CN109368693B - 一种高砷含氟氯物料的清洁处理方法 - Google Patents
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Abstract
一种高砷含氟氯物料的清洁处理方法，包括：（1）将高砷含氟氯物料、还原剂和熔剂配料后进行还原熔炼，得硫冰铜、铅合金、熔炼烟气和炉渣；（2）将高温熔炼烟气与空气混合后氧化，得到的混合烟气冷却后再电收尘，得到一次固体烟尘与一次含砷烟气；（3）将一次含砷烟气通过金属膜进行过滤，得到二次固体烟尘与二次含砷烟气；（4）将二次含砷烟气骤冷收砷，得到三氧化二砷固体和氟氯烟气（5）氟氯烟气经硫化喷淋，得到硫化砷渣和废液；废液经蒸发结晶，得到含氯化钠和氟化钠的混合固体。本发明实现了高砷含氟氯物料冶炼过程中烟气的清洁排放，且无二次污染，具有高效、环保、安全等优点。
Description
技术领域
本发明属于有色金属综合回收技术领域，尤其涉及一种高砷含氟氯物料的清洁处理方法。
背景技术
在铜铅锌等有色金属的矿床中，砷是主要的伴生元素，在冶炼过程中，砷会随着冶炼金属富集(铜冶炼厂产生的砷量为32500t/a，铅冶炼厂为16100t/a，锌冶炼厂为22400t/a)，形成高砷多金属物料(当物料中砷的质量百分比≥2％时，物料被称为高砷物料)。冶炼过程中砷、氟、氯会进入到冶炼烟灰中。比如铅冶炼的烟化炉氧化锌烟灰、锌冶炼的多膛炉氧化锌烟灰，含砷、氟、氯都很高。此类烟灰在冶炼回收其中有价金属过程中，砷、氟、氯会直接进入烟气，此类冶炼烟气如果直接排放到环境中，将对环境造成很大的破坏，对人们的身体健康造成很大的威胁，因此对高砷、氟、氯物料进行合理化的清洁处置极其重要。
目前处理高砷含氟氯物料的工艺方法存在以下问题：
(1)含砷烟尘难以完全捕集，易产生二次污染。没有相应的设备设施对砷进行捕集，直接将砷的化合物挥发进入烟气，对空气造成污染。通过还原熔炼得到的含砷烟气具有烟气量大、温度高、含尘高、烟尘粒度细等特点，常规收尘方式是采用袋式除尘器，布袋收尘所采用的滤袋为普通的材料，容易粘结滤袋，导致收尘效率不高，收砷纯度不高。
(2)所得到的砷产品纯度不高。现在技术中大多数对砷的处理主要是针对含砷烟尘的处理，而在处理这类烟尘的过程中往往认为烟尘中的砷是以三氧化二砷的形式存在，忽略了其他的含砷物相，因此导致最终得到的砷产品纯度不高。
(3)仅考虑物料中某种有害物质、忽略其他的有害元素。在铜铅锌等有色金属的矿床中，砷、氟、氯都是伴生元素，在冶炼过程中，砷、氟、氯等有害元素随着冶炼金属富集在冶炼烟尘中。目前对铜铅锌等冶炼烟尘的清洁处置往往仅仅是针对某种单一的有害物质进行处置。例如，仅针对砷进行安全处置。或者是仅针对氟、氯进行安全处置。导致排出的烟气不完全清洁。
(4)没有考虑砷与氟氯之间反应生成的有害物质。砷的氧化物三氧化二砷在加热条件下会与氟化氢、氯化氢相互转换生成三氟化砷、三氯化砷等有害物质。进而没有对其进行相应的处置。
中国专利公开号为CN 106145180A公开了一种对高氟氯氧化锌烟灰和高氟氯污酸进行综合回收处理的工艺。该工艺以高氟氯氧化锌烟灰和高氟氯污酸为原料，将高氟氯氧化锌进行一次浸出，一次浸出液使用高氟氯的污酸，一次浸出完成后采用压滤机进行液固分离，滤出滤渣，液体再用高氟氯氧化锌一次中和后压滤分离，中和渣返回一次浸出回收其中的金属，中和液体加入锌粉净化除杂，净化后压滤分离，滤出滤渣，液体再加入碳酸钠二次中和沉锌，二次中和后压滤分离，含氟氯高的液打污水处理工序，含碱式碳酸锌的渣水洗压滤，水洗废液打污水处理工序，渣干燥后得到碱式碳酸锌。该工艺忽略高氟氯氧化锌烟灰原料的典型特点：砷含量较高，仅仅对其中的氟氯进行清洁处置，没有对原料中的砷进行相应的处置，给环境造成潜在的威胁。并且，氟氯虽然脱除，但存在废液中，由于该废液为污酸且成分复杂导致氟氯难以回收，仍然会对环境造成潜在威胁。
因此，亟待开发一种高效、环保、安全的脱砷技术，能将高砷含氟氯物料中的砷、氟、氯实现清洁处置。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种能实现固体烟尘与As、F、Cl的高效分离，确保烟气的清洁排放和无二次污染物料产生的高砷含氟氯物料的清洁处理方法。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
一种高砷含氟氯物料的清洁处理方法，包括以下步骤：
(1)将高砷含氟氯物料、还原剂和熔剂配料后进行还原熔炼，得到硫冰铜、铅合金、熔炼烟气和炉渣；
(2)将步骤(1)所得的熔炼烟气与空气混合后进行氧化，得到混合烟气，所述混合烟气冷却后再进行电收尘，得到一次固体烟尘与一次含砷烟气；
(3)将步骤(2)所得的一次含砷烟气通过金属间化合物柔性膜进行过滤，得到二次固体烟尘与二次含砷烟气；
(4)将步骤(3)所得的二次含砷烟气冷却，得到三氧化二砷和氟氯烟气；
(5)步骤(4)所得的氟氯烟气经硫化喷淋，得到硫化砷渣和废液；所述废液经蒸发结晶，得到含氯化钠和氟化钠的混合固体。
本发明的关键在于：采用还原熔炼的方法，将Cu、Bi、Pb等金属与砷、氟、氯等气体一次性分离，砷氟氯烟气出来后通过补加空气进行二次氧化，一方面是为了严格控制进入电收尘中CO的含量(防爆)，另一方面是可将烟气中的As2S3转化为As2O3，提高后续砷产品的品质。由于烟气除了As、F、Cl含量较高之外，还具有温度高、含尘高、烟尘粒度细等特点，故氧化后的烟气经冷却，以降低烟气温度，优选采用余热锅炉冷却，除冷却作用外还可以利用余热锅炉回收烟气余热。经余热锅炉冷却后的烟气经电收尘除尘，实践表明，电收尘可将上述混合烟气中的固体烟尘的90％除去，烟气中剩余的10％的固体烟尘由于粒度较细且固体烟尘含量已较低，固采用金属膜精密过滤，固体烟尘含量较低保证了在金属膜精密收尘过程中As、F、Cl的高效分离，旨在将烟气中的固体烟尘与As、F、Cl等气态物质分离的同时保证金属膜收集到的三氧化二砷的纯度。再将经高效除尘后的砷氟氯烟气骤冷，将砷由气态转换为固态，实现三氧化二砷与氟化物、氯化物烟气的有效分离；可通过还原将固态三氧化二砷转化为金属砷。氟氯烟气再经过硫化喷淋得到NaCl、NaF溶液以及少量未完全还原的砷硫化得到硫化砷渣，NaCl、NaF溶液经蒸发结晶可得到NaCl、NaF晶体。该方法实现了高砷氟氯物料的清洁处置，且无二次污染产生，符合环保要求。
富氧熔池还原熔炼阶段中主要的化学反应式如下：
C+O2(g)＝CO2(g) (1)
2C+O2(g)＝2CO(g) (2)
C+CO2(g)＝2CO(g) (3)
PbSO4+C＝PbO+SO2(g)+CO(g) (4)
PbO+CO＝Pb+CO2(g) (5)
PbSO4+C＝PbS+O2(g)+CO2(g) (6)
PbSO4+4C＝PbS+4CO(g) (7)
PbSO4+PbS＝2Pb+2SO2(g) (8)
2PbS+3O2＝2PbO+2SO2(g) (9)
2PbO+PbS＝3Pb+SO2(g) (10)
PbSO4+2C＝Pb+SO2+2CO(g) (11)
Bi2O3+3C＝2Bi+3CO(g) (12)
Bi2O3+3Fe＝FeO+2Bi (13)
As2O3+3C＝2As↑+3CO↑ (14)
As2S3+O2＝As2O3+SO2 (15)
硫化沉砷发生的主要的化学反应：
2As3++3S2+＝As2S3 (16)
2As5++5S2+＝As2S5 (17)
上述的高砷含氟氯物料的清洁处理方法，优选的，还包括以下步骤：
(6)步骤(4)所得的三氧化二砷经还原，得到单质砷和还原渣。优选在连续真空碳还原系统中将三氧化二砷固体还原为单质砷。连续真空碳还原系统所采用的炉子优选为电热真空还原炉。
上述的高砷含氟氯物料的清洁处理方法，优选的，所述高砷含氟氯物料中，含：As5wt％～30wt％，Pb 20wt％～40wt％，Cu 0.5wt％～10wt％，Bi 0.5wt％～5wt％，S0.5wt％～5wt％，F0.01wt％～0.5wt％，Cl 0.01wt％～0.5wt％。
上述的高砷含氟氯物料的清洁处理方法，优选的，所述高砷含氟氯物料的含水量为5wt％～8wt％，所述高砷含氟氯物料的粒径小于20mm。
上述的高砷含氟氯物料的清洁处理方法，优选的，所述步骤(1)中，所述还原剂为煤，所述还原剂的加入量为高砷多金属含铟物料质量的8％～13％；还原熔炼过程中通入氧气，所述氧气与煤的比值为600～800Nm3∶t；所述还原熔炼的温度为1200℃～1300℃，还原熔炼时间为90～120min。通入氧气的目的是将煤燃烧放热，且将煤氧化为一氧化碳等提供还原气氛。
上述的高砷含氟氯物料的清洁处理方法，优选的，所述步骤(1)中，所述熔剂为石灰石、石英石、铁屑中的一种或多种，所述熔剂用量为高砷多金属含铟物料质量的6～15％。
经由上述还原条件，高砷含氟氯物料中的Cu、Bi、Pb、As、In通过还原熔炼后一次性分离，砷(As2O3、As2S3)、氟化物(AsF3、HF、F2)、氯化物(AsCl3、HCl、Cl2)以气体形式挥发进入烟尘中；冰铜的主要元素含量：Cu15～50％，Pb1～10％，Fe1～10％，S5～30％；铅铋合金的主要元素含量Pb80～95％，Bi0.5～10％，Sn0.5～6％，Ag0.05～0.2％，Sb0.5～2％。
上述的高砷含氟氯物料的清洁处理方法，优选的，所述混合烟气中的CO浓度低于8％且所述混合烟气不含As2S3。
经检测，砷氟氯烟气的主要成分为As2O3，As2S3、CO，CO2，SO2、AsF3、HF、F2、AsCl3、HCl、Cl2，温度为1100～1150℃，As2O3，As2S3都处于气体状态，检测得到，该烟气由于含尘较高，固质量较大，总质量为高砷含氟氯物料质量的20～25％，因此应该选用收尘效率较高的收尘设备。为控制烟尘中特殊物质含量保证收尘安全的同时除杂，提高后续收砷的纯度，烟尘在进入电收尘之前应补加空气二次氧化，将烟尘中的CO氧化为CO2，As2S3氧化为As2O3。
一方面严格控制烟气进入电收尘时CO的浓度(防爆)，另一方面使烟气中的As2S3转换为As2O3，使后续收砷操作能够得到纯度较高的砷。优选地，所述氧化后的烟气在进入电收尘之前应该先通过CO浓度检测器与As2S3浓度检测器。保证烟气在进入电收尘时CO浓度低于8％且不含As2S3。
上述的高砷含氟氯物料的清洁处理方法，优选的，所述步骤(2)中，通过余热锅炉所述混合烟气进行冷却，所述余热锅炉蒸汽量13～17t/h，冷却后的混合烟尘的温度为400～450℃。余热锅炉起回收余热作用的同时对烟气进行降温。
将混合烟气的温度控制在400～450℃的目的为：通过控制混合烟气温度，即保证余热锅炉出口的混合烟气的温度高于酸露点温度40～50℃(如果烟气温度低于露点温度，一方面会引起使得酸对设备引起腐蚀，另一方面在电收尘中会引起粘结，影响收尘效率)，该酸露点温度的计算公式tdew＝186+20logVH2O+26logVso2(tdew—烟气的酸露点温度，VH20—烟气水蒸气气体的百分比(％)，Vso2—烟气SO2气体的百分比(％))。保护设备不受酸腐蚀同时提高电收尘效率，缓解金属膜的收尘压力，保证金属膜的精密过滤，从而保证三氧化二砷的纯度。
混合烟气从余热锅炉出来后进入电收尘，电收尘将混合烟气中的砷氟氯烟气与固体粉尘分离，通过对进入电收尘中的混合烟尘温度进行严格控制使得电收尘的收尘效率大于90％，大大缓解了金属膜的收尘压力。
上述的高砷含氟氯物料的清洁处理方法，优选的，所述步骤(2)中，所述金属间化合物柔性膜为Al系金属间化合物非对称膜，通过金属间化合物柔性膜过滤的一次含砷烟气的温度为350～400℃，所述金属间化合物柔性膜过滤速度为1.0～1.3m/min，所述金属间化合物柔性膜面积为1000～1300m2。
所述金属膜根据系统工况，选用新型抗腐蚀、耐高温、耐热震、高强度的金属间化合物柔性膜滤袋来过滤高温烟气；在高温强腐蚀性环境下能有效地使固体截留在过滤器滤袋表面。待固体滤饼形成后，并通过反向高温脉冲，把在一个预先确定的压降或时间内形成的滤饼清除掉。过滤器滤饼因重力作用掉下进入过滤器的下锥体部分后回收利用。通过反复的循环反吹并保持压降的基本恒定，整个过程中维持系统内烟气是完全连续向前流动的。过滤后含尘量≤5mg/m3，粉尘拦截最小粒径0.1μm。
含尘、三氧化二砷、氟化物以及氯化物的气体在350℃以上进行高温精密过滤，固体粉尘被拦截下来通过灰斗排出，三氧化二砷、氟化物以及氯化物的气体穿过金属膜特殊的过滤材料(见附图1：三氧化二砷饱和蒸汽压图)，以实现通过较小的收尘压力，精密过滤，将砷、氟化物、氯化物与粉尘高效分离，得到较高纯度的砷产品，除尘效率≥99.99％。
上述的高砷含氟氯物料的清洁处理方法，优选的，所述步骤(3)中，所述冷却的速率为60～80℃/s，将所述二次含砷烟气冷却至180℃以下，以便将烟气中的As2O3凝华为固体粉末，从而实现砷与氟化物、氯化物气体的有效分离。
上述的高砷含氟氯物料的清洁处理方法，优选的，所述步骤(5)中，硫化喷淋所用的硫化剂是Na2S，Na2S的浓度为0.3～0.5mol/L，pH为3～7，空气塔气速3～6m/s，液气比10～15L/m3。
将氟氯烟气经过硫化喷淋将少量未完全还原的砷转化为硫化砷渣，氟氯烟气转换为氯化钠、氟化钠进入溶液。
为使硫化钠溶液中的砷以As2S5或As2S3的形式完全沉淀，就必须提高硫化钠溶液中离子态砷(As5+、As3+)的浓度，降低化合态砷的浓度。增加H+浓度，As5+和As3+的浓度会相应升高，这有利于硫化沉砷反应的进行。但是如果溶液中H+浓度过高，H+会跟溶液中的S2-反应生成H2S。因此，应控制硫化钠的pH，不宜过高也不宜过低。
与现有技术相比，本发明的优点在于：
1、本发明实现了Cu、Bi、Pb、As等物料的一次性分离，且通过两段收尘相结合实现了固体烟尘与As、F、Cl的高效分离。
2、本发明的技术方案通过水蒸气喷淋与硫化喷淋的方式把少量未完全还原的砷以氧化砷、硫化砷的形式脱除，确保了烟气的清洁排放。
3、本发明的技术方案通过结晶的方式将物料中的氟、氯以NaF、NaCl晶体的形式去除，
实现了高砷含氟氯物料的清洁处置。
4、本发明的技术方案具有高效、环保、安全等特点，适用于工业化生产。
附图说明
图1为三氧化二砷饱和蒸汽压图。
图2为本发明实施例的工艺流程图。
具体实施方式
以下结合具体优选的实施例对本发明作进一步描述，但并不因此而限制本发明的保护范围。
实施例1～2和对比例1中的高砷含氟氯物料来自湖南某铜铅锌冶炼厂炼铅所得的高砷铅烟尘，具体成分如表1所示。
表1高砷含氟氯物料的具体成分/wt％
| 元素 | As | Pb | Cu | Bi | S | F | Cl |
| 含量/％ | 25.3 | 34.2 | 5.8 | 2.3 | 4.6 | 0.02 | 0.1 |
烟气条件：
气量(工况)：20000m3/h、(标况)：～10000Nm3/h；
SO2含量：～4.2％；
CO含量：5～10％
烟气温度：1100℃；
烟气含尘：～100g/m3。
含砷量：26.60g/m3。
余热锅炉基本技术参数：
饱和蒸气压力：3.9Mpa(表压)
蒸汽温度：251.8℃
额定蒸汽量：15t/h
给水温度：104℃
锅炉出口烟气负压：～600Pa
锅炉出口烟气温度：380℃。
电收尘：
型号：HXDC45/3/1
台数：1台。
金属膜基本技术参数：成都易态科技有限公司生产的金属-过滤器，为Al系金属间化合物非对称膜
过滤速度：1.1m/min
面积：1024m2。
实施例1：
将煤、铁屑、石英石、石灰石分别按高砷含氟氯物料质量(25t)的10.34％、6.91％、4.11％和1.66％配料，加入富氧侧吹炉中，富氧侧吹还原炉中鼓入富氧空气(纯度50％，氧煤比为650Nm3/t)，在温度为1200℃的条件下进行还原熔炼90min，熔炼过程中，铅比重大，沉入侧吹炉底部，熔体上层为炉渣。铅合金(冰铜Cu35.26％、Pb5.27％、Fe2.45％、S5.78％；铅铋合金Pb92.21％、Bi1.34％、Sn0.56％、Ag0.05％、Sb0.57％)由侧吹炉出铅口放出。富氧侧吹炉出口熔炼烟气温度为1150℃(主要成分为：As2O3，As2S3，CO，CO2，SO2，HCl，HF，AsCl3，AsF3)，往烟气中鼓入空气氧化(956Nm3)，经检测达要求后将混合烟气(按照一致性：这里烟气是否应该跟摘要一致：即混合烟尘)置于余热锅炉(蒸汽量15t/h)冷却至400℃后通过电收尘后得到一次砷氟氯烟气，将一次砷氟氯烟气(360℃)通过金属-过滤器(面积1024m2，过滤速度1.1m/min)，金属-过滤器将一次含砷氟氯烟气中的固体粉尘拦截下来，而砷氟氯处于气体状态穿过金属-过滤器(见图1：三氧化二砷饱和蒸汽压图)，实现砷氟氯与固体烟尘的分离。经两次收尘后所得的砷氟氯烟气再经过急速冷却70℃/s，控制温度低于180℃，将气态的三氧化二砷迅速冷却为固态，实现砷与氟氯烟气的分离。将固态的三氧化二砷置于连续真空碳还原系统中，将三氧化二砷还原为金属砷。氟氯烟气通过硫化喷淋塔喷淋(Na2S浓度为0.4mol/L，pH为5，空气塔气速5m/s，液气比12L/m3)，氟氯烟气由气态转为液态。最后将含氟化钠、氯化钠的硫化喷淋液冷却结晶得到氯化钠、氟化钠晶体。经过整个工艺流程，不同工段所得到的烟尘参数如表2所示。As的回收率达99.95％氟的脱除率为97.62％，氯的脱除率为96.93％。
表2
| 烟气 | 含尘量g/m<sup>3</sup> | 收尘效率/％ |
| 余热锅炉出口 | 83.33 | — |
| 电收尘出口 | 7.31 | 91.23 |
| 金属膜收尘出口 | <1 | 99.82 |
实施例2：
将煤、铁屑、石英石、石灰石分别按高砷含氟氯物料质量(25t)的13.12％、7.41％、4.65％和2.01％配料，加入富氧侧吹炉中，富氧侧吹还原炉中鼓入氧气(纯度50％，氧煤比为650Nm3/t)，在温度为1250℃的条件下进行还原熔炼120min，熔炼过程中，铅比重大，沉入侧吹炉底部，熔体上层为炉渣。铅合金(冰铜Cu37.23％、Pb7.83％、Fe3.45％、S2.45％；铅铋合金Pb89.45％、Bi2.34％、Sn0.63％、Ag0.04％、Sb0.65％)由侧吹炉出铅口放出。富氧侧吹炉出口熔炼烟气温度为1150℃(主要成分为：As2O3，As2S3，CO，CO2，SO2，HCl，HF，AsCl3，AsF3)，往烟气中鼓入空气氧化(956Nm3)，经检测达要求后将混合烟气置于余热锅炉冷却(蒸汽量15t/h)至400℃后通过电收尘后得到一次砷氟氯烟气，将一次砷氟氯烟气(360℃)通过金属-过滤器(面积1024m2，过滤速度1.1m/min)，金属-过滤器将一次含砷氟氯烟气中的固体粉尘拦截下来，而砷氟氯处于气体状态穿过金属-过滤器(见图1：三氧化二砷饱和蒸汽压图)，实现砷氟氯与固体烟尘的分离。经两次收尘后所得的砷氟氯烟气再经过急速冷却70℃/s，控制温度低于180℃，将气态的三氧化二砷迅速冷却为固态，实现砷与氟氯烟气的分离。将固态的三氧化二砷置于连续真空碳还原系统中，将三氧化二砷还原为金属砷。氟氯烟气通过硫化喷淋塔(Na2S浓度为0.5mol/L，pH为6，空气塔气速6m/s，液气比13L/m3)，氟氯烟气由气态转为液态。最后将含氟化钠、氯化钠的硫化喷淋液冷却结晶得到氯化钠、氟化钠晶体。经过整个工艺流程，经过检测，不同工段所得到的烟尘参数如表3所示。As的回收率达99.24％，氟的脱除率为98.61％，氯的脱除率为97.64％。
表3
| 烟气 | 含尘量g/m<sup>3</sup> | 收尘效率/％ |
| 余热锅炉出口 | 89.45 | — |
| 电收尘出口 | 8.38 | 90.63 |
| 金属膜收尘出口 | <1 | 99.94 |
以上所述，仅是本申请的较佳实施例，并非对本申请做任何形式的限制，虽然本申请以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限制本申请，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本申请技术方案的范围内，利用上述揭示的技术内容做出些许的变动或修饰均等同于等效实施案例，均属于技术方案范围内。
Claims (4)
1.一种高砷含氟氯物料的清洁处理方法，包括以下步骤：
（1）将高砷含氟氯物料、还原剂和熔剂配料后进行富氧侧吹还原熔炼，得到硫冰铜、铅合金、熔炼烟气和炉渣；
其中，所述还原剂为煤，所述还原剂的加入量为高砷含氟氯物料质量的8%～13%；还原熔炼过程中通入氧气，所述氧气与煤的比值为600～800 Nm3∶t；所述还原熔炼的温度为1200℃～1300℃，还原熔炼时间为90～120min；所述熔炼烟气的温度为1100-1150℃；
所述高砷含氟氯物料中，含：As 25.3wt%～30wt%，Pb 34.2wt%～40wt %，Cu 5.8wt%～10wt %，Bi 2.3wt%～5wt%，S 0.5wt%～5wt %，F 0.01wt%～0.5wt %，Cl 0.01wt%～0.5wt%；
（2）往步骤（1）所得的熔炼烟气中鼓入空气进行氧化，得到混合烟气，所述混合烟气冷却后再进行电收尘，得到一次固体烟尘与一次含砷烟气；
（3）将步骤（2）所得的一次含砷烟气通过金属间化合物柔性膜进行过滤，得到二次固体烟尘与二次含砷烟气；
（4）将步骤（3）所得的二次含砷烟气冷却，得到三氧化二砷和氟氯烟气；
其中，所述冷却的速率为60~80℃/s，将所述二次含砷烟气冷却至180℃以下；
（5）步骤（4）所得的氟氯烟气经硫化喷淋，得到硫化砷渣和废液；所述废液经蒸发结晶，得到含氯化钠和氟化钠的混合固体；
所述步骤（2）中，通过余热锅炉对所述混合烟气进行冷却，所述余热锅炉蒸汽量13～17t/h，冷却后的混合烟气的温度为400～450℃；
所述步骤（2）中，所述金属间化合物柔性膜为Al系金属间化合物非对称膜，通过金属间化合物柔性膜过滤的一次含砷烟气的温度为350～400℃，所述金属间化合物柔性膜过滤速度为1.0～1.3 m/min，所述金属间化合物柔性膜面积为1000～1300m2。
2.根据权利要求1所述的高砷含氟氯物料的清洁处理方法，其特征在于，还包括以下步骤：
（6）步骤（4）所得的三氧化二砷经还原，得到单质砷和还原渣。
3.根据权利要求1所述的高砷含氟氯物料的清洁处理方法，其特征在于，所述步骤（2）中，所述混合烟气中的CO浓度低于8%且所述混合烟气不含As2S3。
4.根据权利要求1所述的高砷含氟氯物料的清洁处理方法，其特征在于，所述步骤（5）中，硫化喷淋所用的硫化剂是Na2S，Na2S的浓度为0.3～0.5mol/L，pH为3～7，空气塔气速3～6m/s，液气比10～15L/m3。
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