CN109585654A - 有机层及制备方法、指向性热源组件、显示面板 - Google Patents

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Abstract

本发明属于显示技术领域,具体涉及一种有机层和像素结构的制备方法、指向性热源组件、显示面板。该有机层的制备方法包括步骤:在基板上形成有机材料溶液层;对所述基板上待处理区域的所述有机材料溶液层采用指向性热源进行加热,以提高所述待处理区域的有机材料溶液的蒸发速率,降低所述有机材料溶液层固化形成的有机层的厚度差异。该有机层的制备方法,通过采用指向性热源对有机材料溶液层易出现咖啡环不良的待处理区域进行加热,从而减轻或消除固化后形成的有机层出现咖啡环不良的情况,提高有机层产品质量。

Description

有机层及制备方法、指向性热源组件、显示面板
技术领域
本发明属于显示技术领域,具体涉及一种有机层及制备方法、指向性热源组件、显示面板。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode:有机发光二极管)是当前平板显示面板(Panel)的研究热点之一。传统的大尺寸OLED生产工艺采用真空热蒸镀的方式,这种工艺方式存在材料利用率低、良率提升困难的不足,导致OLED显示装置的价格居高不下。为提高材料利用率、降低成本,目前正在开发采用喷墨打印技术来生产OLED显示装置的方式。
然而,采用喷墨打印技术的生产过程中,像素结构内的有机材料溶液因蒸发速率的不同而容易引起像素结构的周边部位和中间部位的厚度不同,导致咖啡环(CoffeeRing)效应。咖啡环效应是喷墨打印OLED像素结构的技术难题,尤其是在自然干燥的情况下,咖啡环的不良更是容易出现。
可见,如何改进制备工艺减轻或消除有机层出现咖啡环的不良,提高产品质量成为目前亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中上述不足,提供一种有机层及制备方法、指向性热源组件、显示面板,能有效减轻或消除有机层出现咖啡环效应的不良,提高产品质量。
解决本发明技术问题所采用的技术方案是该有机层的制备方法,包括步骤:
在基板上形成有机材料溶液层;
对所述基板上待处理区域的所述有机材料溶液层采用指向性热源进行加热,以提高所述待处理区域的有机材料溶液的蒸发速率,降低所述有机材料溶液层固化形成的有机层的厚度差异。
优选的是,采用指向性热源进行加热,对所述待处理区域的所述有机材料溶液的加热效率大于其他区域的所述有机材料溶液的加热效率。
优选的是,所述待处理区域包括中心区和边缘区,对所述中心区的所述有机材料溶液的加热效率大于对所述边缘区的所述有机材料溶液的加热效率。
优选的是,在基板上形成有机材料溶液层的方式为:
将有机材料溶液通过喷墨打印方式在所述基板的预设区域形成所述有机材料溶液层,所述预设区域中的部分区域为所述待处理区域。
优选的是,所述指向性热源包括面状热源和掩膜板,所述掩膜板包括遮挡区和至少一个开孔区,所述遮挡区用于遮挡所述面状热源;
对所述基板上待处理区域的所述有机材料溶液层采用指向性热源进行加热,以提高所述待处理区域的有机材料溶液的蒸发速率,包括:
将所述掩膜板和所述基板对位,其中,所述掩膜板的开孔区对应所述基板的所述待处理区域;
所述面状热源通过所述掩膜板的开孔区对所述基板上的所述有机材料溶液层进行加热,以提高所述待处理区域的有机材料溶液的蒸发速率。
优选的是,根据所述有机材料溶液的粘度、亲水性/疏水性、结晶性、固含量,调节加热区域的尺寸以及所述面状热源的能量。
优选的是,对所述基板上待处理区域的所述有机材料溶液层采用指向性热源进行加热之前,还包括获取所述基板上待处理区域的步骤,包括:
通过对相同工艺条件制备形成的所述有机层的历史数据进行分析,获得所述待处理区域的形状和尺寸;
或者,通过模拟相同工艺条件制备形成的所述有机层的测试数据,获得所述待处理区域的形状和尺寸。
优选的是,在充满不活泼气体的腔室中对所述有机材料溶液层进行加热,所述不活泼气体包括氮气。
优选的是,所述指向性热源包括微波、红外线、紫外线、激光中的任一种。
优选的是,所述有机材料溶液层为形成OLED像素结构的有机材料溶液层;
相应的,所述有机层为OLED像素结构的有机发光层。
优选的是,所述有机发光层包括发光材料层、空穴注入层、空穴传输层、电子注入层、电子传输层中的至少一层。
一种指向性热源组件,所述指向性热源组件用于对基板上待处理区域的有机材料溶液层进行加热,以提高所述待处理区域的有机材料溶液的蒸发速率,降低所述有机材料溶液层固化形成的有机层的厚度差异。
优选的是,所述指向性热源组件包括面状热源单元和掩膜板,其中:
所述面状热源单元,用于向所述掩膜板发射面状热源,所述面状热源能对所述有机材料溶液层进行加热;
所述掩膜板,设置于所述面状热源单元外,用于遮挡所述面状热源,以控制所述面状热源的加热区域为所述待处理区域。
优选的是,所述掩膜板包括遮挡区和至少一个开孔区,其中:
所述遮挡区,用于遮挡所述面状热源;
所述开孔区,对应所述指向性热源的加热区域,所述开孔区的形状和尺寸与所述基板上的所述待处理区域相适,以使得所述指向性热源透过。
优选的是,所述待处理区域包括中心区和边缘区,面状热源单元包括热源发生器,所述热源发生器对应所述中心区的加热效率大于对应所述边缘区的加热效率。
优选的是,所述边缘区为环状,环宽范围为10~15μm。
优选的是,所述指向性热源包括微波、红外线、紫外线、激光中的任一种。
一种有机层,其采用上述的有机层的制备方法形成。
一种显示面板,其包括上述的有机层。
本发明的有益效果是:
该有机层的制备方法,通过采用指向性热源对有机材料溶液层易出现咖啡环不良的待处理区域进行加热,从而减轻或消除固化后形成的有机层出现咖啡环不良的情况,提高有机层产品质量;
相应的指向性热源组件,可以对有机材料溶液层实现有针对性的局部区域加热,保证加热的指向性和加热效率;
该显示面板,通过采用上述有机层的制备方法,能有效减轻或消除形成其显示区内像素结构的各有机层出现咖啡环不良的情况,提高显示面板产品质量,具有更佳的显示性能。
附图说明
图1为喷墨打印过程中液滴形成的示意图;
图2为本发明实施例1中有机层的制备方法的流程图;
图3为本发明实施例2中指向性热源组件的结构示意图;
图4为包括OLED发光器件的像素结构的示意图;
图5为本发明实施例3中采用图3中指向性热源组件对像素区域消除咖啡环效应的示意图;
附图标识中:
1-面状热源单元;10-面状热源;11-框架;12-热源发生器;
2-掩膜板;21-遮挡区;22-开孔区;
3-基板;30-阳极;31-空穴注入层;32-空穴传输层;33-发光材料层;34-电子注入层;35-电子传输层;36-阴极;
4-像素结构;41-像素限定层;42-有机材料溶液;
5-喷墨打印装置。
具体实施方式
为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面结合附图和具体实施方式对本发明有机层及制备方法、指向性热源组件、显示面板作进一步详细描述。
如图1所示,利用喷墨装置5打印液滴的过程包括液滴下落、铺展、干燥过程。本发明的技术构思在于:根据喷墨打印的原理,发明人仔细研究了咖啡环效应产生的机理在于:液滴下落之后,由于液滴边缘的蒸汽压较小,因此导致液滴边缘溶剂蒸发速率较大,最终溶质不断在接触线处沉积形成环状结构,从而出现咖啡环效应。因此,本发明着手从改善形成有机层的中心区和边缘区的溶剂蒸发速率的角度来减轻或消除咖啡环效应。
实施例1:
本实施例针对有机材料溶液由于蒸发速率的不同而引起的液滴边缘区部分和中心区部位的厚度不同导致咖啡环效应的问题,提供一种有机层的制备方法,该方法能有效减轻或避免有机层固化后出现咖啡环效应。
如图2所示,该有机层的制备方法包括步骤:
步骤S1):在基板上形成有机材料溶液层。
优选的是,在基板上形成有机材料溶液层的方式为:将有机材料溶液通过喷墨打印方式在基板的预设区域形成有机材料溶液层,预设区域中的部分区域为待处理区域。
这里的有机材料溶液泛指采用包括有机成分的溶质、溶剂或其他辅助材料形成的混合液,可以采用喷墨打印、滴液、旋涂等方式形成液态的有机材料溶液层。预设区域即需形成有机层的区域,待处理区域即在自然干燥条件下固化形成有机层容易出现咖啡环效应的区域。
步骤S2):对基板上待处理区域的有机材料溶液层采用指向性热源进行加热,以提高待处理区域的有机材料溶液的蒸发速率,降低有机材料溶液层固化形成的有机层的厚度差异。
采用指向性热源进行加热,因指向性热源汇聚性更好,因此能对热源进行更好的控制,以使得对待处理区域的有机材料溶液的加热效率大于其他区域的有机材料溶液的加热效率。加热效率大区域的有机材料溶液,其固化的时间比加热效率小区域的有机材料溶液短,因此能更快完成固化。
优选的是,待处理区域包括中心区和边缘区,对中心区的有机材料溶液的加热效率大于对边缘区的有机材料溶液的加热效率。例如,发生咖啡环效应的区域,环宽的范围大约为10~15μm,咖啡环的中心区与边缘区的厚度差异范围大约为则,更近一步细化的是,使得对可能出现咖啡环的待处理区域环宽以内的中心区的有机材料溶液的加热效率大于相对于对边缘区环宽范围内的有机材料溶液的加热效率,更有针对性地对局部提高蒸发速率。也就是说,针对引起咖啡环效应的问题,对经验证会发生咖啡环效应的边缘区的有机材料溶液采用较小的加热能量,对发生咖啡环效应的中心区的有机材料溶液采用较大的加热能量,以达到整个区域蒸发效果基本一致的目的。
这里的指向性热源加热方式或者说加速干燥的方式可以为:微波、红外线、紫外线、激光等。优选的是,采用微波加热方式实现液态的有机材料溶液层的局部加热。微波加热原理为:以物料吸收微波能使物料中极性分子与微波电磁场相互作用的结果,在外加交变电磁场作用下,物料内极性分子极化并随外加交变电磁场极性变更而交变取向,如此众多的极性分子因频繁相互间摩擦损耗,使电磁能转化为热能。
微波加热具有如下优点:
1)微波加热均匀、速度快、控制及时、反应灵敏;2)微波有方向性,微波发射是在空间直线传播,遇到金属物体阻挡就会反射;3)微波加热的惯性很小,可以实现温度升降的快速控制,可在几秒的时间内迅速地将微波功率调到所需的数值,加热到适当的温度,便于自动化和连续化生产。
本实施例中,指向性热源包括面状热源和掩膜板,掩膜板包括遮挡区和至少一个开孔区,遮挡区用于遮挡面状热源,对基板上待处理区域的有机材料溶液层采用指向性热源进行加热,以提高待处理区域的有机材料溶液的蒸发速率,包括:
将掩膜板和基板对位,其中,掩膜板的开孔区对应基板的待处理区域;
面状热源通过掩膜板对基板上的有机材料溶液层进行加热,以提高待处理区域的有机材料溶液的蒸发速率。
如上所言,采用指向性热源方式进行加热的待处理区域,通常为液态的有机材料溶液层的中心区而非边缘区。结合咖啡环效应的产生位置,能提前获取并限定有机材料溶液层的待处理区域,为确定局部加热区域提供参考。优选的是,对基板上待处理区域的有机材料溶液层采用指向性热源进行加热之前,还包括获取基板上待处理区域的步骤,包括:
通过对相同工艺条件制备形成的有机层的历史数据进行分析,获得待处理区域的形状和尺寸;
或者,通过模拟相同工艺条件制备形成的有机层的测试数据,获得待处理区域的形状和尺寸。
该有机层的制备方法设置为在一定的加热环境下提升加热效果。例如,在充满不活泼气体的腔室中对有机材料溶液层进行加热,不活泼气体包括氮气(N2)。采用氮气作为优选的加热气体,能获得较好的加热效果。
相应的,本实施例还提供一种有机层,其采用上述的有机层的制备方法形成。
该有机层的制备方法及采用该方法制备而成的有机层,通过采用指向性热源对有机材料溶液层易出现咖啡环不良的待处理区域进行加热,从而减轻或消除固化后形成的有机层出现咖啡环不良的情况,提高有机层产品质量。
实施例2:
相应的,为减轻或避免有机层中咖啡环效应的出现,本实施例提供一种指向性热源组件,用于对基板上待处理区域的有机材料溶液层进行加热,以提高待处理区域的有机材料溶液的蒸发速率,降低有机材料溶液层固化形成的有机层的厚度差异,使得固化后的有机层具有更平坦的表面。
如图3所示,指向性热源组件包括面状热源单元1和掩膜板2(Mask),其中:
面状热源单元1,用于向掩膜板2发射面状热源,面状热源能对液态的有机材料溶液层进行加热;
掩膜板2,设置于面状热源单元1外,用于遮挡面状热源,以控制面状热源的加热区域为待处理区域。
这里的加热方式或者说加速干燥的方式可以为:微波、红外线、紫外线、激光等。通过掩膜板2可局部遮挡面状热源10,实现待处理区域的局部加热,从而更好的减轻或避免咖啡环效应。
掩膜板2包括遮挡区21和至少一个开孔区22,其中:
遮挡区21,用于遮挡面状热源10;
开孔区22,对应面状热源10的加热区域,开孔区22的形状和尺寸与基板上的待处理区域相适,以使得面状热源10透过。
掩膜板2设置在面状热源单元1的出口处,掩膜板2的占用面积小,制作容易、成本低。例如,由于面状热源10为指向性热源,其具有较强的方向性,能在空间内直线传播,遇到金属物体阻挡就会反射。因此,面状热源单元1发射的面状热源10在到达掩膜板2时,会从开孔区22射出至待处理区域的有机材料溶液,而到达遮挡区21的面状热源10会被反射回去。
如图3所示,面状热源单元1包括热源发生器12、电源、波导元件、发射管和搅拌器(除热源发生器12外,以上部件在图3中均未示出),其中:
电源,用于为热源发生器12提供电压,通常为高压;
热源发生器12,用于在电源激励下,连续产生面状热源10;
波导元件,用于对面状热源10进行变换,以耦合至发射管;
搅拌器,用于将面状热源10向各个方向进行反射。
电源、热源发生器12、波导元件、发射位于框架11内部,搅拌器设置在在框架11外部发射口处附近,为风扇状的金属且可旋转,搅拌器旋转后对面状热源10具有各个方向的反射,所以能够使面状热源10的能量均匀分布在发射管内,并通过掩膜板2射出。
优选的是,待处理区域包括中心区和边缘区,热源发生器12对应中心区的加热效率大于对应边缘区的加热效率。其中,边缘区为环状,环宽范围为10~15μm。也就是说,为有针对性地对发生咖啡区效应的区域进行处理,对经验证会发生咖啡环区域的边缘区的有机材料溶液采用较小的加热能量,对发生咖啡环区域的中心区的有机材料溶液采用较大的加热能量,以达到整个区域蒸发速率效果基本一致的目的。
本实施例的指向性热源组件,通过采用例如微波进行加热的方式,在面状热源单元内设置微波发生器,保证加热的指向性,在出口处设置掩膜板,微波可以通过掩膜板上的开孔射出,从而实现针对性地对待处理区域的局部区域加热,可以对有机材料溶液层实现有针对性的局部区域加热,保证加热的指向性和加热效率,从而减轻或消除有机层出现咖啡环不良的情况,提高有机层成品质量。
实施例3:
本实施例以显示领域广泛使用有机层的像素结构作为示例,对像素结构在制备过程中有机材料溶液由于蒸发速率不同而可能引起像素周边部位和中间部位的厚度不同的问题,对该有机层的制备方法详细说明制备过程。
应用实施例1的有机层的制备方法,由于像素结构可通过带有掩膜板的指向性热源组件进行固化过程中的加热控制,因此能对形成OLED像素结构中有机层的有机材料溶液分区进行区别性的干燥,大大降低了采用喷墨打印技术制备构成像素结构时各有机层出现咖啡环效应的问题,从整体上改善了像素结构性能。
该像素结构包括叠置的多个有机层,各有机层分别采用有机材料溶液形成。也就是说,这里的液态的有机材料溶液层为形成OLED像素结构的液态的有机材料溶液层;相应的,这里的有机层为OLED像素结构的有机发光层。
通常情况下,OLED像素结构中的有机发光层包括发光材料层、空穴注入层、空穴传输层、电子注入层、电子传输层中的至少一层。图4示出的为一个具有有机层的OLED像素结构4的剖面图,在基板3上方,从下至上依次包括:阳极30;空穴注入层31、空穴传输层32、发光材料层33、电子注入层34、电子传输层35;阴极36。其中的空穴注入层31、空穴传输层32、发光体层33、电子注入层34、电子传输层35均采用有机材料溶液形成,有机材料溶液在加热或干燥后固化成为有机层。
众所周知的是,每一像素结构的有机层均限定在像素限定层的内部,根据研究结果,在对应形成像素结构的像素区域内,喷射到像素区域内的有机材料溶液在靠近像素限定层的部分容易发生咖啡环效应。由于像素边缘区的溶剂蒸发速率大于像素中心区的溶剂蒸发速率,导致溶质不断在像素边缘区部分沉积,因此形成边缘厚、中间薄的咖啡环效应。优选的是,针对像素结构发生咖啡环效应的区域,对像素边缘区的有机材料溶液采用较小的加热能量,像素对中心区的有机材料溶液采用较大的加热能量,以达到整个像素区域内有机材料溶液蒸发速率基本一致的效果。
该OLED像素结构的制备过程中,参考图5,像素限定层41内部逐层容置、固化有机材料溶液42。将实施例2中的指向性热源组件应用到该制备过程中,则掩膜板的开孔区22对应像素中心区,面状热源对像素中心区的有机材料溶液42进行加热,从而加快像素中心区相对于像素边缘区的有机材料溶液42的干燥速率,达到让整个像素区域的有机材料溶液42干燥速率一致、干燥膜层厚度均匀的目的,从而减轻或避免有机层咖啡环效应的出现。
对于开孔尺寸L和微波加热能量调节方式,可以根据有机材料溶液的粘度、亲水性/疏水性、结晶性、固含量(即浓度),调节加热区域的尺寸以及面状热源的能量。例如,对于微波而言,通过开孔区22的尺寸来调节加热区域,通过微波频率f来调节微波加热能量。具体的,对于开孔尺寸L的调节:在产线工艺设备稳定的情况下,像素结构周边的像素限定层结构和有机材料溶液的滴入量可视为基本稳定,开孔区尺寸L的大小与咖啡环的大小有关(与能量无关)。
如图5所示为采用指向性热源组件消除咖啡环效应的示意图。采用实施例1的有机层制备方法,尤其是借助微波加热进行溶液干燥时,指向性热源组件发射的微波会通过掩膜板上的开孔区22射向待干燥的有机材料溶液,对有机材料溶液进行加热。通过掩膜板的开孔区22大小和微波能量可以灵活调节,可以减轻或避免咖啡环的产生。
具体的,若图5中咖啡环的剖面环宽分别为边缘区D1和D2,在有机材料溶液类型一定的情况下,边缘区D1、D2的尺寸可认为是定值,根据D1、D2计算出开孔区尺寸L的长度,根据D1、D2和L获得开孔区大小。对于微波加热能量调节:通过调节微波频率f来调节微波加热能量,比如溶质结晶度越高,说明分子排列越规则,需要越高的加热温度才能使其干燥,因此需要设置的微波频率f越高。优选的是,开孔区22为边角带圆弧的矩形,其开孔尺寸L可以在实际生产时根据咖啡环的环宽也就是边缘区D1和D2进行调节,达到对咖啡环效应可能产生区域也就是环宽以内的像素中心区进行加热,以加快该中心区有机材料溶液蒸发速率的效果;通过调节开孔区22的开孔尺寸L和微波的加热能量使整个像素区域有机材料溶液的蒸发速率基本一致,从而减轻或消除有机层的咖啡环效应。
当然,也可以将咖啡环的环宽对应的边缘区D1、D2纳入加热范围,此时,对像素边缘区施加的热量小于像素中心区施加的热量,以保证像素中心区的有机材料溶液42的蒸发速率大于边缘区的有机材料溶液42的蒸发速率。例如,中心区的微波频率f范围为1000MHz-1500MHz;边缘区微波频率f范围为500MHz-700MHz。
在实际生产过程中,根据实际生产时的基板尺寸设计掩膜板的开孔区数量,加热时机根据指向性热源组件一次性需加热像素数量决定,既可以在部分像素结构的有机材料溶液打印后对基板立即进行加热,也可以在全部像素结构的有机材料溶液打印完成后再进行。微波加热速度快、惯性小,可以有效提升单件工时(Tact Time)。
本实施例中像素结构,通过采用指向性热源对有机材料溶液在形成有机层时易出现咖啡环不良的区域进行局部加热,从而减轻或消除形成像素结构的各有机层出现咖啡环不良的情况,提高像素结构的品质。
实施例4:
本实施例提供一种显示面板,该显示面板包括实施例1中的有机层,或者说包括实施例3中的OLED像素结构。
该显示面板可以为:台式电脑、平板电脑、笔记本电脑、手机、PDA、GPS、车载显示、投影显示、摄像机、数码相机、电子手表、计算器、电子仪器、仪表、液晶面板、电子纸、电视机、显示器、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件,可应用于公共显示和虚幻显示等多个领域。
该显示面板,通过采用上述有机层的制备方法,能有效减轻或消除形成其显示区内像素结构的各有机层出现咖啡环不良的情况,提高显示面板产品质量,具有更佳的显示性能。
可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式,然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本发明的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (19)

1.一种有机层的制备方法,其特征在于,包括步骤:
在基板上形成有机材料溶液层;
对所述基板上待处理区域的所述有机材料溶液层采用指向性热源进行加热,以提高所述待处理区域的有机材料溶液的蒸发速率,降低所述有机材料溶液层固化形成的有机层的厚度差异。
2.根据权利要求1所述的有机层的制备方法,其特征在于,采用指向性热源进行加热,对所述待处理区域的所述有机材料溶液的加热效率大于其他区域的所述有机材料溶液的加热效率。
3.根据权利要求2所述的有机层的制备方法,其特征在于,所述待处理区域包括中心区和边缘区,对所述中心区的所述有机材料溶液的加热效率大于对所述边缘区的所述有机材料溶液的加热效率。
4.根据权利要求1所述的有机层的制备方法,其特征在于,在基板上形成有机材料溶液层的方式为:
将有机材料溶液通过喷墨打印方式在所述基板的预设区域形成所述有机材料溶液层,所述预设区域中的部分区域为所述待处理区域。
5.根据权利要求1所述的有机层的制备方法,其特征在于,
所述指向性热源包括面状热源和掩膜板,所述掩膜板包括遮挡区和至少一个开孔区,所述遮挡区用于遮挡所述面状热源;
对所述基板上待处理区域的所述有机材料溶液层采用指向性热源进行加热,以提高所述待处理区域的有机材料溶液的蒸发速率,包括:
将所述掩膜板和所述基板对位,其中,所述掩膜板的开孔区对应所述基板的所述待处理区域;
所述面状热源通过所述掩膜板的开孔区对所述基板上的所述有机材料溶液层进行加热,以提高所述待处理区域的有机材料溶液的蒸发速率。
6.根据权利要求5所述的有机层的制备方法,其特征在于,根据所述有机材料溶液的粘度、亲水性/疏水性、结晶性、固含量,调节加热区域的尺寸以及所述面状热源的能量。
7.根据权利要求1-6任一项所述的有机层的制备方法,其特征在于,对所述基板上待处理区域的所述有机材料溶液层采用指向性热源进行加热之前,还包括获取所述基板上待处理区域的步骤,包括:
通过对相同工艺条件制备形成的所述有机层的历史数据进行分析,获得所述待处理区域的形状和尺寸;
或者,通过模拟相同工艺条件制备形成的所述有机层的测试数据,获得所述待处理区域的形状和尺寸。
8.根据权利要求1-6任一项所述的有机层的制备方法,其特征在于,在充满不活泼气体的腔室中对所述有机材料溶液层进行加热,所述不活泼气体包括氮气。
9.根据权利要求1-6任一项所述的有机层的制备方法,其特征在于,所述指向性热源包括微波、红外线、紫外线、激光中的任一种。
10.根据权利要求1-6任一项所述的有机层的制备方法,其特征在于,所述有机材料溶液层为形成OLED像素结构的有机材料溶液层;
相应的,所述有机层为OLED像素结构的有机发光层。
11.根据权利要求9所述的有机层的制备方法,其特征在于,所述有机发光层包括发光材料层、空穴注入层、空穴传输层、电子注入层、电子传输层中的至少一层。
12.一种指向性热源组件,其特征在于,所述指向性热源组件用于对基板上待处理区域的有机材料溶液层进行加热,以提高所述待处理区域的有机材料溶液的蒸发速率,降低所述有机材料溶液层固化形成的有机层的厚度差异。
13.根据权利要求12所述的指向性热源组件,其特征在于,所述指向性热源组件包括面状热源单元和掩膜板,其中:
所述面状热源单元,用于向所述掩膜板发射面状热源,所述面状热源能对所述有机材料溶液层进行加热;
所述掩膜板,设置于所述面状热源单元外,用于遮挡所述面状热源,以控制所述面状热源的加热区域为所述待处理区域。
14.根据权利要求12所述的指向性热源组件,其特征在于,所述掩膜板包括遮挡区和至少一个开孔区,其中:
所述遮挡区,用于遮挡所述面状热源;
所述开孔区,对应所述指向性热源的加热区域,所述开孔区的形状和尺寸与所述基板上的所述待处理区域相适,以使得所述指向性热源透过。
15.根据权利要求12所述的指向性热源组件,其特征在于,所述待处理区域包括中心区和边缘区,面状热源单元包括热源发生器,所述热源发生器对应所述中心区的加热效率大于对应所述边缘区的加热效率。
16.根据权利要求15所述的指向性热源组件,其特征在于,所述边缘区为环状,环宽范围为10~15μm。
17.根据权利要求12-16任一项所述的指向性热源组件,其特征在于,所述指向性热源包括微波、红外线、紫外线、激光中的任一种。
18.一种有机层,其特征在于,所述有机层采用权利要求1-11任一项所述的有机层的制备方法形成。
19.一种显示面板,其特征在于,包括权利要求18所述的有机层。
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