CN109341518A - Oct探测装置及微雕设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种OCT探测装置及微雕设备，所述OCT探测装置包括OCT组件、扫描探头和调节部；所述扫描探头包括振镜和场镜；所述扫描探头与所述OCT组件连接；所述振镜和所述场镜位于第一光轴，所述振镜与所述场镜的距离小于所述场镜的焦距；所述场镜位于所述振镜和所述样品表面之间；所述调节部用于调节通过所述扫描探头扫描样品的样品光的光程与所述OCT组件提供的参考光的光程的光程差。所述微雕装置包括激光光源、透镜及所述OCT探测装置，所述透镜设置在所述聚焦透镜和所述振镜之间并位于同一光轴，所述激光光源发出激光，通过所述透镜、振镜和场镜射到所述样品上，对所述样品进行雕刻。

Description

OCT探测装置及微雕设备

技术领域

本发明涉及光学扫描成像技术领域，特别涉及光学相干断层扫描成像中的OCT探测装置及微雕设备。

背景技术

光学相干断层扫描成像技术(Optical Coherence Tomography,简称OCT)是一种基于光学相干特性的成像技术，它结合了光外差及扫描层析成像技术的优点，具有高灵敏度、高分辨率，无损伤以及可在体检测等优越性，它能对高散射介质如生物组织实施非侵入式的快速成像。

OCT技术的核心是探测装置。现有技术中，由于探测装置中用于扫描的振镜和场镜的架构限制，从场镜中出射的测量光束相互平行，扫描范围有限。

发明内容

为了克服现有OCT探测装置扫描范围有限的问题，本发明提供一种OCT探测装置及微雕设备，该装置不仅能扩大扫描范围，而且能在扫描样品的同时对样品进行微雕。

本发明提供的一种OCT探测装置，用于对样品进行扫描探测，所述OCT探测装置包括OCT组件、扫描探头和调节部；所述扫描探头包括振镜和场镜；所述扫描探头与所述OCT组件连接；所述振镜和所述场镜位于第一光轴，所述振镜与所述场镜的距离小于所述场镜的焦距；所述场镜位于所述振镜和所述样品表面之间；所述调节部用于调节通过所述扫描探头扫描样品的样品光的光程与所述OCT组件提供的参考光的光程的光程差。所述OCT组件包括光源、分光器、参考臂、光谱仪和控制器；所述参考臂包括所述准直镜和反射镜；所述样品置于置物台上，所述置物台的高度可调节。

其中，所述扫描探头包括光纤插头和聚焦透镜，所述光纤插头、聚焦透镜和振镜依次设置并位于第二光轴上，其中，第一光轴和第二光轴垂直，所述调节部调节所述样品光光程的长度，包括调节所述样品光从所述扫描探头的光纤插头到聚焦透镜之间的光程，或者，调节所述扫描探头与所述样品表面之间的距离。调节所述扫描探头到所述样品表面之间距离的方式，可以是保持所述扫描探头不动，调节所述样品的位置，或是保持所述样品的位置不动，调节所述扫描探头的位置。

其中，所述调节部包括移动件和卡持件，所述移动件与所述卡持件机械性固定连接。所述卡持件用于固定所述光纤插头，所述移动件带动所述卡持件移动，从而调节所述光纤插头与所述聚焦透镜的距离，使得所述样品光光程与所述参考光光程相等。或者，所述卡持件用于卡持承载所述样品的所述置物台或者扫描探头，所述移动件带动所述卡持件移动，从而调节所述样品或所述扫描探头的位置，以使所述样品光光程与所述参考光光程相等。所述移动件包括具有移动功能的所有器件，所述移动件可以通过手动移动，也可以自动移动。所述卡持件包括抓手及所有起固定作用的部件。所述置物台包括但不限于可调节高度的升降台。

其中，所述调节部包括移动件、第一调节镜和与第一调节镜间隔相对设置的第二调节镜，所述第一调节镜包括至少两个第一反射面，所述至少两个第一反射面呈夹角设置；所述第二调节镜包括与所述第一反射面相对应的第二反射面，且一个第一反射面与一个第二反射面间隔相对设置，所述第二调节镜包括的至少两个第二反射面之间的夹角与所述第一调节镜的夹角相同。所述第一反射面位于所述聚焦透镜的光路上，且所述聚焦透镜的光路上的光线经过所述第一反射面与所述第二反射面之间的反射后进入所述振镜，所述第一调节镜与所述第二调节镜之间的间隔可根据实际需要调节，在所述参考光光程不变的情况下，通过所述移动件带动所述第二调节镜相对第一调节镜移动，调节所述第一反射面与第二反射面之间的距离，以使所述样品光光程与所述参考光光程相等。

其中，所述第一调节镜的第一反射面还可以为多个，所述多个第一反射面朝向相同且依次呈夹角连接，所述第二调节镜包括与所述多个第一反射面相对应的第二反射面，所述多个第二反射面朝向所述第一反射面且依次呈夹角连接。所述第一反射面的个数可根据实际需求来定，所述第一反射面与所述第二反射面始终保持个数对应。所述调节镜包括但不限于反射镜。

其中，所述调节部调节所述参考光光程长度，包括调节所述参考光从所述准直镜到所述反射镜之间的光程。

其中，所述调节部包括移动件和卡持件，所述移动件与所述卡持件机械性固定连接。所述卡持件用于固定所述反射镜，所述移动件带动固定所述反射镜的所述卡持件进行位置移动，从而调节所述参考光光程长度使之与所述样品光程长度相等。所述移动件包括具有移动功能的所有器件，所述移动件可以通过手动移动，也可以自动移动。所述卡持件包括抓手及所有起固定作用的部件。

其中，所述调节部包括移动件、第三调节镜和与第三调节镜间隔相对设置的第四调节镜，所述第三调节镜包括至少两个第三反射面，所述至少两个第三反射面呈夹角设置；所述第四调节镜包括与所述第三反射面相对应的第四反射面，且一个第三反射面与一个第四反射面间隔相对设置；所述第三反射面位于所述准直镜与所述反射镜之间的光路上，且所述准直镜的光路上的光线经过所述第三反射面与所述第四反射面之间的反射后进入所述发射镜，所述第三调节镜与所述第四调节镜之间的间隔可根据实际需要调节，在所述样品光光程不变的情况下，通过所述移动件带动所述第四调节镜相对第三调节镜移动，调节所述第三反射面与第四反射面之间的距离，以使所述参考光光程与所述样品光光程相等。

其中，所述第三调节镜的第三反射面为多个，所述多个第三反射面朝向相同且依次呈夹角连接，所述第四调节镜包括与所述多个第三反射面相对应的第四反射面，所述多个第四反射面朝向所述第三反射面且依次呈夹角连接。所述第三反射面的个数可根据实际需求来定，所述第三反射面与所述第四反射面始终保持个数对应。所述调节镜包括但不限于反射镜。

其中，所述光谱仪连接于所述控制器于所述分光器之间，用于将分光器接收的光线传递至控制器；所述分光器通过样品光纤与所述扫描探头连接，所述分光器通过参考光纤与所述参考臂连接，所述光源与所述分光器连接，并通过分光器将光线分给所述参考臂和扫描探头。

本发明还要保护一种微雕设备，包括激光光源、透镜及所述OCT探测装置，所述透镜设置在所述聚焦透镜和所述振镜之间并位于同一光轴，所述激光光源发出激光，通过所述透镜、振镜和场镜射到所述样品上，对所述样品进行雕刻。

本发明通过将所述振镜与所述场镜的距离小于所述场镜的焦距；并且通过所述调节部用于调节通过所述扫描探头扫描样品的样品光的光程与所述OCT组件提供的参考光的光程的光程差，实现扩大装置的扫描范围并保证扫描效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以如这些附图获得其他的附图。

图1是本发明提供的第一实施例的OCT探测装置示意图，其中，包含了调节部的第一实施方式。

图2是本发明提供的扫描探头光路走向图。

图3是图1所示的OCT探测装置，其中，包含了调节部的第二实施方式。

图4是图1所示的OCT探测装置，其中，包含了调节部的第三实施方式。

图5与图6是本发明提供的第二实施例的OCT探测装置示意图，其中，包含了调节部的两种实施方式。

图7是本发明提供的第三实施例的OCT探测装置示意图，其中，包含了调节部的一种实施方式。

图8是图7所示的OCT探测装置，其中，包含了调节部的另一实施方式。

图9是本发明的微雕设备的示意图，其包括上述的OCT探测装置。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1，本发明提供的一种OCT探测装置，用于对样品进行扫描探测；所述OCT探测装置包括OCT组件100、扫描探头300和调节部。所述扫描探头300与所述OCT组件100连接；所述扫描探头300包括光纤插头301、聚焦透镜303、振镜307和场镜309。所述振镜307和所述场镜309位于第一光轴，所述振镜307与所述场镜309的距离小于所述场镜309的焦距。所述光纤插头301、聚焦透镜303和振镜307依次设置并位于第二光轴上，其中，第一光轴和第二光轴垂直。所述场镜309位于所述振镜307和所述样品501表面之间。所述调节部710a用于调节通过所述扫描探头300扫描样品501的样品光的光程与所述OCT组件100提供的参考光的光程的光程差。其中，所述振镜307与所述场镜309的距离小于所述场镜309的焦距，从而光通过所述振镜307传到所述场镜309，透过所述场镜309的光为散射光，使得样品扫描范围更大。所述调节装置可实现自动调节，操作便捷。

本实施例中，所述样品501置于置物台503上，所述置物台503的高度可调节。比如所述置物台包括台面和伸缩杆，伸缩杆位于台面下方支撑台面。其它实施方式中，所述台面由气缸或者丝杆支撑。本实施例中，所述OCT组件100包括控制器101、光谱仪103、分光器105、光源109、及参考臂130。所述参考臂130包括所述准直镜131和反射镜133。所述光谱仪103连接于所述控制器101与所述分光器105之间。所述分光器105通过样品光纤与所述扫描探头300连接。所述分光器105通过参考光纤与所述参考臂130连接。所述光源109与所述分光器105连接。光源109提供的测量光进入分光器105，分光器105将测量光分为提供给所述参考臂130的参考光和提供给扫描探头300的样品光，并且分光器105用于接收返回的样品光和返回的参考光，返回的样品光和返回的参考光在分光器105处干涉并形成干涉光，分光器105将干涉光传递至光谱仪103，光谱仪103根据接收到的干涉光生成与干涉光对应的电信号并将电信号传递至控制器101。所述样品光纤为分光器105到所述光纤插头301之间的光纤，所述参考光纤为分光器105到所述参考臂130之间的光纤。所述光纤插头301与所述OCT组件100的所述分光器105插接。所述样品光光程为从样品501表面反射的光通过所述扫描探头300到达所述分光器105的距离；所述参考光光程为从所述反射镜133中反射的光通过所述准直镜131到达所述分光器105的距离。

进一步的，所述OCT组件100还包括偏振片107，设置在所述分光器105和所述光纤插头301之间，用于调节光的方向。

测量光从所述光源109中发出，通过光纤传到所述分光器105，所述分光器105将光分为两路，一路是样品光，一路是参考光。所述样品光通过样品光纤传到所述扫描探头300，通过所述场镜309，从而打在所述样品501上，对样品501进行扫描。参考光通过参考光光纤传到所述参考臂130，通过所述准直镜131传到所述反射镜133，从所述反射镜133返回到所述分光器105的参考光与从所述样品501表面反射回到所述分光器105的样品光通过调节部进行调节，使得所述参考光光程与所述样品光光程相等，从而在分光器105处发生干涉现象后将干涉信息传给所述光谱仪103。所述光谱仪103接收到干涉信号后将信号转化成光谱数据，然后将光谱数据传给所述控制器101，所述控制器101对所述光谱数据进行处理，本实施例中，所述控制器101为计算机，所述控制器101将所述光谱数据转变成图像。

请参阅图2，所述振镜307通过转动将光透过所述场镜309对样品501进行扫描，所述振镜307与所述场镜309的距离小于所述场镜309的焦距，从而光通过所述振镜307反射并透过所述场镜309后的扫描范围较大，因而能扫描到所述样品501的每个部位。由于所述振镜307转动的角度不同，从而所述振镜307到所述样品501每个部位的光程不同，如图2中OB＇和OA＇的光程不同。本实施例中通过所述调节部调节所述参考光光程或者所述样品光光程，补偿样品光以OBB＇为传播路径时与参考光的光程差和以OAA＇为传播路径时与参考光的光程差之间的差值，也就是使扫描样品表面的每一样品光的光程都满足与参考光光程的光程差小于相干长度。所述光程差为样品光从光源109发出并经样品反射后返回到分光器105所传播的光程与所述参考光从光源109发出并经反射镜133反射后返回到分光器105所传播的光程的差值，本申请调节光程差的目的所述光程差小于相干长度。

本发明中，所述调节部调节所述扫描探头300扫描到的样品501的样品光光程与所述OCT组件100提供的参考光光程的光程差，包括以所述参考光光程为基础调节所述样品光光程的长度，或者以所述样品光光程为基础调节所述参考光光程长度。该光程差是指样品光从光源109发出至回到分光器105所传播的光程与参考光从光源109发出至回到分光器105所传播的光程之间的差值，所述光程差应小于相干长度，在所述光程差大于相关长度时，返回至分光器105中的样品光和参考光相互干涉形成的干涉信号较弱，被噪音淹没。

首先，以参考光光程为基础调节样品光光程。所述调节部调节所述样品光光程的长度，包括调节样品光从所述扫描探头300的光纤插头301到聚焦透镜303之间的光程，或者，调节所述扫描探头300与所述样品501表面之间的距离。

本发明的第一实施例中，调节样品光光程包括通过调节部调节样品光从所述光纤插头301到所述聚焦透镜303的光程。

如图1，本实施例的所述调节部的第一种实施方式，所述调节部710a包括移动件(图未示)和卡持件(图未示)，所述移动件与所述卡持件机械性连接。所述卡持件用于固定所述光纤插头301，所述移动件带动所述卡持件移动，从而调节所述光纤插头301与所述聚焦透镜303的直线距离，使得所述样品光光程与所述参考光光程相等，保持所述样品光与所述参考光光程一致。保证所述样品光与所述参考光在所述分光器105处发生干涉现象。本实施例中，所述移动件可以是气缸组件、丝杠组件、驱动齿轮组件、滑槽与滑轨驱动组件、机械手等，所述移动件可以通过手动移动，也可以自动移动。所述卡持件包括抓手，固定治具等具有夹持固定功能的部件。

请参阅图3，本实施例所述调节部的第二种实施方式，所述调节部包括移动件710b，与上述第一实施例不同的是，所述调节部设置在所述聚焦透镜303和所述振镜307之间。所述调节部还包括调节镜730b。调节镜730b包括第一调节镜731b和与第一调节镜731b间隔相对设置的第二调节镜733b。所述第一调节镜包括至少两个第一反射面，所述第二调节镜733b包括与所述第一反射面相对应的第二反射面。本实施例中，所述第一调节镜731b包括两个第一反射面b1，所述两个第一反射面b1呈夹角设置。所述第二调节镜733b包括与所述第一反射面b1相对应的第二反射面b3，且一个第一反射面b1与一个第二反射面b3间隔相对设置。所述第二调节镜733b的每两个第二反射面b3之间的夹角与所述第一调节镜733b的每两个第一反射面b1的夹角相同。所述第一反射面b1位于所述聚焦透镜303的光路上。所述聚焦透镜303的光路上的光线经过一个所述第一反射面b1后反射至一个与该第一反射面b1相对的第二反射面b3，光线经过该第二反射面b3反射至另一个第二反射面b3，由第二个反射面b3反射回第二个第一反射面b1，即光线经过两个第一反射面b1和两个第二反射面b3之间的反射后进入所述振镜307，所述第一调节镜731b与所述第二调节镜733b之间的间隔可根据实际需要调节。本实施例中，所述移动件710b上设有卡持件(图未示)，所述卡持件用于固定所述第二调节镜733b，所述卡持件的包括支撑限位体、夹爪、磁铁等。在所述参考光光程不变的情况下，通过所述移动件710b带动所述第二调节镜733b相对第一调节镜731b移动，就实现了调节所述第一反射面b1与第二反射面b3之间的距离，即光线的光程距离增加或者减小，以使所述样品光光程与所述参考光光程相等。所述移动件可以是气缸组件、丝杠组件、驱动齿轮组件、滑槽与滑轨驱动组件、机械手等，所述移动件可以通过手动移动，也可以自动移动。所述卡持件包括抓手，固定治具等具有夹持固定功能的部件。

请参阅图4，本实施例的所述调节部第三实施方式，与第二实施方式不同的是，所述调节部包括移动件710c和调节镜730c。所述调节镜730c包括第一调节镜731c和与第一调节镜731c间隔相对设置的第二调节镜733c，所述第一调节镜731c的第一反射面c1为多个，所述多个第一反射面c1朝向相同且依次呈夹角连接，所述第二调节镜733c包括与所述多个第一反射面c1相对应的第二反射面c3，所述多个第二反射面c3朝向所述第一反射面c1且依次呈夹角连接。所述第一反射面c1位于所述聚焦透镜303的光路上，所述聚焦透镜303的光路上的光线经过一个所述第一反射面c1后反射至一个与该第一反射面c1相对的第二反射面c3，光线经过该第二反射面c3反射至另一个第二反射面c3，由第二个反射面c3反射回第二个第一反射面c1，如此重复，最终光线反射回到第n个第一反射面c1，即光线经过多个第一反射面c1和多个第二反射面c3之间的反射后进入所述振镜307。所述第一调节镜731c与所述第二调节镜733c之间的间隔可根据实际需要调节。本实施例中，所述移动件710c上设有卡持件(图未示)，所述卡持件用于固定所述第二调节镜733c，所述卡持件的包括支撑限位体、夹爪、治具、磁铁等。在所述参考光光程不变的情况下，通过所述移动件710c带动所述第二调节镜733c相对第一调节镜731c移动，就实现了调节所述第一反射面c1与第二反射面c3之间的距离，即光线的光程距离增加或者减小，以使所述样品光光程与所述参考光光程相等。所述第一反射面c1的个数可根据实际需求来定，所述第一反射面c1与所述第二反射面c3始终保持个数对应。所述移动件可以是气缸组件、丝杠组件、驱动齿轮组件、滑槽与滑轨驱动组件、机械手等，所述移动件可以通过手动移动，也可以自动移动。所述卡持件包括抓手，固定治具等具有夹持固定功能的部件。

请参阅图5，本发明的第二实施例中，调节样品光光程包括通过调节部710d调节调节所述扫描探头300与所述样品501表面之间的距离；其中，调节所述扫描探头300到所述样品501表面之间距离的方式，可以是保持所述扫描探头300不动，调节所述样品501的位置。将所述调节部710d设置在所述置物台503处，所述调节部710d包括移动件(图未示)，所述移动件与所述置物台503连接所述移动件带动所述置物台503移动，从而调节所述置物台503与所述扫描探头300的距离，进而调节样品光在扫描探头300与样品501之间的光的距离，使得所述样品光光程与所述参考光光程相等。本实施例中，所述移动件包括可以与上述实施例的移动件相同，只是根据置物台503的体积大小来适当调整移动件的体积，使其可以带动所述置物台503移动即可。

当然，调节所述扫描探头300与所述样品501表面之间的距离，还可以是保持所述样品的位置不动，调节所述扫描探头300的位置。请参阅图6，将所述调节部710e设置在所述扫描探头300处，所述调节部710e包括移动件(图未示)和卡持件(图未示)，所述移动件与所述卡持件机械性固定连接。所述卡持件用于固定所述扫描探头300，所述移动件带动所述卡持件移动，从而调节所述置物台503与所述扫描探头300的距离，使得所述样品光光程与所述参考光光程相等。本实施例中，所述移动件可以与上述实施例的移动件相同，只是根据扫描探头300的体积大小来适当调整移动件的体积，使其可以带动所述扫描探头300移动即可，卡持部只要能夹持主所述扫描探头300即可。

以下实施例以所述样品光光程为基础调节所述参考光光程长度，以使所述样品光程与所述参考光光程相等。

请参阅图7，本发明第三实施例，所述调节部调节所述参考光光程长度，包括调节参考光从所述准直镜131到所述反射镜133之间的光程。本实施例中所述调节部710f第一实施方式是，所述调节部710f调节所述反光镜133相对准直镜131的距离。所述调节部710f包括移动件(图未示)和卡持件(图未示)，所述移动件与所述卡持件机械性固定连接。所述卡持件用于固定所述反射镜133；所述移动件带动固定所述反射镜133的所述卡持件进行位置移动，实现反光镜133与对准直镜131之间这段光线的距离的增加或者减小，从而调节所述参考光光程长度使之与所述样品光程长度相等。本实施例中，所述移动件可以与上述实施例的移动件相同，只是根据扫描探头300的体积大小来适当调整移动件的体积，使其可以带动所述扫描探头300移动即可，卡持部只要能夹持主所述扫描探头300即可。

本实施例的调节部的第二实施方式，为将所述调节部设置在所述准直镜131与所述反射镜133之间。本实施例(图未示，可参照图3中的调节部)所述调节部包括移动件和调节镜，所述调节镜包括第三调节镜和与第三调节镜间隔相对设置的第四调节镜。所述第三调节镜包括至少两个第三反射面，所述至少两个第三反射面呈夹角设置；所述第四调节镜包括与所述第三反射面相对应的第四反射面，且一个第三反射面与一个第四反射面间隔相对设置；所述第三反射面位于所述准直镜131的光路上。所述准直镜131的光路上的光线经过一个所述第三反射面后反射至一个与该第三反射面相对的第四反射面，光线经过该第四反射面反射至另一个第四反射面，由第四个反射面反射回第二个第三反射面，即光线经过两个第三反射面和两个第四反射面之间的反射后进入反射镜133，所述第三调节镜与所述第四调节镜之间的间隔可根据实际需要调节。本实施例中，所述移动件上设有卡持件(图未示)，所述卡持件用于固定所述第四调节镜，所述卡持件用于固定所述第二调节镜733c，所述卡持件的包括支撑限位体、夹爪、治具、磁铁等。在所述样品光光程不变的情况下，通过所述移动件带动所述第四调节镜相对第三调节镜移动，调节所述第三反射面与第四反射面之间的距离，即光线的光程距离增加或者减小，以使所述样品光光程与所述参考光光程相等。所述移动件可以是气缸组件、丝杠组件、驱动齿轮组件、滑槽与滑轨驱动组件、机械手等，所述移动件可以通过手动移动，也可以自动移动。所述卡持件包括抓手，固定治具等具有夹持固定功能的部件。

请参阅图8，本实施例的第三种实施方式，与第二种实施方式不同的是，所述调节部包括移动件710g和调节镜730g。所述调节镜730g包括第三调节镜731g和与第三调节镜731g间隔相对设置的第四调节镜733g。所述第三调节镜731g的第三反射面g1还可以为多个，所述多个第三反射面g1朝向相同且依次呈夹角连接，所述第四调节镜733g包括与所述多个第三反射面g1相对应的第四反射面g3，所述多个第四反射面g3朝向所述第三反射面g1且依次呈夹角连接。所述第三反射面g1位于所述准直镜131的光路上，所述准直镜131的光路上的光线经过一个所述第三反射面g1后反射至一个与该第三反射面g1相对的第四反射面g3，光线经过该第四反射面g3反射至另一个第四反射面g3，由第四个反射面g3反射回第四个第三反射面g1，如此重复，最终光线反射回到第n个第三反射面g1，即光线经过多个第三反射面g1和多个第四反射面g3之间的反射后进入所述反射镜133。所述第三调节镜731g与所述第四调节镜733g之间的间隔可根据实际需要调节。本实施例中，所述移动件710g上设有卡持件(图未示)，所述卡持件用于固定所述第四调节镜733g。在所述参考光光程不变的情况下，通过所述移动件710g带动所述第四调节镜733g相对第三调节镜731g移动，就实现了调节所述第三反射面g1与第四反射面g3之间的距离，即光线的光程距离增加或者减小，以使所述样品光光程与所述参考光光程相等。本实施例中，所述第三反射面g1的个数可根据实际需求来定，所述第三反射面g1与所述第四反射面g3始终保持个数对应。及所述移动件和所述卡持件可以和上述实施例相同。

请参阅图9，本发明提供一种微雕设备，包括激光光源901、透镜305及以上任一实施例所述的OCT探测装置，本实施例中，所述透镜305为一个二向色镜，可投射光源109提供的光并可反射所述激光光源提供的光。所述透镜305设置在所述聚焦透镜303和所述振镜307之间并与振镜307位于同一光轴。所述激光光源901发出激光，通过所述透镜305反射至振镜307，由振镜307投到场镜309后射到所述样品501上，对所述样品501进行雕刻；与此同时，扫描探头300对所述激光雕刻的样品501表面进行同步扫描，实现实时观察扫描的具体图案与质量，以保证在雕刻出现错误是及时停止雕刻或者调整雕刻路径，而且扫描探头300可以实现大面积扫描，不会限制雕刻面积和速度。本实施例中的OCT探测装置选取的是图1所示的实施例。

所述激光光源901发出激光，通过所述透镜305传递给所述振镜307，进而通过所述场镜309传递给所述样品501，对所述样品501进行微雕。所述激光光源901通过所述透镜305传递到所述样品501的激光对OCT探测装置传递的光不影响，可以同时对所述样品501进行扫描成像和雕刻，也可以只对所述样品501进行扫描成像，或只对所述样品501进行雕刻。

以上对本发明实施例进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (10)

1.一种OCT探测装置，用于对样品进行扫描探测，其特征在于，所述OCT探测装置包括OCT组件、扫描探头和调节部；所述扫描探头包括振镜和场镜；所述扫描探头与所述OCT组件连接；所述振镜和所述场镜位于第一光轴，所述振镜与所述场镜的距离小于所述场镜的焦距；所述场镜位于所述振镜和所述样品表面之间；所述调节部用于调节通过所述扫描探头扫描样品的样品光的光程与所述OCT组件提供的参考光的光程的光程差。

2.根据权利要求1所述的OCT探测装置，其特征在于，所述调节部调节通过所述扫描探头扫描样品的样品光的光程与所述OCT组件提供的参考光的光程的光程差，包括以所述参考光的光程为基础调节所述样品光的光程的长度，或者以所述样品光的光程为基础调节所述参考光的光程长度。

3.根据权利要求2所述的OCT探测装置，其特征在于，所述扫描探头包括光纤插头和聚焦透镜，所述光纤插头、聚焦透镜和振镜依次设置并位于第二光轴上，其中，第一光轴和第二光轴垂直，所述调节部调节所述样品光光程的长度，包括调节所述样品光从所述扫描探头的光纤插头到所述聚焦透镜之间的光程，或者，调节所述扫描探头与所述样品表面之间的距离。

4.根据权利要求3所述的OCT探测装置，其特征在于，所述调节部包括移动件和卡持件，所述卡持件用于固定所述光纤插头，所述移动件带动所述卡持件移动；或者，所述卡持件用于卡持所述样品或者扫描探头，所述移动件带动所述卡持件移动。

5.根据权利要求3所述的OCT探测装置，其特征在于，所述调节部包括移动件、第一调节镜和与第一调节镜间隔相对设置的第二调节镜，所述第一调节镜包括至少两个第一反射面，所述至少两个第一反射面呈夹角设置；所述第二调节镜包括与所述第一反射面相对应的第二反射面，且一个第一反射面与一个第二反射面间隔相对设置；所述第一反射面位于所述聚焦透镜的光路上，且所述聚焦透镜的光路上的光线经过所述第一反射面与所述第二反射面之间的反射后进入所述振镜，所述移动件带动所述第二调节镜相对第一调节镜移动，调节所述第一反射面与第二反射面之间的距离。

6.根据权利要求5所述的OCT探测装置，其特征在于，所述第一调节镜的第一反射面为多个，所述多个第一反射面朝向相同且依次呈夹角连接，所述第二调节镜包括与所述多个第一反射面相对应的第二反射面，所述多个第二反射面朝向所述第一反射面且依次呈夹角连接。

7.根据权利要求3所述的OCT探测装置，其特征在于，所述OCT组件包括准直镜和与所述准直镜同轴设置的反射镜；所述调节部调节所述参考光光程长度，包括调节所述参考光从所述准直镜到所述反射镜之间的光程。

8.根据权利要求7所述的OCT探测装置，其特征在于，所述调节部包括移动件和卡持件，所述卡持件用于固定所述反射镜，所述移动件带动所述卡持件移动。

9.根据权利要求7所述的OCT探测装置，其特征在于，所述调节部包括移动件、第三调节镜和与第三调节镜间隔相对设置的第四调节镜，所述第三调节镜包括至少两个第三反射面，所述至少两个第三反射面呈夹角设置；所述第四调节镜包括与所述第三反射面相对应的第四反射面，且一个第三反射面与一个第四反射面间隔相对设置；所述第三反射面位于所述准直镜与所述反射镜之间的光路上，且所述聚焦透镜的光路上的光线经过所述第三反射面与所述第四反射面之间的反射后进入所述振镜，所述移动件带动所述第四调节镜相对第三调节镜移动，调节所述第三反射面与第四反射面之间的距离。

10.一种微雕设备，其特征在于，包括激光光源、透镜及权利要求1-9所述的OCT探测装置，所述透镜设置在所述聚焦透镜和所述振镜之间并位于同一光轴，所述激光光源发出激光，通过所述透镜、振镜和场镜射到所述样品上，对所述样品进行雕刻。