CN109538931A - 防增压装置汽蚀的控制方法、系统及气体供给系统 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种防增压装置汽蚀的控制方法、系统及气体供给系统，所述方法包括采集所述气体供给系统中传输介质的温度值；将采集到的温度值与预设温度阈值进行对比，根据对比结果判断所述增压装置是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制所述增压装置的开闭。本发明实施例能够降低增压装置出现汽蚀的概率。

Description

防增压装置汽蚀的控制方法、系统及气体供给系统

技术领域

本发明涉及气体输送设备的技术领域，并且更具体地，涉及一种防增压装置汽蚀的控制方法、系统及气体供给系统。

背景技术

氮气站供给系统作为主要的供氮系统，被广泛应用于工业生产过程中。

目前传统的氮气站供给系统结构中，其主要由简单的制氮设备以及部分连接管道组成。由于液氮温度较低，液体输出容易汽化，溶解在液氮中的气体在高速流动和压力变化条件下容易对增压装置产生洞穴状腐蚀破坏，即存在汽蚀的危害。汽蚀会产生各种频率的噪声，破坏过流部件，同时，还会堵塞流道，破坏制氮设备中液体的连续流动。

综上所述，如何降低汽蚀出现的概率是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明实施例提供一种防增压装置汽蚀的控制方法、系统及气体供给系统，用于降低气体供给系统中增压装置出现汽蚀的概率。

第一方面，本发明实施例提供一种防增压装置汽蚀的控制方法，应用于气体供给系统，包括：

采集所述气体供给系统中传输介质的温度值；

将采集到的温度值与预设温度阈值进行对比，根据对比结果判断所述增压装置是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制所述增压装置的开闭。

第二方面，本发明实施例提供一种防增压装置汽蚀的控制系统，应用于气体供给系统，所述气体供给系统包括增压装置，所述控制系统包括：

温度检测装置，用于采集所述气体供给系统中传输介质的温度值；

控制装置，与所述温度检测装置及所述增压装置连接，用于将所述温度检测装置检测到的传输介质的温度值与预设温度阈值对比，根据对比结果判断所述增压装置是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制所述增压装置的开闭。

第三方面，本发明实施例提供一种气体供给系统，包括储罐、增压装置、汽化装置和本发明实施例所述的防增压装置汽蚀的控制系统，

所述储罐上设有第一出气口和第一回气口，所述第一出气口与所述增压装置的入口管连接，所述第一回气口与所述增压装置的回气管连接；

所述汽化装置密封连通所述增压装置的出口管，用于将经所述增压装置流出的液态气体汽化以得到气态气体。

本发明实施例通过采集所述气体供给系统中传输介质的温度值；将采集到的温度值与预设温度阈值进行对比，根据对比结果判断所述增压装置是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制所述增压装置的开闭，以使所述气体供给系统中的温度环境不易出现汽蚀，从而本发明实施例能够降低增压装置出现汽蚀的概率，避免汽蚀对增压装置造成破坏。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种防增压装置汽蚀的控制方法的流程示意图；

图2是本发明实施例提供的一种防增压装置汽蚀的控制系统的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的一种气体供给系统的结构示意图之一；

图4是本发明实施例提供的一种气体供给系统的结构示意图之二。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参见图1所示，本发明实施例提供一种防增压装置汽蚀的控制方法，应用于气体供给系统，包括：

步骤101、采集所述气体供给系统中传输介质的温度值。

其中，气体供给系统可以供给氮气等车间生产过程中常用气体，本发明实施例中以供给气体为氮气进行举例说明，当所述气体供给系统供给的为氮气时，所述气体供给系统中传输介质可以为液氮或氮气，所述采集所述气体供给系统中传输介质的温度值，可以是通过温度传感器采集所述气体供给系统的管道中的液氮和/或气氮的温度值。

步骤102、将采集到的温度值与预设温度阈值进行对比，根据对比结果判断所述增压装置是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制所述增压装置的开闭。

其中，所述预设温度阈值可以是判断所述增压装置是否会出现汽蚀的临界温度值。具体的，可以是采集到的温度值高于预设温度阈值，所述增压装置会出现汽蚀，此种情况下，当对比结果为采集到的温度值高于预设温度阈值时，则关闭所述增压装置，否则开启所述增压装置；或者可以是采集到的温度值低于预设温度阈值，所述增压装置会出现汽蚀，此种情况下，当对比结果为采集到的温度值低于预设温度阈值时，则关闭所述增压装置，否则开启所述增压装置。

以采集所述增压装置的入口管处的温度为例进行说明，可以采集所述入口管内的温度值，当所述增压装置的入口处存在冷量泄露时，所述入口管内传输介质的温度值上升，当采集到的温度值高于预设温度阈值时，判断所述增压装置会出现汽蚀，因此关闭所述增压装置，该情况下所述预设温度阈值可以设置为-160℃；或者可以在入口管外围环绕设置密封管，所述密封管可以为有机玻璃材质，可以采集所述密封管内的温度值，当所述增压装置的入口处存在冷量泄露时，所述密封管内的温度值下降，当采集到的温度值低于预设温度阈值时，判断所述增压装置会出现汽蚀，因此关闭所述增压装置，该情况下所述预设温度阈值可以设置为-50℃。

本发明实施例通过采集所述气体供给系统中传输介质的温度值；将采集到的温度值与预设温度阈值进行对比，根据对比结果判断所述增压装置是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制所述增压装置的开闭，以使所述气体供给系统中的温度环境不易使增压装置出现汽蚀，从而本发明实施例能够降低增压装置出现汽蚀的概率，避免汽蚀对增压装置造成破坏。

可选的，

所述采集所述气体供给系统中传输介质的温度值，包括采集所述增压装置的回气管内传输介质的温度值；所述将采集到的温度值与预设温度阈值进行对比，根据对比结果判断所述增压装置是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制所述增压装置的开闭，包括对比判断所述回气管内传输介质的温度值是否小于第一预设阈值，若是，则启动所述增压装置进行供气，若否，则对所述增压装置进行预冷；

和/或

所述采集所述气体供给系统中传输介质的温度值，包括采集所述增压装置的出口管内传输介质的温度值；所述将采集到的温度值与预设温度阈值进行对比，根据对比结果判断所述增压装置是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制所述增压装置的开闭，包括对比判断所述出口管内传输介质的温度值是否大于第二预设阈值，若是，则关闭所述增压装置停止供气；

和/或

所述采集所述气体供给系统中传输介质的温度值，包括采集所述增压装置的入口管内传输介质的温度值；所述将采集到的温度值与预设温度阈值进行对比，根据对比结果判断所述增压装置是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制所述增压装置的开闭，包括对比判断所述入口管内传输介质的温度值是否大于第三预设阈值，若是，则所述增压装置存在冷量泄露，关闭所述增压装置停止供气。

其中，可以是通过第一温度传感器采集所述增压装置的回气管内传输介质的温度值，所述第一温度传感器可以设置于所述增压装置的回气管内；或者可以是通过第二温度传感器采集所述增压装置的出口管内传输介质的温度值，所述第二温度传感器可以设置于所述增压装置的出口管内；或者可以是通过第三温度传感器采集所述增压装置的入口管内传输介质的温度值，所述第三温度传感器可以设置于所述增压装置的入口管内。

通过采集所述增压装置的回气管内传输介质的温度值，或者采集所述增压装置的出口管内传输介质的温度值，或者采集所述增压装置的入口管内传输介质的温度值，可以判断气体供给系统中的温度环境是否会导致增压装置出现汽蚀，通过采集的温度值控制所述增压装置的工作状态，进一步降低增压装置出现汽蚀的概率。

可选的，在所述采集所述增压装置的回气管内传输介质的温度值之前，通过所述增压装置的入口管向所述增压装置通入预冷介质，并通过所述增压装置的回气管将所述预冷介质排出，形成预冷回路对所述增压装置进行预冷；

预冷结束后，先对所述增压装置泄压预设时间，然后启动所述增压装置。

其中，所述气体供给系统中设置有进液阀、回气阀及泄压阀。具体的，向所述增压装置通入预冷介质可以为控制所述进液阀及回气阀开启，向所述增压装置通入液氮进行预冷。采集所述增压装置的回气管内传输介质的温度值，对比判断所述回气管内传输介质的温度值是否小于第一预设阈值，若是，则预冷完成，控制所述泄压阀开启，当所述泄压阀开启预设时长后，关闭所述泄压阀并启动所述增压装置。所述预设时长可以是10s，或者15s，等等。

优选的，以增压装置为液体增压泵为例进行说明，为了避免液态气体在流入液体增压泵时因为温度过高而汽化，而汽化的气体在液体增压泵增压时会对液体增压泵造成汽蚀，因此在启动液体增压泵增压之前需要进行预冷。通过开启进液阀及回气阀，液氮从进液阀流经液体增压泵，再从回气阀流回储罐，通过泄压阀将气体排出，可以实现液体增压泵的预冷。

通过所述增压装置的入口管向所述增压装置通入预冷介质进行预冷，避免液态气体在流入增压装置时因为温度过高而汽化，而汽化的气体在增压装置增压时会对增压装置造成汽蚀，能够进一步降低增压装置出现汽蚀的概率。

参见图2所示，本发明实施例提供一种防增压装置汽蚀的控制系统5，应用于气体供给系统1，气体供给系统1包括增压装置3，控制系统5包括：

温度检测装置51，用于采集气体供给系统1中传输介质的温度值；

控制装置52，与温度检测装置51及增压装置3连接，用于将温度检测装置51检测到的传输介质的温度值与预设温度阈值对比，根据对比结果判断增压装置3是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制增压装置3的开闭。

其中，气体供给系统1可以供给氮气等车间生产过程中常用气体，本发明实施例中以供给气体为氮气进行举例说明，当气体供给系统1供给的为氮气时，气体供给系统1中传输介质可以为液氮或氮气，采集气体供给系统1中传输介质的温度值，可以是通过温度传感器采集气体供给系统1的管道中的液氮和/或气氮的温度值。

其中，预设温度阈值可以是判断增压装置3是否会出现汽蚀的临界温度值。具体的，可以是采集到的温度值高于预设温度阈值，增压装置3会出现汽蚀，此种情况下，当对比结果为采集到的温度值高于预设温度阈值时，则关闭增压装置3，否则开启增压装置3；或者可以是采集到的温度值低于预设温度阈值，增压装置3会出现汽蚀，此种情况下，当对比结果为采集到的温度值低于预设温度阈值时，则关闭增压装置3，否则开启增压装置3。

本发明实施例通过温度检测装置51采集气体供给系统1中传输介质的温度值；通过控制装置52将采集到的温度值与预设温度阈值进行对比，根据对比结果判断增压装置3是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制增压装置3的开闭，以使气体供给系统1中的温度环境不易出现汽蚀，从而本发明实施例能够降低增压装置3出现汽蚀的概率，避免汽蚀对增压装置3造成破坏。

可选的，如图4所示，温度检测装置51包括：

设置在增压装置3的回气管上的第一温度传感器14，用于采集增压装置3的回气管内传输介质的温度值；

和/或

设置在增压装置3的出口管上的第二温度传感器15，用于采集增压装置3的出口管内传输介质的温度值；

和/或

设置在增压装置3的入口管上的第三温度传感器16，用于采集增压装置3的入口管内传输介质的温度值；

控制装置52对比判断回气管内传输介质的温度值是否小于第一预设阈值，若是，则启动增压装置3，若否，则对增压装置3进行预冷；

和/或

控制装置52对比判断出口管内传输介质的温度值是否大于第二预设阈值，若是，则关闭增压装置3；

和/或

控制装置52对比判断入口管内传输介质的温度值是否大于第三预设阈值，若是，则增压装置3存在冷量泄露，关闭增压装置3。

其中，第一温度传感器14采集的温度值用于判断增压装置3是否达到预冷，判断增压装置3达到预冷的条件可以是第一温度传感器14采集的温度值低于第一预设阈值，例如，当气体供给系统1供给的气体为氮气时，增压装置3达到预冷的条件为第一温度传感器14采集的温度值低于-140℃。第二温度传感器15采集的温度值用于判断增压装置3是否工作在汽蚀状态，判断增压装置3工作在汽蚀状态的条件可以是第二温度传感器15采集的温度值高于第二预设阈值，例如，当气体供给系统1供给的气体为氮气时，增压装置3工作在汽蚀状态为第二温度传感器15采集的温度值高于-120℃。第三温度传感器16采集的温度值用于判断增压装置3是否存在冷量泄露，判断增压装置3存在冷量泄露的条件可以是第三温度传感器16采集的温度值高于第三预设阈值，例如，当气体供给系统1供给的气体为氮气时，增压装置3存在冷量泄露为第三温度传感器16采集的温度值高于-160℃。

其中，气体供给系统1中可以同时设置有第一温度传感器14、第二温度传感器15及第三温度传感器16，或者可以设置有第一温度传感器14、第二温度传感器15及第三温度传感器16中的任意一种或两种。

作为一具体实施例，在供气开始之前，控制装置52首先控制储罐2向增压装置3供气，降低增压装置3的温度，避免直接向增压装置3供气因气体温度与增压装置3温差较大造成增压装置3的汽蚀，第一温度传感器14检测第一温度值，当检测到的温度值高于第一预设阈值时，继续向增压装置3供气，当检测到的温度值小于第一预设阈值时，控制装置52控制增压装置3启动开始供气，在供气的过程中，第二温度传感器15和第二温度传感器15采集第二温度值和第三温度值，当第二温度值高于第二预设阈值时，增压装置3将出现汽蚀，此时控制装置52关闭增压装置3，或者当第三温度值高于第三预设阈值时，增压装置3也会出现汽蚀，此时控制装置52也会关闭增压装置3，由工作人员对整个供气系统进行检修和维护。

通过第一温度传感器14采集增压装置3的回气管内传输介质的温度值，或者第二温度传感器15采集增压装置3的出口管内传输介质的温度值，或者第三温度传感器16采集增压装置3的入口管内传输介质的温度值，通过控制装置52可以判断气体供给系统1中的温度环境是否会导致增压装置3出现汽蚀，通过采集的温度值控制增压装置3的工作状态，进一步降低增压装置3出现汽蚀的概率。

参见图3所示，本发明实施例提供一种气体供给系统1，包括储罐2、增压装置3、汽化装置4和本发明实施例的防增压装置汽蚀的控制系统5，

储罐2上设有第一出气口和第一回气口，第一出气口与增压装置3的入口管连接，第一回气口与增压装置3的回气管连接；

汽化装置4密封连通增压装置3的出口管，用于将经增压装置3流出的液态气体汽化以得到气态气体。

其中，气体供给系统1可以供给氮气等车间生产过程中常用气体，本发明实施例中以供给气体为氮气进行举例说明。储罐2用于储存液氮，实际应用中，储罐2可以为液氮低压罐7。储罐2中的液氮可以是通过槽车充装泵将槽车中的液氮充入储罐2，可以通过设置在储罐2上的压力控制系统将储罐2内的压力维持在设定压力值。

其中，如图4所示，增压装置3可以是液体增压泵，具体的，可以为液氮泵8。需要说明的是，为了预防故障以及方便维修保养，液体增压泵可以设置一台，也可以设置多台，用于备份。

其中，汽化装置4可以是汽化器9，或者可以是蒸发器等等，本发明实施例对此不进行限定。需要说明的是，为了预防故障以及方便维修保养，汽化装置4可以设置一台，也可以设置多台，用于备份。

本发明实施例提供的气体供给系统1，包括防增压装置汽蚀的控制系统5，能够降低增压装置3出现汽蚀的概率，避免汽蚀对增压装置3造成破坏。

可选的，如图4所示，增压装置3包括主增压装置和备份增压装置，主增压装置和备份增压装置结构相同，且主增压装置和备份增压装置并联连接。

其中，主增压装置的输入端与备份增压装置的输入端连接，主增压装置的输出端与备份增压装置的输出端连接。

在使用时，首选采用主增压装置对从储罐2出来的液态气体进行增压，当主增压装置出现故障时，采用备份增压装置对从储罐2出来的液态气体进行增压，通过设置主增压装置和备份增压装置，能够预防增压装置3故障以及方便增压装置3的维修保养。

可选的，如图4所示，主增压装置和备份增压装置均包括液体增压泵，入口管上设置有进液阀18，回气管上设置有回气阀17，出口管上设置有泄压阀19，控制装置52可以是控制柜6，控制装置52与进液阀18、回气阀17和泄压阀19连接，用于控制进液阀18、回气阀17和泄压阀19的开闭。

需要说明的是，为了避免液氮在流入液体增压泵时因为温度过高而汽化，在启动液体增压泵增压之前需要进行预冷。通过开启进液阀18及回气阀17，液氮从进液阀18流经液体增压泵，再从回气阀17流回储罐2，通过泄压阀19将气体排出，可以实现液体增压泵的预冷。

其中，液体增压泵的入口管和回气管分别与储罐2连接，液体增压泵的出口管与汽化装置4连接，第一温度传感器14设置在液体增压泵的回气管上，第二温度传感器15设置在液体增压泵的出口管上，第三温度传感器16设置在液体增压泵的入口管上。

具体的，第三温度传感器16可以设置在液体增压泵驱动端与冷端的连接处，通过第三温度传感器16采集的温度值可以判断是否存在活塞杆密封磨损导致的大量冷量泄露。

可选的，如图4所示，气体供给系统1还包括第四温度传感器23，汽化装置4与增压装置3的出口管连接，第四温度传感器23设于汽化装置4的出气管上，用于采集从汽化装置4输出的气体温度值；控制装置52可以是控制柜6，控制装置52与第四温度传感器23连接，用于对比判断从汽化装置4输出的气体温度值是否小于第六预设阈值，若是，则控制装置52控制增压装置3关闭。

通过第四温度传感器23采集的温度值来控制增压装置3的工作状态，有利于气体供给系统1内部的故障维修以及气体供给系统1工作状态的控制。

可选的，如图4所示，气体供给系统1还包括设于增压装置3的出口管上的第一压力传感器20，第一压力传感器20与控制装置52连接，且第一压力传感器20用于采集增压装置3的出口管内传输介质的压力值；

控制装置52用于判断述增压装置3的出口管内传输介质的压力值与第四预设阈值及第五预设阈值的大小关系，当出口管的气体压力值大于第五预设阈值时，控制装置52控制增压装置3关闭，使增压装置3的出口管内的气压压力值降低，当增压装置3的出口管的气体压力值降低到小于第四预设阈值时，控制装置52控制增压装置3启动；第四预设阈值小于第五预设阈值。

通过设置第一压力传感器20，利用第一压力传感器20采集的压力值实现增压装置3的自启动，便于自动化控制。同时，通过第五预设阈值和第六预设阈值的设定，增压装置3的启停压力可调。

可选的，如图4所示，气体供给系统1还包括：调压装置，调压装置密封连通汽化装置4的出口端，用于对气态气体调压。

通过设置调压装置，可以将气体的压力调整到实际需求的压力值。

可选的，如图4所示，调压装置包括主调压装置和备份调压装置，主调压装置和备份调压装置结构相同，且主调压装置和备份调压装置并联连接。

其中，主调压装置的输入端与备份调压装置的输入端连接，主调压装置的输出端与备份调压装置的输出端连接。

通过设置主调压装置和备份调压装置，能够预防调压装置故障以及方便调压装置的维修保养。

可选的，如图4所示，调压装置上设置有过滤器25。

具体的，主调压装置和备份调压装置上均设置有过滤器25，过滤器25可以为精密过滤器，保障气体中不掺杂杂质。

可选的，如图4所示，气体供给系统1还包括气体输出管12，气体输出管12密封连通调压装置的出口端，用于气体输出，气体输出管12上设置有流量计26和/或第二压力传感器21。

通过在气体输出管12安装流量计26和/或第二压力传感器21，可以实时查看气体的流量和/或压力，便于实时调整气体输出。

可选的，如图4所示，气体供给系统1还包括高压缓冲装置，用于缓存气体，高压缓冲装置密封连通汽化装置4。

在本实施例中，高压缓冲装置连接在汽化装置4与调压装置之间，可以串联在汽化装置4与调压装置之间的输气管路上，也可以并联入汽化装置4与调压装置之间的输气管路上，从汽化装置4出来的气体可以进入高压缓冲装置进行缓存，也可以直接进入到调压装置中，从汽化装置4传输到调压装置的气体的传输路径通过在输气管路上设置阀门来切换。

通过高压缓冲装置，保障能够短时间内实现大用量用气，提供稳定压力和流量的气体，同时，可以减少增压装置3的运行时间和启停次数。

可选的，如图4所示，高压缓冲装置为高压缓冲罐10。

可选的，如图4所示，汽化装置4包括主汽化装置和备份汽化装置，主汽化装置和备份汽化装置结构相同，且主汽化装置和备份汽化装置并联连接。

可选的，如图4所示，汽化装置4的出口管上还设置有第三压力传感器22，第三压力传感器22用于采集汽化装置4的出口管上的压力值。

可选的，如图4所示，气体供给系统1的传输管道中设置有安全阀13，当传输管道中的传输液态气体和/或气态气体压力值达到预设极限压力值时，安全阀13能够实现泄压。

下面以一个具体的实施例对本发明实施例的气体供给系统进行举例说明：

如图4所示，气体供给系统1为氮气供给系统，氮气供给气体可以给车间提供氮气，参见图2所示，氮气供给系统包括控制柜6、液氮低压罐7、液氮泵8、汽化器9、高压缓冲罐10、调压阀组11及气体输出管12，液氮泵8包括主液氮泵及备份液氮泵，汽化器9包括主汽化器及备份汽化器，调压阀组11包括减压阀24，减压阀24包括主减压阀和备份减压阀。液氮低压罐7输出液氮，液氮泵8对液氮低压罐7输出的液氮进行增压，将增压后的液氮传输至汽化器9，汽化器9将液氮汽化为氮气，并输送至高压缓冲罐10进行储存，当车间需要氮气时，高压缓冲罐10将氮气输送至调压装置，氮气经调压阀组11调压后经气体输出管12输出给车间。液氮泵8的回气管上设置有第一温度传感器14，液氮泵8的出口管上设置有第二温度传感器15，液氮泵8的泵驱动端与冷端连接处设置有第三温度传感器16。同时，液氮泵8的入口管上设置有进液阀18，回气管上设置有回气阀17，出口管上设置有泄压阀19，进液阀18、回气阀17及泄压阀19用于对液氮泵8进行预冷。液氮泵8的出口管上还设置有第一压力传感器20。汽化器9的出口管上设置有第四温度传感器23。气体输出管12上设置有流量计26和第二压力传感器21。调压阀组11上设置有过滤器25，过滤器25包括主过滤器和备份过滤器。氮气供给系统内还设置有第一阀门27、单向阀28、排气阀29、金属软管30、保温装置31、三通阀32、第二阀门33、法兰34。第一阀门27用于氮气供给系统工作时控制管道中是否允许液氮或气氮流通；单向阀28用于控制管道中液氮或气氮的单向流通；排气阀29用于控制管道排气；金属软管30用于液氮泵的连接，便于减震；保温装置31用于管道的保温，避免液氮汽化；三通阀32用于氮气供给系统与其它装置进行连通；第二阀门33用于氮气供给系统检修时控制管道的导通及截止；法兰34用于连接氮气供给系统中的部件。

控制柜6控制液氮泵8的工作状态具体包括：

控制柜6接收第一温度传感器14、第二温度传感器15及第三温度传感器16采集的温度值以及第一压力传感器20采集的压力值。控制柜6控制进液阀18及回气阀17开启，液氮从进液阀18流入，经回气阀17流出，回到液氮低压罐7。控制柜6判断第一温度传感器14采集的温度值是否小于第一预设阈值，若是，则控制泄压阀19开启，当泄压阀19开启10s后，关闭泄压阀19并启动液氮泵8。若预冷超过一定时长，第一温度传感器14采集的温度值始终小于第一预设阈值，则可以发出预冷错误报警。在液氮泵8启动后，判断第一压力传感器20采集的压力值是否大于第五预设阈值，若是，则停止液氮泵8，同时，判断第一压力传感器20采集的压力值是否小于第四预设阈值，若是，则启动液氮泵8，其中，第四预设阈值小于第五预设阈值。控制柜6判断第二温度传感器15采集的温度值是否大于第二预设阈值，若第二温度传感器15采集的温度值大于第二预设阈值超过设定时长，则停止液氮泵8，并发出汽蚀报警。控制柜6判断第三温度传感器16采集的温度值是否大于第三预设阈值，若是，则启动报警装置，提醒用户停止液氮泵8，进行维修。

控制柜6控制汽化器9的工作状态具体包括：

控制柜6接收第四温度传感器23采集的温度值，判断第四温度传感器23采集的温度值是否小于第六预设阈值，若是，则发出汽化器9温度低的报警，并停止液氮泵8。

控制柜6包括PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)控制系统，具备网络通讯功能，可并入厂务监控系统，实现远程可监测。控制柜6包括控制面板，控制面板可以实现显示功能，接收用户操作产生的操作指令，控制面板可以是示教盒、平板电脑等。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“径向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。固定连接可以为焊接、螺纹连接和加紧等常见技术方案。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种防增压装置汽蚀的控制方法，应用于气体供给系统，其特征在于，包括：

采集所述气体供给系统中传输介质的温度值；

将采集到的温度值与预设温度阈值进行对比，根据对比结果判断所述增压装置是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制所述增压装置的开闭。

2.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，

所述采集所述气体供给系统中传输介质的温度值，包括采集所述增压装置的回气管内传输介质的温度值；所述将采集到的温度值与预设温度阈值进行对比，根据对比结果判断所述增压装置是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制所述增压装置的开闭，包括对比判断所述回气管内传输介质的温度值是否小于第一预设阈值，若是，则启动所述增压装置进行供气，若否，则对所述增压装置进行预冷；

和/或

所述采集所述气体供给系统中传输介质的温度值，包括采集所述增压装置的出口管内传输介质的温度值；所述将采集到的温度值与预设温度阈值进行对比，根据对比结果判断所述增压装置是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制所述增压装置的开闭，包括对比判断所述出口管内传输介质的温度值是否大于第二预设阈值，若是，则关闭所述增压装置停止供气；

和/或

所述采集所述气体供给系统中传输介质的温度值，包括采集所述增压装置的入口管内传输介质的温度值；所述将采集到的温度值与预设温度阈值进行对比，根据对比结果判断所述增压装置是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制所述增压装置的开闭，包括对比判断所述入口管内传输介质的温度值是否大于第三预设阈值，若是，则所述增压装置存在冷量泄露，关闭所述增压装置停止供气。

3.根据权利要求2所述的控制方法，其特征在于，在所述采集所述增压装置的回气管内传输介质的温度值之前，通过所述增压装置的入口管向所述增压装置通入预冷介质，并通过所述增压装置的回气管将所述预冷介质排出，形成预冷回路对所述增压装置进行预冷；

预冷结束后，先对所述增压装置泄压预设时间，然后启动所述增压装置。

4.一种防增压装置汽蚀的控制系统，应用于气体供给系统，所述气体供给系统包括增压装置，其特征在于，所述控制系统包括：

温度检测装置，用于采集所述气体供给系统中传输介质的温度值；

控制装置，与所述温度检测装置及所述增压装置连接，用于将所述温度检测装置检测到的传输介质的温度值与预设温度阈值对比，根据对比结果判断所述增压装置是否会出现汽蚀，并根据判断结果控制所述增压装置的开闭。

5.根据权利要求4所述的控制系统，其特征在于，所述温度检测装置包括：

设置在所述增压装置的回气管上的第一温度传感器，用于采集所述增压装置的回气管内传输介质的温度值；

和/或

设置在所述增压装置的出口管上的第二温度传感器，用于采集所述增压装置的出口管内传输介质的温度值；

和/或

设置在所述增压装置的入口管上的第三温度传感器，用于采集所述增压装置的入口管内传输介质的温度值；

所述控制装置对比判断所述回气管内传输介质的温度值是否小于第一预设阈值，若是，则启动所述增压装置，若否，则对所述增压装置进行预冷；

和/或

所述控制装置对比判断所述出口管内传输介质的温度值是否大于第二预设阈值，若是，则关闭所述增压装置；

和/或

所述控制装置对比判断所述入口管内传输介质的温度值是否大于第三预设阈值，若是，则所述增压装置存在冷量泄露，关闭所述增压装置。

6.一种气体供给系统，其特征在于，包括储罐、增压装置、汽化装置和如权利要求4-5中任一项所述的防增压装置汽蚀的控制系统，

所述储罐上设有第一出气口和第一回气口，所述第一出气口与所述增压装置的入口管连接，所述第一回气口与所述增压装置的回气管连接；

所述汽化装置密封连通所述增压装置的出口管，用于将经所述增压装置流出的液态气体汽化以得到气态气体。

7.根据权利要求6所述的气体供给系统，其特征在于，所述增压装置包括主增压装置和备份增压装置，所述主增压装置和所述备份增压装置结构相同，且所述主增压装置和所述备份增压装置并联连接。

8.根据权利要求7所述的气体供给系统，其特征在于，所述主增压装置和所述备份增压装置均包括液体增压泵，所述入口管上设置有进液阀，回气管上设置有回气阀，出口管上设置有泄压阀，所述控制装置与所述进液阀、回气阀和所述泄压阀连接，用于控制所述进液阀、回气阀和所述泄压阀的开闭。

9.根据权利要求6所述的气体供给系统，其特征在于，所述气体供给系统还包括第四温度传感器，所述第四温度传感器设于所述汽化装置的出气管上，用于采集从所述汽化装置输出的气体温度值；所述控制装置与所述第四温度传感器连接，用于对比判断从所述汽化装置输出的气体温度值是否小于第六预设阈值，若是，则所述控制装置控制所述增压装置关闭。

10.根据权利要求6所述的气体供给系统，其特征在于，所述气体供给系统还包括设于所述增压装置的出口管上的第一压力传感器，所述第一压力传感器与所述控制装置连接，且所述第一压力传感器用于采集所述增压装置的出口管内传输介质的压力值；

所述控制装置用于判断述增压装置的出口管内传输介质的压力值与第四预设阈值及第五预设阈值的大小关系，当出口管的气体压力值大于所述第五预设阈值时，所述控制装置控制所述增压装置关闭，使所述增压装置的出口管内的气压压力值降低，当所述增压装置的出口管的气体压力值降低到小于所述第四预设阈值时，所述控制装置控制所述增压装置启动；所述第四预设阈值小于所述第五预设阈值。