试环境下进行，可以提高测试的效率和测试的真实性；所述探测模块用于将所述可编程直流电源提供的测试输入信号传输到测试件中，并探测测试件对测试输入信号的响应信息，探测模块可多点、多方位、多条件地对测试件进行探测，提高了测试的全面性；分析模块用于对探测模块得到的光学影像、数据参数和热分布影像进行进行分析处理，使测试结果更加直观、更加全面。
本领域普通技术人员可以理解上述实施例的各种方法中的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件来完成，该程序可以存储于一计算机可读存储介质中，存储介质可以包括：只读存储器(ROM，Read Only Memory)、随机存取存储器(RAM，RandomAccess Memory)、磁盘或光盘等。
另外，以上对本发明实施例所提供的一种显微热分布测试方法及系统进行了详细介绍，本文中应采用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (10)
1.一种显微热分布测试方法，其特征在于，所述显微热分布测试方法包括：
将测试件固定在测试平台上的测试区域中；
通过万向调节样品台对测试平台的方位进行调节，通过循环水冷装置、加热电路和高低温数显控温仪对测试平台的温度进行调节；
可编程直流电源为测试件提供测试输入信号，并通过精密三维探针台上的探针将测试输入信号传输到测试件中；
通过微距镜和探针台显微镜观测测试件表面对测试输入信号的光学响应信息，所述光学响应信息以光学影像的形式记录并传递到终端中；
通过热分布测试仪获取测试件对测试输入信号的热分布响应信息，所述热分布响应信息以数据参数和热分布影像的形式传递到终端中；
通过终端对光学影像、数据参数和热分布影像进行分析处理。
2.根据权利要求1所述的显微热分布测试方法，其特征在于，所述将测试件固定在测试平台上的测试区域中，包括：
所述测试平台上设置有设置测试区域，所述测试区域上铺有一层磁铁，利用磁铁对测试件进行吸附固定；或
所述测试平台上设置有测试件固定装置，利用所述测试件固定装置对测试件进行装夹固定。
3.根据权利要求1所述的显微热分布测试方法，其特征在于，所述通过万向调节样品台对测试平台的方位进行调节，包括：
所述测试平台设置在万向调节样品台上，在对测试件进行测试前，通过万向调节样品台上配备的万向调整样品台触控屏对测试平台的方位进行调节。
4.根据权利要求1所述的显微热分布测试方法，其特征在于，所述通过循环水冷装置、加热电路和高低温数显控温仪对测试平台的温度进行调节，包括：
所述高低温数显控温仪通过设置在测试平台的温度传感器感应测试件的当前温度，并与预设的温度值范围进行对比；
若当前温度大于预设的温度值范围时，所述高低温数显精密控温仪会加快循环水冷装置的液体流速，通过循环水冷装置降低测试平台的温度到预设的温度值范围中；
若当前温度值小于预设的温度值范围时，所述高低温数显精密控温仪会接通铺设在测试平台下方的加热电路，通过加热电路提高测试平台的温度到预设的温度值范围中；
若当前温度在预设的温度值范围时，所述循环水冷装置和加热电路停止运转。
5.根据权利要求4所述的显微热分布测试方法，其特征在于，所述高低温数显精密控温仪还内设有报警装置和跳闸装置；
测试过程中，若测试平台的当前温度超过预设的报警温度时，报警装置会产生报警声音；
测试过程，若测试平台的当前温度超过预设的跳闸温度时，跳闸装置会切断电源来停止设备继续运行。
6.根据权利要求1所述的显微热分布测试方法，其特征在于，所述可编程直流电源为测试件提供测试输入信号，并通过精密三维探针台上的探针将测试输入信号传输到测试件中，包括：
测试前通过电脑终端对所述可编程直流电源进行编程控制；
通过精密三维探针台上配备的精密三维探针台触控屏对探针的方位进行调节，通过探针将可编程直流电源提供的测试输入信号传输到测试件指定的位置上。
7.根据权利要求1所述的显微热分布测试方法，其特征在于，所述通过微距镜和探针台显微镜观测测试件表面对测试输入信号的光学响应信息，所述光学响应信息以光学影像的形式记录并传递到终端中，包括：
测试过程中，所述微距镜与探针台显微镜配合使用；
所述探针台显微镜上设置有拍摄设备，通过所述拍摄设备对测试件的光学响应信息进行记录；
所述拍摄设备与终端连接，将所述光学响应信息以光学影像的形式传递到终端中。
8.根据权利要求1所述的显微热分布测试方法，其特征在于，所述通过热分布测试仪获取测试件对测试输入信号的热分布响应信息，所述热分布响应信息以数据参数和热分布影像的形式传递到终端中，包括：
所述热分布测试仪对测试件的红外辐射量进行汇聚并转化为数据参数和热分布数字影像；
所述热分布测试仪与终端连接，将得到的数据参数和热分布数字影像传递到终端中。
9.根据权利要求1所述的显微热分布测试方法，其特征在于，所述通过终端对光学影像、数据参数和热分布影像进行分析处理，包括：
所述光学影像、数据参数和热分布影像传递到终端上进行存储；
所述终端基于终端上的分析软件对光学影像、数据参数和热分布影像进行分析处理。
10.一种显微热分布测试系统，其特征在于，所述显微热分布测试系统包括：
固定模块：用于将测试件固定在测试平台上的测试区域中；
调节模块：用于通过万向调节样品台对测试平台的方位进行调节，通过循环水冷装置、加热电路和高低温数显控温仪对测试平台的温度进行调节；
探测模块：用于通过可编程直流电源为测试件提供测试输入信号，并通过精密三维探针台上的探针将测试输入信号传输到测试件中；通过微距镜和探针台显微镜观测测试件表面对测试输入信号的光学响应信息，所述光学响应信息以光学影像的形式记录并传递到终端中；通过热分布测试仪获取测试件对测试输入信号的热分布响应信息，所述热分布响应信息以数据参数和热分布影像的形式传递到终端中；
分析模块：用于通过终端对探测模块得到的光学影像、数据参数和热分布影像进行分析处理。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811489967.5A CN109596222A (zh) | 2018-12-06 | 2018-12-06 | 一种显微热分布测试方法及系统 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110333433A (zh) * | 2019-07-11 | 2019-10-15 | 广东金鉴实验室科技有限公司 | 一种显微热分布测试仪及测试方法 |
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| CN103217220A (zh) * | 2012-01-19 | 2013-07-24 | 昆山光微电子有限公司 | 红外显微系统及其实现图像融合的方法 |
| CN108918589A (zh) * | 2018-04-20 | 2018-11-30 | 宜特(上海)检测技术有限公司 | 运用红外热成像显微镜侦测芯片失效的除错方法 |
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2018
- 2018-12-06 CN CN201811489967.5A patent/CN109596222A/zh active Pending
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