CN109256348B - 一种用于晶圆流片制造的前处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆流片制造的前处理装置，其可以方便将处理后的晶圆一次性全部取出，提高其实用性；并且可以在处理过程中，方便对每个晶圆表面进行充分处理，提高其处理效果；包括处理箱和四组支撑柱；还包括两组左支撑弹簧、两组右支撑弹簧、两组支撑板、两组左支撑杆、两组右支撑杆和连接板，还包括两组限位板、两组固定弹簧、两组方形限位块和取放箱；还包括两组旋转杆、两组从动齿轮、两组主动齿轮、两组上连接杆、两组下连接杆、两组上定位轮、两组下定位轮、左固定板、右固定板和两组传动链条。

Description

一种用于晶圆流片制造的前处理装置

技术领域

本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆流片制造的前处理装置。

背景技术

众所周知，用于晶圆流片制造的前处理装置是一种用于晶圆流片生产制造过程中，其所使用的晶圆表面附着三氧化二铝和甘油混合保护层，在制作前需要对晶圆表面的保护层进行处理，以方便其后续加工制造的附属装置，其在晶圆流片制造的领域中得到了广泛的使用；现有的用于晶圆流片制造的前处理装置包括处理箱和四组支撑柱，处理箱内设置有处理腔，并在处理箱顶部设置有取放口，取放口与处理腔相通，四组支撑柱顶端分别与处理箱底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接；现有的用于晶圆流片制造的前处理装置使用时，将前处理液倒入处理箱内，并将所需要进行处理的晶圆倒入处理箱内，通过前处理液与晶圆表面接触对晶圆表面的保护层进行处理，处理一定时间后将晶圆捞出即可；现有的用于晶圆流片制造的前处理装置使用中发现，晶圆体积较小，不方便一次性将其全部取出，实用性较差；并且其在处理过程中，不方便对每个晶圆表面进行充分处理，从而导致其处理效果较差。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种可以方便将处理后的晶圆一次性全部取出，提高其实用性；并且可以在处理过程中，方便对每个晶圆表面进行充分处理，提高其处理效果的用于晶圆流片制造的前处理装置。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，包括处理箱和四组支撑柱，处理箱内设置有处理腔，并在处理箱顶部设置有取放口，取放口与处理腔相通，四组支撑柱顶端分别与处理箱底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接；还包括两组左支撑弹簧、两组右支撑弹簧、两组支撑板、两组左支撑杆、两组右支撑杆和连接板，所述两组左支撑弹簧和两组右支撑弹簧顶端和底端分别与两组支撑板底部、处理箱内底部左半区域和右半区域连接，所述两组左支撑杆和两组右支撑杆顶端分别穿过处理箱底部并与两组支撑板底部连接，并且两组左支撑杆和两组右支撑杆与处理箱底部接触处机械密封，还包括两组限位板、两组固定弹簧、两组方形限位块和取放箱，所述两组限位板分别安装在两组支撑板顶部，所述两组固定弹簧两端分别与两组方形限位块和两组限位板连接，所述取放箱内设置有放置腔，取放箱顶部设置有进出口，进出口与放置腔相通，所述取放箱左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有两组方形限位槽，所述两组方形限位块分别伸入两组方形限位槽内，所述取放箱左侧壁、右侧壁、前侧壁、后侧壁和底部分别设置有多组通孔；还包括两组旋转杆、两组从动齿轮、两组主动齿轮、两组上连接杆、两组下连接杆、两组上定位轮、两组下定位轮、左固定板、右固定板和两组传动链条，所述两组限位板中央区域分别设置有两组旋转孔，所述两组旋转杆一端分别穿过两组旋转孔并与两组方形限位块连接，所述两组从动齿轮分别安装在两组旋转杆另一端，所述两组上连接杆两端分别与两组主动齿轮和两组上定位轮连接，所述两组下连接杆两端分别与两组从动齿轮和两组下定位轮连接，所述左固定板右侧壁和右固定板左侧壁上半区域和下半区域分别设置有两组上定位槽和两组下定位槽，所述两组上定位轮和两组下定位轮分别位于两组上定位槽和两组下定位槽内，所述两组传动链条分别包裹在两组主动齿轮和两组从动齿轮外部，并且两组传动链条分别与两组主动齿轮和两组从动齿轮啮合，所述取放箱的进出口处可拆卸设置有挡盖。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，还包括两组左定位杆、两组右定位杆、两组左支撑轴、两组右支撑轴、两组左移动环和两组右移动环，所述两组左支撑轴和两组右支撑轴顶端分别与左固定板和右固定板底部前半区域和后半区域连接，所述两组左移动环和两组右移动环分别安装在两组左支撑轴和两组右支撑轴底端，所述两组左定位杆和两组右定位杆一端分别穿过两组左移动环和两组右移动环并与两组支撑板连接。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，还包括左滑板和右滑板，所述左滑板和右滑板分别安装在两组左定位杆和两组右定位杆另一端。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，还包括两组前定位环、两组后定位环、两组前拉绳、两组后拉绳和两组下压板，所述两组前定位环和两组后定位环分别安装在处理箱底部前半区域和后半区域，所述两组前拉绳和两组后拉绳底端分别与两组下压板顶部连接，并且两组前拉绳和两组后拉绳另一端分别穿过两组前定位环和两组后定位环并与连接板顶部前半区域和后半区域连接。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，还包括多组第一滚珠，所述左滑板左侧壁和右滑板右侧壁上分别设置有多组第一弧形凹槽，所述多组第一滚珠分别位于多组第一弧形凹槽内，并且多组第一滚珠分别与处理箱内左侧壁和内右侧壁接触。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，还包括多组第二滚珠，所述两组旋转孔处内侧壁上分别设置有多组第二弧形凹槽，所述多组第二滚珠分别位于多组第二弧形凹槽内，并且多组第二滚珠分别与两组旋转杆外壁接触。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，还包括两组旋转把手和弹性连接链，所述两组旋转把手一端分别与两组主动齿轮上半区域连接，并且两组旋转把手另一端分别与弹性连接链两端连接。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，还包括两组前踏板和两组后踏板，所述两组前踏板和两组后踏板分别安装在两组下压板顶部左半区域和右半区域。

与现有技术相比本发明的有益效果为：可以将所需要进行处理的晶圆全部放入取放箱内，并上抬连接板，使两组左支撑杆和两组右支撑杆分别带动两组支撑板上提，并同时拉绳两组左支撑弹簧和两组右支撑弹簧，使两组限位板的位置上移，分别压缩两组固定弹簧，并将取放箱放入两组方形限位块之间，放松两组固定弹簧，使两组方形限位块分别插入两组方形限位槽内，从而可以通过两组固定弹簧的弹力使两组方形限位块压紧取放箱，固定取放箱的位置，并且缓慢下方连接板，使连接板通过两组左支撑杆和两组右支撑杆间接带动取放箱下移浸入处理液中，若处理箱内液面较低，可以适当下压连接板，使取放箱在处理箱内的位置下移，以方便晶圆与处理液接触，当处理完成后，上抬连接板，使两组左支撑杆和两组右支撑杆带动两组支撑板和两组限位杆上移，从而使取放箱露出液面，从而可以方便将处理后的晶圆一次性全部取出，提高其实用性；并且可以在处理过程中，将箱盖可拆卸安装在进出口处，并在将取放箱完全进入处理液中后，同时转动两组主动齿轮，并由于两组传动链条分别与两组主动齿轮和两组从动齿轮啮合，故可以通过两组传动链条的传动作用使两组从动齿轮随两组主动齿轮一同转动，两组从动齿轮通过两组旋转杆带动两组方形限位块移动转动，进而可以带动取放箱在处理箱内转动，从而可以使处理箱内的晶圆不断翻滚，处理液与晶圆充分接触，从而可以方便对每个晶圆表面进行充分处理，提高其处理效果。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是图1中A部的局部放大图；

图3是图1中B部的局部放大图；

附图中标记：1、处理箱；2、支撑柱；3、左支撑弹簧；4、支撑板；5、左支撑杆；6、连接板；7、限位板；8、固定弹簧；9、方形限位块；10、取放箱；11、旋转杆；12、从动齿轮；13、主动齿轮；14、上连接杆；15、上定位轮；16、右固定板；17、传动链条；18、挡盖；19、左定位杆；20、左支撑轴；21、左移动环；22、左滑板；23、前定位环；24、前拉绳；25、下压板；26、第一滚珠；27、第二滚珠；28、旋转把手；29、弹性连接链；30、前踏板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1至图3所示，本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，包括处理箱1和四组支撑柱2，处理箱1内设置有处理腔，并在处理箱1顶部设置有取放口，取放口与处理腔相通，四组支撑柱2顶端分别与处理箱1底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接；还包括两组左支撑弹簧3、两组右支撑弹簧、两组支撑板4、两组左支撑杆5、两组右支撑杆和连接板6，两组左支撑弹簧3和两组右支撑弹簧顶端和底端分别与两组支撑板4底部、处理箱1内底部左半区域和右半区域连接，两组左支撑杆5和两组右支撑杆顶端分别穿过处理箱1底部并与两组支撑板4底部连接，并且两组左支撑杆5和两组右支撑杆与处理箱1底部接触处机械密封，还包括两组限位板7、两组固定弹簧8、两组方形限位块9和取放箱10，两组限位板7分别安装在两组支撑板4顶部，两组固定弹簧8两端分别与两组方形限位块9和两组限位板7连接，取放箱10内设置有放置腔，取放箱10顶部设置有进出口，进出口与放置腔相通，取放箱10左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有两组方形限位槽，两组方形限位块9分别伸入两组方形限位槽内，取放箱10左侧壁、右侧壁、前侧壁、后侧壁和底部分别设置有多组通孔；还包括两组旋转杆11、两组从动齿轮12、两组主动齿轮13、两组上连接杆14、两组下连接杆、两组上定位轮15、两组下定位轮、左固定板、右固定板16和两组传动链条17，两组限位板7中央区域分别设置有两组旋转孔，两组旋转杆11一端分别穿过两组旋转孔并与两组方形限位块9连接，两组从动齿轮12分别安装在两组旋转杆11另一端，两组上连接杆14两端分别与两组主动齿轮13和两组上定位轮15连接，两组下连接杆两端分别与两组从动齿轮12和两组下定位轮连接，左固定板右侧壁和右固定板16左侧壁上半区域和下半区域分别设置有两组上定位槽和两组下定位槽，两组上定位轮15和两组下定位轮分别位于两组上定位槽和两组下定位槽内，两组传动链条17分别包裹在两组主动齿轮13和两组从动齿轮12外部，并且两组传动链条17分别与两组主动齿轮13和两组从动齿轮12啮合，取放箱10的进出口处可拆卸设置有挡盖18；可以将所需要进行处理的晶圆全部放入取放箱内，并上抬连接板，使两组左支撑杆和两组右支撑杆分别带动两组支撑板上提，并同时拉绳两组左支撑弹簧和两组右支撑弹簧，使两组限位板的位置上移，分别压缩两组固定弹簧，并将取放箱放入两组方形限位块之间，放松两组固定弹簧，使两组方形限位块分别插入两组方形限位槽内，从而可以通过两组固定弹簧的弹力使两组方形限位块压紧取放箱，固定取放箱的位置，并且缓慢下方连接板，使连接板通过两组左支撑杆和两组右支撑杆间接带动取放箱下移浸入处理液中，若处理箱内液面较低，可以适当下压连接板，使取放箱在处理箱内的位置下移，以方便晶圆与处理液接触，当处理完成后，上抬连接板，使两组左支撑杆和两组右支撑杆带动两组支撑板和两组限位杆上移，从而使取放箱露出液面，从而可以方便将处理后的晶圆一次性全部取出，提高其实用性；并且可以在处理过程中，将箱盖可拆卸安装在进出口处，并在将取放箱完全进入处理液中后，同时转动两组主动齿轮，并由于两组传动链条分别与两组主动齿轮和两组从动齿轮啮合，故可以通过两组传动链条的传动作用使两组从动齿轮随两组主动齿轮一同转动，两组从动齿轮通过两组旋转杆带动两组方形限位块移动转动，进而可以带动取放箱在处理箱内转动，从而可以使处理箱内的晶圆不断翻滚，处理液与晶圆充分接触，从而可以方便对每个晶圆表面进行充分处理，提高其处理效果。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，还包括两组左定位杆19、两组右定位杆、两组左支撑轴20、两组右支撑轴、两组左移动环21和两组右移动环，两组左支撑轴20和两组右支撑轴顶端分别与左固定板和右固定板16底部前半区域和后半区域连接，两组左移动环21和两组右移动环分别安装在两组左支撑轴20和两组右支撑轴底端，两组左定位杆19和两组右定位杆一端分别穿过两组左移动环21和两组右移动环并与两组支撑板4连接；可以通过两组左移动环和两组右移动环在两组左支撑杆和两组右支撑杆上左右移动对左固定板和右固定板起到移动的支撑作用。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，还包括左滑板22和右滑板，左滑板22和右滑板分别安装在两组左定位杆19和两组右定位杆另一端；可以通过左滑板和右滑板限定两组左移动环和两组右移动环沿两组左定位杆和两组右定位杆移动的最大程度，减少两组左移动环和两组右移动环移动过度。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，还包括两组前定位环23、两组后定位环、两组前拉绳24、两组后拉绳和两组下压板25，两组前定位环23和两组后定位环分别安装在处理箱1底部前半区域和后半区域，两组前拉绳24和两组后拉绳底端分别与两组下压板25顶部连接，并且两组前拉绳24和两组后拉绳另一端分别穿过两组前定位环23和两组后定位环并与连接板6顶部前半区域和后半区域连接；在需要上抬连接板的位置时，只需同时下踩两组下压板，使两组前拉绳和两组后拉绳在两组前定位环和两组后定位环内移动，并对连接板产生向上的拉力，使连接板向上移动。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，还包括多组第一滚珠26，左滑板22左侧壁和右滑板右侧壁上分别设置有多组第一弧形凹槽，多组第一滚珠26分别位于多组第一弧形凹槽内，并且多组第一滚珠26分别与处理箱1内左侧壁和内右侧壁接触；在左滑板和右滑板沿处理箱内左侧壁和内右侧壁上升或下降时，可以通过多组第一滚珠的滚动减小左滑板和右滑板与处理箱内左侧壁和内右侧壁之间的摩擦力，从而可以方便左滑板和右滑板沿处理箱内左侧壁和内右侧壁上下移动。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，还包括多组第二滚珠27，两组旋转孔处内侧壁上分别设置有多组第二弧形凹槽，多组第二滚珠27分别位于多组第二弧形凹槽内，并且多组第二滚珠27分别与两组旋转杆11外壁接触；在两组旋转杆转动带动取放箱转动时，可以通过多组第二滚珠的滚动减小两组旋转杆与两组限位板之间的摩擦力，从而可以方便两组旋转杆在两组旋转孔处转动。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，还包括两组旋转把手28和弹性连接链29，两组旋转把手28一端分别与两组主动齿轮13上半区域连接，并且两组旋转把手28另一端分别与弹性连接链29两端连接；可以在需要转动两组主动齿轮以带动取放箱内转动时，可以通过同时转动两组旋转把手，通过弹性连接链间接连接两组旋转把手，以方便控制两组主动齿轮的转动频率基本相同。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，还包括两组前踏板30和两组后踏板，两组前踏板30和两组后踏板分别安装在两组下压板25顶部左半区域和右半区域；在需要下踩两组下压板时，工作人员可以通过下踩任意一组前踏板和任意一组后踏板，以增加与两组下压板的接触面积，方便下踩两组下压板。

本发明的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，其在工作时，可以将所需要进行处理的晶圆全部放入取放箱内，并上抬连接板，使两组左支撑杆和两组右支撑杆分别带动两组支撑板上提，并同时拉绳两组左支撑弹簧和两组右支撑弹簧，使两组限位板的位置上移，分别压缩两组固定弹簧，并将取放箱放入两组方形限位块之间，放松两组固定弹簧，使两组方形限位块分别插入两组方形限位槽内，从而可以通过两组固定弹簧的弹力使两组方形限位块压紧取放箱，固定取放箱的位置，并且缓慢下方连接板，使连接板通过两组左支撑杆和两组右支撑杆间接带动取放箱下移浸入处理液中，若处理箱内液面较低，可以适当下压连接板，使取放箱在处理箱内的位置下移，以方便晶圆与处理液接触，当处理完成后，上抬连接板，使两组左支撑杆和两组右支撑杆带动两组支撑板和两组限位杆上移，从而使取放箱露出液面，从而可以方便将处理后的晶圆一次性全部取出，提高其实用性，在需要上抬连接板的位置时，只需同时下踩两组下压板，使两组前拉绳和两组后拉绳在两组前定位环和两组后定位环内移动，并对连接板产生向上的拉力，使连接板向上移动；并且可以在处理过程中，将箱盖可拆卸安装在进出口处，并在将取放箱完全进入处理液中后，同时转动两组主动齿轮，并由于两组传动链条分别与两组主动齿轮和两组从动齿轮啮合，故可以通过两组传动链条的传动作用使两组从动齿轮随两组主动齿轮一同转动，两组从动齿轮通过两组旋转杆带动两组方形限位块移动转动，进而可以带动取放箱在处理箱内转动，从而可以使处理箱内的晶圆不断翻滚，处理液与晶圆充分接触，从而可以方便对每个晶圆表面进行充分处理，提高其处理效果，可以通过两组左移动环和两组右移动环在两组左支撑杆和两组右支撑杆上左右移动对左固定板和右固定板起到移动的支撑作用，可以通过左滑板和右滑板限定两组左移动环和两组右移动环沿两组左定位杆和两组右定位杆移动的最大程度，在左滑板和右滑板沿处理箱内左侧壁和内右侧壁上升或下降时，可以通过多组第一滚珠的滚动减小左滑板和右滑板与处理箱内左侧壁和内右侧壁之间的摩擦力，从而可以方便左滑板和右滑板沿处理箱内左侧壁和内右侧壁上下移动，减少两组左移动环和两组右移动环移动过度，在两组旋转杆转动带动取放箱转动时，可以通过多组第二滚珠的滚动减小两组旋转杆与两组限位板之间的摩擦力，从而可以方便两组旋转杆在两组旋转孔处转动，可以在需要转动两组主动齿轮以带动取放箱内转动时，可以通过同时转动两组旋转把手，通过弹性连接链间接连接两组旋转把手，以方便控制两组主动齿轮的转动频率基本相同，在需要下踩两组下压板时，工作人员可以通过下踩任意一组前踏板和任意一组后踏板，以增加与两组下压板的接触面积，方便下踩两组下压板，在完成上述动作之前，首先将处理液倒入处理箱内。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种用于晶圆流片制造的前处理装置，包括处理箱（1）和四组支撑柱（2），处理箱（1）内设置有处理腔，并在处理箱（1）顶部设置有取放口，取放口与处理腔相通，四组支撑柱（2）顶端分别与处理箱（1）底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接；其特征在于，还包括两组左支撑弹簧（3）、两组右支撑弹簧、两组支撑板（4）、两组左支撑杆（5）、两组右支撑杆和连接板（6），所述两组左支撑弹簧（3）和两组右支撑弹簧顶端和底端分别与两组支撑板（4）底部、处理箱（1）内底部左半区域和右半区域连接，所述两组左支撑杆（5）和两组右支撑杆顶端分别穿过处理箱（1）底部并与两组支撑板（4）底部连接，并且两组左支撑杆（5）和两组右支撑杆与处理箱（1）底部接触处机械密封，还包括两组限位板（7）、两组固定弹簧（8）、两组方形限位块（9）和取放箱（10），所述两组限位板（7）分别安装在两组支撑板（4）顶部，所述两组固定弹簧（8）两端分别与两组方形限位块（9）和两组限位板（7）连接，所述取放箱（10）内设置有放置腔，取放箱（10）顶部设置有进出口，进出口与放置腔相通，所述取放箱（10）左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有两组方形限位槽，所述两组方形限位块（9）分别伸入两组方形限位槽内，所述取放箱（10）左侧壁、右侧壁、前侧壁、后侧壁和底部分别设置有多组通孔；还包括两组旋转杆（11）、两组从动齿轮（12）、两组主动齿轮（13）、两组上连接杆（14）、两组下连接杆、两组上定位轮（15）、两组下定位轮、左固定板、右固定板（16）和两组传动链条（17），所述两组限位板（7）中央区域分别设置有两组旋转孔，所述两组旋转杆（11）一端分别穿过两组旋转孔并与两组方形限位块（9）连接，所述两组从动齿轮（12）分别安装在两组旋转杆（11）另一端，所述两组上连接杆（14）两端分别与两组主动齿轮（13）和两组上定位轮（15）连接，所述两组下连接杆两端分别与两组从动齿轮（12）和两组下定位轮连接，所述左固定板右侧壁和右固定板（16）左侧壁上半区域和下半区域分别设置有两组上定位槽和两组下定位槽，所述两组上定位轮（15）和两组下定位轮分别位于两组上定位槽和两组下定位槽内，所述两组传动链条（17）分别包裹在两组主动齿轮（13）和两组从动齿轮（12）外部，并且两组传动链条（17）分别与两组主动齿轮（13）和两组从动齿轮（12）啮合，所述取放箱（10）的进出口处可拆卸设置有挡盖（18）；所述连接板顶端与所述左支撑杆和右支撑杆连接，从而通过连接板的下放和上抬带动取放箱的下移和上移，实现晶圆一次性全部放入和取出。

2.如权利要求1所述的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，其特征在于，还包括两组左定位杆（19）、两组右定位杆、两组左支撑轴（20）、两组右支撑轴、两组左移动环（21）和两组右移动环，所述两组左支撑轴（20）和两组右支撑轴顶端分别与左固定板和右固定板（16）底部前半区域和后半区域连接，所述两组左移动环（21）和两组右移动环分别安装在两组左支撑轴（20）和两组右支撑轴底端，所述两组左定位杆（19）和两组右定位杆一端分别穿过两组左移动环（21）和两组右移动环并与两组支撑板（4）连接。

3.如权利要求2所述的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，其特征在于，还包括左滑板（22）和右滑板，所述左滑板（22）和右滑板分别安装在两组左定位杆（19）和两组右定位杆另一端。

4.如权利要求3所述的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，其特征在于，还包括两组前定位环（23）、两组后定位环、两组前拉绳（24）、两组后拉绳和两组下压板（25），所述两组前定位环（23）和两组后定位环分别安装在处理箱（1）底部前半区域和后半区域，所述两组前拉绳（24）和两组后拉绳底端分别与两组下压板（25）顶部连接，并且两组前拉绳（24）和两组后拉绳另一端分别穿过两组前定位环（23）和两组后定位环并与连接板（6）顶部前半区域和后半区域连接。

5.如权利要求4所述的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，其特征在于，还包括多组第一滚珠（26），所述左滑板（22）左侧壁和右滑板右侧壁上分别设置有多组第一弧形凹槽，所述多组第一滚珠（26）分别位于多组第一弧形凹槽内，并且多组第一滚珠（26）分别与处理箱（1）内左侧壁和内右侧壁接触。

6.如权利要求5所述的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，其特征在于，还包括多组第二滚珠（27），所述两组旋转孔处内侧壁上分别设置有多组第二弧形凹槽，所述多组第二滚珠（27）分别位于多组第二弧形凹槽内，并且多组第二滚珠（27）分别与两组旋转杆（11）外壁接触。

7.如权利要求6所述的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，其特征在于，还包括两组旋转把手（28）和弹性连接链（29），所述两组旋转把手（28）一端分别与两组主动齿轮（13）上半区域连接，并且两组旋转把手（28）另一端分别与弹性连接链（29）两端连接。

8.如权利要求7所述的一种用于晶圆流片制造的前处理装置，其特征在于，还包括两组前踏板（30）和两组后踏板，所述两组前踏板（30）和两组后踏板分别安装在两组下压板（25）顶部左半区域和右半区域。