CN109572040B - 一种热压机压头系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种热压机压头系统，上压头和下压头均由一圆柱体、套接在圆柱体底部与圆柱体一体成型的带电磁加热线圈缠绕槽的圆环以及安装在电磁加热线圈缠绕槽上的线圈盖板组成；上压头和下压头上均套设有一水箱，水箱的内侧底面分别与上压头、下压头的线圈盖板通过螺栓紧密相贴，上真空罩和下真空罩上分别安装有一密封套，密封套由一空心圆柱体、设置在空心圆柱体底面的立方体底面以及一密封盖组成，空心圆柱体的外壁上均匀设有外螺纹，立方体底面上布置有若干与空心圆柱体相连通的水管、真空管、线路出口。本发明具有预热时间短，制冷效果好、真空性能好等优点，有效的提高了热压效率和热压质量。
Description
技术领域
本发明涉及机械结构领域，具体涉及一种热压机压头系统。
背景技术
现有的热压机压头系统热压效率低；不具有真空装置，影响热压成型质量。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供了一种热压机压头系统。
为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
一种热压机压头系统，包括相互配合的上真空罩、下真空罩、安装在上真空罩内的上压头以及安装在下真空罩内的下压头，所述上压头和下压头均由一圆柱体、套接在圆柱体底部与圆柱体一体成型的带电磁加热线圈缠绕槽的圆环以及安装在电磁加热线圈缠绕槽上的线圈盖板组成；所述上压头和下压头上均套设有一水箱，水箱的内侧底面分别与上压头、下压头的线圈盖板通过螺栓紧密相贴；所述上真空罩和下真空罩上分别安装有一密封套，该密封套由一空心圆柱体、设置在空心圆柱体底面的立方体底面以及一密封盖组成，该空心圆柱体的外壁上均匀设有外螺纹，该立方体底面上布置有若干与空心圆柱体相连通的水管出口、真空管出口和线路出口，密封盖上设有与水管出口、真空管出口和线路出口同轴的出口，所述密封盖与立方体底面通过一个环形密封圈和密封胶进行密封。
优选地，所述上压头和下压头的上顶面上分别布设有四个用于将其安装在上真空罩和下真空罩内的螺栓孔。
优选地，水箱的内侧底面与所述立方体圆环通过螺栓固接，外侧底面上设有水管接口。
优选地，所述上压头通过螺栓安装在上真空罩内，所述下压头通过螺栓安装在下真空罩内。
优选地，所述电磁加热线圈缠绕槽内布设有电磁加热线圈。
优选地，所述上真空罩和上真空罩的侧面上均开设有一密封套连接孔。
优选地，所述上真空罩和下真空罩的底面上均开设有若干压头连接孔。
优选地，所述下真空罩内沿圆周方向设有两层台阶，其中，上方的台阶用于安装密封圈，该密封圈用于实现上真空罩、下真空罩的对接密封。
优选地，所述下真空罩的上边缘沿圆周方向布置有若干螺栓孔，用于连接压紧密封圈的端盖。
本发明具有以下有益效果：
1、设计了一套电磁加热的压头结构，提高了热压效率。
2、设计了一套密封装置，提高了芯片沟道成型质量。
附图说明
图1为本发明实施例中上真空罩与上压头的连接结构示意图。
图2为本发明实施例中下真空罩与下压头的连接结构示意图。
图3为本发明实施例中上/下压头的结构示意图。
图4为本发明实施例中上/下压头的俯视图。
图5为图4中A-A的剖面图。
图6为本发明实施例中密封套的结构示意图。
图7为本发明实施例中密封套的剖面图。
图8为本发明实施例中上真空罩的结构示意图。
图9为本发明实施例中下真空罩的外部结构示意图。
图10为本发明实施例中下真空罩的俯视图。
图11为图9中A-A的剖面图。
图12为本发明一个具体应用例的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明，但不以任何形式限制本发明。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进。这些都属于本发明的保护范围。
如图1-图11所示，本发明实施例提供了一种热压机压头系统，包括相互配合的上真空罩1、下真空罩2、安装在上真空罩1内的上压头3以及安装在下真空罩2内的下压头4，下真空罩2的上顶端安装有一密封盖A，所述上压头3和下压头4均由一圆柱体5、套接在圆柱体底部与圆柱体一体成型的带电磁加热线圈缠绕槽7的圆环6以及安装在电磁加热线圈缠绕槽7上的线圈盖板组成；所述上压头3和下压头4上均套设有一水箱8，水箱8的内侧底面分别与上压头3、下压头4的线圈盖板通过螺栓紧密相贴，外侧底面上设有水管接口14；所述上真空罩1和下真空罩2上分别安装有一密封套9，由于真空室要外接水管、线路等，为了提高真空室的真空度，设计了图6-图7所示的密封套，解决了真空室出口等等问题；该密封套9由一空心圆柱体10、设置在空心圆柱体10底面的立方体底面11以及一密封盖组成，该空心圆柱体的外壁上均匀设有外螺纹，该立方体底面上布置有若干与空心圆柱体相连通的水管出口、真空管出口、线路出口12，图6中上面三个空分别为水管出口、真空管出口、线路出口，密封盖18上设有与水管出口、真空管出口和线路出口同轴的出口，所述密封盖18与立方体底面通过一个环形密封圈和密封胶进行密封。所述下真空罩内沿圆周方向设有两层台阶，其中，上方的台阶用于安装密封圈，该密封圈用于实现上真空罩1、下真空2的对接密封。所述下真空罩的上边缘沿圆周方向布置有若干螺栓孔17，用于连接压紧密封圈的端盖。
考虑到现有热压机框架结构的大小限制，本具体实施将压头设计成圆形，有利于节省空间，为了保证热压成型最后脱模时温度降到实验要求，设计了与压头板底面紧密接触的循环水箱，通过循环水换热降温，有效的提高了热压效率；为了更好地达到实验要求，提高芯片的热压质量，结合恒热压力框架结构设计了上下对接式的真空室；有效的避免了热压过程中气泡的产生，提高了热压质量。
以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变化或修改，这并不影响本发明的实质内容。在不冲突的情况下，本申请的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。
Claims (9)
1.一种热压机压头系统，包括相互配合的上真空罩(1)、下真空罩(2)、安装在上真空罩(1)内的上压头(3)以及安装在下真空罩(2)内的下压头(4)，其特征在于：所述上压头(3)和下压头(4)均由一圆柱体(5)、套接在圆柱体底部与圆柱体一体成型的带电磁加热线圈缠绕槽(7)的圆环(6)以及安装在电磁加热线圈缠绕槽(7)上的线圈盖板组成；所述上压头(3)和下压头(4)上均套设有一水箱(8)，水箱(8)的内侧底面分别与上压头(3)、下压头(4)的线圈盖板通过螺栓紧密相贴；所述上真空罩(1)和下真空罩(2)上分别安装有一密封套(9)，该密封套(9)由一空心圆柱体(10)、设置在空心圆柱体(10)底面的立方体底面(11)以及一密封盖(18)组成，该空心圆柱体的外壁上均匀设有外螺纹，该立方体底面上布置有若干与空心圆柱体相连通的水管出口、真空管出口和线路出口(12)，密封盖(18)上设有与水管出口、真空管出口和线路出口同轴的出口，所述密封盖(18)与立方体底面通过一个环形密封圈和密封胶进行密封。
2.如权利要求1所述的一种热压机压头系统，其特征在于：所述上压头(3)和下压头(4)的上顶面上分别布设有四个用于将其安装在上真空罩(1)和下真空罩(2)内的螺栓孔。
3.如权利要求1所述的一种热压机压头系统，其特征在于：水箱(8)的内侧底面与所述圆环(6)通过螺栓固接，外侧底面上设有水管接口(14)。
4.如权利要求1所述的一种热压机压头系统，其特征在于：所述上压头(3)通过螺栓安装在上真空罩(1)内，所述下压头(4)通过螺栓安装在下真空罩(2)内。
5.如权利要求1所述的一种热压机压头系统，其特征在于：所述电磁加热线圈缠绕槽(7)内布设有电磁加热线圈。
6.如权利要求1所述的一种热压机压头系统，其特征在于：所述上真空罩和上真空罩的侧面上均开设有一密封套连接孔。
7.如权利要求1所述的一种热压机压头系统，其特征在于：所述上真空罩(1)和下真空罩(2)的底面上均开设有若干压头连接孔(15)。
8.如权利要求1所述的一种热压机压头系统，其特征在于：所述下真空罩内沿圆周方向设有两层台阶，其中，上方的台阶用于安装密封圈，该密封圈用于实现上真空罩(1)、下真空罩(2)的对接密封。
9.如权利要求1所述的一种热压机压头系统，其特征在于：所述下真空罩的上边缘沿圆周方向布置有若干螺栓孔(17)，用于连接压紧密封圈的端盖。
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