CN109558611A - 图形匹配方法及其匹配系统 - Google Patents

Abstract

一种图形匹配方法及其匹配系统，所述匹配方法包括：对匹配版图进行划区处理，将匹配版图划分为多个分区域，各个分区域分别包括多个比较区域；进行匹配处理，在待匹配版图上获取匹配区域，匹配区域与匹配版图上所有的比较区域相匹配；根据所述匹配区域在所述待匹配版图中获取等同区域，所述等同区域包括所述匹配区域，所述等同区域边缘与所述匹配版图边缘全等，所述匹配区域在所述等同区域中的位置为第一位置，所述比较区域在所述匹配版图中的位置为第二位置，所述第一位置与第二位置相同。所述划区处理用于将所述匹配版图划分为多个分区域，通过对每个分区域中的比较区域进行匹配处理能够简化图形匹配的复杂度，从而节约计算时间。

Description

图形匹配方法及其匹配系统

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种图形匹配方法及其匹配系统。

背景技术

随着半导体制造技术的飞速发展，半导体器件朝着更高的元件密度，以及更高集成度的方向发展。随着半导体器件的元件密度和集成度的提高，晶体管的尺寸也越来越小，芯片上集成的晶体管越来越多。

随着芯片上集成的晶体管数量的增加，使得芯片的制造工艺越来越复杂。特别是在光刻技术中，为了减小光的衍射和干涉引起的光刻图形的畸变，业界引入光学邻近效应修正(OPC)方法对掩膜版图形进行修正。由于光学邻近效应修正的时间较长，产生的文件大小呈指数级增长，使掩膜版的制造成本成倍增加。由于芯片中的晶体管数量较大，芯片版图包含大量的相同的图形，例如芯片中往往具有多个相同的CPU或GPU，多个相同的CPU或GPU具有相同的掩膜版图形。为了降低掩膜版的制造成本，业界往往将经过光学邻近效应修正的掩膜版修正图形和对应的芯片版图进行保存，建立规则库。在制造新的芯片时，将新的芯片版图与规则库中的芯片图形进行匹配，在新的芯片图形中获取与规则库中的芯片图形相同的图形，从而可以直接利用规则库中的掩膜版修正图形。

然而，由于规则库中的芯片版图及新芯片图形中的图形信息量巨大，图形匹配的时间过长，从而导致掩膜版的制造成本仍然很大。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种图形匹配方法及其匹配系统，能够缩短图形匹配的时间、简化计算量。

为解决上述问题，本发明技术方案提供一种图形匹配方法，包括：提供匹配版图和待匹配版图，所述匹配版图包括多个匹配图形，所述待匹配版图包括多个待匹配图形；对所述匹配版图进行划区处理，将所述匹配版图划分为多个分区域，各个分区域分别包括多个比较区域；进行匹配处理，在所述待匹配版图上获取匹配区域，所述匹配区域与匹配版图上所有的比较区域相匹配；根据所述匹配区域在所述待匹配版图中获取等同区域，所述等同区域包括所述匹配区域，所述等同区域边缘与所述匹配版图边缘全等，所述匹配区域在所述等同区域中的位置为第一位置，所有比较区域在所述匹配版图中的位置为第二位置，所述第一位置与第二位置相同。

可选的，所述匹配处理的步骤包括：在各分区域中分别选取任意一个比较区域作为第一起始区域，第一起始区域之外的比较区域为循环比较区域；根据所述第一起始区域对所述待匹配版图进行查询处理，在所述待匹配版图中获取第二起始区域，所述第二起始区域与所述第一起始区域匹配；获取自所述第一起始区域指向任一循环比较区域的起始位移；根据所述起始位移在所述待匹配版图中获取循环匹配区域，自所述第二起始区域指向循环匹配区域的位移等于所述起始位移，所述循环匹配区域边缘与所述起始位移指向的循环比较区域边缘全等；对所述循环匹配区域与所述起始位移指向的循环比较区域进行比较处理。

可选的，所述匹配处理的步骤还包括：如果所述比较处理成功，获取自上次进行比较处理的循环比较区域指向另一循环比较区域的比较位移；根据所述比较位移在所述待匹配版图中获取循环匹配区域，本次获取的循环匹配区域边缘与所述比较位移指向的循环比较区域边缘全等，自上次获取的循环匹配区域指向本次获取的循环匹配区域的位移等于所述比较位移；对最近一次获取的次获取的循环匹配区域与所述比较位移指向的循环比较区域进行比较处理；如果所述比较处理成功，获取所述循环匹配区域，并重复所述获取比较位移、获取循环匹配区域和比较处理的步骤直至所有比较区域都经过所述查询处理或比较处理。

可选的，各分区域包括中心区域和包围所述中心区域的外围区域；多个所述比较区域中包括位于所述外围区域的外围比较区域。

可选的，所述外围比较区域的个数为多个，所述外围比较区域的边缘分别与分区域边缘重合，且相邻外围比较区域中心之间的距离相等。

可选的，所述外围比较区域边缘形状与所述分区域边缘形状为相似图形，且每个所述外围比较区域具有一个顶角与所述分区域的一个顶角重合。

可选的，与所述外围比较区域中心距离最小的分区域边缘为邻近边，所述外围比较区域中心到所述邻近边的距离为第一距离，所述分区域中心到所述邻近边的距离为第二距离，所述第二距离为第一距离的2倍。

可选的，多个分区域的边缘全等；多个外围比较区域的边缘全等。

可选的，所述分区域为正多边形，所述外围比较区域的个数与所述分区域的边数相同。

可选的，多个比较区域中包括位于所述中心区域的中心比较区域，所述中心比较区域的中心与所述分区域的中心重合。

可选的，所述中心比较区域与所述分区域边缘形状为相似图形；所述外围比较区域与所述分区域边缘形状为相似图形。

可选的，所述中心比较区域、外围比较区域和所述分区域为正方形；所述外围比较区域的个数为4个；4个外围比较区域按顺时针或逆时针排列分别为第一外围比较区域、第二外围比较区域、第三外围比较区域和第四外围比较区域。

可选的，所述第一外围比较区域为第一起始区域，第二外围比较区域、第三外围比较区域、第四外围比较区域和中心比较区域为循环比较区域；所述匹配处理的步骤包括：

获取自所述第一外围比较区域指向第二外围比较区域的起始位移；根据所述起始位移在所述待匹配版图中获取第七循环匹配区域，所述第七循环匹配区域边缘与所述第二外围比较区域边缘全等，自所述第二起始区域指向第七循环匹配区域的位移等于所述起始位移；对所述第七循环匹配区域与所述第二外围比较区域进行比较处理，如果所述第七循环匹配区域与所述第二外围比较区域匹配，获取所述第七循环匹配区域；

获取自所述第二外围比较区域中心指向所述第三外围比较区域中心的第一比较位移；根据所述第一比较位移在所述待形成版图中获取第一循环匹配区域，所述第一循环匹配区域边缘与所述第三外围比较区域边缘全等，自所述第一循环匹配区域指向所述第七循环匹配区域的位移等于所述第一比较位移；对所述第一循环匹配区域与所述第三外围比较区域进行比较处理，如果所述第一循环匹配区域与所述第三外围比较区域匹配，获取所述第一循环匹配区域；

获取自所述第三外围比较区域中心指向所述第四外围比较区域中心的第二比较位移；根据所述第二比较位移在所述待形成版图中获取第二循环匹配区域，所述第二循环匹配区域边缘与所述第四外围比较区域边缘全等；对所述第二循环比较区域与所述第四外围比较区域进行比较处理，如果所述第二循环比较区域与所述第四外围比较区域匹配，获取所述第二循环比较区域；

获取自所述第四外围比较区域中心指向所述中心比较区域中心的第三比较位移；根据所述第三比较位移在所述待形成版图中获取第三循环匹配区域，所述第三循环匹配区域边缘与所述中心围比较区域边缘全等；对所述第三循环匹配区域与所述中心比较区域进行比较处理，如果所述第三循环匹配区域与所述中心比较区域匹配，获取所述第三循环匹配区域。

可选的，所述中心比较区域匹配为所述第一起始区域，四个外围比较区域为循环比较区域；所述匹配处理的步骤包括：

获取自所述中心比较区域中心指向所述第一外围比较区域中心的起始位移；根据所述起始位移在所述待匹配版图中获取第八循环匹配区域，所述第八循环匹配区域边缘与所述第一外围比较区域边缘全等，自所述第二起始区域指向第八循环匹配区域的位移等于所述起始位移；对所述第八循环匹配区域和所述第一外围比较区域进行比较处理，如果所述第八循环匹配区域与所述第一外围比较区域匹配，获取所述第八循环匹配区域；

获取自所述第一外围比较区域中心至所述第二外围比较区域中心的第四比较位移；根据所述第四比较位移在所述待匹配版图中获取第一循环匹配区域，所述第一循环匹配区域边缘与所述第二外围比较区域边缘全等，自所述第八循环匹配区域指向第一循环匹配区域的位移等于所述第四比较位移；对所述第一循环匹配区域和所述第二外围比较区域进行比较处理，如果所述第一循环匹配区域和所述第二外围比较区域匹配，获取所述第一循环匹配区域；

获取自所述第二外围比较区域中心至所述第三外围比较区域中心的第五比较位移；根据所述第五比较位移在所述待匹配版图中获取第二循环匹配区域，所述第二循环匹配区域边缘与所述第三外围比较区域边缘全等，自所述第一循环匹配区域指向第二循环匹配区域的位移等于所述第五比较位移；对所述第二循环匹配区域和所述第三外围比较区域进行比较处理，如果所述第二循环匹配区域和所述第三外围比较区域匹配，获取所述第二循环匹配区域；

获取自所述第三外围比较区域中心至所述第四外围比较区域中心的第六比较位移；根据所述第六比较位移在所述待匹配版图中获取第三循环匹配区域，所述第三循环匹配区域边缘与所述第四外围比较区域边缘全等，自所述第三循环匹配区域指向第二循环匹配区域的位移等于所述第六比较位移；对所述第三循环匹配区域和所述第四外围比较区域进行比较处理，如果所述第三循环匹配区域和所述第四外围比较区域匹配，获取所述第四循环匹配区域。

可选的，各个分区域的边缘全等。

可选的，所述匹配处理的步骤包括：在所述待匹配版图中对所有比较区域进行查询处理，在所述待匹配版图中获取匹配区域，所述匹配区域与所有比较区域匹配的匹配区域。

可选的，所述比较区域为等边多边形，所述分区域为等边多边形；所述分区域与所述比较区域的边长之比值为40～100。

可选的，所述比较区域和分区域为正方向；所述分区域的边长为90μm～110μm；所述比较区域的边长为1.8μm～2.2μm。

本发明技术方案还提供一种图形匹配系统，包括：输入模块，用于提供匹配版图和待匹配版图，所述匹配版图包括多个匹配图形，所述待匹配版图包括多个待匹配图形；划区模块，用于对所述匹配版图进行划区处理，将所述匹配版图划分为多个分区域，各个分区域分别包括多个比较区域；匹配模块，用于进行匹配处理，在所述待匹配版图中获取匹配区域，所述匹配区域与匹配版图上所有的比较区域相匹配；等同区域获取模块，所述等同区域获取模块用于根据所述匹配区域，在所述待匹配版图中获取等同区域，所述等同区域边缘与所述匹配版图边缘全等，所述等同区域包括所述匹配区域，所述匹配区域在所述等同区域中的位置为第一位置，所有比较区域在所述匹配版图中的位置为第二位置，所述第一位置与第二位置相同。

可选的，所述匹配模块包括：指定模块，所述指定模块用于在各分区域中分别选取任意一个比较区域作为第一起始区域，第一起始区域之外的比较区域为循环比较区域；查询模块，所述查询模块用于根据所述第一起始区域对所述待匹配版图进行查询处理，在所述待匹配版图中获取第二起始区域，所述第二起始区域与所述第一起始区域匹配；第二起始区域获取模块，所述第二起始区域获取模块用于在所述待匹配版图中获取第二起始区域，所述第二起始区域与所述第一起始区域匹配；起始位移获取模块，起始位移获取模块用于获取自所述第一起始区域指向任一循环比较区域的起始位移；第一循环匹配区域获取模块，所述第一循环匹配区域获取模块用于根据所述起始位移在所述待匹配版图中获取循环匹配区域，自所述第二起始区域指向本次获取的循环匹配区域的位移等于所述起始位移，所述循环匹配区域边缘与所述起始位移指向的循环比较区域边缘全等；第一比较模块，所述比较模块用于对最近一次获取的循环匹配区域与所述起始位移指向的循环比较区域进行比较处理；比较位移获取模块，所述比较位移获取模块用于当所述比较处理成功时，获取自上次进行比较处理的循环比较区域指向另一循环比较区域的比较位移；第二循环匹配区域获取模块，所述第二循环匹配区域获取模块用于根据所述比较位移在所述待匹配版图中获取循环匹配区域，本次获取的循环匹配区域边缘与所述比较位移指向的循环比较区域边缘全等，自上次获取的循环匹配区域指向本次获取的循环匹配区域的位移等于所述比较位移；第二比较模块，所述比较处理模块用于对最近一次获取的循环匹配区域与所述比较位移指向的循环比较区域进行比较处理。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

本发明技术方案提供的图形匹配方法中，匹配处理之前，对所述匹配版图进行划区处理，将所述匹配版图划分为多个分区域。所有分区域构成所述匹配版图，各个分区域中均具有比较区域，则比较区域的分布较均匀。对所有分区域中的比较区域进行匹配处理，能够使进行匹配的比较区域较分布较均匀，从而能够保证匹配处理的正确性。另外，所述划区处理用于将所述匹配版图划分为多个分区域，通过对每个分区域中的比较区域进行匹配处理能够降低图形匹配的复杂度，从而节约计算时间。

进一步，所述外围比较区域的边缘分别与分区域边缘重合，后续匹配处理之后，可以根据匹配区域的边界得到等同区域的边界，从而能够较容易地获取所述等同区域，进而能够降低计算复杂度。

进一步，所述第二距离为第一距离的2倍，能够使不同分区域中相邻的比较区域中心之间的距离与同一区域中相邻的比较区域中心之间的距离相等，从而能够使所述比较区域分布较均匀，进而能够增加图形匹配方法的精度。

本发明技术方案提供的图形匹配系统中，所述图形匹配系统包括划分模块，所述划分模块能够将所述匹配版图划分为多个分区域，所有分区域构成所述匹配版图。所述匹配模块用于对所有分区域中的比较区域进行匹配处理，能够减少匹配版图中未进行匹配处理的匹配图形，从而能够保证匹配处理的正确性。另外，所述划区处理用于将所述匹配版图划分为多个分区域，通过对每个分区域中的比较区域进行匹配处理能够简化图形匹配的复杂度，从而节约计算时间。

附图说明

图1是本发明的图形匹配方法一实施例的流程图；

图2和图3是本发明的图形匹配方法一实施例中划区处理的结构示意图；

图4是本发明的图形匹配方法一实施例中匹配处理各步骤的流程图；

图5至图9是本发明的图形匹配方法一实施例中匹配处理各步骤的结构示意图；

图10和图11是本发明的图形匹配系统一实施例的结构示意图。

具体实施方式

现有的图形匹配方法存在诸多问题，例如，图形匹配的计算复杂度较大、图形匹配的时间过长。

现结合一种图形匹配方法，分析所述图形匹配方法的计算复杂度较大、图形匹配的时间过长的原因：

所述图形匹配方法的步骤包括：提供匹配版图和待匹配版图，所述匹配版图包括多个匹配图形，所述待匹配版图包括多个待匹配图形；对待匹配版图进行扫描，在所述待匹配版图中查找与所述匹配版图匹配的等同区域，与所述匹配版图匹配的等同区域指的是所述等同区域中的待匹配图形与所述匹配版图中的匹配图形的尺寸、形状和相对位置相同。

其中，由于所述匹配版图中具有大量的匹配图形，所述待匹配版图中具有大量的待匹配图形。在查找等同区域的过程中，需要在待匹配版图中对所有的匹配图形进行查找，从而导致所述图形匹配方法的计算复杂度较大，用时较长。

为了解决上述问题，本发明提供一种图形匹配方法，包括：对所述匹配版图进行划区处理，将所述匹配版图划分为多个分区域，各个分区域分别包括多个比较区域；进行匹配处理，在所述待匹配版图上获取匹配区域，所述匹配区域与匹配版图上所有的比较区域相匹配。其中，所述划区处理用于将所述匹配版图划分为多个分区域，通过对每个分区域中的比较区域进行匹配处理能够简化图形匹配的复杂度，从而节约计算时间。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

图1是本发明实施例的图形匹配方法一实施例各步骤的流程图。

请参考图1，所述图形匹配方法包括：

步骤S01，提供匹配版图和待匹配版图，所述匹配版图包括多个匹配图形，所述待匹配版图包括多个待匹配图形；

步骤S02，对所述匹配版图进行划区处理，将所述匹配版图划分为多个分区域，各个分区域分别包括多个比较区域；

步骤S03，进行匹配处理；

如果所述匹配处理成功，执行步骤S04和S05；如果匹配处理不成功，所述待匹配版图中不具有所述匹配版图；

步骤S04，在所述待匹配版图上获取匹配区域，所述匹配区域与匹配版图上所有的比较区域相匹配；

步骤S05，根据所述匹配区域，在所述待匹配版图中获取等同区域，所述等同区域包括所述匹配区域，所述等同区域边缘与所述匹配版图边缘全等，所述匹配区域在所述等同区域中的位置为第一位置，所有比较区域在所述匹配版图中的位置为第二位置，所述第一位置与第二位置相同。

图2和图3是本发明的图形匹配方法一实施例中划区处理的结构示意图。以下结合图2和图3对划区处理进行详细说明。

请参考图2，提供匹配版图100和待匹配版图200(如图5所示)，所述匹配版图100包括多个匹配图形，所述待匹配版图200包括多个待匹配图形。

本实施例中，所述待匹配图形200为用于在光刻工艺中形成掩膜版的设计图形。匹配图形为由其得到的掩膜版已知的设计图形。

所述待匹配版图200用于后续进行匹配处理，从而在所述待匹配版图200中寻找与匹配版图100匹配的等同区域，因此，在光刻工艺中，能够直接利用由所述匹配版图100得到的掩膜版图形作为所述等同区域的掩膜版图形，从而能够简化光刻工艺。

结合参考图3，对所述匹配版图100进行划区处理，将所述匹配版图100划分为多个分区域110，各个分区域110包括多个比较区域。

所述划区处理用于将所述匹配版图100划分为多个分区域110，通过对每个分区域110中的比较区域进行匹配处理能够简化图形匹配的复杂度。另外，所有分区域110构成所述匹配版图100，对所有分区域110中的比较区域进行匹配处理，能够使进行匹配处理的比较区域分布较均匀，从而能够保证匹配处理的正确性。

所述分区域110包括中心区域和包围所述中心区域的外围区域；多个比较区域中包括位于所述外围区域的多个外围比较区域。

本实施例中，所述分区域110为多边形。多个分区域110的边缘全等，即多个分区域110边缘为全等的多边形。在其他实施例中，分区域的形状可以不全等。

本实施例中，多个全等的分区域110构成所述匹配版图100，所述分区域110的形状为矩形、正三角形、正六边形或菱形。具体的，所述分区域110为正方形。在其他实施例中，所述分区域还可以为不规则形状。

本实施例中，外围比较区域为多边形。在其他实施例中，所述外围比较区域还可以为圆形或不规则形状。

本实施例中，所述多个外围比较区域边缘全等。所述全等指的是多个外围比较区域边缘为全等的多边形。在其他实施例中，多个所述外围比较区域边缘可以不全等。

本实施例中，所述外围比较区域的边缘形状与所述分区域110的边缘形状为相似图形，则所述外围比较区域的形状为正方形。在其他实施例中，所述外围比较区域的形状与所述分区域的形状不相同。所述相似图形指的是所述外围比较区域的边缘与所述分区域110的边缘为形状相同、且大小不相等的图形。

本实施例中，所述外围比较区域的边缘分别与分区域110边缘接触，且相邻外围比较区域中心之间的距离相等。所述外围比较区域边缘形状与所述分区域110边缘形状为相似图形，且每个所述外围比较区域具有一个顶角与所述分区域110的一个顶角重合。

所述外围比较区域边缘形状与所述分区域110边缘形状为相似图形指的是，所述外围比较区域边缘与所述分区域110边缘形成的图形形状相同、且大小不相等。

所述外围比较区域的边缘分别与分区域110边缘接触，后续匹配处理之后，可以根据后续的匹配区域的边界得到等同区域的边界，从而能够较容易地获取所述等同区域，进而能够降低计算复杂度。

在其他实施例中，与所述外围比较区域中心距离最小的分区域边缘为邻近边，所述外围比较区域中心到所述邻近边的距离为第一距离，所述分区域中心到所述邻近边的距离为第二距离，所述第二距离为第一距离的2倍。

所述第二距离为第一距离的2倍，能够使不同分区域中相邻的比较区域中心之间的距离与同一区域中相邻的比较区域中心之间的相等，从而能够使所述比较区域分布较均匀，进而能够增加图形匹配方法的精度。

本实施例中，多个比较区域还包括位于所述中心区域的中心比较区域115，所述中心比较区域115的中心与所述分区域110的中心重合。在其他实施例中，多个比较区域可以不包括所述中心比较区域。

本实施例中，所述中心比较区域115的形状为多边形。在其他实施例中，所述中心比较区域的形状还可以为圆形或不规则形状。

本实施例中，所述中心比较区域115边缘与所述外围比较区域边缘全等。在其他实施例中，所述中心比较区域与所述外围比较区域的形状可以不相同，所述中心比较区域与所述外围比较区域的边长可以不相等。

在分区域110中比较区域的个数一定的条件下，如果所述分区域110与所述比较区域的边长之比值过大，容易使图形匹配的结果出现错误；如果所述分区域110与所述比较区域的边长之比值过小，容易增加图形匹配方法的复杂度，延长图形匹配的时间。所述分区域110与所述比较区域的边长之比值为40～100，具体的，本实施例中，所述分区域110与所述比较区域的边长之比值为50。

所述分区域110与所述比较区域的边长之比值一定的条件下，如果所述外围比较区域的个数过少，使所述比较区域中匹配图形较少，从容易使图形匹配的结果出现错误；如果所述外围比较区域的个数过多，容易增加图形匹配方法的复杂度，延长图形匹配的时间。因此，所述外围比较区域的个数为3～10。

所述外围比较区域的个数与所述分区域110的边数相同。具体的，本实施例中，所述外围比较区域的个数为4个。在其他实施例中，所述外围比较区域的个数与所述分区域的边数可以不相同。

在分区域110中的比较区域的尺寸和数量一定的条件下，如果所述分区域110的边长过小，则所述分区域110的个数过多，容易导致后续比较处理的计算计算复杂度，延长图形匹配方法的时间；如果所述分区域110的边长过大，则所述分区域110的个数过少，则比较区域的个数较少，从而容易使图形匹配的结果出现错误。具体的，本实施例中，所述分区域110的边长为90μm～110μm。所述比较区域的边长为1.8μm～2.2μm。

本实施例中，所述中心比较区域115、外围比较区域和所述分区域110为正方形；所述外围比较区域的个数为4个；4个外围比较区域按逆时针排列分别为第一外围比较区域111、第二外围比较区域112、第三外围比较区域113和第四外围比较区域114。在其他实施例中，第一外围比较区域、第二外围比较区域、第三外围比较区域和第四外围比较区域可以按顺时针排列。

在同一分区域110中自一个比较区域至另一个比较区域具有位移。

本实施例中，第二起始区域、第七循环匹配区域、第一循环匹配区域、第二循环匹配区域和第三循环匹配区域之间的位置关系为第一位置关系，所述比较区域之间的位置关系为第二位置关系。所述位移用于使所述第一位置关系与第二位置关系相同。

后续在所述待匹配版图200上对所述比较区域进行匹配处理，获取匹配区域，所述匹配区域与匹配版图上所有的比较区域相匹配；在所述待匹配版图200中获取等同区域，所述等同区域包括所述匹配区域，所述等同区域边缘与所述匹配版图100边缘全等，所述匹配区域在所述等同区域中的位置为第一位置，所有比较区域在所述匹配版图中的位置为第二位置，所述第一位置与第二位置相同；如果匹配不成功，则所述待匹配版图200上不具有所述匹配版图100。

所有比较区域所在的区域为全比较区域，所述匹配区域与匹配版图上所有的比较区域相匹配指的是，所述匹配区域中的任一待匹配图形与所述全比较区域中相应的匹配图形的形状相同、尺寸相等且相对位置相同。所有比较区域在所述匹配版图中的位置为第二位置指的是所述全比较区域在所述匹配版图中的位置为第二位置。

本实施例中，所述匹配处理的步骤如图4至图9所示。

图4是本发明的图形匹配方法一实施例中匹配处理各步骤的流程图。

请参考图4，所述匹配处理的步骤包括：

步骤S11，在各分区域中分别选取任意一个比较区域作为第一起始区域，第一起始区域之外的比较区域为循环比较区域；

步骤S12，根据所述第一起始区域对所述待匹配版图进行查询处理；

如果查询处理成功，执行步骤S13，在所述待匹配版图中获取第二起始区域，所述第二起始区域与所述第一起始区域匹配；

步骤S14，获取自所述第一起始区域指向任一循环比较区域的起始位移；

步骤S15，根据所述起始位移在所述待匹配版图中获取循环匹配区域，自所述第二起始区域指向本次获取的循环匹配区域的位移等于所述起始位移，所述循环匹配区域边缘与所述起始位移指向的循环比较区域边缘全等；

步骤S16，对最近一次获取的循环匹配区域与所述起始位移指向的循环比较区域进行比较处理；

如果所述比较处理成功，执行步骤S17，获取自上次进行比较处理的循环比较区域指向另一循环比较区域的比较位移；

步骤S18，根据所述比较位移在所述待匹配版图中获取循环匹配区域，本次获取的循环匹配区域边缘与所述比较位移指向的循环比较区域边缘全等，自所述上次获取的循环匹配区域指向本次获取的循环匹配区域的位移等于所述比较位移；

步骤S19，对最近一次获取的所述循环匹配区域与所述比较位移指向的循环比较区域进行比较处理；

如果所述比较处理成功，获取循环匹配区域，并重复所述获取比较位移、获取循环匹配区域和比较处理的步骤直至所有比较区域都经过所述查询处理或比较处理。

图5至图9是本发明的图形匹配方法一实施例中匹配处理各步骤的结构示意图。

以下结合图5至图9对所述匹配处理的步骤做详细说明。

请参考图5，在各分区域110(如图3所示)中分别选取任意一个比较区域作为第一起始区域，第一起始区域之外的比较区域为循环比较区域；在所述待匹配版图200中对所述第一起始区域进行查询处理；如果查询处理成功，在所述待匹配版图200中获取第二起始区域211，所述第二起始区域211与所述第一起始区域匹配。

由于分区域110(如图3所示)的个数为多个，在各分区域中分别选取任意一个比较区域作为第一起始区域，则所述第一起始区域的个数为多个。

本实施例中，各分区域110边缘全等，且各分区域110中比较区域的分布相同。本实施例中，所述各分区域110中第一起始区域在分区域110中的位置相同。在其他实施例中，分区域110中第一起始区域在分区域110中的位置可以不相同。

在所述待匹配版图200中对所述第一起始区域进行查询处理，如果所述待匹配版图200中具有与所述第一起始区域匹配的区域，则查询处理成功，否则查询处理不成功；如果查询处理不成功，则所述匹配处理不成功，如果查询处理成功，在所述待匹配版图200中获取与所述第一起始区域匹配的第二起始区域211。

所述查询处理用于在所述待匹配版图200中查询所述待匹配版图200中是否具有第二起始区域211。如果查询处理不成功，则所述匹配处理不成功，输出所述待匹配版图200中不具有所述匹配版图100。

本实施例中，所述第一外围比较区域111为第一起始区域，第二外围比较区域112、第三外围比较区域113、第四外围比较区域114和中心区域115为循环比较区域。

本实施例中，进行查询处理的比较区域为第一外围比较区域111；所述第二起始区域211与所述第一外围比较区域111匹配。

所查询处理的步骤包括：对所述待匹配版图200进行扫描，在所述待匹配版图200中寻找与所述第一外围比较区域111匹配的第二起始区域211。

由于所述分区域110(如图2所示)的个数为多个，每个分区域110中具有一个第一起始区域111，则所述第一外围比较区域111的个数为多个，所述第二起始区域211的个数为多个。

所述第二起始区域211与第一外围比较区域111匹配指的是，进行本次比较处理的各分区域110的第一外围比较区域111分别与一个第二起始区域211匹配，且第二起始区域211之间的位置关系与各分区域中第一外围比较区域111之间的位置关系相同。

后续在所述待匹配版图200(如图5所示)中获取第二起始区域，所述第二起始区域与所述第一起始区域匹配；获取自所述第一起始区域指向任一循环比较区域的起始位移；根据所述起始位移在所述待匹配版图中获取循环匹配区域，自所述第二起始区域指向本次获取的循环匹配区域的位移等于所述起始位移，所述循环匹配区域边缘与所述起始位移指向的循环比较区域边缘全等；对最近一次获取的循环匹配区域与所述起始位移指向的循环比较区域进行比较处理。

请参考图6，获取自所述第一起始区域指向任一循环比较区域的起始位移；根据所述起始位移在所述待匹配版图200中获取第七循环匹配模块212，自所述第二起始区域指向第七循环匹配模块212的位移等于所述起始位移a，所述第七循环匹配模块212边缘与所述循环比较区域边缘全等；对所述第七循环匹配模块212与所述起始位移a指向的循环比较区域进行比较处理。

本实施例中，所述起始位移为起始位移a，所述任一循环比较区域为第二外围比较区域112。

具体的，本实施例中，所述匹配处理的步骤包括：获取自所述第一外围比较区域111指向第二外围比较区域112的起始位移a；根据所述起始位移a在所述待匹配版图中获取第七循环匹配模块212，所述第七循环匹配模块212边缘与所述第二外围比较区域112边缘全等，自所述第二起始区域211指向第七循环匹配模块212的位移等于所述起始位移a；对所述第七循环匹配模块212与所述第二外围比较区域112进行比较处理，如果所述第七循环匹配模块212与所述第二外围比较区域112匹配，获取所述第七循环匹配模块212。

由于各分区域110(如图3所示)中均具有一个第二外围区域，则所述第二外围区域的个数为多个。所述第七循环匹配模块212与所述第二外围比较区域112匹配指的是，进行本次比较处理的第二外围比较区域112均与分别与第七循环匹配模块212匹配，且第二外围比较区域112之间的位置关系与第七循环匹配模块212之前的位置关系相同。

各第二外围比较区域112均与分别与第七循环匹配模块212匹配指的是，第二外围比较区域112中的匹配图形与相应第七循环匹配模块212中的待匹配图形的形状相同、尺寸相等，且相对位置相同。

所述第七循环匹配模块212与所述第二外围比较区域112匹配则比较处理成功，否则第一比较结果为比较处理不成功。

所述第七循环匹配模块212与所述第二外围比较区域112全等是指第七循环匹配模块212与所述第二外围比较区域112的形状和尺寸相同。

如果本次所述比较处理不成功，则所述匹配处理不成功，则所述待匹配版图200中不具有所述匹配版图100(如图2所示)。如果本次比较处理成功则进行图7所示的进一步比较。

后续如果所述比较处理成功，获取自上次进行比较处理的循环比较区域指向另一循环比较区域的比较位移；根据所述比较位移在所述待匹配版图200(如图5所示)中获取循环匹配区域，本次获取的循环匹配区域边缘与所述比较位移指向的循环比较区域边缘全等，自上次获取的循环匹配区域指向本次获取的循环匹配区域的位移等于所述比较位移；对最近一次获取的循环匹配区域与所述比较位移指向的循环比较区域进行比较处理；如果所述比较处理成功，获取所述循环匹配区域，并重复所述获取比较位移、获取循环匹配区域和比较处理的步骤直至所有比较区域都经过所述查询处理或比较处理。

本实施例中，所述比较位移分别为第一比较位移b、第二比较位移c和第三比较位移d。获取的循环匹配区域分别为第一循环匹配区域、第二循环匹配区域和第三循环匹配区域。

具体的，本实施例中，重复所述获取比较位移、获取循环匹配区域和比较处理的步骤如图7至图9所示。

请参考图7，获取自所述第二外围比较区域112中心指向所述第三外围比较区域113中心的第一比较位移b；根据所述第一比较位移b在所述待形成版图中获取第一循环匹配区域213，所述第一循环匹配区域213边缘与所述第三外围比较区域113边缘全等，自所述第一循环匹配区域213指向所述第七循环匹配模块212的位移等于所述第一比较位移b；对所述第一循环匹配区域213与所述第三外围比较区域113进行比较处理，如果所述第一循环匹配区域213与所述第三外围比较区域113匹配，获取所述第一循环匹配区域213。

所述第一比较位移b为自所述第二外围比较区域112中心指向所述第三外围比较区域113中心的比较位移。

所述第一循环匹配区域213与所述第三外围比较区域113匹配，则比较处理成功，否则第二比较结果为比较处理不成功。

由于所述分区域110(如图3所示)的个数为多个，所述第三外围比较区域113的个数为多个，所述第一循环匹配区域213的个数为多个。所述第一循环匹配区域213与所述第三外围比较区域113匹配指的是，进行本次比较处理的各第一循环匹配区域213分别与第三外围比较区域113匹配，且多个第一循环匹配区域213之间的位置关系与多个第三外围比较区域113之间的位置关系相同。

各第一循环匹配区域213分别与第三外围比较区域113匹配指的是，第一循环匹配区域213中的待匹配图形与第三外围比较区域113中的匹配图形的形状相同、尺寸相等、且相对位置相同。

所述第一循环匹配区域213与所述第三外围比较区域113全等是指第一循环匹配区域213与所述第三外围比较区域113的形状和尺寸相同。

本实施例中，如果本次所比较处理不成功，则所述匹配处理不成功，则输出所述待匹配版图200中不具有所述匹配版图100。如果本次比较处理成功，则进行图8所示的进一步比较。

请参考图8，获取自所述第三外围比较区域113中心指向所述第四外围比较区域114中心的第二比较位移c；根据所述第二比较位移c在所述待形成版图中获取第二循环匹配区域214，所述第二循环匹配区域214边缘与所述第四外围比较区域114边缘全等；对所述第二循环比较区域214与所述第四外围比较区域114进行比较处理，如果所述第二循环比较区域214与所述第四外围比较区域114匹配，获取所述第二循环比较区域214。

所述第二比较位移c为自所述第三外围比较区域113中心指向所述第四外围比较区域114中心的比较位移。

所述第二循环匹配区域214与所述第四外围比较区域114匹配则比较处理成功，否则第三比较结果为比较处理不成功。

由于所述分区域110(如图3所示)的个数为多个，所述第四外围比较区域114的个数为多个，所述第二循环匹配区域214的个数为多个。所述第二循环匹配区域214与所述第四外围比较区域114匹配指的是，进行本次比较处理的各第二循环匹配区域214分别与第四外围比较区域114匹配，且多个第二循环匹配区域214之间的位置关系与多个第四外围比较区域114之间的位置关系相同。

各第二循环匹配区域214分别与第四外围比较区域114匹配指的是，第二循环匹配区域214中的待匹配图形与第四外围比较区域114中的匹配图形的形状相同、尺寸相等、且相对位置相同。

所述第二循环匹配区域214与所述第四外围比较区域114全等是指第二循环匹配区域214与所述第四外围比较区域114的形状和尺寸相同。

如果所述第三比较结果为比较处理不成功，则所述匹配处理不成功，则输出所述待匹配版图200中不具有所述匹配版图100(如图2所示)。如果比较结果为比较处理不成功则进行图9所示的进一步比较。

请参考图9，获取自所述第四外围比较区域114中心指向所述中心比较区域中心115的第三比较位移d；根据所述第三比较位移d在所述待形成版图中获取第三循环匹配区域215，所述第三循环匹配区域边缘215与所述中心围比较区域115边缘全等；对所述第三循环匹配区域215与所述中心比较区域115进行比较处理，如果所述第三循环匹配区域215与所述中心比较区域匹配115，获取所述第三循环匹配区域215。

所述第三比较位移d为自所述第四外围比较区域114中心指向所述中心比较区域中心115的比较位移。

所述第三循环匹配区域215与所述中心比较区域115匹配，则比较处理成功，否则比较处理不成功。

由于所述分区域110(如图3所示)的个数为多个，所述中心比较区域115的个数为多个，所述第三循环匹配区域215的个数为多个。所述第三循环匹配区域215与所述中心比较区域115匹配指的是，进行本次比较处理的各第三循环匹配区域215分别与中心比较区域115匹配，且多个第三循环匹配区域215之间的位置关系与多个中心比较区域115之间的位置关系相同。

各第三循环匹配区域215分别与中心比较区域115匹配指的是，第三循环匹配区域215中的待匹配图形与中心比较区域115中的匹配图形的形状相同、尺寸相等、且相对位置相同。

所述第三循环匹配区域215与所述中心比较区域115全等是指第三循环匹配区域215与所述中心比较区域115的形状和尺寸相同。

如果本次比较处理不成功，则所述匹配处理不成功，则输出所述待匹配版图200中不具有所述匹配版图100(如图2所示)；如果本次比较处理成功则匹配处理成功。

如果匹配处理成功，在所述待匹配版图200中获取等同区域，所述等同区域包括所述匹配区域，所述匹配区域在所述等同区域中的位置为第一位置，所述比较区域在所述匹配版图中的位置为第二位置，且所述匹配区域边缘与所述匹配版图边缘全等；如果匹配不成功，则所述待匹配版图200上不具有所述匹配版图100。

本实施例中，如果匹配处理成功，所有比较区域都经过所述查询处理或比较处理，获取所述匹配区域。

本实施例中，所述外围比较区域与所述分区域边缘形状为相似图形，且每个所述外围比较区域具有一个顶角与所述分区域的一个顶角重合。通过所述匹配区域的顶角能够确定所述等同区域的顶角，从而确定所述等同区域。

本实施例中，以匹配区域的顶角为顶角的最大的正方形区域为所述等同区域。

本实施例中，所述第一外围比较区域111为第一起始区域，第二外围比较区域112、第三外围比较区域113、第四外围比较区域114和中心比较区域145为循环比较区域。

在其他实施例中，所述中心比较区域匹配为所述第一起始区域，四个外围比较区域为循环比较区域。

所述匹配处理的步骤包括：获取自所述中心比较区域中心指向所述第一外围比较区域中心的起始位移；根据所述起始位移在所述待匹配版图中获取第八循环匹配区域，所述第八循环匹配区域边缘与所述第一外围比较区域边缘全等，自所述第二起始区域指向第八循环匹配区域的位移等于所述起始位移；对所述第八循环匹配区域和所述第一外围比较区域进行比较处理，如果所述第八循环匹配区域与所述第一外围比较区域匹配，获取所述第八循环匹配区域；获取自所述第一外围比较区域中心至所述第二外围比较区域中心的第四比较位移；根据所述第四比较位移在所述待匹配版图中获取第一循环匹配区域，所述第一循环匹配区域边缘与所述第二外围比较区域边缘全等，自所述第八循环匹配区域指向第一循环匹配区域的位移等于所述第四比较位移；对所述第一循环匹配区域和所述第二外围比较区域进行比较处理，如果所述第一循环匹配区域和所述第二外围比较区域匹配，获取所述第一循环匹配区域；获取自所述第二外围比较区域中心至所述第三外围比较区域中心的第五比较位移；根据所述第五比较位移在所述待匹配版图中获取第二循环匹配区域，所述第二循环匹配区域边缘与所述第三外围比较区域边缘全等，自所述第一循环匹配区域指向第二循环匹配区域的位移等于所述第五比较位移；对所述第二循环匹配区域和所述第三外围比较区域进行比较处理，如果所述第二循环匹配区域和所述第三外围比较区域匹配，获取所述第二循环匹配区域；获取自所述第三外围比较区域中心至所述第四外围比较区域中心的第六比较位移；根据所述第六比较位移在所述待匹配版图中获取第三循环匹配区域，所述第三循环匹配区域边缘与所述第四外围比较区域边缘全等，自所述第三循环匹配区域指向第二循环匹配区域的位移等于所述第六比较位移；对所述第三循环匹配区域和所述第四外围比较区域进行比较处理，如果所述第三循环匹配区域和所述第四外围比较区域匹配，获取所述第四循环匹配区域。其中，所述第四比较位移为自所述第一外围比较区域中心至所述第二外围比较区域中心的比较位移；所述第五比较位移为自所述第二外围比较区域中心至所述第三外围比较区域中心的比较位移；所述第六比较位移为自所述第三外围比较区域中心至所述第四外围比较区域中心的比较位移。

需要说明是，本实施例通过查询处理、多次比较处理，获取所述匹配区域。在其他实施例中，还可以仅通过一次或多次查询处理，直接在所述待匹配版图中获取匹配区域。具体的，所述匹配处理的步骤包括：在所述待匹配版图中对所有比较区域进行查询处理，在所述待匹配版图中获取匹配区域，所述匹配区域与所有比较区域匹配的匹配区域。

另外，本实施例中，对各分区域110的匹配处理是同时进行的。在其他实施例中，可以依次对各分区域进行匹配处理，每次匹配处理的步骤包括步骤S12至步骤S19。

图10和图11是本发明的图像匹配系统的结构示意图。

请参考图10和图11，图11是图10中匹配模块和输出模块的结构示意图，本发明还提供一种图像匹配系统，包括：

输入模块310，用于提供匹配版图和待匹配版图，所述匹配版图包括多个匹配图形，所述待匹配版图包括多个待匹配图形；

划区模块320，用于对所述匹配版图进行划区处理，将所述匹配版图划分为多个分区域，各个分区域包括多个比较区域；

匹配模块330，用于进行匹配处理，在所述待匹配版图上获取匹配区域，所述匹配区域与匹配版图上的所有比较区域相匹配；

等同区域获取模块350，所述等同区域获取模块350用于在所述待匹配版图中获取等同区域，所述等同区域边缘与所述匹配版图边缘全等，所述等同区域包括所述匹配区域，所述匹配区域在所述等同区域中的位置为第一位置，所述比较区域在所述匹配版图中的位置为第二位置，所述第一位置与第二位置相同，且所述匹配区域边缘与所述匹配版图边缘全等。

所述匹配系统还包括：输出模块340，用于输出匹配处理的结果。如果匹配处理成功输出等同区域，如果匹配处理不成功，输出所述待匹配版图中不具有所述匹配版图。

所述输出模块340包括：第一输出模块341用于当匹配处理不成功时，输出所述待匹配版图中不具有所述匹配版图；第二输出模块342，第二输出模块342用于当匹配处理成功时，输出等同区域。

所述匹配模块330包括：

指定模块331，所述指定模块331用于在各分区域中分别选取任意一个比较区域作为第一起始区域，第一起始区域之外的比较区域为循环比较区域；

查询模块332，所述查询模块332用于根据所述第一起始区域对所述待匹配版图进行查询处理，在所述待匹配版图中获取第二起始区域，所述第二起始区域与所述第一起始区域匹配；

查询判断模块333，所述查询判断模块333用于判断所述查询处理是否成功，如果所述查询处理成功，将数据输入起始区域获取模块334，如果查询处理不成功，通过所述输出模块340输出所述待形成版图中不具有匹配版图；

起始区域获取模块334，所述起始区域获取模块334用于在所述待匹配版图中获取第二起始区域，所述第二起始区域与所述第一起始区域匹配；

起始位移获取模块335，起始位移获取模块335用于获取自所述第一起始区域指向任一循环比较区域的起始位移；

第一循环匹配区域获取模块337，所述第一循环匹配区域获取模块337用于根据所述起始位移在所述待匹配版图中获取循环匹配区域，自所述第二起始区域指向本次获取的循环匹配区域的位移等于所述起始位移，所述循环匹配区域边缘与所述起始位移指向的循环比较区域边缘全等；

第一比较模块338，所述比较模块338用于对最近一次获取的循环匹配区域与所述起始位移指向的循环比较区域进行比较处理；

第一判断模块339，所述第一判断模块339用于对所述第一比较模块338中的比较处理进行判断，如果比较处理成功将数据输入比较位移获取模块351，如果比较处理不成功，通过输出模块340输出所述待形成版图中不具有匹配版图；

比较位移获取模块351，所述比较位移获取模块351用于获取自上次进行比较处理的循环比较区域指向另一循环比较区域的比较位移；

第二循环匹配区域获取模块352，所述第二循环匹配区域获取模块352用于根据所述比较位移在所述待匹配版图中获取循环匹配区域，本次获取的循环匹配区域边缘与所述比较位移指向的循环比较区域边缘全等，自上次获取的循环匹配区域指向本次获取的循环匹配区域的位移等于所述比较位移；

第二比较模块353，所述比较处理模块用于对最近一次获取的循环匹配区域与比较位移指向的循环比较区域进行比较处理。

第二判断模块354，所述第二判断模块354用于对所述第二比较模块353中的比较处理进行判断，如果比较处理成功将数据输入下一判断模块，如果比较处理不成功，通过第一输出模块341输出所述待形成版图中不具有匹配版图。

综合判断模块355，所述综合判断模块355用于当第二判断模块354中获得的结果为比较处理成功时，判断所有的比较区域是否都经过所述查询处理或比较处理，如果所有比较区域都经过所述查询处理或比较处理，则通过输出模块输出等同区域；如果存在未进行比较处理或查询处理的比较区域，通过比较位移获取模块、第二循环匹配区域获取模块和第二比较模块重复所述获取比较位移、获取循环匹配区域和比较处理的步骤。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (20)

1.一种图形匹配方法，其特征在于，包括：

提供匹配版图和待匹配版图，所述匹配版图包括多个匹配图形，所述待匹配版图包括多个待匹配图形；

对所述匹配版图进行划区处理，将所述匹配版图划分为多个分区域，各个分区域分别包括多个比较区域；

进行匹配处理，在所述待匹配版图上获取匹配区域，所述匹配区域与匹配版图上所有的比较区域相匹配；

根据所述匹配区域在所述待匹配版图中获取等同区域，所述等同区域包括所述匹配区域，所述等同区域边缘与所述匹配版图边缘全等，所述匹配区域在所述等同区域中的位置为第一位置，所有比较区域在所述匹配版图中的位置为第二位置，所述第一位置与第二位置相同。

2.如权利要求1所述的图形匹配方法，其特征在于，所述匹配处理的步骤包括：在各分区域中分别选取任意一个比较区域作为第一起始区域，第一起始区域之外的比较区域为循环比较区域；根据所述第一起始区域对所述待匹配版图进行查询处理，在所述待匹配版图中获取第二起始区域，所述第二起始区域与所述第一起始区域匹配；获取自所述第一起始区域指向任一循环比较区域的起始位移；根据所述起始位移在所述待匹配版图中获取循环匹配区域，自所述第二起始区域指向循环匹配区域的位移等于所述起始位移，所述循环匹配区域边缘与所述起始位移指向的循环比较区域边缘全等；对所述循环匹配区域与所述起始位移指向的循环比较区域进行比较处理。

3.如权利要求2所述的图形匹配方法，其特征在于，所述匹配处理的步骤还包括：如果所述比较处理成功，获取自上次进行比较处理的循环比较区域指向另一循环比较区域的比较位移；根据所述比较位移在所述待匹配版图中获取循环匹配区域，本次获取的循环匹配区域边缘与所述比较位移指向的循环比较区域边缘全等，自上次获取的循环匹配区域指向本次获取的循环匹配区域的位移等于所述比较位移；对最近一次获取的次获取的循环匹配区域与所述比较位移指向的循环比较区域进行比较处理；如果所述比较处理成功，获取所述循环匹配区域，并重复所述获取比较位移、获取循环匹配区域和比较处理的步骤直至所有比较区域都经过所述查询处理或比较处理。

4.如权利要求1或3所述的图形匹配方法，其特征在于，各分区域包括中心区域和包围所述中心区域的外围区域；多个所述比较区域中包括位于所述外围区域的外围比较区域。

5.如权利要求4所述的图形匹配方法，其特征在于，所述外围比较区域的个数为多个，所述外围比较区域的边缘分别与分区域边缘重合，且相邻外围比较区域中心之间的距离相等。

6.如权利要求5所述的图形匹配方法，其特征在于，所述外围比较区域边缘形状与所述分区域边缘形状为相似图形，且每个所述外围比较区域具有一个顶角与所述分区域的一个顶角重合。

7.如权利要求4所述的图形匹配方法，其特征在于，与所述外围比较区域中心距离最小的分区域边缘为邻近边，所述外围比较区域中心到所述邻近边的距离为第一距离，所述分区域中心到所述邻近边的距离为第二距离，所述第二距离为第一距离的2倍。

8.如权利要求4所述的图形匹配方法，其特征在于，多个分区域的边缘全等；多个外围比较区域的边缘全等。

9.如权利要求4所述的图形匹配方法，其特征在于，所述分区域为正多边形，所述外围比较区域的个数与所述分区域的边数相同。

10.如权利要求4所述的图形匹配方法，其特征在于，多个比较区域中包括位于所述中心区域的中心比较区域，所述中心比较区域的中心与所述分区域的中心重合。

11.如权利要求10所述的图形匹配方法，其特征在于，所述中心比较区域与所述分区域边缘形状为相似图形；所述外围比较区域与所述分区域边缘形状为相似图形。

12.如权利要求11所述的图形匹配方法，其特征在于，所述中心比较区域、外围比较区域和所述分区域为正方形；所述外围比较区域的个数为4个；4个外围比较区域按顺时针或逆时针排列分别为第一外围比较区域、第二外围比较区域、第三外围比较区域和第四外围比较区域。

13.如权利要求12所述的图形匹配方法，其特征在于，所述第一外围比较区域为第一起始区域，第二外围比较区域、第三外围比较区域、第四外围比较区域和中心比较区域为循环比较区域；

所述匹配处理的步骤包括：

获取自所述第一外围比较区域指向第二外围比较区域的起始位移；根据所述起始位移在所述待匹配版图中获取第七循环匹配区域，所述第七循环匹配区域边缘与所述第二外围比较区域边缘全等，自所述第二起始区域指向第七循环匹配区域的位移等于所述起始位移；对所述第七循环匹配区域与所述第二外围比较区域进行比较处理，如果所述第七循环匹配区域与所述第二外围比较区域匹配，获取所述第七循环匹配区域；

获取自所述第二外围比较区域中心指向所述第三外围比较区域中心的第一比较位移；根据所述第一比较位移在所述待形成版图中获取第一循环匹配区域，所述第一循环匹配区域边缘与所述第三外围比较区域边缘全等，自所述第一循环匹配区域指向所述第七循环匹配区域的位移等于所述第一比较位移；对所述第一循环匹配区域与所述第三外围比较区域进行比较处理，如果所述第一循环匹配区域与所述第三外围比较区域匹配，获取所述第一循环匹配区域；

获取自所述第三外围比较区域中心指向所述第四外围比较区域中心的第二比较位移；根据所述第二比较位移在所述待形成版图中获取第二循环匹配区域，所述第二循环匹配区域边缘与所述第四外围比较区域边缘全等；对所述第二循环比较区域与所述第四外围比较区域进行比较处理，如果所述第二循环比较区域与所述第四外围比较区域匹配，获取所述第二循环比较区域；

获取自所述第四外围比较区域中心指向所述中心比较区域中心的第三比较位移；根据所述第三比较位移在所述待形成版图中获取第三循环匹配区域，所述第三循环匹配区域边缘与所述中心围比较区域边缘全等；对所述第三循环匹配区域与所述中心比较区域进行比较处理，如果所述第三循环匹配区域与所述中心比较区域匹配，获取所述第三循环匹配区域。

14.如权利要求12所述的图形匹配方法，其特征在于，所述中心比较区域匹配为所述第一起始区域，四个外围比较区域为循环比较区域；

所述匹配处理的步骤包括：

获取自所述中心比较区域中心指向所述第一外围比较区域中心的起始位移；根据所述起始位移在所述待匹配版图中获取第八循环匹配区域，所述第八循环匹配区域边缘与所述第一外围比较区域边缘全等，自所述第二起始区域指向第八循环匹配区域的位移等于所述起始位移；对所述第八循环匹配区域和所述第一外围比较区域进行比较处理，如果所述第八循环匹配区域与所述第一外围比较区域匹配，获取所述第八循环匹配区域；

获取自所述第一外围比较区域中心至所述第二外围比较区域中心的第四比较位移；根据所述第四比较位移在所述待匹配版图中获取第一循环匹配区域，所述第一循环匹配区域边缘与所述第二外围比较区域边缘全等，自所述第八循环匹配区域指向第一循环匹配区域的位移等于所述第四比较位移；对所述第一循环匹配区域和所述第二外围比较区域进行比较处理，如果所述第一循环匹配区域和所述第二外围比较区域匹配，获取所述第一循环匹配区域；

获取自所述第二外围比较区域中心至所述第三外围比较区域中心的第五比较位移；根据所述第五比较位移在所述待匹配版图中获取第二循环匹配区域，所述第二循环匹配区域边缘与所述第三外围比较区域边缘全等，自所述第一循环匹配区域指向第二循环匹配区域的位移等于所述第五比较位移；对所述第二循环匹配区域和所述第三外围比较区域进行比较处理，如果所述第二循环匹配区域和所述第三外围比较区域匹配，获取所述第二循环匹配区域；

获取自所述第三外围比较区域中心至所述第四外围比较区域中心的第六比较位移；根据所述第六比较位移在所述待匹配版图中获取第三循环匹配区域，所述第三循环匹配区域边缘与所述第四外围比较区域边缘全等，自所述第三循环匹配区域指向第二循环匹配区域的位移等于所述第六比较位移；对所述第三循环匹配区域和所述第四外围比较区域进行比较处理，如果所述第三循环匹配区域和所述第四外围比较区域匹配，获取所述第四循环匹配区域。

15.如权利要求1所述的图形匹配方法，其特征在于，各个分区域的边缘全等。

16.如权利要求1所述的图形匹配方法，其特征在于，所述匹配处理的步骤包括：在所述待匹配版图中对所有比较区域进行查询处理，在所述待匹配版图中获取匹配区域，所述匹配区域与所有比较区域匹配的匹配区域。

17.如权利要求1所述的图形匹配方法，其特征在于，所述比较区域为等边多边形，所述分区域为等边多边形；所述分区域与所述比较区域的边长之比值为40～100。

18.如权利要求1所述的图形匹配方法，其特征在于，所述比较区域和分区域为正方向；所述分区域的边长为90μm～110μm；所述比较区域的边长为1.8μm～2.2μm。

19.一种图形匹配系统，其特征在于，包括：

输入模块，用于提供匹配版图和待匹配版图，所述匹配版图包括多个匹配图形，所述待匹配版图包括多个待匹配图形；

划区模块，用于对所述匹配版图进行划区处理，将所述匹配版图划分为多个分区域，各个分区域分别包括多个比较区域；

匹配模块，用于进行匹配处理，在所述待匹配版图中获取匹配区域，所述匹配区域与匹配版图上所有的比较区域相匹配；

等同区域获取模块，所述等同区域获取模块用于根据所述匹配区域，在所述待匹配版图中获取等同区域，所述等同区域边缘与所述匹配版图边缘全等，所述等同区域包括所述匹配区域，所述匹配区域在所述等同区域中的位置为第一位置，所有比较区域在所述匹配版图中的位置为第二位置，所述第一位置与第二位置相同。

20.如权利要求19所述的图形匹配系统，其特征在于，所述匹配模块包括：

指定模块，所述指定模块用于在各分区域中分别选取任意一个比较区域作为第一起始区域，第一起始区域之外的比较区域为循环比较区域；

查询模块，所述查询模块用于根据所述第一起始区域对所述待匹配版图进行查询处理，在所述待匹配版图中获取第二起始区域，所述第二起始区域与所述第一起始区域匹配；

第二起始区域获取模块，所述第二起始区域获取模块用于在所述待匹配版图中获取第二起始区域，所述第二起始区域与所述第一起始区域匹配；

起始位移获取模块，起始位移获取模块用于获取自所述第一起始区域指向任一循环比较区域的起始位移；

第一循环匹配区域获取模块，所述第一循环匹配区域获取模块用于根据所述起始位移在所述待匹配版图中获取循环匹配区域，自所述第二起始区域指向本次获取的循环匹配区域的位移等于所述起始位移，所述循环匹配区域边缘与所述起始位移指向的循环比较区域边缘全等；

第一比较模块，所述比较模块用于对最近一次获取的循环匹配区域与所述起始位移指向的循环比较区域进行比较处理；

比较位移获取模块，所述比较位移获取模块用于当所述比较处理成功时，获取自上次进行比较处理的循环比较区域指向另一循环比较区域的比较位移；

第二循环匹配区域获取模块，所述第二循环匹配区域获取模块用于根据所述比较位移在所述待匹配版图中获取循环匹配区域，本次获取的循环匹配区域边缘与所述比较位移指向的循环比较区域边缘全等，自上次获取的循环匹配区域指向本次获取的循环匹配区域的位移等于所述比较位移；

第二比较模块，所述比较处理模块用于对最近一次获取的循环匹配区域与所述比较位移指向的循环比较区域进行比较处理。