CN109477501A - 用于控制流体致动器的控制系统 - Google Patents

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Abstract

一种用于定位一工件(22)的平台总成(10)，该平台总成包括一平台(14)、一底座(12)、一流体致动器总成(24)及一控制系统(20)。该流体致动器总成(24)沿着移动轴线(30)相对于该底座(12)来移动该平台(14)。该流体致动器总成(24)包括：一活塞壳体(32)，其界定一活塞腔室(34)；一活塞(36)，其定位于该活塞腔室(34)内且沿着一活塞轴线(36A)相对于该活塞腔室而移动；及一阀总成(38)，其控制一活塞流体进入该活塞腔室(34)的流动。该阀总成(38)包括具有一入口阀特性的一入口阀(38C)。该控制系统(20)控制该阀总成(38)以控制该活塞流体进入该活塞腔室(34)的该流动。该控制系统(20)可利用该入口阀特性的一反转以控制该阀总成(38)。

Description

用于控制流体致动器的控制系统
相关申请
本申请主张2016年6月1日提出且名称为“用于控制流体致动器的控制系统”的美国临时申请第62/344,262号的优先权。在允许的范围内，美国临时申请第62/344,262号的内容以参照的方式并入本文。
背景技术
曝光设备通常用以将影像自遮罩转印至诸如LCD平板显示器或半导体晶圆的工件上。典型的曝光设备包括：照明源；遮罩平台总成，其保持及精确地定位遮罩；透镜总成；工件平台总成，其保持及精确地定位工件；及量测系统，其监测遮罩及工件的位置或移动。从未终止期望减小用以定位遮罩及/或工件的致动器的成本，同时仍准确地定位此等组件。
发明内容
本发明关于用于沿着一移动轴线定位一工件的平台总成。在一个实施例中，该平台总成包括一平台、一底座、一流体致动器总成及一控制系统。该平台经调适以耦接且保持该工件。该流体致动器总成耦接至该平台且沿着该移动轴线相对于该底座来移动该平台。该流体致动器总成可包括：一活塞壳体，其界定一活塞腔室；一活塞，其定位于该活塞腔室内且沿着一活塞轴线相对于该活塞腔室而移动；及一阀总成，其控制一活塞流体进入该活塞腔室的流动。该阀总成包括具有一第一入口阀特性的一第一入口阀。该控制系统控制该阀总成以控制该活塞流体进入该活塞腔室的该流动。在某些实施例中，该控制系统利用该第一入口阀特性的一反转以控制该阀总成。
在一个实施例中，该活塞流体为一气体，且本发明被描述为一种气动控制应用。替代地，该活塞流体可为诸如油的一液体，且可利用不同方程式。
如本文中所提供，该控制系统精确地控制该活塞的每一侧上的流体压力以产生用以准确地驱动及定位该平台的所要力。在某些实施例中，评估该阀总成以识别嵌入于该系统中的非线性。此等非线性包括每一阀的该等阀特性。阀特性的非独占式实例包括：(i)随着腔室体积的流体压力变化；(ii)比例阀的背隙及差压相依性；及(iii)与上游及下游压力相关联的流体流动非线性。可经由测试、模型化或模拟来识别该等非线性。随后，在该控制系统的一控制回路中反转及使用该等阀特性以线性化该系统且准确地控制该流体致动器总成。
因此，已通过将经识别的系统动力学模型并入至控制设计中而解决与将一液压缸施加至平台轨迹运动相关联的液压缸压力及阀动力学的系统非线性问题。
在某些实施例中，该活塞将该活塞腔室分成在该活塞的相对侧上的一第一腔室及一第二腔室。另外，该阀总成控制该活塞流体进入及离开该第一腔室及该第二腔室的流动。
在一个实施例中，该阀总成包括：(i)该第一入口阀，其控制该活塞流体进入该第一腔室的该流动；(ii)一第一出口阀，其控制该活塞流体离开该第一腔室的该流动；(iii)一第二入口阀，其控制该活塞流体进入该第二腔室的该流动；及(iv)一第二出口阀，其控制该活塞流体离开该第二腔室的该流动。另外，该第一出口阀具有一第一出口阀特性；该第二入口阀具有一第二入口阀特性；且该第二出口阀具有一第二出口阀特性。在此实施例中，该控制系统亦利用该第一出口阀特性的一反转、该第二入口阀特性的一反转及该第二出口阀特性的一反转以控制该阀总成。
作为一个非独占式实例，可使用该第一入口阀的实验测试来判定该第一入口阀特性，可使用该第一出口阀的实验测试来判定该第一出口阀特性，可使用该第二入口阀的实验测试来判定该第二入口阀特性，且可使用该第二出口阀的实验测试来判定该第二出口阀特性。
如本文中所提供，举例而言，每一阀特性可为：(i)用于该阀的电流命令与一有效孔口面积之间的关系；(ii)用于该阀的电流命令与阀位置之间的关系；及/或(iii)用于该阀的有效孔口面积与阀位置之间的关系。
本发明亦关于一种曝光设备，及一种用于制造一装置的程序，该程序包括以下步骤：提供一基板；及运用该曝光设备将一影像形成至该基板。
本发明亦是关于一种用于沿着一移动轴线定位一工件的方法。在一个实施例中，该方法包括：(i)提供一底座；(ii)将该工件耦接至一平台；(iii)运用一流体致动器总成而沿着该移动轴线移动该平台，该流体致动器总成包括：一活塞壳体，其界定一活塞腔室；一活塞，其定位于该活塞腔室内且沿着一活塞轴线相对于该活塞腔室而移动；及一阀总成，其控制一活塞流体进入该活塞腔室的流动；其中该阀总成包括具有一第一入口阀特性的一第一入口阀；及(iv)运用一控制系统来控制该阀总成以控制该活塞流体进入该活塞腔室的该流动，其中该控制系统利用该第一入口阀特性的一反转以控制该阀总成。
附图说明
结合随附描述自附图将最佳地理解本发明的新颖特征以及本发明自身(关于其结构及其操作两者)，在附图中相似参考标号指代相似部分，且在附图中：
图1为具有本发明的特征的平台总成的简化侧视说明；
图2A为说明用于控制流体致动器总成的方法的控制方块图；
图2B为腔室控制器的控制方块图；
图3为具有本发明的特征的一个活塞腔室及一个阀子总成的简化说明；
图4为包括孔口的管路的简化说明；
图5A至图5C为阀的一个非独占式实例的简化剖示图；
图6A为说明图5A至图5C的阀的阀特性的图形；
图6B为说明图5A至图5C的阀的反转阀特性的图形；
图7A至图7D为在各种阀位置处的另一类型的阀的简化说明；
图7E为在部分敞开位置中的出口及阀体的简化说明；
图8A为说明用于图7A至图7D所说明的阀的经计算正规化有效孔口面积对正
规化滑轴位置的图形；
图8B为标绘滑轴位置对正规化有效孔口面积的图形；
图9A为说明滑轴阀的测试结果的图形；
图9B为说明滑轴阀的模拟结果的图形；
图10A说明滑轴阀的两个阀特性；
图10B说明两个反转阀特性；
图11为具有本发明的特征的曝光设备的示意性说明；且
图12为概述根据本发明的用于制造装置的程序的流程图。
具体实施方式
本发明的实施例描述于本文中包括平台的平台总成及控制使平台移动的流体致动器总成的控制系统的前后文中。本领域的技术人员将理解本发明的以下详细描述仅为说明性的，且并非意图以任何方式形成限制。对于受益于本公开内容的技术人员来说，将容易地想见本发明的其他实施例。现将详细参照如附图所说明的本发明的实施方式。于附图及以下详细描述中，将使用相同或相似的参考标记以指代相同或类似的部分。
为清楚起见，并非描述于本文中的实施方式的所有常规特征均将示出及描述。当然，应理解在任何此种实际实施方式的开发中，必须作出大量的实施特定决定以达成开发者的特定目标，诸如符合应用相关及商业相关的限制；且应理解此些特定目标将在实施方式之间且在开发者之间变化。此外，应理解此种开发的努力可为复杂且费时的，但尽管如此对于受益于本公开内容的本领域的技术人员来说仍将是工程的例行公事。
图1为平台总成10的简化说明，平台总成10包括底座12、平台14、平台移动器总成16、量测系统18及控制系统20(被说明为方框)。此等组件中的每一者的设计可变化以适合平台总成10的设计要求。平台总成10特别有用于在制造及/或检测程序期间精确地定位工件22(有时亦被称作装置)。
作为概观，在某些实施例中，平台移动器总成16包括制造起来相对廉价的流体致动器总成24。另外，在本文中所提供的独特校准及识别程序之后，控制系统20可控制流体致动器总成24以准确地定位工件22。由此，平台总成10制造起来较不昂贵，且工件22仍以所要程度的准确度而定位。
由平台总成10定位及移动的工件22的类型可变化。举例而言，工件22可为LCD平板显示器、半导体晶圆或遮罩，且平台总成10可用作曝光设备的部分。替代地，举例来说，平台总成10可用以在制造及/或检测期间移动其他类型的装置，在电子显微镜(图中未示)下方移动装置，或在精密量测操作(图中未示)期间移动装置。
本文中所提供的一些图包括指定X轴、Y轴及Z轴的定向系统。应理解，定向系统仅仅用于参考且可变化。举例来说，X轴可与Y轴切换，及/或平台总成10可旋转。此外，此等轴线可替代地被称作第一轴线、第二轴线或第三轴线。
底座12支撑平台14。在图1所说明的非独占式实施例中，底座12具刚性且为大体上矩形板形状。另外，底座12可固定地紧固至底座安装台26。替代地，底座12可紧固至另一结构。
平台14保持工件22。在一个实施例中，平台由平台移动器总成16相对于底座12精确地移动以精确地定位平台14及工件22。在图1中，平台14为大体上矩形形状且包括用于保持工件22的装置固持器(图中未示)。装置固持器可为真空卡盘、静电卡盘，或将工件22直接耦接至平台14的某一其他类型的夹具。在本文中所说明的实施例中，平台总成10包括保持工件22的单一平台14。替代地，举例来说，平台总成10可经设计为包括被独立地移动及定位的多个平台。作为一实例，平台总成10可包括由平台移动器总成16移动的粗略平台(图中未示)，及保持工件22且运用精细平台移动器总成(图中未示)相对于粗略平台而移动的精细平台(图中未示)。
另外，在图1中，可运用允许平台14相对于底座12移动的轴承总成28相对于底座12来支撑平台14。举例来说，轴承总成28可为辊轴承、流体轴承、线性轴承，或另一类型的轴承。
量测系统18监测平台14相对于参考(诸如光学总成(图1中未示)或底座12)的移动及/或位置，且将量测信息提供至控制系统20。在具有此信息的情况下，可运用控制系统20来控制平台移动器总成16以精确地定位平台14。量测系统18的设计可根据平台14的移动要求而变化。在一个实施例中，量测系统18可包括监测平台14沿着Y轴的移动的线性编码器。替代地，量测系统18可包括干涉计，或另一类型的移动或位置传感器。
平台移动器总成16由控制系统20控制以相对于底座12来移动平台14。在图1中，平台移动器总成16包括沿着单一移动轴线30(例如，Y轴)移动平台14的流体致动器总成24。
流体致动器总成24的设计可依照本文中所提供的教示而变化。在一个非独占式实施例中，流体致动器总成24包括：(i)活塞总成31，其包括界定活塞腔室34的活塞壳体32，及定位于活塞腔室34中的活塞36；及(ii)阀总成38，其控制活塞流体40(被说明为小圆圈)进入及离开活塞腔室34的流动。举例来说，活塞流体40可为空气或另一类型的流体。此等组件的设计可依照本文中所提供的教示而变化。
在一个实施例中，活塞壳体32具刚性且界定大体上右圆柱状活塞腔室34。在此实施例中，活塞壳体32包括：管状侧壁32A；圆盘状第一端壁32B；及圆盘状第二端壁32C，其与第一端壁32B隔开。端壁32B、32C中的一个或两个可包括用于收纳活塞36的部分的壁孔隙32D。
活塞壳体32可固定地紧固至活塞安装台42。替代地，活塞壳体32可紧固至另一结构，诸如底座12。又替代地，因为活塞壳体32接收由平台移动器总成16产生的反作用力，所以活塞壳体32可耦接至抵消、减小及最小化来自平台移动器总成16的反作用力对其他结构的位置的影响的反作用总成。举例来说，活塞壳体32可耦接至维持于配重质量块支撑件(图中未示)上方的大配重质量块(图中未示)，配重质量块支撑件具有允许活塞壳体32沿着移动轴线30运动的反作用轴承(图中未示)。
活塞36定位于活塞腔室34内且沿着活塞轴线36A相对于活塞腔室34而移动。在某些实施例中，活塞轴线36A与移动轴线30同轴。在图1所说明的非独占式实施例中，活塞36包括：(i)刚性圆盘状活塞体36B；(ii)活塞密封件36C，其密封活塞体36B与活塞壳体32之间的区域；(iii)刚性第一横梁36D，其附接至活塞体36B且远离活塞体36B而悬臂，且延伸通过第一端壁32B中的壁孔隙32D；(iv)刚性第二横梁36E，其附接至活塞体36B且远离活塞体36B而悬臂，且延伸通过第二端壁32C中的壁孔隙32D；(iv)第一横梁密封件(图中未示)，其密封第一横梁36D与第一端壁32B之间的区域；及(v)第二横梁密封件(图中未示)，其密封第二横梁36E与第二端壁32C之间的区域。
在此实施例中，第二横梁36E亦固定地紧固至平台14。换句话说，第二横梁36E延伸于活塞体36B与平台14之间，使得活塞体36B的移动引起平台14的移动。另外，在此实施例中，包括第一横梁36D以使得活塞体36B的每一侧上的有效面积出于计算简易起见而相同。替代地，举例来说，流体致动器总成24可经设计为没有第一横梁36D。在此替代设计中，活塞体36B的左侧上的有效面积大于活塞体36B的右侧上的有效面积。
活塞体36B将活塞腔室34分成在活塞体36B的相对侧上的第一腔室34A(亦被称作“腔室1”)及第二腔室34B(亦被称作“腔室2”)。在图1中，第一腔室34A在活塞体36B的左侧上，且第二腔室34B在活塞体36B的右侧上。另外，第一腔室34A具有腔室1有效活塞面积(A1)，且被填充有处于第一压力(P1)、处于第一温度(T1)且具有第一体积(V1)的活塞流体40。相似地，第二腔室34B具有腔室2有效活塞面积(A2)，且被填充有处于第二压力(P2)、处于第二温度(T2)且具有第二体积(V2)的活塞流体40。在图1所说明的此非独占式实例中，流体致动器总成24经设计使得腔室1有效活塞面积(A1)大致等于腔室2有效活塞面积(A2)。
第一腔室34A中的活塞流体40的第一压力(P1)在活塞体36B上产生第一力(F1)，且第二腔室34B中的活塞流体40的第二压力(P2)在活塞体36B上产生第二力(F2)。由流体致动器总成24产生的总力(F)44(由箭头所说明)等于第一力(F1)减去第二力(F2)(F＝F1-F2)。
在具有图1所说明的非独占式设计的情况下，当第一压力(P1)大于第二压力(P2)时，第一力(F1)大于第二力(F2)，总力(F)为正且自左向右推动活塞体36B及平台14。与此对比，当第一压力(P1)小于第二压力(P2)时，第一力(F1)小于第二力(F2)，总力(F)为负且自右向左推动活塞体36B及平台14。
在一个实施例中，阀总成38由控制系统20控制以准确地且个别地控制每一腔室34A、34B中的压力。作为一个非独占式实施例，阀总成38包括：(i)第一阀子总成38A，其经控制以控制活塞流体40进入及离开第一腔室34A的流动以准确地控制第一压力(P1)；及(ii)第二阀子总成38B，其经控制以控制活塞流体40进入及离开第二腔室34B的流动以准确地控制第二压力(P2)。在此实施例中，第一阀子总成38A包括：第一入口阀38C，其经控制以控制活塞流体40进入第一腔室34A的流动；及第一出口阀38D，其经控制以控制活塞流体40离开第一腔室34A的流动。相似地，第二阀子总成38B包括：第二入口阀38E，其经控制以控制活塞流体40进入第二腔室34B的流动；及第二出口阀38F，其经控制以控制活塞流体40离开第二腔室34B的流动。
在此实施例中，流体致动器总成24可包括将加压活塞流体40提供至入口阀38C、38E的一或多个流体压力源46(展示两个)。此外，流体压力源46中的每一者可包括流体贮槽46A、在贮槽46A中产生加压活塞流体40的压缩器46B，及控制被递送至入口阀38C、38E的活塞流体40的压力的压力调节器46C。另外，出口阀38D、38F可通向大气或通向低压区域，诸如真空腔室。
在某些实施例中，阀38C、38D、38E、38F中的每一者包括影响此等阀38C、38D、38E、38F的控制的一或多个阀特性。举例来说，(i)第一入口阀38C具有一或多个第一入口阀特性；(ii)第一出口阀38D具有一或多个第一出口阀特性；(iii)第二入口阀38E具有一或多个第二入口阀特性；及/或(iv)第二出口阀38F具有一或多个第二出口阀特性。在一个实施例中，个别地测试每一阀38C、38D、38E、38F以判定各别阀38C、38D、38E、38F的个别阀特性。在具有此设计的情况下，使用各别阀38C、38D、38E、38F的个别阀特性以控制每一阀38C、38D、38E、38F。替代地，若每一阀38C、38D、38E、38F相似且具有相似阀特性，则可测试阀38C、38D、38E、38F中的一者且可使用彼阀的阀特性以控制阀38C、38D、38E、38F中的全部。
所利用的阀38C、38D、38E、38F的类型可变化。作为非独占式实例，每一阀38C、38D、38E、38F可为比例阀，诸如提动(“蘑菇”)型阀或滑轴型阀。
阀特性的类型将根据所利用的阀38C、38D、38E、38F的类型而变化。下文详细地描述阀38C、38D、38E、38F的非独占式类型与阀特性的非独占式实例的配对。应注意，阀38C、38D、38E、38F可不同于本文中所提供的实例，且阀特性可不同于本文中所提供的实例。
如本文中所提供，对于每一阀38C、38D、38E、38F，其对应阀特性可经由实验测试、经由模拟或此两者的组合予以判定。
控制系统20控制阀总成38以控制活塞流体40进入及离开每一腔室34A、34B的流动。通过选择性地控制活塞流体40进入及离开每一腔室34A、34B的流动，可控制阀总成38以在活塞体36B上产生准确地移动活塞体36B及平台14的可控制力44(“F”)。
控制系统20电连接至及控制被引导至阀总成38的电流以精确地定位平台14及工件22。在一个实施例中，控制系统20使用来自量测系统18的信息以进行以下操作：(i)不断地判定平台14的位置(“x”)；及(ii)将电流引导至阀总成38以定位平台14。控制系统20可包括一或多个处理器20A及电子数据储存器20B。控制系统20使用一或多个算法以执行本文中所提供的步骤。
在某些实施例中，控制系统20个别地控制第一阀38C、38D中的每一者以控制第一腔室34A中的第一压力(P1)以产生所要第一力(F1)。相似地，控制系统20个别地控制第二阀38E、38F中的每一者以控制第二腔室34B中的第二压力(P2)以产生所要第二力(F2)。因此，通过控制阀38C、38D、38E、38F，控制系统20可控制流体致动器总成24以在平台14上产生所要总力(F)44。
在某些实施例中，当控制系统20判定需要将活塞流体40添加至第一腔室34A时，控制系统20将第一出口阀38D控制为闭合，且将第一入口阀38C控制为敞开适当量以添加活塞流体40。另外，当控制系统20判定需要自第一腔室34A移除活塞流体40时，控制系统20将第一入口阀38C控制为闭合，且将第一出口阀38C控制为敞开适当量以释放活塞流体40。在此实例中，将第一阀38C、38D中的一者控制为在任何给定时间闭合。替代地，控制系统20可将第一阀38C、38D两者控制为在自第一腔室34A添加活塞流体40及/或移除活塞流体40期间敞开。
相似地，当控制系统20判定需要将活塞流体40添加至第二腔室34B时，控制系统20将第二出口阀38F控制为闭合，且将第二入口阀38E控制为敞开适当量以添加活塞流体40。另外，当控制系统20判定需要自第二腔室34B移除活塞流体40时，控制系统20将第二入口阀38E控制为闭合，且将第二出口阀38F控制为敞开适当量以释放活塞流体40。在此实例中，将第二阀38E、38F中的一者控制为在任何给定时间闭合。替代地，控制系统20可将第二阀38E、38F两者控制为在自第二腔室34B添加活塞流体40及/或移除活塞流体40期间敞开。
对两个腔室34A、34B进行精确流体压力控制以产生所要力44来驱动平台14。为了准确地控制流体致动器总成24，关键的是判定嵌入于系统中的非线性，诸如：(i)随着腔室体积的流体压力变化；(ii)比例阀38C、38D、38E、38F的背隙及差压相依性；及(3)与上游及下游压力相关联的流体流动非线性。经由实验测试及/或模型化，可由控制系统20识别及补偿此等非线性。
举例来说，控制系统20可进行以下操作：(i)利用第一入口阀特性的反转以控制第一入口阀38C；(ii)利用第一出口阀特性的反转以控制第一出口阀38D；(iii)利用第二入口阀特性的反转以控制第二入口阀38E；及(iv)利用第二出口阀特性的反转以控制第二出口阀38F。因为控制系统20利用每一阀特性的反转，所以可以改良的准确度控制每一阀38C、38D、38E、38F。
图2A为说明用于控制流体致动器总成24以准确地定位平台14的方法的一个非独占式实例的控制方块图220。更特定地说，控制方块图220说明一种用于将电流引导至阀总成38以控制活塞总成31以精确地定位平台14的非独占式方法。在控制方块图220中，平台14具有如由量测系统18(图1所说明)所量测的经量测瞬时平台位置(“x”)(例如沿着量测轴线30(图1所说明))。
在此实施例中，控制方块图220包括：(i)平台参考区块260，其提供平台、平台14的所要参考位置或轨迹(“xd”)(例如沿着移动轴线30(图1所说明))、所要速度所要加速度(及平台加速度变化率参考(ii)平台回馈(“FB”)控制器262；(iii)平台前馈(“FF”)控制器264；(iv)回馈转换器266，其将回馈力命令转换为回馈压力命令；(v)前馈转换器268，其将前馈力命令转换为前馈压力命令；(vi)第一腔室控制器270；(vii)第二腔室控制器272；及(vii)腔室体积估计器278，其基于平台14的经量测位置(“x”)来估计第一腔室的当前第一腔室体积(“V1”)及第一体积改变率且基于平台14的经量测位置来估计第二腔室的当前第二腔室体积(“V2”)及第二体积改变率
应注意，图2A的控制方块图220的一些区块为可选的，及/或控制方块图220可包括额外控制区块。举例来说，可将控制方块图220设计为没有平台前馈控制器264回路。另外或替代地，控制方块图220可经设计为包括反复学习回路(图中未示)。
在控制方块图220中，在自左向右移动的情况下，比较平台所要参考260位置或轨迹(“xd”)与平台经量测位置(“x”)以产生表示平台14的所要位置与经量测位置之间的误差的平台跟踪误差(“e”)。接下来，将平台跟踪误差(“e”)馈送至产生平台回馈力命令(“Ffb”)的平台回馈控制器262，平台回馈力命令(“Ffb”)表示为将平台14自经量测位置移动至参考位置所必要的力命令。同时，将所要参考位置(“xd”)、平台速度参考平台加速度参考及平台加速度变化率参考馈送至产生平台前馈力命令(“Fff”)的平台前馈控制器264，平台前馈力命令(“Fff”)表示为补偿诸如系统时间延迟及轨迹的事项所必要的力命令。
接下来，在此实施例中，组合平台回馈力命令(“Ffb”)与前馈力命令(“Fff”)以产生被馈送至回馈转换器266的组合力命令(“Fcmd”)，回馈转换器266将组合力命令转换为用于第一腔室的第一回馈压力命令(“P1fb”或“P1,cmd”)，及用于第二腔室的第二回馈压力命令(“P2fb”或“P2,cmd”)。相似地，将平台前馈力命令(“Fff”)馈送至前馈转换器268，前馈转换器268将前馈力命令转换为用于第一腔室的第一前馈改变率压力命令及用于第二腔室的第二前馈改变率压力命令
随后，第一腔室控制器270使用第一回馈压力命令(“P1,cmd”)、第一前馈压力命令第一经量测压力(“P1”)、第一腔室体积(“V1”)及第一体积改变率以判定被引导至第一阀子总成的第一阀子总成电流命令(“u1”)。相似地，第二腔室控制器272使用第二回馈压力命令(“P2,cmd”)、第二前馈压力命令第二经量测压力(“P2”)、第二腔室体积(“V2”)及第二体积改变率以判定被引导至第二阀子总成的第二阀子总成电流命令(“u2”)。至阀总成38的电流控制至活塞总成31的活塞流体且在平台14上产生力(“F”)。
如本文中所提供，腔室控制器270、272利用阀特性的反转以准确地判定为准确地控制两个腔室中的压力所必要的各别电流命令。下文参考图2B来更详细地描述此程序。
应注意，在每一阀子总成的一个阀在任何给定时间闭合的实施例中，单一电流命令全部为每一阀子总成所需要。替代地，若每一阀子总成的两个阀可在任何给定时间敞开，则腔室控制器270、272将需要经设计以将单独电流命令提供至每一阀。
多个方程式有用于理解由平台移动器总成16产生的力且有用于理解由控制系统20对平台移动器总成16的控制。如上文所提供，如下提供由平台移动器总成16产生的总力：
F＝F1-F2。 方程式1
如上文所提供，F为总力；F1为由第一腔室产生的力；且F2为由第二腔室产生的力。
可如下重写方程式1：
F＝P1A1-P2A2。 方程式2
如上文所提供，P1为第一腔室中的第一腔室压力；A1为用于第一腔室的有效活塞面积；P2为第二腔室34B中的第二腔室压力；且A2为用于第二腔室34B的有效活塞面积。
另外，可如下表达平台上的力：
在方程式3中及在别处，M为平台(包括工件)的质量，C为阻尼系数，为平台的质量块的加速度，且为平台速度。
可如下表达气体方程式：
PiVi＝miRTi。 方程式4
在方程式4中及在别处，i为各别腔室(第一腔室(“1”)或第二腔室(“2”))；Pi为各别腔室中的压力；Vi为各别腔室中的体积；R为气体常数；mi为各别腔室中的气体质量；且Ti为各别腔室中的温度，
可如下重写方程式4：
在方程式5中及在别处，为各别腔室中的压力改变率；为各别腔室中的体积改变率，且为各别腔室中的质量流率。
可如下将方程式5重写为腔室压力模型化：
另外，可如下将方程式5重写为腔室质量流率控制：
可如下将第一腔室34A的第一体积V1写为平台位置的函数：
V1＝A1(x+x1，o)。 方程式8
相似地，可如下将第二腔室34B的第二体积V2写为平台位置的函数：
V2＝A2(-x+x2，o)。 方程式9
在方程式8及9中及在别处，A1为第一腔室的有效活塞面积；A2为第二腔室的有效活塞面积；X为平台的当前位置；x1,O为第一腔室的截止长度；且x2,O为第二腔室的截止长度。
可如下重写方程式8：
相似地，可如下重写方程式9：
在此等方程式中及在别处，为第一腔室中的体积改变率；且为第二腔室中的体积改变率。
可如下表达每一腔室34A、34B的腔室压力控制：
Fcmd＝P1，cmdA1-P2，cmdA2。 方程式13
在方程式12及13中及在别处，Fcmd为力命令；Ffeedforward为前馈力命令；Ffeedback为回馈力命令；为平台加速度参考；为平台速度参考；为平台加速度变化率参考，xd为参考位置；C为平台与致动器系统的阻尼比；Cfb(s)为平台回馈控制滤波器；x为平台的当前经量测位置；P1,cmd为至第一腔室的压力命令；且P2,cmd为至第二腔室的压力命令。
可如下重写方程式12及13：
P1，cmdA1＝Fo+r·F，及 方程式14
P2，cmdA2＝Fo-(1-r)·F。 方程式15
在方程式14及15中及在别处，Fo为偏移力命令；且r为第一腔室与第二腔室的间的分布比。在某些实施例中，r具有大于0但小于1的值(0<r<1)，其中标称值为r＝0.5。
可如下重写方程式14及15：
可如下表达腔室压力控制：
另外，可如下表达方程式18：
相似于方程式7，可如下表达腔室质量流量控制：
在方程式21中及在别处，为用于第一腔室及第二腔室中的一者的质量流率命令。
图2B为说明腔室控制器270、272(图2A所说明)中的一者可如何被组态的控制方块图。在此实施例中，腔室控制器包括：(i)压力回馈控制器290；(ii)压力至质量流量转换器292；(iii)入口质量流量至孔口面积转换器294；(iv)出口质量流量至孔口面积转换器296；(v)入口孔口面积至电流转换器297；及(vi)出口孔口面积至电流转换器298。在此实施例中，压力回馈控制器290接收用于各别腔室的压力误差Pi,err，且产生压力改变率回馈压力至质量流量转换器292接收压力改变率命令腔室压力(“Pi”)、当前腔室体积(“Vi”)及体积改变率且产生用于入口阀的质量流率命令及用于出口阀的质量流率命令压力至质量流量转换器292可使用本文中所提供的方程式21及22。
入口质量流量至孔口面积转换器294接收质量流率命令及腔室压力(“Pi”)，且产生用于入口阀的入口孔口面积命令(“ai，cmd+”)。入口质量流量至孔口面积转换器294可使用本文中所提供的方程式24。稍微相似地，出口质量流量至孔口面积转换器296接收质量流率命令及腔室压力(“Pi”)，且产生用于出口阀的出口孔口面积命令(“ai，cmd-”)。出口质量流量至孔口面积转换器296可使用本文中所提供的方程式25。
接下来，入口孔口面积至电流转换器297使用入口孔口面积命令(“ai，cmd+”)以产生用于入口阀的入口电流命令(“ui，cmd+”)。入口孔口面积至电流转换器297可使用本文中所提供的方程式27。相似地，出口孔口面积至电流转换器298使用出口孔口面积命令(“ai，cmd-”)以产生用于出口阀的出口电流命令(“ui，cmd-”)。出口孔口面积至电流转换器298可使用本文中所提供的方程式28。
图3为一个活塞腔室334i及一个阀子总成338i的简化说明。如图3所说明，在此实施例中，进入及离开腔室334i的腔室质量流率命令由入口阀338ii及出口阀338io控制。在此实施例中，压力源346将处于被称作Psource的压力的加压活塞流体340提供至入口阀338ii的入口。另外，出口阀338io的出口处于Pdrain的压力。可如下重写方程式21的腔室质量流量控制：
在方程式22中及在别处，为用于所选择腔室334i的入口阀338ii的质量流率命令；且为用于所选择腔室334i的出口阀338io的质量流率命令。如本文中所提供，在某些实施例中，若需要增加进入腔室334i的质量流率则将出口阀338io闭合且将质量流率命令设定为等于入口阀338ii的质量流率命令相似地，在某些实施例中，若需要增加离开腔室334i的质量流率则将入口阀338ii闭合且将质量流率命令设定为等于出口阀338io的质量流率命令，设定为质量流率命令
可如下书写阀流量方程式：
在方程式23中及在别处，a为敞开的阀孔口的面积；f为数学函数；Pupstream为阀孔口的上游压力；且Pdownstream为阀孔口的下游压力。因此，质量流率等于敞开的阀孔口的面积乘以上游压力及下游压力的函数。
图4为包括孔口402的管路400的简化说明，孔口402类似于阀在敞开时的阀孔口。在此实例中，上游压力及下游压力被标记，且孔口402具有孔口面积。参考图3及图4，可将方程式23重写为以下阀孔口面积命令：
在此等方程式中及在别处，ai，cmd+为用于所选择腔室334i的入口阀338ii的阀孔口命令；且ai，cmd-为用于所选择腔室334i的出口阀338io的质量流率命令。
可如下书写阀面积方程式：
a＝A(u)。 方程式26
在方程式26中，a为阀孔口面积；A为阀面积方程式；且u为阀电流。下文更详细地描述阀面积方程式。
可如下将方程式26重写为阀电流命令：
在方程式27及28中及在别处，ui，cmd+为至入口阀的阀电流命令；为用于入口阀的阀面积方程式的反转；ai，cmd+为入口阀的阀孔口面积；ui，cmd-为至出口阀的阀电流命令；为用于出口阀的阀面积方程式的反转；且ai，cmd-为出口阀的阀孔口面积。
可如下更一般地书写方程式24及25：
对于次音速流，上游压力除以下游压力小于或等于塞塔(“θ”)则
对于超音速流，当上游压力除以下游压力大于塞塔(“θ”)时，则
∫(Pu，Pd)＝βPu。 方程式31
在此等方程式中，且其中c为排放系数；Mm为气体分子质量；Z为气体可压缩性因子；k为比热比；R为通用气体定律常数；且T为温度。
图5A为可用作来自图1的阀38C、38D、38E、38F中的一者的阀538的一个非独占式实例的简化剖示图。在此实施例中，阀538为提动型阀，其包括阀壳体539A、可移动阀体539B、入口导管539C、出口导管539D、抵靠入口导管539C推动阀体539B的弹性构件539E(例如弹簧)，及螺线管539F。
在此简化实例中，阀壳体538A为稍微圆柱形形状，阀体539B为圆盘形状，且导管539C、539D为管状形状。另外，在图5A中，阀538被说明为在控制系统(图5A中未示)未将电流引导至螺线管539F时处于闭合位置。由此，弹性构件539E抵靠入口导管539C的顶部推动阀体539B以闭合阀538。
应注意，当未将电流引导至螺线管539F时，只要弹簧预负载力大于由上游压力与下游压力之间的压力差产生的力，阀就保持闭合。
图5B为图5A的阀538的简化剖示图，其中阀538处于敞开位置。此时，控制系统(图5B中未示)正将电流引导至螺线管539F。当将电流引导至螺线管时，此产生远离入口导管539C的顶部向上推动(吸引)阀体539B的螺线管力Fsolenoid。典型地，螺线管力的量值与电流成比例。当将足够电流引导至螺线管539F时，会克服弹性构件539F的弹簧预负载力，远离入口导管539C的顶部移动阀体539B，且将阀538敞开。另外，电流的量将判定阀538被敞开多远。通常，阀开口的大小随着电流增加而增加。
如图5B所说明，阀体539B已自闭合位置移动至敞开位置的量被称作“y”。
图5C为图5A的阀538的简化剖示图，其中入口导管539C被移除，螺线管539F未启动，且导管539C、539D中不存在压力。此时，弹性构件539E将阀体539B向下推动预负载距离yo。阀体539B被说明为处于呈参考假想的形式的闭合位置。当入口导管539D处于适当位置(如图5A所说明)时，弹性构件539E施加等于弹性构件539E的弹簧常数ks乘以预负载距离yo的弹簧预负载力。
可如下表达阀538的控制
在方程式32中及在别处，Mv为阀体539B的质量；为阀体539B的加速度；Cv为由弹簧摩擦造成的阻尼；为阀体539B的速度；ks为弹性构件539E的弹簧常数；yo为预负载距离；kf为螺线管力常数；u为被引导至螺线管的电流命令；r为入口导管539C的顶部处的半径；差量压力为上游压力与下游压力之间的差(ΔP＝Pu-Pd)。
可如下表达图5A至图5C所说明的阀538的有效孔口面积“a”：
a＝A(y)≈2πr·y及 方程式33
在方程式33及34中及在别处，A为阀面积方程式；且A-1为阀面积方程式的反转。
可如下表达为克服弹簧预负载力所必要的截止区电流uo：
在具有图5A至图5C所说明的阀538的情况下，可如下表达在无泄漏的情况下的最大允许压力差ΔPmax：
在具有图5A至图5C所说明的阀538的情况下，可如下表达静态控制电流：
如上文所提供，为了准确地控制流体致动器总成24，关键的是判定嵌入于阀38C、38D、38E、38F中的每一者中的非线性。在某些实施例中，每一阀38C、38D、38E、38F未拆卸以识别每一阀38C、38D、38E、38F的阀特性。代替地，测试阀总成24的每一实体阀38C、38D、38E、38F以判定其各别阀特性。举例来说，对于每一阀38C、38D、38E、38F，运用各种阀电流命令与各种入口/出口压力差来量测流率。随后，对于每一阀38C、38D、38E、38F，可使用流量方程式(参见方程式24至31)而自流率信息计算有效孔口面积。
图6A为说明针对各种差量压力(“ΔP”)的阀有效孔口面积对电流命令的图形。此图形是通过在各种差量压力下以实验方式测试提动阀而产生。举例来说，在维持350kPa的差量压力时，在至螺线管的多个不同电流命令下量测流率。随后，针对每一经量测流率计算有效孔口面积，且在图6A中将有效孔口面积标绘为小方框。随后，通过曲线拟合此等数据点而产生线600A。线600A表示针对350kPa的差量压力的阀面积孔口对电流命令之间的关系。
接下来，在维持300kPa的差量压力时，在至螺线管的多个不同电流命令下量测流率。随后，针对每一经量测流率计算有效孔口面积，且在图6A中将有效孔口面积标绘为小圆圈。随后，通过曲线拟合此等数据点而产生线602A。线602A表示针对300kPa的差量压力的阀面积孔口对电流命令之间的关系。
相似地，在维持250kPa的差量压力时，在至螺线管的多个不同电流命令下量测流率。随后，针对每一经量测流率计算有效孔口面积，且在图6A中将有效孔口面积标绘为小“x”。随后，通过曲线拟合此等数据点而产生线604A。线604A表示针对250kPa的差量压力的阀面积孔口对电流命令之间的关系。
另外，在维持200kPa的差量压力时，在至螺线管的多个不同电流命令下量测流率。随后，针对每一经量测流率计算有效孔口面积，且在图6A中将有效孔口面积标绘为小“z”。随后，通过曲线拟合此等数据点而产生线606A。线606A表示针对200kPa的差量压力的阀面积孔口对电流命令之间的关系。
此外，在维持150kPa的差量压力时，在至螺线管的多个不同电流命令下量测流率。随后，针对每一经量测流率计算有效孔口面积，且在图6A中将有效孔口面积标绘为小三角形。随后，通过曲线拟合此等数据点而产生线608A。线608A表示针对150kPa的差量压力的阀面积孔口对电流命令之间的关系。
另外，在维持100kPa的差量压力时，在至螺线管的多个不同电流命令下量测流率。随后，针对每一经量测流率计算有效孔口面积，且在图6A中将有效孔口面积标绘为小“+”。随后，通过曲线拟合此等数据点而产生线610A。线610A表示针对100kPa的差量压力的阀面积孔口对电流命令之间的关系。
最后，在维持50kPa的差量压力时，在至螺线管的多个不同电流命令下量测流率。随后，针对每一经量测流率计算有效孔口面积，且在图6A中将有效孔口面积标绘为小“D”。随后，通过曲线拟合此等数据点而产生线612。线612表示针对50kPa的差量压力的阀面积孔口对电流命令之间的关系。
在此实例中，此阀的阀特性614表示针对多个不同差量压力的有效阀孔口面积对电流命令的关系。替代地，举例来说，阀特性614可为以下各者：(i)针对多个不同差量压力的有效阀孔口面积对电压之间的关系；(ii)针对多个不同差量压力的流率对电流命令之间的关系；及/或(iii)针对多个不同差量压力的流率对电压之间的关系。
如上文所提供，在某些实施例中，将阀特性614反转以产生随后用于控制彼阀的反转阀特性616。举例来说，可将图6A中的数据反转(切换图形的X及Y轴)以产生图6B所说明的反转阀特性616。
更特定言地说，图6B为说明阀电流命令对有效孔口面积的图形，该图形为图6A中的图形的反转。在此实例中，将来自图6A的数据反转以产生图6B中的数据。随后，使用曲线拟合以产生图6B中的曲线。
举例来说，在350kPa的差量压力下，将数据表示为小方框。随后，通过曲线拟合此等数据点而产生线600B。线600B表示针对350kPa的差量压力的阀电流命令与阀面积孔口之间的关系。
接下来，在300kPa的差量压力下，将数据表示为小圆圈。随后，通过曲线拟合此等数据点而产生线602B。线602B表示针对300kPa的差量压力的阀电流命令与阀面积孔口之间的关系。
相似地，在250kPa的差量压力下，将数据表示为小“x's”。随后，通过曲线拟合此等数据点而产生线604B。线604B表示针对250kPa的差量压力的阀电流命令与阀面积孔口之间的关系。
另外，在200kPa的差量压力下，将数据表示为小“z's”。随后，通过曲线拟合此等数据点而产生线606B。线606B表示针对200kPa的差量压力的阀电流命令与阀面积孔口之间的关系。
此外，在150kPa的差量压力下，将数据表示为小三角形。随后，通过曲线拟合此等数据点而产生线608B。线608B表示针对150kPa的差量压力的阀电流命令与阀面积孔口之间的关系。
另外，在100kPa的差量压力下，将数据表示为小“+'s”。随后，通过曲线拟合此等数据点而产生线610B。线610B表示针对100kPa的差量压力的阀电流命令与阀面积孔口之间的关系。
最后，在50kPa的差量压力下，将数据表示为小“D's”。随后，通过曲线拟合此等数据点而产生线612B。线612B表示针对50kPa的差量压力的阀电流命令与阀面积孔口之间的关系。
应注意，来自图6B图形的反转阀特性616数据可由控制系统使用以准确地控制阀。亦应注意，控制系统可利用内插以产生针对其他差量压力的数据以在其他差量压力下准确地控制阀。
图7A至图7D为在各种阀位置处的另一类型的阀738的简化剖示说明，阀738可用作来自图1的阀38C、38D、38E、38F中的一者。更特定言地说，图7A为在完全闭合位置处的滑轴型阀738的简化侧视说明；图7B为在闭合基线(准备敞开)位置处的滑轴型阀738的简化侧视说明；图7C为在部分敞开位置处的滑轴型阀738的简化侧视说明；且图7D为在完全敞开位置处的滑轴型阀738的简化侧视说明。
在此实施例中，阀738为滑轴型阀，其包括阀壳体739A、可移动阀体739B(有时被称作“滑轴”)、入口开口(图中未示)、出口开口739D、自右向左推动阀体739B的弹性构件739E(例如弹簧)，及自左向右移动阀体739B的螺线管739F。
在此简化实例中，阀壳体738A为稍微中空圆柱形形状，阀体739B为圆盘形状，且开口739D为圆形形状且定位于阀壳体738A的相对侧上，其中阀体739B定位于相对侧之间。
应注意，因为上游压力及下游压力正交于阀体739B，所以差量压力将不影响阀738的敞开或闭合。
另外，在图7A中，阀738被说明为在控制系统(图7A中未示)未将电流引导至螺线管739F时处于完全闭合位置。此时，阀体739B覆盖入口及出口739D两者以闭合阀738。
图7B为图7A的阀738的简化剖示图，其中阀738处于恰在其敞开之前的基线位置。此时，控制系统(图7B中未示)正将电流引导至螺线管739F。当将电流引导至螺线管时，此产生将阀体739B推动至阀738准备敞开的基线位置yb的螺线管力Fsolenoid。
图7C为图7A的阀738的简化剖示图，其中阀738处于部分敞开位置。此时，控制系统(图7C中未示)正将电流引导至螺线管739F。当将电流引导至螺线管时，此产生将阀体739B推动至阀738部分敞开的位置y的螺线管力Fsolenoid。
典型地，螺线管力的量值与电流成比例。当将足够电流引导至螺线管739F时，会克服弹性构件739F的弹簧预负载力，且使阀体739B移动。另外，电流的量将判定阀738被敞开多远。通常，阀开口的大小随着电流增加而增加。
图7D为图7A的阀738的简化剖示图，其中阀738处于完全位置。
在此实施例中，可如下表达用于图7A至图7D所说明的阀738的阀机械动力学：
在方程式38中及在别处，MV为阀体739B的质量；为阀体739B的加速度；cv为由弹簧摩擦造成的阻尼；为阀体739B的速度；ks为弹性构件739E的弹簧常数；yo为预负载距离；kf为螺线管力常数；u为被引导至螺线管的电流命令；且fpreload为弹性构件739E的预负载力。
图7E为在有助于阐释有效孔口面积的部分敞开位置中的出口739D及阀体739B的简化说明。在此实例中，x＝yo+y。另外，可如下计算此类型的阀738的有效孔口面积Aeff：
图8A为说明使用用于图7A至图7D所说明的阀的上述公式所计算的正规化有效孔口面积对正规化滑轴位置的图形。在此实例中，此阀的阀特性814表示正规化有效孔口面积对正规化滑轴位置的关系。
如上文所提供，在某些实施例中，将阀特性814反转以产生图8B所说明的随后用于控制彼阀的反转阀特性816。举例来说，可将图8A中的数据反转(切换图形的X及Y轴)以产生图8B所说明的标绘滑轴位置对正规化有效孔口面积的反转阀特性816。
某些阀(例如滑轴阀)具有类背隙滞后。在此等阀中，对于相同电流命令，滑轴位置可取决于先前命令历史而不同。
图9A为说明滑轴阀的测试结果的图形。在图9A中，该图形说明滑轴位置对电压。另外，图9B为说明滑轴阀的模拟结果的图形。在图9B中，该图形说明滑轴位置对电流。此等图说明：对于相同电流命令(或电压命令)，滑轴位置可取决于先前命令历史而不同。举例来说，参考图9A，对于相同命令(例如5伏特)，滑轴位置将取决于先前命令而不同。相似地，参考图9B，对于相同命令(例如0.5安培)，滑轴位置将取决于先前命令而不同。
如本文中所提供，参考图9A，此阀的另一阀特性914由滑轴位置对电压的关系表示。参考图9B，此阀的又一阀特性915由滑轴位置对电流的关系表示。因此，如本文中所提供，可校准及模型化滑轴阀非线性(背隙及有效孔口几何形状)。随后，可将其反转应用于控制软件以线性化滑轴阀。
用以计算阀的背隙的方法可变化。在一个实施例中，可通过将电流(或电压)命令自零逐渐地增加至最大值且接着将其逐渐地减小至零同时监测阀体的位置而执行校准。随后将电流(或电压)命令对滑轴位置数据用作补偿映图。
在某些实施例中，可在校准背隙时判定阀的基线位置yo。可通过在检查阀的出口流量以判定孔口何时开始敞开时稍微增加电流命令而判定基线位置。
图10A说明滑轴阀的两个阀特性。更特定地说，图10A包括：(i)第一阀特性1014，例如说明正规化有效孔口面积对正规化滑轴位置的图形；及(ii)第二阀特性1015，例如说明滑轴位置对电流的图形。可以实验方式获取或计算用于图形1014、1015的数据。
如上文所提供，在某些实施例中，将阀特性1014、1015反转以产生图10B所说明的随后用于控制彼阀的反转阀特性1016、1017。举例来说，将来自图形1014的数据反转(切换图形的X及Y轴)以产生标绘正规化滑轴位置对正规化有效孔口面积的图形1016。另外，将来自图形1015的数据反转(切换图形的X及Y轴)以产生标绘电流对滑轴位置的图形1017。如本文中所提供，反转阀特性1016、1017有助于准确地控制阀的有效孔口面积，而不管阀的非线性。
应注意，反转阀特性1016、1017可呈查找表、映图、图形、图表或分析模型或拟合模型的形式。
图11为说明有用于本发明的曝光设备1170的示意图。曝光设备1170包括设备框架1172、照明系统1182(辐照设备)、遮罩平台总成1184、光学总成1186(透镜总成)、板平台总成1110，及控制遮罩平台总成1184及板平台总成1110的控制系统1120。
曝光设备1170特别可用作将液晶显示设备的图案(图中未示)自遮罩1188转印至工件1122上的微影装置。
设备框架1172具刚性且支撑曝光设备1170的组件。设备框架1172的设计可变化以适合针对曝光设备1170的其余部分的设计要求。
照明系统1182包括照明源1192及照明光学总成1194。照明源1192发射光能射束(辐照)。照明光学总成1194将光能射束自照明源1192导引至遮罩1188。射束选择性地照明遮罩1188的不同部分且曝光工件1122。
光学总成1186将传递通过遮罩1188的光投影及/或聚焦至工件1122。取决于曝光设备1170的设计，光学总成1186可放大或减小照明于遮罩1188上的影像。
遮罩平台总成1184相对于光学总成1186及工件1122来固持及定位遮罩1188。相似地，板平台总成1110相对于遮罩1188的经照明部分的经投影影像来固持及定位工件1122。
存在多个不同类型的微影装置。举例来说，曝光设备1170可用作扫描类型光微影系统，其将图案自遮罩1188曝光至玻璃工件1122上，其中遮罩1188与工件1122同步地移动。替代地，曝光设备1170可为步进及重复类型光微影系统，其在遮罩1188及工件1122静止时曝光遮罩1188。
然而，本文中所提供的曝光设备1170及平台总成的用途并不限于用于液晶显示设备制造的光微影系统。举例来说，曝光设备1170可用作半导体光微影系统，其将集成电路图案曝光至晶圆或光微影系统上以用于制造薄膜磁头。另外，本发明亦可应用于近接光微影系统，其通过在不使用透镜总成的情况下接近地定位遮罩及基板而曝光遮罩图案。另外，本文中所提供的本发明可用于其他装置，包括其他平板显示器处理装备、电梯、机器工具、金属切割机器、检测机器及磁盘驱动器。
根据上述实施例的光微影系统可通过以下方式而建置：装配各种子系统(包括所附权利要求书中列出的每一组件)，使得维持规定的机械准确度、电准确度及光学准确度。为了维持各种准确度，在装配之前及之后，调整每一光学系统以达成其光学准确度。相似地，调整每一机械系统及每一电系统以达成其各别机械及电准确度。将每一子系统装配至光微影系统中的程序包括在每一子系统之间的机械接口、电路配线连接及气压管道连接。不必说，亦存在在自各种子系统装配光微影系统之前装配每一子系统的程序。一旦使用各种子系统而装配光微影系统，就执行总调整以确保在整个光微影系统中维持准确度。另外，需要在温度及清洁度被控制的清洁室中制造曝光系统。
另外，可通过图12中大体上所展示的程序而使用上述系统来制作装置。在步骤1201中，设计装置的功能及效能特性。接下来，在步骤1202中，根据先前设计步骤来设计具有图案的遮罩(光罩)，且在并列步骤1203中制造玻璃板。在步骤1204中通过上文中根据本发明所描述的光微影系统将步骤1202中所设计的遮罩图案曝光至来自步骤1203的玻璃板上。在步骤1205中，装配(包括切割程序、接合程序及封装程序)平板显示设备，最后，接着在步骤1206中检测装置。
应明白，虽然本文已说明并描述平台总成10的多个不同实施例，任一实施例的一或多个特征可与一或多个其他实施例的一或多个特征组合，只要此种组合满足本发明的意向即可。
虽然本文已展示并揭示平台总成10的多个示范性态样及实施例如上，本领域的技术人员将理解其某些修改、排列、添加及子组合。因此所意欲的是以下所附的权利要求以及随后引入的权利要求应解读为包括如其真正精神及范围内的所有此种修改、排列、添加及子组合，且并不意欲限制本文所展示的建构或设计细节。

Claims (20)

1.一种用于沿着一移动轴线定位一工件的平台总成，该平台总成包含：
一平台，其经调适以耦接至该工件；
一底座；
一流体致动器总成，其耦接至该平台且沿着该移动轴线相对于该底座来移动该平台，该流体致动器总成包括：一活塞壳体，其界定一活塞腔室；一活塞，其定位于该活塞腔室内且沿着一活塞轴线相对于该活塞腔室而移动；及一阀总成，其控制一活塞流体进入该活塞腔室的流动；其中该阀总成包括具有一第一入口阀特性的一第一入口阀；及
一控制系统，其控制该阀总成以控制该活塞流体进入该活塞腔室的该流动，其中该控制系统利用该第一入口阀特性的一反转以控制该阀总成。
2.如权利要求1所述的平台总成，其中该活塞将该活塞腔室分成在该活塞的相对侧上的一第一腔室及一第二腔室；且其中该阀总成控制该活塞流体进入该第一腔室及该第二腔室的流动。
3.如权利要求2所述的平台总成，其中该阀总成控制该活塞流体离开该第一腔室及该第二腔室的流动。
4.如权利要求3所述的平台总成，其中该阀总成包括：(i)该第一入口阀，其控制该活塞流体进入该第一腔室的流动；(ii)一第一出口阀，其控制该活塞流体离开该第一腔室的流动；(iii)一第二入口阀，其控制该活塞流体进入该第二腔室的流动；及(iv)一第二出口阀，其控制该活塞流体离开该第二腔室的流动。
5.如权利要求4所述的平台总成，其中该第一出口阀具有一第一出口阀特性，该第二入口阀具有一第二入口阀特性，且该第二出口阀具有一第二出口阀特性；且其中该控制系统亦利用该第一出口阀特性的一反转、该第二入口阀特性的一反转及该第二出口阀特性的一反转以控制该阀总成。
6.如权利要求4所述的平台总成，其中使用该第一入口阀的实验测试来判定该第一入口阀特性，使用该第一出口阀的实验测试来判定该第一出口阀特性，使用该第二入口阀的实验测试来判定该第二入口阀特性，且使用该第二出口阀的实验测试来判定该第二出口阀特性。
7.如权利要求1所述的平台总成，其中通过该第一入口阀的实验测试来判定该第一入口阀特性。
8.如权利要求1所述的平台总成，其中该第一入口阀特性为用于该第一入口阀的电流命令与一有效孔口面积之间的关系。
9.如权利要求1所述的平台总成，其中该第一入口阀特性为用于该第一入口阀的电流命令与阀位置之间的关系。
10.如权利要求1所述的平台总成，其中该第一入口阀特性为用于该第一入口阀的有效孔口面积与阀位置之间的关系。
11.一种曝光设备，其包括一照明源，及如权利要求1所述的平台总成，该平台总成相对于该照明系统来移动该平台。
12.一种用于制造一装置的程序，其包括以下步骤：提供一基板；及运用如权利要求11所述的曝光设备将一影像形成至该基板。
13.一种用于沿着一移动轴线定位一工件的方法，该方法包含：
提供一底座；
将该工件耦接至一平台；
运用一流体致动器总成沿着该移动轴线相对于该底座移动该平台，该流体致动器总成包括：一活塞壳体，其界定一活塞腔室；一活塞，其定位于该活塞腔室内且沿着一活塞轴线相对于该活塞腔室而移动；及一阀总成，其控制一活塞流体进入该活塞腔室的流动；其中该阀总成包括具有一第一入口阀特性的一第一入口阀；及
运用一控制系统来控制该阀总成以控制该活塞流体进入该活塞腔室的该流动，其中该控制系统利用该第一入口阀特性的一反转以控制该阀总成。
14.如权利要求13所述的方法，其中移动包括该活塞将该活塞腔室分成在该活塞的相对侧上的一第一腔室及一第二腔室，该阀总成控制该活塞流体进入该第一腔室及该第二腔室的流动。
15.如权利要求14所述的方法，其中移动包括该阀总成控制该活塞流体离开该第一腔室及该第二腔室的流动。
16.如权利要求15所述的方法，其中移动进一步包括该阀总成包括：(i)该第一入口阀，其控制该活塞流体进入该第一腔室的流动；(ii)一第一出口阀，其控制该活塞流体离开该第一腔室的流动；(iii)一第二入口阀，其控制该活塞流体进入该第二腔室的流动；及(iv)一第二出口阀，其控制该活塞流体离开该第二腔室的流动。
17.如权利要求16所述的方法，其中移动进一步包括该第一出口阀具有一第一出口阀特性，该第二入口阀具有一第二入口阀特性，且该第二出口阀具有一第二出口阀特性；且其中控制包括该控制系统亦利用该第一出口阀特性的一反转、该第二入口阀特性的一反转及该第二出口阀特性的一反转以控制该阀总成。
18.如权利要求16所述的方法，其进一步包含使用该第一入口阀的实验测试来判定该第一入口阀特性，使用该第一出口阀的实验测试来判定该第一出口阀特性，使用该第二入口阀的实验测试来判定该第二入口阀特性，且使用该第二出口阀的实验测试来判定该第二出口阀特性。
19.如权利要求13所述的方法，其进一步包含使用该第一入口阀的实验测试来判定该第一入口阀特性。
20.如权利要求13所述的方法，其中移动包括该第一入口阀特性为以下各者中的一者：(i)用于该第一入口阀的电流命令与一有效孔口面积之间的关系；(ii)用于该第一入口阀的电流命令与阀位置之间的关系；及(iii)用于该第一入口阀的有效孔口面积与阀位置之间的关系。
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Matitschka et al. euspen’s 23rd International Conference & Exhibition, Copenhagen, DK, June 2023

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