CN109285921A - 用于太阳能电池抗pid设备的气体混合均化装置 - Google Patents

用于太阳能电池抗pid设备的气体混合均化装置 Download PDF

Info

Publication number
CN109285921A
CN109285921A CN201811468141.0A CN201811468141A CN109285921A CN 109285921 A CN109285921 A CN 109285921A CN 201811468141 A CN201811468141 A CN 201811468141A CN 109285921 A CN109285921 A CN 109285921A
Authority
CN
China
Prior art keywords
homogenizing
plate
main casing
cavity
solar battery
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201811468141.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109285921B (zh
Inventor
陈五奎
刘强
石平
徐文州
陈磊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leshan Topraycell Co Ltd
Original Assignee
Leshan Topraycell Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leshan Topraycell Co Ltd filed Critical Leshan Topraycell Co Ltd
Priority to CN201811468141.0A priority Critical patent/CN109285921B/zh
Publication of CN109285921A publication Critical patent/CN109285921A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109285921B publication Critical patent/CN109285921B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • H01L31/186Particular post-treatment for the devices, e.g. annealing, impurity gettering, short-circuit elimination, recrystallisation
    • H01L31/1868Passivation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0216Coatings
    • H01L31/02161Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/02167Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Sustainable Energy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

本发明公开了一种能够使得混合气体均匀分布在硅片周围的用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置。该用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置,包括均化主壳体、均化区域调节体以及分流装置;所述均化主壳体的内腔上部为倒锥形腔体,下部为矩形腔体;所述倒锥形腔体内设置有至少两层第一均流板;所述矩形腔体内具有至少两层第二均流板;所述均化区域调节体中心位置设置有安装通腔;所述均化区域调节体的两端均设置有调节腔;所述调节腔上方设置有通气管。采用该用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置,能够保证混合气体均匀覆盖在硅片表面的周围,同时能够适用于不同长度的硅片;能够有效的降低生产成本。

Description

用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置
技术领域
本发明涉及的太阳能电池的抗PID领域,尤其是一种用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置。
背景技术
众所周知的:太阳能电池的PID效应的英文全称是:Potential InducedDegradation,即电势诱导衰减。2005年美国SunPower公司首次发现并提出PID效应,指组件长期在高电压工作,在盖板玻璃、封装材料、边框之间存在漏电流,大量电荷聚集在电池片表面,使得电池片表面的钝化效果恶化,导致填充因子、短路电流、开路电压降低,使组件性能低于设计标准,但此衰减是可逆的。
因此太阳能电池板需要对其进行抗PID处理,从而避免太阳能电池板出现PID现象;现有的太阳能电池板抗PID设备需要将氧气和氮气进行混合然后通过臭氧发生器生产臭氧,通过臭氧、氧气和氮气的混合气体覆盖在硅片表面,保证硅片表面形成高纯致密的二氧化硅层,厚度大概在10-20nm,从而解决电池组件中玻璃产生的钠离子引起的电位诱导效应。
现有的技术中一般是直接将混合气体直接通入到硅片表面,从而使得硅片表面接触到的气体不均匀,从而无法保证硅片表面形成高纯致密的二氧化硅层。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种能够使得混合气体均匀分布在硅片周围的用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置,包括均化主壳体、均化区域调节体以及分流装置;所述均化主壳体具有下部开口的内腔,所述均化主壳体顶部设置有进气管;所述均化主壳体的下部边缘设置有凸缘;
所述均化主壳体的内腔上部为倒锥形腔体,下部为矩形腔体;所述倒锥形腔体内设置有至少两层第一均流板;每层第一均流板包括至少两块第一均流板,且沿横向均匀分布;相邻两层第一均流板交替分布,即上层相邻两块第一均流板之间的间隙位于下层第一均流板的正上方;
所述矩形腔体内具有至少两层第二均流板;每层第二均流板包括至少两块第二均流板,且沿横向均匀分布;相邻两层第二均流板交替分布,即上层相邻两块第二均流板之间的间隙位于下层第二均流板的正上方;
所述均化区域调节体中心位置设置有安装通腔;所述均化区域调节体的两端均设置有调节腔;所述调节腔上方设置有通气管;
所述均化区域调节体套装在均化主壳体上,所述均化主壳体穿过安装通腔;所述安装通腔与均化主壳体的下端匹配;
所述调节腔的端面和下表面具有开口,所述调节腔的一端设置有侧面密封板;所述调节腔内设置有至少两层横向的均流板;所述调节腔的中心位置设置有横向的丝杆;
所述侧面密封板上设置有驱动丝杆转动的驱动电机;所述调节腔内滑动安装有均化调节板;所述均化调节板上设置有与均流板匹配的穿孔;所述均流板穿过均化调节板,所述丝杆穿过均化调节板,且与均化调节板螺纹配合;
所述通气管通过导气管与分流装置连通,所述进气管与流装置连通;所述通气管与分流装置之间的导气管上设置有电磁阀。
进一步的,所述均化调节板的下端两侧均设置有凸块;所述调节腔的侧壁上下方设置有与凸块匹配的横向滑槽;所述凸块滑动安装在横向滑槽内。
优选的,所述分流装置采用四通管。
进一步的,所述第一均流板为梯形板,所述第二均流板为矩形板。
进一步的,所述矩形腔体的底部与调节腔的底部连通。
本发明的有益效果是:本发明所述的用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置,由于在均化主壳体内设置有两层均流板,从而可以通过均流板使得从均化主壳体内流出的气体均匀的分布在均化主壳体下端的开口处;从而能够使得混合气体能够均与的分布在硅片表面的周围。
同时,由于用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置,还设置有均化区域调节体,通过均化区域调节体调节气体均化区域,从而可以适用于不同长度的硅片;因此能够提高用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置的应用范围。
因此,本发明所述的用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置,能够保证混合气体均匀覆盖在硅片表面的周围,同时能够适用于不同长度的硅片;能够有效的降低生产成本。
附图说明
图1是本发明实施例中用于太阳能电池抗PID设备的氮气和氧气单向混合装置的爆炸示意图;
图2是本发明实施例中用于太阳能电池抗PID设备的氮气和氧气单向混合装置的立体图;
图3是本发明实施例中用于太阳能电池抗PID设备的氮气和氧气单向混合装置的主视图;
图4是本发明实施例中用于太阳能电池抗PID设备的氮气和氧气单向混合装置的俯视图;
图5是本发明实施例中用于太阳能电池抗PID设备的氮气和氧气单向混合装置的仰视图;
图6是图4的A-A剖视图;
图7是图3的B-B剖视图;
图中标示:1-均化主壳体,2-进气管,3-凸缘,4-第一均流板,5-第二均流板,6-均化区域调节体,7-均流板,8-侧面密封板,9-驱动电机,10-丝杆,11-均化调节板,12-通气管,13-分流装置,14-导气管,15-电磁阀,16-倒锥形腔体,17-中心通孔,18-穿孔。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
如图1至图7所示,本发明所述的用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置,包括均化主壳体1、均化区域调节体6以及分流装置13;所述均化主壳体1具有下部开口的内腔,所述均化主壳体1顶部设置有进气管2;所述均化主壳体1的下部边缘设置有凸缘3;
所述均化主壳体1的内腔上部为倒锥形腔体16,下部为矩形腔体;所述倒锥形腔体16内设置有至少两层第一均流板4;每层第一均流板4包括至少两块第一均流板4,且沿横向均匀分布;相邻两层第一均流板4交替分布,即上层相邻两块第一均流板4之间的间隙位于下层第一均流板4的正上方;
所述矩形腔体内具有至少两层第二均流板5;每层第二均流板5包括至少两块第二均流板5,且沿横向均匀分布;相邻两层第二均流板5交替分布,即上层相邻两块第二均流板5之间的间隙位于下层第二均流板5的正上方;
所述均化区域调节体6中心位置设置有安装通腔61;所述均化区域调节体6的两端均设置有调节腔62;所述调节腔62上方设置有通气管12;
所述均化区域调节体6套装在均化主壳体1上,所述均化主壳体1穿过安装通腔61;所述安装通腔61与均化主壳体1的下端匹配;
所述调节腔62的端面和下表面具有开口,所述调节腔62的一端设置有侧面密封板8;所述调节腔62内设置有至少两层横向的均流板7;所述调节腔62的中心位置设置有横向的丝杆10;
所述侧面密封板8上设置有驱动丝杆10转动的驱动电机9;所述调节腔62内滑动安装有均化调节板11;所述均化调节板11上设置有与均流板7匹配的穿孔18;所述均流板7穿过均化调节板11,所述丝杆10穿过均化调节板11,且与均化调节板11螺纹配合;
所述通气管12通过导气管14与分流装置13连通,所述进气管2与流装置13连通;所述通气管12与分流装置13之间的导气管14上设置有电磁阀15。
在工作的过程中:
首先将气体供应装置与分流装置13连通;然后根据需要进行抗PID处理的硅片的大小,判定是否需要启动均化区域调节体6对气体均化的区域进行调节;如果均化主壳体1的下端足以覆盖硅片;则关闭电磁阀15;启动供气装置将气体供入到均化主壳体1内,然后通过均化主壳体1内设置的第一均流板4和第二均流板5使得气体在均化主壳体1下端开口处均匀分布,从而使得混合气体均匀的分布在硅片周围。
当均化主壳体1的下端不能覆盖硅片;则打开电磁阀15;启动供气装置将气体供入到均化主壳体1和均化区域调节体6内,然后启动驱动电机9使得驱动电机9带动丝杆10转动,从而调节均化调节板11在调节腔62内的位置,使得调节腔62具有气体的区域和均化主壳体1的下端区域能够覆盖硅片。
进入到均化主壳体1内的混合气体,通过均化主壳体1内设置的第一均流板4和第二均流板5使得气体在均化主壳体1下端开口处均匀分布,进入均化区域调节体6的混合气体,通过均化区域调节体6内的均流板7使得气体从区域调节体6下端的开口出来时均匀分布;从而使得混合气体均与的分布在硅片周围。
综上所述,本发明所述的用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置,由于在均化主壳体内设置有两层均流板,从而可以通过均流板使得从均化主壳体内流出的气体均匀的分布在均化主壳体下端的开口处;从而能够使得混合气体能够均与的分布在硅片表面的周围。
同时,由于用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置,还设置有均化区域调节体,通过均化区域调节体调节气体均化区域,从而可以适用于不同长度的硅片;因此能够提高用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置的应用范围。
因此,本发明所述的用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置,能够保证混合气体均匀覆盖在硅片表面的周围,同时能够适用于不同长度的硅片;能够有效的降低生产成本。
为了便于均化调节板11在调节腔62内滑动安装,进一步的,所述均化调节板11的下端两侧均设置有凸块;所述调节腔62的侧壁上下方设置有与凸块匹配的横向滑槽63;所述凸块滑动安装在横向滑槽63内。
为了简化结构,便于安装,降低成本,优选的,所述分流装置13采用四通管。
为了便于实现对气流的导流,进一步的,如图6所示,所述第一均流板4为梯形板,所述第二均流板5为矩形板。且按照如图6所示的布置方式设置。
为了保证气体能够均匀的分布在硅片表面的周围,进一步的,所述矩形腔体的底部与调节腔62的底部连通。

Claims (5)

1.用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置,其特征在于:包括均化主壳体(1)、均化区域调节体(6)以及分流装置(13);所述均化主壳体(1)具有下部开口的内腔,所述均化主壳体(1)顶部设置有进气管(2);所述均化主壳体(1)的下部边缘设置有凸缘(3);
所述均化主壳体(1)的内腔上部为倒锥形腔体(16),下部为矩形腔体;所述倒锥形腔体(16)内设置有至少两层第一均流板(4);每层第一均流板(4)包括至少两块第一均流板(4),且沿横向均匀分布;相邻两层第一均流板(4)交替分布,即上层相邻两块第一均流板(4)之间的间隙位于下层第一均流板(4)的正上方;
所述矩形腔体内具有至少两层第二均流板(5);每层第二均流板(5)包括至少两块第二均流板(5),且沿横向均匀分布;相邻两层第二均流板(5)交替分布,即上层相邻两块第二均流板(5)之间的间隙位于下层第二均流板(5)的正上方;
所述均化区域调节体(6)中心位置设置有安装通腔(61);所述均化区域调节体(6)的两端均设置有调节腔(62);所述调节腔(62)上方设置有通气管(12);
所述均化区域调节体(6)套装在均化主壳体(1)上,所述均化主壳体(1)穿过安装通腔(61);所述安装通腔(61)与均化主壳体(1)的下端匹配;
所述调节腔(62)的端面和下表面具有开口,所述调节腔(62)的一端设置有侧面密封板(8);所述调节腔(62)内设置有至少两层横向的均流板(7);所述调节腔(62)的中心位置设置有横向的丝杆(10);
所述侧面密封板(8)上设置有驱动丝杆(10)转动的驱动电机(9);所述调节腔(62)内滑动安装有均化调节板(11);所述均化调节板(11)上设置有与均流板(7)匹配的穿孔(18);所述均流板(7)穿过均化调节板(11),所述丝杆(10)穿过均化调节板(11),且与均化调节板(11)螺纹配合;
所述通气管(12)通过导气管(14)与分流装置(13)连通,所述进气管(2)与流装置(13)连通;所述通气管(12)与分流装置(13)之间的导气管(14)上设置有电磁阀(15)。
2.如权利要求1所述的用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置,其特征在于:所述均化调节板(11)的下端两侧均设置有凸块;所述调节腔(62)的侧壁上下方设置有与凸块匹配的横向滑槽(63);所述凸块滑动安装在横向滑槽(63)内。
3.如权利要求2所述的用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置,其特征在于:所述分流装置(13)采用四通管。
4.如权利要求3所述的用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置,其特征在于:所述第一均流板(4)为梯形板,所述第二均流板(5)为矩形板。
5.如权利要求4所述的用于太阳能电池抗PID设备的气体混合均化装置,其特征在于:所述矩形腔体的底部与调节腔(62)的底部连通。
CN201811468141.0A 2018-12-03 2018-12-03 用于太阳能电池抗pid设备的气体混合均化装置 Active CN109285921B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811468141.0A CN109285921B (zh) 2018-12-03 2018-12-03 用于太阳能电池抗pid设备的气体混合均化装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811468141.0A CN109285921B (zh) 2018-12-03 2018-12-03 用于太阳能电池抗pid设备的气体混合均化装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109285921A true CN109285921A (zh) 2019-01-29
CN109285921B CN109285921B (zh) 2024-01-26

Family

ID=65174483

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811468141.0A Active CN109285921B (zh) 2018-12-03 2018-12-03 用于太阳能电池抗pid设备的气体混合均化装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109285921B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113403610A (zh) * 2021-07-21 2021-09-17 江苏微导纳米科技股份有限公司 一种真空悬浮镀膜设备

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090159432A1 (en) * 2006-08-28 2009-06-25 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Thin-film deposition apparatus using discharge electrode and solar cell fabrication method
WO2010003115A1 (en) * 2008-07-03 2010-01-07 Greenfield Solar Corp. Solar collector assembly
CN202913112U (zh) * 2012-06-21 2013-05-01 合肥日新高温技术有限公司 一种碳纤维预氧化炉
CN203839396U (zh) * 2014-05-09 2014-09-17 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 一种用于制备抗pid薄膜的装置
CN104835876A (zh) * 2015-04-27 2015-08-12 北京金晟阳光科技有限公司 气体均匀布气装置
CN204905275U (zh) * 2015-07-26 2015-12-23 巨力新能源股份有限公司 一种基于链式氧化法提升太阳电池抗pid效应的装置
CN205863146U (zh) * 2016-06-07 2017-01-04 江苏爱多能源科技有限公司 蚀刻机的抗pid衰减装置
JP2017069290A (ja) * 2015-09-28 2017-04-06 日清紡メカトロニクス株式会社 Pid劣化防止太陽電池モジュール用フィルム及びそれを用いたpid劣化防止太陽電池モジュール
CN206271670U (zh) * 2016-12-01 2017-06-20 浙江鸿禧能源股份有限公司 一种新型的制备具有抗pid效应电池片的装置
CN207097837U (zh) * 2017-08-07 2018-03-13 九江盛朝欣业科技有限公司 一种抗pid设备
CN108133901A (zh) * 2016-12-01 2018-06-08 浙江鸿禧能源股份有限公司 一种新型的制备具有抗pid效应电池片的装置
CN208986006U (zh) * 2018-12-03 2019-06-14 乐山新天源太阳能科技有限公司 用于太阳能电池抗pid设备的气体混合均化装置

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090159432A1 (en) * 2006-08-28 2009-06-25 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Thin-film deposition apparatus using discharge electrode and solar cell fabrication method
WO2010003115A1 (en) * 2008-07-03 2010-01-07 Greenfield Solar Corp. Solar collector assembly
CN202913112U (zh) * 2012-06-21 2013-05-01 合肥日新高温技术有限公司 一种碳纤维预氧化炉
CN203839396U (zh) * 2014-05-09 2014-09-17 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 一种用于制备抗pid薄膜的装置
CN104835876A (zh) * 2015-04-27 2015-08-12 北京金晟阳光科技有限公司 气体均匀布气装置
CN204905275U (zh) * 2015-07-26 2015-12-23 巨力新能源股份有限公司 一种基于链式氧化法提升太阳电池抗pid效应的装置
JP2017069290A (ja) * 2015-09-28 2017-04-06 日清紡メカトロニクス株式会社 Pid劣化防止太陽電池モジュール用フィルム及びそれを用いたpid劣化防止太陽電池モジュール
CN205863146U (zh) * 2016-06-07 2017-01-04 江苏爱多能源科技有限公司 蚀刻机的抗pid衰减装置
CN206271670U (zh) * 2016-12-01 2017-06-20 浙江鸿禧能源股份有限公司 一种新型的制备具有抗pid效应电池片的装置
CN108133901A (zh) * 2016-12-01 2018-06-08 浙江鸿禧能源股份有限公司 一种新型的制备具有抗pid效应电池片的装置
CN207097837U (zh) * 2017-08-07 2018-03-13 九江盛朝欣业科技有限公司 一种抗pid设备
CN208986006U (zh) * 2018-12-03 2019-06-14 乐山新天源太阳能科技有限公司 用于太阳能电池抗pid设备的气体混合均化装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113403610A (zh) * 2021-07-21 2021-09-17 江苏微导纳米科技股份有限公司 一种真空悬浮镀膜设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN109285921B (zh) 2024-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN208986006U (zh) 用于太阳能电池抗pid设备的气体混合均化装置
CN201992135U (zh) 一种智能龙头
CN203316890U (zh) 铝母线焊接专用窄间隙mig焊枪
CN109285921A (zh) 用于太阳能电池抗pid设备的气体混合均化装置
CN101146598A (zh) 气体处理设备
CN109494281A (zh) 太阳能电池抗pid装置
KR200420912Y1 (ko) 크린부스
CN216744957U (zh) 沐浴机
CN207243464U (zh) 一种集成化臭氧放电装置
JP2004047582A (ja) 基板処理装置
CN205278758U (zh) 一种用于缓冲气袋充气机的新型充气结构
CN112871018B (zh) 臭氧混合装置及包含其的热水器
CN205479674U (zh) 一种自来水管道流量控制装置
CN109390435B (zh) 用于太阳能电池抗pid设备的氮气和氧气单向混合装置
CN103316787B (zh) 一种具有吸气功能的手持花洒
CN104934353B (zh) 传输系统、反应腔室及半导体加工设备
CN205985191U (zh) 一种改进的合膏机恒流量加酸水装置
US20190060963A1 (en) Treating solution supply apparatus
CN206310022U (zh) 一种阀体、阀门及输水系统
CN205806623U (zh) 伺服电控多功能控制装置
CN205669595U (zh) 电动调节阀
CN114421090B (zh) 一种基于振动结构的胶体排气装置和排气方法
CN221440936U (zh) 一种硅片生产装置
CN209493080U (zh) 一种大米加工用气动翻板关风机
KR20030018079A (ko) 연료전지 스택의 수소 가습장치

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant