CN109343749B - 一种触控感应器及一种触控显示面板 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种触控感应器，包括呈三明治结构的导电网格层，该导电网格层包括朝向基板的第一黑化层、背向基板的第二黑化层、位于第一黑化层和第二黑化层之间的导电层。其中第一黑化层为氧化钼中添加有质量分数为3％‑5％的钽；第二黑化层为氧化钼中添加有质量分数为5％‑8％的钽；导电层为铜中添加有质量分数为15％‑20％的钽。在制备导电网格层时，会从第二黑化层方向依次刻蚀上述膜层；在上述膜层中掺杂不同浓度的钽，可以保证在制备导电网格层的过程中第一黑化层、第二黑化层、导电层的侧蚀量基本相同，从而可以使触控感应器具有较高的良品率。本发明实施例还提供了一种触控显示面板，同样具有上述有益效果。

Description

一种触控感应器及一种触控显示面板

技术领域

本发明涉及触控技术领域，特别是涉及一种触控感应器及一种触控显示面板。

背景技术

随着近年来科技不断的进步以及触控显示产品行业的发展，触控感应器无论是从尺寸还是性能等方面都取得了极大的进展。相应的，用户对于触控产品的细节，外观等具有了更高的要求。

近年来，金属网格(metal mesh)类触控感应器凭借其低电阻、一体化、制程简单的优势在市场中越来越受到关注。现阶段，在金属网格中主要起导电作用的导电层通常是以铜、铝等为主要材料。但是以金属为材料的导电层的反射率很高，会使得金属网格的线条明显。在现有技术中，为了降低导电层的反射率，通常会在导电层的两个表面分别设置两层黑化层，以降低金属网格层的反射率，使得金属网格的线条具有较低的可视性。但是在现有技术中，刻蚀得到的金属网格通常存在刻蚀不良，线条锯齿，异色等不良情况，使得触控感应器具有较低的良品率。

发明内容

本发明的目的是提供一种触控感应器，具有较高的良品率；本发明的另一目的在于提供一种触控显示面板，具有较高的良品率。

为解决上述技术问题，本发明提供一种触控感应器，包括基板、位于所述基板表面的触控感应层；其中，所述触控感应层包括导电网格层；

所述导电网格层包括朝向所述基板的第一黑化层、背向所述基板的第二黑化层、以及位于所述第一黑化层和所述第二黑化层之间的导电层；

所述第一黑化层包括以下质量分数的组分：质量分数为95％-97％的氧化钼、质量分数为3％-5％的钽；所述第二黑化层包括以下质量分数的组分：质量分数为92％-95％的氧化钼、质量分数为5％-8％的钽；所述导电层包括以下质量分数的组分：质量分数为80％-85％的铜、质量分数为15％-20％的钽。

可选的，所述第一黑化层的厚度的取值范围为45nm至50nm，包括端点值；所述第二黑化层的厚度的取值范围为45nm至50nm，包括端点值；所述导电层的厚度的取值范围为160nm至250nm，包括端点值。

可选的，所述触控感应层包括相对设置的两个所述导电网格层，两个所述导电网格层之间设置有第一绝缘层；一所述导电网格层位于所述基板表面，另一所述导电网格层位于所述第一绝缘层背向所述基板一侧表面。

可选的，所述触控感应层还包括位于另一所述导电网格层背向所述基板一侧表面的第二绝缘层。

可选的，所述触控感应器还包括：

位于所述第二绝缘层背向所述基板一侧表面的盖板。

可选的，所述盖板为钢化玻璃盖板。

可选的，所述触控感应层位于所述基板表面的可视区域；

所述触控感应器还包括位于所述基板表面非可视区域的油墨层。

可选的，所述油墨层为黑色油墨层。

可选的，所述基板为玻璃基板。

本发明还提供了一种触控显示面板，包括显示屏和如上述任一项所述的触控感应器。

本发明所提供的一种触控感应器，包括基板和位于基板表面的触控感应层，该触控感应层包括呈三明治结构的导电网格层，该导电网格层包括朝向基板的第一黑化层、背向基板的第二黑化层、以及位于第一黑化层和第二黑化层之间的导电层。其中，第一黑化层为氧化钼中添加有质量分数为3％-5％的钽；第二黑化层为氧化钼中添加有质量分数为5％-8％的钽；导电层为铜中添加有质量分数为15％-20％的钽。在制备导电网格层时，通常是在一次刻蚀工艺中，从第二黑化层方向依次刻蚀第二黑化层、导电层以及第一黑化层；而钽具有很好的抗腐蚀性，在第一黑化层、第二黑化层以及导电层中掺杂不同浓度的钽，可以保证在制备导电网格层的过程中，第一黑化层、第二黑化层以及导电层的侧蚀量基本相同，从而避免了在刻蚀构成导电网格层的导电线时，各膜层侧蚀量不同的情况，从而可以有效避免刻蚀不良，线条锯齿，异色等不良情况，使得触控感应器具有较高的良品率。

本发明实施例还提供了一种触控显示面板，同样具有上述有益效果，在此不再进行赘述。

附图说明

为了更清楚的说明本发明实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例所提供的一种触控感应器的结构示意图；

图2为图1中导电网格层的结构示意图；

图3为本发明实施例所提供的一种具体的触控感应器的结构示意图。

图中：1.基板、2.触控感应层、21.导电网格层、211.第一黑化层、212.第二黑化层、213.导电层、22.第一绝缘层、23.第二绝缘层、3.油墨层、4.盖板。

具体实施方式

本发明的核心是提供一种触控感应器。在现有技术中，构成导电网格层的导电线通常为呈三明治型的三层结构，其中位于中间的为导电层，而位于两侧的为黑化层。在现有技术中，通常是在一次刻蚀工艺中，一次刻蚀上述呈三明治型的各个膜层而制备出导电网格层。在刻蚀过程中，经常会出现黑化层以及导电层侧蚀量不一致的情况，例如若黑化层的侧蚀量大于导电层的侧蚀量，容易暴露出导电层，从而产生异色的情况；若黑化层的侧蚀量明显小于导电层的侧蚀量，在保证导电网格层一定的线宽线距时，容易发生导电线断裂、刻蚀不良，线条锯齿等情况，即当黑化层与导电层的侧蚀量不一致时，易使得触控感应器具有较低的良品率。

而本发明所提供的一种触控感应器，包括基板和位于基板表面的触控感应层，该触控感应层包括呈三明治结构的导电网格层，该导电网格层包括朝向基板的第一黑化层、背向基板的第二黑化层、以及位于第一黑化层和第二黑化层之间的导电层。其中，第一黑化层为氧化钼中添加有质量分数为3％-5％的钽；第二黑化层为氧化钼中添加有质量分数为5％-8％的钽；导电层为铜中添加有质量分数为15％-20％的钽。在制备导电网格层时，通常是在一次刻蚀工艺中，从第二黑化层方向依次刻蚀第二黑化层、导电层以及第一黑化层；而钽具有很好的抗腐蚀性，在第一黑化层、第二黑化层以及导电层中掺杂不同浓度的钽，可以保证在制备导电网格层的过程中，第一黑化层、第二黑化层以及导电层的侧蚀量基本相同，从而避免了在刻蚀构成导电网格层的导电线时，各膜层侧蚀量不同的情况，从而可以有效避免刻蚀不良，线条锯齿，异色等不良情况，使得触控感应器具有较高的良品率。

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参考图1以及图2，图1为本发明实施例所提供的一种触控感应器的结构示意图；图2为图1中导电网格层的结构示意图。

参见图1，在本发明实施例中，所述触控感应器包括基板1、位于所述基板1表面的触控感应层2；其中，所述触控感应层2包括导电网格层21；所述导电网格层21包括朝向所述基板1的第一黑化层211、背向所述基板1的第二黑化层212、以及位于所述第一黑化层211和所述第二黑化层212之间的导电层213；所述第一黑化层211包括以下质量分数的组分：质量分数为95％-97％的氧化钼、质量分数为3％-5％的钽；所述第二黑化层212包括以下质量分数的组分：质量分数为92％-95％的氧化钼、质量分数为5％-8％的钽；所述导电层213包括以下质量分数的组分：质量分数为80％-85％的铜、质量分数为15％-20％的钽。

上述基板1为用于设置下述的触控感应层2的基板1。由于在现阶段，触控感应器通常需要与显示面板配合使用，所以上述基板1通常为透明基板1，以便显示面板所发出的光线透过本发明实施例所提供的触控感应器。具体的，所述基板1的具体材质可以为玻璃、菲林，例如PC、PET、COP、PEN、COC等，或者是由上述材料所构成的复合板。当然所述基板1也可以选用其他材质的基板1，有关基板1的具体材质在本发明实施例中并不做具体限定。

上述触控感应层2主要用于在工作状态下对用户触碰的区域进行定位，通常情况下触控感应层2中包括有电容，当用户触碰时触控感应层2会产生相应的电信号以实现对用户触碰区域的定位。有关触控感应层2的具体内容将在下述段落中做详细介绍，在此不再进行赘述。

在触控感应层2中包括有导电网格层21，该导电网格层21包括朝向基板1的第一黑化层211、背向基板1的第二黑化层212、以及位于第一黑化层211和第二黑化层212之间的导电层213。需要说明的是，该导电网格层21通常是由导电线构成的一层网状结构，上述导电网格层21呈三明治型结构，即构成导电网格层21的导电线为三明治型结构。其中位于中间层的导电层213的材质为金属或合金，主要用于导电，而上述第一黑化层211以及第二黑化层212均用于保护上述导电层213不易被破坏以及腐蚀。同时由于第一黑化层211以及第二黑化层212的颜色为暗色，例如黑色等，可以有效吸收光线，使得导电网格层21对光具有较低的反射率。还需要说明的是，由于在导电网格层21中，朝向基板1的膜层为第一黑化层211，而背向基板1的膜层为第二黑化层212，相应的在制备导电网格层21时，在一次刻蚀工艺中，会先刻蚀第二黑化层212，再刻蚀导电层213，最后刻蚀第一黑化层211。

在本发明实施例中，第一黑化层211包括以下质量分数的组分：质量分数为95％-97％的氧化钼、质量分数为3％-5％的钽；第二黑化层212包括以下质量分数的组分：质量分数为92％-95％的氧化钼、质量分数为5％-8％的钽；导电层213包括以下质量分数的组分：质量分数为80％-85％的铜、质量分数为15％-20％的钽。

钽(Ta)具有很好的抗腐蚀性，在第一黑化层211、导电层213以及第二黑化层212中添加质量分数超过1％的钽可以有效降低上述膜层的刻蚀速率；而在上述膜层中添加质量分数不同的钽可以使得在制备导电网格层21的过程中，第一黑化层211、第二黑化层212以及导电层213的侧蚀量基本相同。具体的，上述第一黑化层211包括质量分数为95％-97％的氧化钼、以及质量分数为3％-5％的钽。即在本发明实施例中第一黑化层211的基体为氧化钼(MoO_x)，氧化钼自身呈黑色，可以起到上述黑化层的作用，同时在氧化钼中掺杂了质量分数为3％-5％的钽。可以理解的是，在上述第一黑化层211中氧化钼的质量分数与钽的质量分数之和可以达不到100％，即在第一黑化层211中可以还掺杂有用于提高其他性能，例如结构强度的元素，或者具有一些杂质。但是上述掺杂的其他元素以及杂质的含量通常非常少，其平均质量分数通常不会超过1％。

在制备上述第一黑化层211的过程中，在刻蚀得到导电网格层21之前，在本发明实施例中通常是通过磁控溅射的方式设置上述第一黑化层211，其中所用的靶材为Mo/Ta(钼/钽)混合靶，其包括质量分数为95％-97％的Mo(钼)以及3％-5％的Ta(钽)。在磁控溅射的过程中，机器的的功率通常设置在5kw至7kw之间、氧气的流量通常设置在35sccm至40sccm之间、保护气体，例如氩气的流量通常设置在100sccm左右，最终制得的第一黑化层211的厚度的取值范围通常为45nm至50nm，包括端点值。

具体的，上述第二黑化层212包括质量分数为92％-95％的氧化钼、以及质量分数为5％-8％的钽。即在本发明实施例中第二黑化层212的基体同样为氧化钼(MoO_x)，氧化钼自身呈黑色，可以起到上述黑化层的作用，同时在氧化钼中掺杂了质量分数为5％-8％的钽。可以理解的是，在上述第一黑化层211中氧化钼的质量分数与钽的质量分数之和可以达不到100％，即在第二黑化层212中同样可以还掺杂有用于提高其他性能，例如结构强度的元素，或者具有一些杂质。但是上述掺杂的其他元素以及杂质的含量通常非常少，其平均质量分数通常不会超过1％。

在制备上述第二黑化层212的过程中，在刻蚀得到导电网格层21之前，在本发明实施例中通常是通过磁控溅射的方式设置上述第二黑化层212，其中所用的靶材为Mo/Ta(钼/钽)混合靶，其包括质量分数为92％-95％的Mo(钼)以及5％-8％的Ta(钽)。在磁控溅射的过程中，机器的功率通常设置在5kw至7kw之间、氧气的流量通常设置在35sccm至40sccm之间、保护气体，例如氩气的流量通常设置在100sccm左右，最终制得的第二黑化层212的厚度的取值范围通常为45nm至50nm，包括端点值。

需要说明的是，由于在一次刻蚀工艺中，在纵向刻蚀过程中会先刻蚀第二黑化层212再刻蚀第一黑化层211，为了保证第一黑化层211与第二黑化层212之间在刻蚀完成时侧蚀量基本一致，在第二黑化层212中掺杂的钽的质量分数需要稍大于第一黑化层211中掺杂的钽的质量分数。

具体的，上述导电层213包括质量分数为80％-85％的铜、以及质量分数为15％-20％的钽。即在本发明实施例中导电层213的基体为铜(Cu)，铜自身具有良好的导电性，可以起到上述导电层213的作用，同时在铜中掺杂了质量分数为15％-20％的钽。可以理解的是，在上述导电层213中铜的质量分数与钽的质量分数之和可以达不到100％，即在导电层213中同样可以还掺杂有用于提高其他性能，例如结构强度的元素，或者具有一些杂质。但是上述掺杂的其他元素以及杂质的含量通常非常少，其平均质量分数通常不会超过1％。

在制备上述导电层213的过程中，在刻蚀得到导电网格层21之前，在本发明实施例中通常是通过磁控溅射的方式设置上述导电层213，其中所用的靶材为Cu/Ta(铜/钽)混合靶，其包括质量分数为80％-85％的Cu(铜)以及15％-20％的Ta(钽)。由磁控溅射工艺最终制得的导电层213的厚度的取值范围通常为160nm至250nm，包括端点值。

需要说明的是，由于在一次刻蚀工艺中，以铜为基体的导电层213极易被刻蚀，并且在一次刻蚀工艺中会先刻蚀第二黑化层212，再刻蚀导电层213，最后刻蚀第一黑化层211。为了极大的减缓导电层213被刻蚀的速度，保证导电层213、第一黑化层211以及第二黑化层212的侧蚀量大体一致，上述导电层213中掺杂的钽的质量分数明显高于在第一黑化层211以及第二黑化层212中掺杂的钽的质量分数。

在设置完上述三层膜层后，需要在一次刻蚀中依次刻蚀上述第二黑化层212、导电层213以及第一黑化层211。刻蚀时所使用的刻蚀液在本发明实施例中可以采用常规的铝刻蚀液即可，该铝刻蚀液的大致成分及体积比为：

磷酸：硝酸：醋酸：其他助剂＝65:10:10:15；

在本发明实施例中，上述触控感应层2主要用于在工作状态下对用户触碰的区域进行定位，通常情况下触控感应层2中包括有电容，当用户触碰时触控感应层2会产生相应的电信号以实现对用户触碰区域的定位。具体的，上述触控感应层2通常包括相对设置的两个所述导电网格层21，两个所述导电网格层21之间设置有第一绝缘层22；一所述导电网格层21位于所述基板1表面，另一所述导电网格层21位于所述第一绝缘层22背向所述基板1一侧表面。

即上述一导电网格层21设置在上述基板1表面，第一绝缘层22位于该导电网格层21背向基板1一侧表面，另一导电网格层21位于第一绝缘层22背向基板1一侧表面。在本发明实施例中，通常情况下，上述两个导电网格层21均具有上述呈三明治型的结构，从而使得整个触控感应器具有较高的良品率。上述两个导电网格层21在刻蚀完成后，均为由导电线构成的一层网状结构。

需要说明的是，通常情况下上述两个导电网格层21之间需要相互对位，所谓对位通常是指一导电网格层21中导电线相互交叉的点需要与另一导电网格层21中导电线构成的网格中心相对准，以使上述两层导电网格层21之间形成电容，以实现对用于触碰区域的定位。通常情况下，在本发明实施例中所述位于基板1表面的导电网格层21通常为RX通道，也称为感应通道；而另一位于第一绝缘层22背向基板1一侧表面的导电网格层21通常为TX通道，也称为驱动通道；RX通道与TX通道之间形成电容。有关导电网格类触控感应器的具体工作原理可以参考现有技术，在此不再进行赘述。

上述第一绝缘层22位于两层导电网格层21之间，该第一绝缘层22通常称为OC(Over Coat)层，主要起到绝缘以及保护的作用，防止上述两层导电网格层21之间发生短路，同时起到保护导电网格层21的作用。需要说明的是，由于本发明实施例所提供的触控感应器通常需要配合显示器使用，触控感应器通常需要保持对光较高的透过率，上述第一绝缘层22通常为透明绝缘层。有关第一绝缘层22的具体材质可以参考现有技术，在本发明实施例中并不做具体限定。

本发明实施例所提供的一种触控感应器，包括基板1和位于基板1表面的触控感应层2，该触控感应层2包括呈三明治结构的导电网格层21，该导电网格层21包括朝向基板1的第一黑化层211、背向基板1的第二黑化层212、以及位于第一黑化层211和第二黑化层212之间的导电层213。其中，第一黑化层211为氧化钼中添加有质量分数为3％-5％的钽；第二黑化层212为氧化钼中添加有质量分数为5％-8％的钽；导电层213为铜中添加有质量分数为15％-20％的钽。在制备导电网格层21时，通常是在一次刻蚀工艺中，从第二黑化层212方向依次刻蚀第二黑化层212、导电层213以及第一黑化层211；而钽具有很好的抗腐蚀性，在第一黑化层211、第二黑化层212以及导电层213中掺杂不同浓度的钽，可以保证在制备导电网格层21的过程中，第一黑化层211、第二黑化层212以及导电层213的侧蚀量基本相同，从而避免了在刻蚀构成导电网格层21的导电线时，各膜层侧蚀量不同的情况，从而可以有效避免刻蚀不良，线条锯齿，异色等不良情况，使得触控感应器具有较高的良品率。

有关本发明所提供的一种触控感应器的具体结构将在下述发明实施例中做详细介绍。

请参考图3，图3为本发明实施例所提供的一种具体的触控感应器的结构示意图。

区别于上述发明实施例，本发明实施例是在上述发明实施例的基础上，进一步的对触控感应器的结构进行具体限定。其余内容已在上述发明实施例中进行了详细介绍，在此不再进行赘述。

参见图3，在本发明实施例中，所述触控感应层2通常位于基板1表面的可视区域；此时，所述触控感应器还可以包括位于基板1表面非可视区域的油墨层3。

在本发明实施例中，触控感应器分为可视区域和非可视区域。上述可视区域设置有用于对用户触碰的区域进行定位的触控感应层2，在工作状态下当用户触碰触控感应器时，上述触控感应层2会产生相应的电信号；而上述非可视区域中通常设置有与上述触控感应层2中导电网格层21电连接的引线、FPC、驱动IC等等用于对上述触控感应层2所产生的电信号进行传输以及识别的部件，从而实现对用户触碰区域的识别。通常情况下，上述可视区域通常位于触控感应器的中心，非可视区域通常呈环形包围上述可视区域。

而在本发明实施例中，为了遮蔽设置在非可视区域的引线、FPC等部件，以使触控感应器更加的美观，上述基板1表面的非可视区域通常设置有油墨层3；具体的，该油墨层3通常为黑色油墨层3。上述油墨层3可以起到装饰的作用，遮蔽设置在触控感应器非可视区域的引线、FPC等部件，使得触控感应器更加的美观。

在本发明实施例中，为了保证上述基板1具有一定的结构强度以及具有对光良好的透过性，上述基板1在本发明实施例中优选为玻璃基板1。在本发明实施例中，为了保护上述不直接与基板1相接触的另一导电网格层21，所述触控感应层2还可以包括位于另一所述导电网格层21背向所述基板1一侧表面的第二绝缘层23。

与上述第一绝缘层22相类似，上述第二绝缘层23位于上述不直接与基板1相接触的另一导电网格层21背向基板1一侧表面，具体的第二绝缘层23位于上述另一导电网格层21中第二黑化层212背向基板1一侧表面。该第二绝缘层23通常也称为OC(Over Coat)层，主要起到绝缘以及保护的作用，主要起到保护上述另一导电网格层214的作用。需要说明的是，由于本发明实施例所提供的触控感应器通常需要配合显示器使用，触控感应器通常需要保持对光较高的透过率，上述第二绝缘层23通常为透明绝缘层。有关第二绝缘层23的具体材质可以参考现有技术，在本发明实施例中并不做具体限定。

在本发明实施例中，所述触控感应器还可以包括位于所述第二绝缘层23背向所述基板1一侧表面的盖板4。上述盖板4通常位于整个触控感应器的最外层，即该盖板4背向基板1一侧表面通常与外界环境直接接触，以保护整个触控感应器中触控感应层2等结构不易受到损坏。通常情况下，上述盖板4需要具有一定的结构强度，以保护盖板4朝向基板1一侧的各层结构。具体的，在本发明实施例中上述盖板4可以优选为钢化玻璃盖板4。由于钢化玻璃盖板4表面预先设置有压应力，使得钢化玻璃盖板4具有较大的强度，可以有效保护盖板4朝向基板1一侧的各层结构。需要说明的是，由于现阶段触控感应器通常需要配合显示屏所使用，上述盖板4通常需要为透明盖板4。

本发明实施例所提供的一种触控感应器，通过在基板1表面的非可视区域设置油墨层3，可以遮蔽设置在触控感应器非可视区域的引线、FPC等部件，使得触控感应器更加的美观；通过第二绝缘层23以及在第二绝缘层23背向基板1一侧表面设置盖板4，可以有效保护触控感应层2等结构不易受到损坏。

本发明还提供了一种触控显示面板，包括如上述任一发明实施例所提供的触控感应器和显示屏。其中，触控感应器通常为与显示屏的发光表面，即由显示屏发出的光线会穿过上述触控感应器。其余部件请参照现有技术，在此不再进行赘述。

由于上述发明实施例所提供的触控感应器可以具有较高的良品率，相应的本发明实施例所提供的触控显示面板可以具有较高的良品率。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处，各个实施例之间相同或相似部分互相参见即可。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上对本发明所提供的一种触控感应器及一种触控显示面板进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.一种触控感应器，其特征在于，包括基板、位于所述基板表面的触控感应层；其中，所述触控感应层包括导电网格层；

所述导电网格层包括朝向所述基板的第一黑化层、背向所述基板的第二黑化层、以及位于所述第一黑化层和所述第二黑化层之间的导电层；

所述第一黑化层包括以下质量分数的组分：质量分数为95%-97%的氧化钼、质量分数为3%-5%的钽；所述第二黑化层包括以下质量分数的组分：质量分数为92%-95%的氧化钼、质量分数为5%-8%的钽；所述导电层包括以下质量分数的组分：质量分数为80%-85%的铜、质量分数为15%-20%的钽；

在一次刻蚀工艺中，从所述第二黑化层方向依次刻蚀所述第二黑化层、所述导电层以及所述第一黑化层；

所述第一黑化层、所述第二黑化层以及所述导电层的侧蚀量相同。

2.根据权利要求1所述的触控感应器，其特征在于，所述第一黑化层的厚度的取值范围为45nm至50nm，包括端点值；所述第二黑化层的厚度的取值范围为45nm至50nm，包括端点值；所述导电层的厚度的取值范围为160nm至250nm，包括端点值。

3.根据权利要求1所述的触控感应器，其特征在于，所述触控感应层包括相对设置的两个所述导电网格层，两个所述导电网格层之间设置有第一绝缘层；一所述导电网格层位于所述基板表面，另一所述导电网格层位于所述第一绝缘层背向所述基板一侧表面。

4.根据权利要求3所述的触控感应器，其特征在于，所述触控感应层还包括位于另一所述导电网格层背向所述基板一侧表面的第二绝缘层。

5.根据权利要求4所述的触控感应器，其特征在于，所述触控感应器还包括：

位于所述第二绝缘层背向所述基板一侧表面的盖板。

6.根据权利要求5所述的触控感应器，其特征在于，所述盖板为钢化玻璃盖板。

7.根据权利要求1所述的触控感应器，其特征在于，所述触控感应层位于所述基板表面的可视区域；

所述触控感应器还包括位于所述基板表面非可视区域的油墨层。

8.根据权利要求7所述的触控感应器，其特征在于，所述油墨层为黑色油墨层。

9.根据权利要求1所述的触控感应器，其特征在于，所述基板为玻璃基板。

10.一种触控显示面板，其特征在于，包括显示屏和如权利要求1至9任一项权利要求所述的触控感应器。

Images