CN109212891B - 光阀式掩膜板 - Google Patents

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Abstract

本揭示提供了一种光阀式掩膜板。光阀式掩膜板包括第一基板、第二基板、第一电极、第二电极以及光阀介质。第二基板与第一基板相对设置。第一电极设置于第一基板的下表面上。第一电极包括具有透射性的至少一第一子电极、具有透射性的至少一第二子电极和不具有透射性的至少一第三子电极。第二电极设置于第二基板的上表面上。第二电极与第一电极相对设置。光阀介质设置于第一电极与第二电极之间。本揭示能通过具有透射性的至少一第一子电极、具有透射性的至少一第二子电极和不具有透射性的至少一第三子电极，调整像素尺寸及控制分辨率，适用于各种具有不同像素设计的电子产品。

Description

光阀式掩膜板
【技术领域】
本揭示涉及掩膜曝光技术，特别涉及一种光阀式掩膜板。
【背景技术】
用于光刻技术的现有的掩膜板的开孔区域(子像素)分布、分辨率等均固定，对应不同设计、不同分辨率的产品需要多套掩膜板，因此现有的掩膜板的使用数量较多且无法调整像素尺寸及控制分辨率。
故，有需要提供一种光阀式掩膜板，以解决现有技术存在的问题，能调整像素尺寸及控制分辨率，适用于各种具有不同像素设计的电子产品。
【发明内容】
为解决上述技术问题，本揭示的一种目的在于提供一种一种光阀式掩膜板，其能通过具有透射性的至少一第一子电极、具有透射性的至少一第二子电极和不具有透射性的至少一第三子电极，调整像素尺寸及控制分辨率，适用于各种具有不同像素设计的电子产品。
为达成上述目的，本揭示提供一光阀式掩膜板包括第一基板、第二基板、第一电极、第二电极以及光阀介质。所述第二基板与所述第一基板相对设置。所述第一电极设置于所述第一基板的下表面上。所述第一电极包括具有透射性的至少一第一子电极、具有透射性的至少一第二子电极和不具有透射性的至少一第三子电极。所述第二电极设置于所述第二基板的上表面上。所述第二电极与所述第一电极相对设置。所述光阀介质设置于所述第一电极与所述第二电极之间。
于本揭示其中的一实施例中，对所述至少一第一子电极和所述至少一第二子电极施加电压以使所述至少一第一子电极和所述至少一第二子电极具有透射性，对所述至少一第三子电极不施加电压以使所述至少一第三子电极不具有透射性。
于本揭示其中的一实施例中，所述至少一第三子电极设置于所述至少一第一子电极和至少一第二子电极之间。
于本揭示其中的一实施例中，所述至少一第一子电极构成的第一像素的面积与所述至少一第二子电极构成的第二像素的面积不同。
于本揭示其中的一实施例中，所述至少一第一子电极构成的第一像素的面积大于所述至少一第二子电极构成的第二像素的面积。
于本揭示其中的一实施例中，所述至少一第一子电极构成的第一像素的面积是所述至少一第二子电极构成的第二像素的面积的2倍。
于本揭示其中的一实施例中，所述至少一第一子电极的尺寸、所述至少一第二子电极的尺寸和所述至少一第三子电极的尺寸均相同。
于本揭示其中的一实施例中，所述至少一第一子电极的数量为一个，所述至少一第二子电极的数量为二个，所述至少一第三子电极的数量为七个。
于本揭示其中的一实施例中，所述第二电极为公共电极。
于本揭示其中的一实施例中，所述光阀式掩膜板还包括第一偏振器件和第二偏振器件，所述第一偏振器件设置于所述第一基板的上表面上，所述第二偏振器件设置于所述第二基板的下表面上。
由于本揭示的实施例中的光阀式掩膜板，通过具有透射性的至少一第一子电极、具有透射性的至少一第二子电极和不具有透射性的至少一第三子电极，调整像素尺寸及控制分辨率，适用于各种具有不同像素设计的电子产品。
为让本揭示的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：
【附图说明】
图1显示根据本揭示的一实施例的光阀式掩膜板的结构示意图；以及
图2显示根据本揭示的一实施例的光阀式掩膜板的结构示意图。
【具体实施方式】
为了让本揭示的上述及其他目的、特征、优点能更明显易懂，下文将特举本揭示优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。再者，本揭示所提到的方向用语，例如上、下、顶、底、前、后、左、右、内、外、侧层、周围、中央、水平、横向、垂直、纵向、轴向、径向、最上层或最下层等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本揭示，而非用以限制本揭示。
在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。
参照图1，图1显示根据本揭示的一实施例的光阀式掩膜板的结构示意图。如图1所示，本揭示的实施例的光阀式掩膜板10包括第一基板100、第二基板200、第一电极300、第二电极400以及光阀介质500。第二基板200与第一基板100相对设置。第一电极300设置于第一基板100的下表面上。第一电极300包括具有透射性的至少一第一子电极310、具有透射性的至少一第二子电极320和不具有透射性的至少一第三子电极330。第二电极400设置于第二基板200的上表面上。第二电极400与第一电极300相对设置。光阀介质500设置于第一电极300与第二电极400之间。本揭示的实施例中的光阀式掩膜板10，通过具有透射性的至少一第一子电极310、具有透射性的至少一第二子电极320和不具有透射性的至少一第三子电极330，调整像素尺寸及控制分辨率，适用于各种具有不同像素设计的电子产品。
具体地，在第一电极300和第二电极400之间施加电场，使得相应区域的光阀介质500对入射光30发生偏振方向的改变，入射光30选择性透过光阀介质500。光阀介质500例如为液晶。第二电极例如为公共电极。
具体地，可在至少一第一子电极310，至少一第二子电极320，至少一第三子电极330之间选择性施加电压，例如对至少一第一子电极310和至少一第二子电极320施加电压以使至少一第一子电极310和至少一第二子电极320具有透射性，对至少一第三子电极330不施加电压以使至少一第三子电极330不具有透射性。至少一第三子电极330例如设置于至少一第一子电极310和至少一第二子电极320之间。因此可通过控制施加电压的区域，控制分辨率。
于本揭示其中的一实施例中，至少一第一子电极310构成的第一像素的面积与至少一第二子电极320构成的第二像素的面积不同。至少一第一子电极310构成的第一像素的面积例如大于至少一第二子电极320构成的第二像素的面积。具体地，至少一第一子电极310构成的第一像素的面积是至少一第二子电极320构成的第二像素的面积的2倍。至少一第一子电极310的尺寸、至少一第二子电极320的尺寸和至少一第三子电极330的尺寸均相同，例如其尺寸的长度及宽度均为5um。
参照图2，图2显示根据本揭示的一实施例的光阀式掩膜板的结构示意图。本揭示的实施例的光阀式掩膜板20的结构及作用方式与图1的光阀式掩膜板10的结构及作用方式相似，主要差异在于本揭示的实施例的光阀式掩膜板20还包括第一偏振器件600和第二偏振器件700。第一偏振器件600设置于第一基板100的上表面上，第二偏振器件700设置于第二基板200的下表面上。具体地，在第一电极300和第二电极400之间施加电场，使得相应区域的光阀介质500对入射光30发生偏振方向的改变，入射光30选择性透过光阀介质500，并在第一偏振器件600和第二偏振器件700的共同作用下，用于提高光阀式掩膜板对入射光30的利用率。
另外，本揭示的实施例的光阀式掩膜板20还包括第三基板800和薄膜900。薄膜900设置于第三基板800上。入射光30通过至少一第一子电极310和至少一第二子电极320，到达第三基板800上的薄膜900或第三基板800的表面。本揭示的实施例的光阀式掩膜板20还驱动电路(未图示)，用于控制第一电极300和第二电极400的电压，以控制光阀式掩膜板10的入射光30通过强度。
综上所述，由于本揭示的实施例中的光阀式掩膜板，通过具有透射性的至少一第一子电极、具有透射性的至少一第二子电极和不具有透射性的至少一第三子电极，调整像素尺寸及控制分辨率，适用于各种具有不同像素设计的电子产品。本揭示的实施例中的光阀式掩膜板能可通过控制施加电压的区域，控制分辨率，能应用在微型掩膜板领域，且比传统涂层式掩膜板的使用数量大幅降低。
尽管已经相对于一个或多个实现方式示出并描述了本揭示，但是本领域技术人员基于对本说明书和附图的阅读和理解将会想到等价变型和修改。本揭示包括所有这样的修改和变型，并且仅由所附权利要求的范围限制。特别地关于由上述组件执行的各种功能，用于描述这样的组件的术语旨在对应于执行所述组件的指定功能(例如其在功能上是等价的)的任意组件(除非另外指示)，即使在结构上与执行本文所示的本说明书的示范性实现方式中的功能的公开结构不等同。此外，尽管本说明书的特定特征已经相对于若干实现方式中的仅一个被公开，但是这种特征可以与如可以对给定或特定应用而言是期望和有利的其他实现方式的一个或多个其他特征组合。而且，就术语“包括”、“具有”、“含有”或其变形被用在具体实施方式或权利要求中而言，这样的术语旨在以与术语“包含”相似的方式包括。
以上仅是本揭示的优选实施方式，应当指出，对于本领域普通技术人员，在不脱离本揭示原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本揭示的保护范围。

Claims (9)

1.一种光阀式掩膜板，其特征在于，所述光阀式掩膜板包括：
第一基板；
第二基板，与所述第一基板相对设置；
第一电极，设置于所述第一基板的下表面上，所述第一电极包括具有透射性的至少一第一子电极、具有透射性的至少一第二子电极和不具有透射性的至少一第三子电极；
第二电极，设置于所述第二基板的上表面上，所述第二电极与所述第一电极相对设置；以及
光阀介质，设置于所述第一电极与所述第二电极之间；
其中所述至少一第一子电极构成的第一像素的面积与所述至少一第二子电极构成的第二像素的面积不同。
2.根据权利要求1所述的光阀式掩膜板，其特征在于，对所述至少一第一子电极和所述至少一第二子电极施加电压以使所述至少一第一子电极和所述至少一第二子电极具有透射性，对所述至少一第三子电极不施加电压以使所述至少一第三子电极不具有透射性。
3.根据权利要求1所述的光阀式掩膜板，其特征在于，所述至少一第三子电极设置于所述至少一第一子电极和至少一第二子电极之间。
4.根据权利要求1所述的光阀式掩膜板，其特征在于，所述至少一第一子电极构成的第一像素的面积大于所述至少一第二子电极构成的第二像素的面积。
5.根据权利要求4所述的光阀式掩膜板，其特征在于，所述至少一第一子电极构成的第一像素的面积是所述至少一第二子电极构成的第二像素的面积的2倍。
6.根据权利要求1所述的光阀式掩膜板，其特征在于，所述至少一第一子电极的尺寸、所述至少一第二子电极的尺寸和所述至少一第三子电极的尺寸均相同。
7.根据权利要求1所述的光阀式掩膜板，其特征在于，所述至少一第一子电极的数量为一个，所述至少一第二子电极的数量为二个，所述至少一第三子电极的数量为七个。
8.根据权利要求1所述的光阀式掩膜板，其特征在于，所述第二电极为公共电极。
9.根据权利要求1所述的光阀式掩膜板，其特征在于，所述光阀式掩膜板还包括第一偏振器件和第二偏振器件，所述第一偏振器件设置于所述第一基板的上表面上，所述第二偏振器件设置于所述第二基板的下表面上。
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