CN109283708B - 基准校正器、检测设备及检测设备的坐标转换方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基准校正器、检测设备及检测设备的坐标转换方法,基准校正器包括对位基板和调节结构。将基准校正器固定于预设位置,通过调节结构调节对位基板使对位基板沿X方向或Y方向移动,从而可以使基准校正器与预设位置进行精准对位。当将该基准校正器安装在具有独立坐标系的多个轴的检测设备侧边上的预设位置时,可以通过基准校正器与预设位置的精准对位获得基准校正器相对于检测设备边缘的假想原点的坐标,将该坐标作为参考坐标,根据检测设备上各轴原点与基准校正器的距离将检测设备的各轴原点转换成对应的相对于假想原点的坐标,从而实现了将检测设备的各轴的坐标系统一。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种基准校正器、检测设备及检测设备的坐标转换方法。
背景技术
在液晶显示行业,产品如玻璃基板一般会有缺陷,为了防止影响显示,需要检测设备对产品的缺陷位置进行精确定位。目前的检测设备包括多个轴,但是各轴均具有各自的坐标系,坐标不统一,并且产品自身也具有相应的坐标系,这样就增加了检测产品缺陷位置的难度,因此,将检测设备的各轴的坐标系统一是本领域人员亟需解决的技术问题。
发明内容
本发明实施例提供的一种基准校正器、检测设备及检测设备的坐标转换方法,用以解决现有检测设备各轴坐标系不统一的问题。
因此,本发明实施例提供了一种基准校正器,包括:对位基板和调节结构;其中,
所述对位基板用于与预设位置进行对位;
所述调节结构用于调节所述对位基板沿X方向或Y方向移动。
具体实施时,在本发明实施例提供的上述基准校正器中,还包括:固定底座和固定支架;其中,
所述固定底座用于与被固定物固定连接;
所述固定支架位于所述固定底座上,用于将所述对位基板卡在所述固定底座内。
具体实施时,在本发明实施例提供的上述基准校正器中,所述对位基板为中心带有对位标记的方形透明基板。
具体实施时,在本发明实施例提供的上述基准校正器中,所述调节结构为固定于所述方形透明基板的各个侧边且均匀排布的多个调节螺栓。
相应地,本发明实施例还提供了一种检测设备,包括检测基台,以及位于所述检测基台上分别沿X方向和Y方向延伸且具有独立坐标系的多个轴,且所述多个轴的中心位置均带有对位标记,还包括本发明实施例提供的上述任一种所述的基准校正器;所述基准校正器固定于所述检测基台侧边的中心位置。
具体实施时,在本发明实施例提供的上述检测设备中,将沿Y方向延伸的多个Y轴分为n组,每组至少包括一个Y轴,每个沿X方向延伸的X轴分别固定一组Y轴,n为X轴的个数。
具体实施时,在本发明实施例提供的上述检测设备中,通过移动所述X轴或所述Y轴使所述X轴或所述Y轴的对位标记与所述对位基板上的对位标记重合来确定对应的所述X轴或所述Y轴的原点移动到所述基准校正器的中心的距离。
具体实施时,在本发明实施例提供的上述检测设备中,所述X轴或所述Y轴的中心位置均安装摄像机,通过移动所述X轴或所述Y轴使所述摄像机的中心与所述对位基板上的对位标记重合来确定对应的所述X轴或所述Y轴的原点移动到所述基准校正器的中心的距离。
相应地,本发明实施例还提供了一种本发明实施例提供的上述任一种所述的检测设备的坐标转换方法,包括:
根据所述基准校正器的中心相对于所述检测基台边缘的假想原点在X方向的距离Δx和在Y方向的距离Δy来确定所述基准校正器的坐标(Δx,Δy);
调节所述对位基板上的对位标记与所述检测基台的中心对位,固定所述基准校正器;
移动所述X轴使所述X轴的原点与所述对位基板上的对位标记重合,确定所述X轴原点移动到所述基准校正器的中心的距离x1;
移动所述Y轴使所述Y轴的原点与所述对位基板上的对位标记重合,确定所述Y轴原点移动到所述基准校正器的中心的距离y1;
确定所述X轴原点的坐标相对于所述假想原点的坐标x2,以及所述Y轴原点的坐标相对于所述假想原点的坐标y2。
具体实施时,在本发明实施例提供的上述坐标转换方法中,确定所述X轴原点的坐标相对于所述假想原点的坐标x2,以及所述Y轴原点的坐标相对于所述假想原点的坐标y2,通过如下关系式:
进行获取。
本发明有益效果如下:
本发明实施例提供的上述基准校正器、检测设备及检测设备的坐标转换方法,该基准校正器包括:对位基板和调节结构;其中,对位基板用于与预设位置进行对位;调节结构用于调节对位基板沿X方向或Y方向移动。将基准校正器固定于预设位置,通过调节结构调节对位基板使其沿X方向或Y方向移动,从而可以使基准校正器与预设位置进行精准对位。当将该基准校正器安装在具有独立坐标系的多个轴的检测设备侧边上的预设位置时,可以通过基准校正器与预设位置的精准对位获得基准校正器相对于检测设备边缘的假想原点的坐标,将该坐标作为参考坐标,根据检测设备上各轴原点与基准校正器的距离将检测设备的各轴原点转换成对应的相对于假想原点的坐标,从而实现了将检测设备的各轴的坐标系统一。
附图说明
图1为本发明实施例提供的基准校正器的结构示意图;
图2为本发明实施例提供的检测设备的结构示意图之一;
图3为本发明实施例提供的检测设备的坐标转换方法的流程图;
图4为本发明实施例提供的检测设备的俯视示意图;
图5为本发明实施例提供的检测设备的结构示意图之二。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述,显然,所描述的实施例仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
附图中各部件的形状和大小不反映真实比例,目的只是示意说明本发明内容。
本发明实施例提供的一种基准校正器,如图1所示,包括:对位基板01和调节结构02;其中,
对位基板01用于与预设位置进行对位;
调节结构02用于调节对位基板01沿X方向或Y方向移动。
本发明实施例提供的上述基准校正器,包括对位基板和调节结构;其中,对位基板用于与预设位置进行对位;调节结构用于调节对位基板沿X方向或Y方向移动。将基准校正器固定于预设位置,通过调节结构调节对位基板使其沿X方向或Y方向移动,从而可以使基准校正器与预设位置进行精准对位。当将该基准校正器安装在具有独立坐标系的多个轴的检测设备侧边上的预设位置时,可以通过基准校正器与预设位置的精准对位获得基准校正器相对于检测设备边缘的假想原点的坐标,将该坐标作为参考坐标,根据检测设备上各轴原点与基准校正器的距离将检测设备的各轴原点转换成对应的相对于假想原点的坐标,从而实现了将检测设备的各轴的坐标系统一。
具体实施时,在本发明实施例提供的上述基准校正器中,如图1所示,还包括:固定底座03和固定支架04;其中,
固定底座03用于与被固定物固定连接;
固定支架04位于固定底座03上,用于将对位基板01卡在固定底座03内。
较佳地,具体实施时,在本发明实施例提供的上述基准校正器中,如图1所示,对位基板01为中心带有对位标记的方形透明基板,这样可以实现精准对位。
具体实施时,对位标记可以为十字标记,在此不做限定。
具体实施时,在本发明实施例提供的上述基准校正器中,如图1所示,调节结构02为固定于方形透明基板的各个侧边且均匀排布的多个调节螺栓。
具体实施时,本发明实施例提供的上述基准校正器中包括8个调节螺栓,方形透明基板的各个侧边均包括两个调节螺栓。这样可以通过调节各个侧边的调节螺栓使对位基板上的十字标记与预设位置重合,从而实现精准定位。
基于同一发明构思,本发明实施例还提供了一种检测设备,如图2所示,包括检测基台1,以及位于检测基台1上分别沿X方向和Y方向延伸且具有独立坐标系的多个轴(以2个X轴和6个Y轴为例),且多个轴的中心位置均带有对位标记(十字标记),还包本发明实施例提供的上述任一种基准校正器2;基准校正器2固定于检测基台1侧边的中心位置。
本发明实施例提供的上述检测设备,将基准校正器固定于检测基台侧边的中心位置,通过调节结构调节对位基板使其沿X方向或Y方向移动,可以使基准校正器与检测基台侧边的中心位置进行精准对位,获得基准校正器相对于检测基台边缘的假想原点的坐标,将该坐标作为参考坐标,根据检测设备上各轴原点与基准校正器的距离将检测设备的各轴原点转换成对应的相对于假想原点的坐标,从而实现了将检测设备的各轴的坐标系统一。
具体实施时,在本发明实施例提供的上述检测设备中,将沿Y方向延伸的多个Y轴分为n组,每组至少包括一个Y轴,每个沿X方向延伸的X轴分别固定一组Y轴,n为X轴的个数。如图2所示,Y5轴和Y6轴均固定于X2轴上,Y1轴至Y4轴均固定于X1轴上。
具体实施时,为了精确的进行位置定位,在本发明实施例提供的上述检测设备中,通过移动X轴或Y轴使X轴或Y轴的对位标记与对位基板上的对位标记重合来确定对应的X轴或Y轴的原点移动到基准校正器的中心的距离。
具体实施时,为了进一步精确的进行位置定位,在本发明实施例提供的上述检测设备中,X轴或Y轴的中心位置均安装摄像机,通过移动X轴或Y轴使摄像机的中心与对位基板上的对位标记重合来确定对应的X轴或Y轴的原点移动到基准校正器的中心的距离。
基于同一发明构思,本发明实施例还提供了一种包括本发明实施例提供的上述任一种检测设备的坐标转换方法,如图3所示,包括:
S301、根据基准校正器的中心相对于检测基台边缘的假想原点在X方向的距离Δx和在Y方向的距离Δy来确定基准校正器的坐标(Δx,Δy);
S302、调节对位基板上的对位标记与检测基台的中心对位,固定基准校正器;
S303、移动X轴使X轴的原点与对位基板上的对位标记重合,确定X轴原点移动到基准校正器的中心的距离x1;
S304、移动Y轴使Y轴的原点与对位基板上的对位标记重合,确定Y轴原点移动到基准校正器的中心的距离y1;
S305、确定X轴原点的坐标相对于假想原点的坐标x2,以及Y轴原点的坐标相对于假想原点的坐标y2。
本发明实施例提供的上述检测设备的坐标转换方法,通过获得基准校正器相对于检测基台边缘的假想原点的坐标,将该坐标作为参考坐标,根据检测设备上各轴原点与基准校正器的距离将检测设备的各轴原点转换成对应的相对于假想原点的坐标,从而实现了将检测设备的各轴的坐标系统一。
具体实施时,在本发明实施例提供的上述坐标转换方法中,确定X轴原点的坐标相对于假想原点的坐标x2,以及Y轴原点的坐标相对于假想原点的坐标y2,通过如下关系式:
进行获取。
下面通过一具体的实施例来对本发明实施例提供的上述坐标转换方法进行详细说明。
如图2、图4和图5所示,设检测基台1沿X方向的长度为x,沿Y方向的长度为y,将带有十字标记的透明基板放置于检测基台1的拐角A处,通过电机控制X2轴和Y6轴运动,将Y6轴上安装的摄像机Camera1的中心与A处透明基板的十字标记对准,通过电机编码器可以得到A点的坐标为(xA,yA);将检测基台1旋转180°,此时A处透明基板的十字标记移动至检测基台1对角线位置的A’处,再次通过电机控制X2轴和Y6轴运动,将Y6轴上安装的摄像机Camera1的中心与A’处十字标记对准,此时通过电机编码器可以得到A’点的坐标为(xA’,yA’);根据A(xA,yA)和A’(xA’,yA’)的坐标可以确定检测基台1中心位置O点的坐标为通过检测基台1中心位置O点的坐标可以将基准校正器1固定于与O点垂直对应的检测基台1侧边的中心位置O’处,将Y6轴上安装的Camera1中心与O’点对准,固定Camera1不动,通过调节基准校正器2上的调节结构02进行X、Y方向位置的调整来使基准校正器2内透明基板上的十字标记与Camera1的中心重合。以检测基台1边缘上的一点C为假想原点、两侧边分别为X轴和Y轴建立统一坐标系,即此时基准校正器2的坐标为记为O’(Δx,Δy),其中Δx为基准校正器2内透明基板上的十字标记的中心到Y轴的距离,Δy为检测基台沿Y方向的长度y的一半,即即基准校正器2在上述建立的统一坐标系内的坐标为O’(-Δx,Δy)。设X2轴的原点移动到O’点的距离为x2,则X2轴的原点转换成相对于上述建立的统一坐标系的坐标为X2=x2-Δx,设Y6轴的原点移动到O’点的距离为y6,则Y6轴的原点转换成相对于上述建立的统一坐标系的坐标为Y6=y6-Δy。基准校正器2和其内透明基板上的十字标记固定后,调整摄像机Camera2,使Camera2的中心位置与基准校正器2内透明基板上的十字标记对位,如图5所示,调整完Camera2的位置后,分别移动X2轴和Y5轴,使Y5轴原点上的十字标记与Camera2的中心位置重合,设Y5轴的原点移动到O’点的距离为y5,则Y5轴的原点转换成相对于上述建立的统一坐标系的坐标为Y5=y5+Δy。同理,分别移动X1轴和Y1至Y4轴,分别使各轴的中心位置的十字标记与Camera2的中心位置重合,设X1轴的原点移动到O’点的距离为x1,则X1轴的原点转换成相对于上述建立的统一坐标系的坐标为X1=x1+Δx,设Y1轴的原点移动到O’点的距离为y1,则Y1轴的原点转换成相对于上述建立的统一坐标系的坐标为Y1=y1+Δy,设Y2轴的原点移动到O’点的距离为y2,则Y2轴的原点转换成相对于上述建立的统一坐标系的坐标为Y2=y2+Δy,设Y3轴的原点移动到O’点的距离为y3,则Y3轴的原点转换成相对于上述建立的统一坐标系的坐标为Y3=y3-Δy,设Y4轴的原点移动到O’点的距离为y4,则Y4轴的原点转换成相对于上述建立的统一坐标系的坐标为Y4=y4-Δy。
综上所述,上述检测设备的各轴通过基准校正器的坐标转换成相对于上述建立的统一坐标系的坐标分别为:X1=x1+Δx,X2=x2-Δx,Y1=y1+Δy,Y2=y2+Δy,Y3=y3-Δy,Y4=y4-Δy,Y5=y5+Δy,Y6=y6-Δy,即将各轴在不同的坐标系内转换到同一个坐标系内,实现了各轴坐标的同一。
本发明实施例提供的上述基准校正器、检测设备及检测设备的坐标转换方法,基准校正器包括对位基板和调节结构;其中,对位基板用于与预设位置进行对位;调节结构用于调节对位基板沿X方向或Y方向移动。将基准校正器固定于预设位置,通过调节结构调节对位基板使其沿X方向或Y方向移动,从而可以使基准校正器与预设位置进行精准对位。当将该基准校正器安装在具有独立坐标系的多个轴的检测设备侧边上的预设位置时,可以通过基准校正器与预设位置的精准对位获得基准校正器相对于检测设备边缘的假想原点的坐标,将该坐标作为参考坐标,根据检测设备上各轴原点与基准校正器的距离将检测设备的各轴原点转换成对应的相对于假想原点的坐标,从而实现了将检测设备的各轴的坐标系统一。
显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (2)
1.一种检测设备的坐标转换方法,所述检测设备包括:检测基台,以及位于所述检测基台上分别沿X方向和Y方向延伸且具有独立坐标系的多个轴,且所述多个轴的中心位置均带有对位标记;还包括基准校正器,所述基准校正器固定于所述检测基台侧边的中心位置;所述基准校正器包括:对位基板、调节结构、固定底座和固定支架;其中,
所述对位基板为中心带有对位标记的方形透明基板,所述对位基板用于与预设位置进行对位;
所述调节结构为固定于所述方形透明基板的各个侧边且均匀排布的多个调节螺栓,所述调节结构用于调节所述对位基板沿X方向或Y方向移动;
所述固定底座用于与被固定物固定连接;
所述固定支架位于所述固定底座上,用于将所述对位基板卡在所述固定底座内;
将沿Y方向延伸的多个Y轴分为n组,每组至少包括一个Y轴,每个沿X方向延伸的X轴分别固定一组Y轴,n为X轴的个数;其特征在于,
所述坐标转换方法包括:
根据所述基准校正器的中心相对于所述检测基台边缘的假想原点在X方向的距离Δx和在Y方向的距离Δy来确定所述基准校正器的坐标(Δx,Δy);
调节所述对位基板上的对位标记与所述检测基台的中心对位,固定所述基准校正器;
移动所述X轴使所述X轴的原点与所述对位基板上的对位标记重合,确定所述X轴原点移动到所述基准校正器的中心的距离x1;
移动所述Y轴使所述Y轴的原点与所述对位基板上的对位标记重合,确定所述Y轴原点移动到所述基准校正器的中心的距离y1;
确定所述X轴原点的坐标相对于所述假想原点的坐标x2,以及所述Y轴原点的坐标相对于所述假想原点的坐标y2。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1566971A (zh) * | 2003-06-11 | 2005-01-19 | 友达光电股份有限公司 | 具动力驱动的同轴旋转快速定位系统和方法 |
TW200720740A (en) * | 2005-11-18 | 2007-06-01 | Innolux Display Corp | Liquid crystal display device |
CN104062793A (zh) * | 2014-05-29 | 2014-09-24 | 深圳市中欣科技有限公司 | Ccd视觉对位真空贴合机 |
CN204287644U (zh) * | 2014-12-25 | 2015-04-22 | 昆山精讯电子技术有限公司 | 一种用于组装液晶模组的机构 |
CN104808370A (zh) * | 2015-05-22 | 2015-07-29 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种对盒设备、对位方法 |
CN104851822A (zh) * | 2014-02-17 | 2015-08-19 | 斯克林集团公司 | 位移检测单元及检测方法、基板处理装置及处理方法 |
CN204883117U (zh) * | 2015-09-11 | 2015-12-16 | 北京京东方显示技术有限公司 | 对位调节设备 |
CN106773157A (zh) * | 2016-12-06 | 2017-05-31 | 友达光电(昆山)有限公司 | 位置校正装置及位置校正方法 |
-
2017
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1566971A (zh) * | 2003-06-11 | 2005-01-19 | 友达光电股份有限公司 | 具动力驱动的同轴旋转快速定位系统和方法 |
TW200720740A (en) * | 2005-11-18 | 2007-06-01 | Innolux Display Corp | Liquid crystal display device |
CN104851822A (zh) * | 2014-02-17 | 2015-08-19 | 斯克林集团公司 | 位移检测单元及检测方法、基板处理装置及处理方法 |
CN104062793A (zh) * | 2014-05-29 | 2014-09-24 | 深圳市中欣科技有限公司 | Ccd视觉对位真空贴合机 |
CN204287644U (zh) * | 2014-12-25 | 2015-04-22 | 昆山精讯电子技术有限公司 | 一种用于组装液晶模组的机构 |
CN104808370A (zh) * | 2015-05-22 | 2015-07-29 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种对盒设备、对位方法 |
CN204883117U (zh) * | 2015-09-11 | 2015-12-16 | 北京京东方显示技术有限公司 | 对位调节设备 |
CN106773157A (zh) * | 2016-12-06 | 2017-05-31 | 友达光电(昆山)有限公司 | 位置校正装置及位置校正方法 |
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GR01 | Patent grant | ||
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Address after: 230013 Southwest District of Hefei City, Anhui Province Patentee after: Hefei xinyihua Intelligent Machine Co.,Ltd. Address before: 230013 Southwest District of Hefei City, Anhui Province Patentee before: HEFEI SINEVA INTELLIGENT MACHINE Co.,Ltd. |
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