CN109163749B - 一种非平衡光纤m-z干涉仪、其调节平台和制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明为一种非平衡光纤M‑Z干涉仪、其调节平台和制作方法，所述干涉仪包括分光调相装置、3dB光纤耦合器和臂长差调节件各一。臂长差调节件为两个光纤准直器分别插在套管两端并与之固接，调节两个光纤准直器相对端面的间距，即可调节该臂的长度。调节平台有三个光学微调架，分别固定套管和2个准直器，微调架调节二个准直器相对端面的间距，精确调节臂长差。干涉仪的制作方法，采用本调节平台，干涉仪的臂长差调节件安装于调节平台，输入端、调制端和输出端分别连接宽谱光源、信号发生器、光探测器和示波器。先得等臂长点，再达设计臂长差。本发明精确控制M‑Z干涉仪的臂长差达微米量级，制作方法易掌握，大大降低M‑Z干涉仪的成本。
Description
技术领域
本发明涉及一种非平衡光纤M－Z干涉仪的结构和制作技术，具体涉及一种非平衡光纤M-Z干涉仪、其调节平台和制作方法。
背景技术
波长调制型光纤传感器的波长解调方法有：边缘滤波法、F-P滤波法、匹配光栅法、波长扫描法等等，这些方法的波长分辨率约为0.1pm，要达到更高的分辨率，必须采用干涉式解调法。
干涉式解调法所需设备中必不可少的是非平衡光纤马赫-曾德(Mach-Zehnder)干涉仪，简称为非平衡光纤M-Z干涉仪。它与普通Mach-Zehnder干涉仪的区别在于：干涉仪的两臂长度不同，存在一定的长度差。臂长差的存在使得从干涉仪始端分开的两个光束到达干涉仪末端的时刻不同，即有一定的时间差。这样，在干涉仪末端进行干涉的两束光为分别来自同一光源的不同时刻的光。
M-Z干涉仪的光强输出为：
I＝A{1+Kcos[φ(λ)+φ(0)]} (1)
式中，A为干涉后光强的直流分量，K为干涉因子，φ(0)为干涉仪固有相位差，φ(λ)为干涉仪两臂的相位差：
φ(λ)＝2πnd/λB (2)
式中n为光纤折射率，d为两臂长度差，λB为光波长。
当光波长λB发生微小变化ΔλB时,相应的相位变化量为
从上式可以看出：当输入干涉仪的波长发生变化时，会引起非平衡光纤干涉仪内相位差的变化，根据公式(1)可知，干涉仪的输出光强也会发生变化。且非平衡光纤干涉仪的臂长差越大，相位变化量也变大。但是，当臂长差大于光源的相干长度时，不能形成稳定的干涉效果。
光相干长度与光源的谱线宽之间的关系如下式所示
式中λ0为光中心波长，Δλ为谱线宽，对于一般的布拉格光纤光栅(FBG)，它的反射波长宽度(FWHM)约为0.2nm，假设中心波长为1550nm，则由式(4)可计算出相干长度约为12mm。
因此制作非平衡光纤Mach-Zehnder干涉仪时，必须准确控制臂长差，这是决定非平衡光纤Mach-Zehnder干涉仪是否成功的关键。
目前，非平衡光纤Mach-Zehnder干涉仪的制作方法有两种：
一种方法是预先计算出各光器件用于连接的尾纤长度，切割后用光纤熔解机进行熔接。虽然计算的长度是精确的，但是光纤的切割与熔解过程中都可能造成偏差，光纤长度难以保证精确，因此用该方法制作的非平衡光纤Mach-Zehnder干涉仪的臂长差的精度只能达到在几毫米左右，无法进一步精确控制，并且光纤熔接后长度不可调节，实用性差。
另一种方法是在Mach-Zehnder干涉仪的一臂上串入可调光纤延迟线，实现对光程的调节，从而达到需要的光程差。这种方法可以精确控制臂长差，但是考虑到光纤延迟线的体积与成本，该方法的实用性也不高。
发明内容
本发明的目的是提供一种非平衡光纤M-Z干涉仪，包括一个分光调相装置、一个3dB光纤耦合器和一个臂长差调节件，分光调相装置为Y波导或由一个分光3dB光纤耦合器及一个光纤相位调制器组成。分出两光束，其一直接与3dB光纤耦合器的一个输入端连接，构成M-Z干涉仪的一臂，另一经臂长差调节件连接3dB光纤耦合器的另一输入端，构成M-Z干涉仪的另一臂。3dB光纤耦合器的输出端为本M-Z干涉仪的输出端。所述臂长差调节件为两个光纤准直器分别插在套管两端并与套管固定连接，调节两个光纤准直器相对端面的间距，即可调节该臂的长度，干涉仪的臂长差可精确控制。
本发明的另一目的是提供一种非平衡光纤M-Z干涉仪的调节平台，包含有三个光学微调架，其中一个为套管支架，其上安装可上下移动的套管夹具，另外两个为准直器支架，位于套管支架两侧，可上下移动的水平调节架上安装可控制水平位移量的准直器夹具，该夹具上的调节旋钮精确调节水平位移量，即调节二个准直器相对端面的间距，从而精确调节臂长差。
本发明的再一目的是提供一种非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法，采用本发明的非平衡光纤M-Z干涉仪的调节平台，待调节的非平衡光纤M-Z干涉仪的臂长差调节件安装于调节平台，分光调相装置的输入光纤连接宽谱光源，分光调相装置的调制端连接信号发生器。分光调相装置、3dB光纤耦合器及臂长差调节件的2个光纤准直器的尾端分别一一连接。3dB光纤耦合器的输出光纤接光探测器转换成电信号后接入示波器。开启各仪器并调节。调节2个准直器的间距，直至示波器上出现稳定的、与信号发生器的信号同频率的周期信号曲线，此时干涉仪的二臂长相等。继续用调节旋钮增或减此臂长度，达到设计的臂长差。光纤准直器外壳和套管固定连接，得到精确控制臂长差的非平衡光纤M-Z干涉仪。
本发明设计的一种非平衡光纤M-Z干涉仪包括一个分光调相装置、一个3dB光纤耦合器和一个臂长差调节件。3dB光纤耦合器对输入光合光，其输出光纤为本M-Z干涉仪的输出端。
所述分光调相装置为一个集成光学器件Y波导或者由一个分光3dB光纤耦合器及一个光纤相位调制器组成。
当分光调相装置为Y波导，Y波导的输入光纤为本M-Z干涉仪的输入端，Y波导对输入光进行分光与相位调制。Y波导的一根输出光纤直接与3dB光纤耦合器的一根输入光纤连接，构成M-Z干涉仪的一臂，Y波导的另一输出光纤经臂长差调节件连接3dB光纤耦合器的另一输入光纤，构成M-Z干涉仪的另一臂。
当分光调相装置为一个前3dB光纤耦合器及光纤相位调制器时，前3dB光纤耦合器的输入光纤为本M-Z干涉仪的输入端，对输入光进行分光，前3dB光纤耦合器的一根输出光纤经光纤相位调制器连接3dB光纤耦合器的一根输入光纤，构成M-Z干涉仪的一臂，光纤相位调制器对此路光信号进行相位调制；前3dB光纤耦合器的另一根输出光纤经臂长差调节件连接3dB光纤耦合器的另一输入光纤，构成本M-Z干涉仪的另一臂。3dB光纤耦合器对输入光合光，其输出光纤为本M-Z干涉仪的输出端。
所述臂长差调节件包括两个光纤准直器及与其相匹配的套管，两个光纤准直器分别插在该套管两端并与套管固定连接，两个光纤准直器的中心线与套管的中心线相重合，所述套管内径等于光纤准直器外径，二者固定连接。两个光纤准直器之间的距离属于该臂长度的一部分，故调节两个光纤准直器相对端面的间距，即可调节该臂的长度。
所述两个光纤准直器相同。
所述套管为金属套管，臂长差调节件调节后确定的臂长差不易受振动和温度影响，稳定性和可靠性高。
所述光纤准直器外壳与金属套管焊接固定。
所述两个光纤准直器相对端面的间距为3mm～30mm，为臂长差调节件的有效调节范围。
所述两个光纤准直器插入套管的部分占光纤准直器全长的1/3至2/3。
本发明设计的一种非平衡光纤M-Z干涉仪的调节平台包括三个光学微调架，其中一个光学微调架为套管支架，其支柱上安装可上下移动的套管夹具，套管夹具夹持的套管中心线为水平；另外两个光学微调架为准直器支架，位于套管支架两侧，均包括准直器夹具和水平调节架，准直器支架的竖柱上安装可上下移动的水平调节架，水平调节架上安装可水平移动的准直器夹具，准直器夹具与水平调节架一端的调节旋钮连接，调节旋钮转动角度决定准直器夹具水平位移距离，故可精确调节准直器夹具的水平位移。
两个光纤准直器的前端分别插入套管支架上的套管两端，两个准直器支架上的准直器夹具分别夹持一个光纤准直器的尾端，用水平调节架的调节旋钮调节准直器夹具的水平移动，即调节两准直器相对端面的间距。
所述光学微调架的调节精度等于或高于10微米。
本发明设计的一种非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法使用上述本发明设计的一种非平衡光纤M-Z干涉仪的调节平台；待调节的非平衡光纤M-Z干涉仪包括一个分光调相装置、一个3dB光纤耦合器和一个臂长差调节件，所述臂长差调节件的两个光纤准直器分别插在套管两端，两个光纤准直器的中心线与套管的中心线相重合；本方法的主要步骤如下：
步骤Ⅰ、臂长差调节件安装于调节平台
将臂长差调节件安装于所述调节平台，套管支架上的套管夹具夹持套管，两个光纤准直器的前端分别插入该套管两端，两个准直器支架上的准直器夹具分别夹持一个光纤准直器的尾端，调节三个光学微调架上套管夹具和2个准直器夹具的高度，使套管和两个光纤准直器中心线重合且处于水平；
步骤Ⅱ、M-Z干涉仪的光纤连接及与调节仪器的连接
对于M-Z干涉仪两臂光纤的截取要尽量减小臂长，因为臂越长，M-Z干涉仪就越容易受外界干扰影响；另外截取后的光纤长度要能满足光纤熔接机的操作要求。
当分光调相装置为Y波导时，对Y波导的输出光纤、3dB光纤耦合器的输入光纤、光纤准直器的尾端光纤进行截取。
Y波导的1根输出光纤、3dB光纤耦合器的1根输入光纤以及2个光纤准直器的尾端截留的长度为20cm～21cm，此4段光纤的长度总和为A；Y波导的另1根输出光纤和3dB光纤耦合器的另1根输入光纤截留的长度为40cm以上，此2段光纤的长度和为A cm+(2～3)cm，以便后续的操作中通过臂长差调节件进行调整。
Y波导的1根较短的输出光纤和3dB光纤耦合器的1根较短的输入光纤分别与臂长差调节件的1个光纤准直器的尾端熔接。Y波导的另1根输出光纤和3dB光纤耦合器的另1根较长的输入光纤熔接。
Y波导的输入光纤连接宽谱光源，Y波导的调制端经信号线连接信号发生器。
当分光调相装置为一个前3dB光纤耦合器及光纤相位调制器时，对前3dB光纤耦合器的输出光纤、光纤相位调制器的输入和输出光纤、3dB光纤耦合器的输入光纤、光纤准直器的尾端光纤进行截取。
前3dB光纤耦合器的1根输出光纤、3dB光纤耦合器的1根输入光纤以及2个光纤准直器的尾端截留的长度为20cm～21cm，此4段光纤的长度总和为A；前3dB光纤耦合器的1根输出光纤和3dB光纤耦合器的1根输入光纤分别与臂长差调节件的1个2个光纤准直器的尾端熔接。
前3dB光纤耦合器的另1根输出光纤、光纤相位调制器的输入和输出光纤以及3dB光纤耦合器的另1根输入光纤截留的长度为20.5cm～21.5cm，此4段光纤的长度和为B，B－A＝(2～3)cm；前3dB光纤耦合器的另1根输出光纤和3dB光纤耦合器的另1根输入光纤分别与光纤相位调制器的输入和输出光纤熔接。
前3dB光纤耦合器的输入光纤连接宽谱光源，光纤相位调制器的调制端经信号线连接信号发生器。
所述宽谱光源为放大自发辐射ASE光源或超辐射发光二极管SLD光源，谱线宽等于或大于40nm。当M-Z干涉仪使用的宽谱光源在中心波长1550nm、谱线宽40nm，中心波长1550nm，根据公式(4)计算可知，相干长度约为60μm，如果谱线宽更宽，则相干长度会更短，非平衡干涉仪的臂长差控制精度更高。即当M-Z干涉仪臂长差在相干长度内时形成稳定干涉。信号发生器输出的周期电信号加载到分光调相装置上，在M-Z干涉仪内形成稳定的周期性相位调制，在干涉仪输出端产生同周期的干涉信号，在示波器上显示。
3dB光纤耦合器的输出光纤，即干涉仪的输出端，经光纤接入光探测器，所得电信号经信号线接入示波器。
步骤Ⅲ、仪器调节
开启宽谱光源、信号发生器和光探测器。
调节信号发生器的输出周期信号，使其周期信号的频率处于所用分光调相装置和示波器的工作频率范围内；调节信号发生器的输出电压为Y波导或光纤相位调制器半波电压的1倍到2倍之间。
将示波器的垂直输入耦合方式设置为“AC耦合”，根据光探测器的输出电压参数调节示波器的垂直电压量程；根据信号发生器发出的周期信号的频率调节示波器的水平扫描时间，示波器的触发同步方式设为自动。
步骤Ⅳ、寻找等臂长点
调节2个准直器支架上水平调节架的调节旋钮，调节准直器夹具在水平调节架上的位置，即调节2个准直器端面的间距，至示波器上出现稳定的与信号发生器的周期信号同频的周期曲线，此时干涉仪的二臂长相等。
步骤Ⅴ、调节干涉仪的臂长差
继续调节水平调节架的调节旋钮，即调节2个光纤准直器相对端面的间距，在臂长差调节件的有效调节范围内增或减此臂长度，达到设计的臂长差。
步骤Ⅵ、固定准直器和套管
光纤准直器外壳和套管固定连接，得到精确控制臂长差的非平衡光纤M-Z干涉仪。
待调节的非平衡光纤M-Z干涉仪臂长差调节件的套管为金属套管，步骤Ⅵ中光纤准直器外壳和套管焊接固定，具有更好的温度稳定性。
与现有技术相比，本发明一种非平衡光纤M-Z干涉仪的优点是：1、臂长差可精确控制到微米级；2、成本显著降低，只需要2个光纤准直器和套管构成的臂长差调节件，总价低于400元人民币，而手动光纤延迟线价格在1000元人民币以上，电动光纤延迟线为4000元人民币以上；3、臂长差调节范围最大可达30mm，若等臂长点正好处于2个准直器端面间距的中点，也可以实现0～15mm的臂长差精确控制，已经完全满足光纤布拉格光栅FBG(FiberBragg Grating)波长解调的需要；如果需要更大的臂长差，可以采用工作距离更长的光纤准直器，只是成本会相应提高；4、与采用光纤延迟线的非平衡光纤M-Z干涉仪相比，二者的臂长差控制精度相近，都在数十微米之内，但本发明干涉仪的成本降低数倍至十倍，此外，本发明的干涉仪的体积缩小，重量减轻。
与现有技术相比，本发明一种非平衡光纤M-Z干涉仪的调节平台和制作方法的优点是：1、可精确控制非平衡光纤M-Z干涉仪的臂长差，基于寻找宽谱光源的稳定干涉图像，非常精确地找到干涉仪的等臂长点，再通过光学微调架的微米量级的调节精度，即实现对M-Z干涉仪臂长差的微米级控制；2、调节平台结构简单，制作方法易掌握，只要完成光纤熔接就能成功制作出高精度非平衡光纤M-Z干涉仪，大大降低非平衡光纤M-Z干涉仪的成本。
附图说明
图1为本非平衡光纤M-Z干涉仪实施例1的结构示意图；
图2为图1中的臂长差调节件剖面示意图；
图3为本非平衡光纤M-Z干涉仪实施例2的结构示意图；
图4为本非平衡光纤M-Z干涉仪的调节平台实施例结构示意图；
图5为本非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法实施例一步骤Ⅱ中M-Z干涉仪与调节仪器的连接示意图；
图6为本非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法实施例二步骤Ⅱ中M-Z干涉仪与调节仪器的连接示意图。
图中标号：
1、Y波导，2、臂长差调节件，21、光纤准直器，22、套管，3、3dB光纤耦合器，4、前3dB光纤耦合器，5、光纤相位调制器，6、准直器支架，61、准直器夹具，62、水平调节架，63、调节旋钮，7、套管支架，71、套管夹具，8、宽谱光源，9、信号发生器，10、光探测器，11、示波器。
具体实施方式
以下结合实施例和附图对本发明进一步详细说明。
非平衡光纤M-Z干涉仪实施例1
本非平衡光纤M-Z干涉仪实施例1如图1所示，包括一个集成光学器件Y波导作为分光调相装置、一个3dB光纤耦合器和一个臂长差调节件。Y波导的输入光纤为本M-Z干涉仪的输入端，Y波导对输入光进行分光与相位调制。Y波导的一根输出光纤直接与3dB光纤耦合器的一个输入光纤连接，构成M-Z干涉仪的一臂，Y波导的另一输出光纤经臂长差调节件连接3dB光纤耦合器的另一输入光纤，构成M-Z干涉仪的另一臂。3dB光纤耦合器对输入光合光，其输出光纤为本M-Z干涉仪的输出端。
本例臂长差调节件如图2所示，包括两个相同的光纤准直器及与其相匹配的套管，本例套管为金属套管。两个光纤准直器分别插在该套管两端，插入套管的部分占光纤准直器全长的1/3至2/3，光纤准直器外壳与套管焊接固定，两个光纤准直器的中心线与套管的中心线相重合，本例套管内径等于光纤准直器外径，二者固定连接。两个光纤准直器之间的距离为3mm～30mm属于该臂长度的一部分，故调节两个光纤准直器相对端面的间距，即可调节该臂的长度。
非平衡光纤M-Z干涉仪实施例2
本非平衡光纤M-Z干涉仪实施例2如图3所示，1个前3dB光纤耦合器和光纤相位调制器作为分光调相装置，还有与实施例1相同的3dB光纤耦合器和臂长差调节件各一个。
前3dB光纤耦合器的输入光纤为本M-Z干涉仪的输入端，对输入光进行分光，前3dB光纤耦合器的一根输出光纤经光纤相位调制器连接3dB光纤耦合器的一根输入光纤，构成M-Z干涉仪的一臂，光纤相位调制器对此路光信号进行相位调制；前3dB光纤耦合器的另一根输出光纤经臂长差调节件连接3dB光纤耦合器的另一输入光纤，构成本M-Z干涉仪的另一臂。3dB光纤耦合器对输入光合光，其输出光纤为本M-Z干涉仪的输出端。
本例的前3dB光纤耦合器与3dB光纤耦合器的结构和规格相同。
本例中所用的光纤相位调制器为PZT光纤相位调制器，PZT压电陶瓷具有的压电特性，使得陶瓷在加载电压时会产生相应的位移形变。将需要调制的光纤缠绕数圈在筒状压电陶瓷上，压电陶瓷的位移形变造成缠绕其上的光纤产生长度变化，实现相位调制。光纤缠绕的圈数与半波电压由压电陶瓷的驱动电压与标称位移两个参数确定。例如，对于一个驱动电压150V，径向标称移位10μm(对应外周期长变化为3.14*10＝31.4μm)的筒状压电陶瓷，在5V电压驱动下，光纤缠绕一圈约产生1μm的长度变化。如果光波长为1.55μm，若光纤缠绕1圈，对应的半波电压约为3.9V。
本例的臂长差调节件与实施例1相同。
非平衡光纤M-Z干涉仪的调节平台实施例
本非平衡光纤M-Z干涉仪的调节平台如图4所示，包括三个光学微调架，其中一个光学微调架为套管支架，其支柱上安装可上下移动的套管夹具，套管夹具夹持的套管中心线为水平；另外两个光学微调架为准直器支架，位于套管支架两侧，均包括准直器夹具和水平调节架，准直器支架的竖柱上安装可上下移动的水平调节架，水平调节架上安装可水平移动的准直器夹具，准直器夹具与水平调节架一端的调节旋钮连接，调节旋钮转动角度决定准直器夹具水平位移距离，故可精确调节准直器夹具的水平位移。
本例光学微调架的调节精度等于10微米。
非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法实施例一
本非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法实施例使用上述非平衡光纤M-Z干涉仪的调节平台实施例；待调节的非平衡光纤M-Z干涉仪包括一个集成光学器件Y波导、一个3dB光纤耦合器和一个臂长差调节件，所述臂长差调节件的两个光纤准直器分别插在套管两端，两个光纤准直器的中心线与套管的中心线相重合；即本方法制作的非平衡光纤M-Z干涉仪为上述非平衡光纤M-Z干涉仪实施例，本方法实施例一的主要步骤如下：
步骤Ⅰ、臂长差调节件安装于调节平台
将臂长差调节件安装于上述调节平台实施例，套管支架上的套管夹具夹持套管，两个光纤准直器的前端分别插入该套管两端，两个准直器支架上的准直器夹具分别夹持一个光纤准直器的尾端，调节三个光学微调架上套管夹具和2个准直器夹具的高度，使套管和两个光纤准直器中心线重合且处于水平；
步骤Ⅱ、M-Z干涉仪的光纤连接及与调节仪器的连接
对Y波导的输出光纤、3dB光纤耦合器的输入光纤、光纤准直器的尾端光纤进行截取。截取时尽量减小干涉仪的臂长，因为臂越长，干涉仪就越容易受外界干扰影响；另外截取后的光纤长度要能满足光纤熔接机的操作要求。
Y波导的1根输出光纤、3dB光纤耦合器的1根输入光纤1及2个光纤准直器的尾端截留的长度均为20.5cm，即此4段光纤的长度总和为A＝82cm；Y波导的另1根输出光纤和3dB光纤耦合器的另1根输入光纤截留的长度为42cm，此2段光纤的长度和为84cm。
Y波导的1根20.5cm的输出光纤和3dB光纤耦合器的1根20.5cm的输入光纤分别与臂长差调节件的1个光纤准直器的尾端熔接。Y波导的另1根输出光纤和3dB光纤耦合器的另1根较长的输入光纤熔接，
Y波导的输入光纤连接宽谱光源，Y波导的调制端经信号线连接信号发生器。
3dB光纤耦合器的输出光纤，即干涉仪的输出光纤接入光探测器，所得电信号经信号线接入示波器。
M-Z干涉仪与调节仪器的连接如图5所示。
步骤Ⅲ、仪器调节
开启宽谱光源、信号发生器和光探测器。
调节信号发生器的输出周期信号，使其周期信号的频率处于所用Y波导和示波器的工作频率范围内；调节信号发生器的输出电压为Y波导半波电压的1.5倍。
将示波器的垂直输入耦合方式设置为“AC耦合”，根据光探测器的输出电压参数调节示波器的垂直电压量程；根据信号发生器的发出的周期信号的频率调节示波器的水平扫描时间。例如信号周期频率为1kHz，对应一个信号周期时长为1ms，将示波器水平扫描时间调节为1ms/div。示波器的触发同步方式设为自动。
步骤Ⅳ、寻找等臂长点
调节2个准直器支架上水平调节架的调节旋钮，调节准直器夹具在水平调节架上的位置，即调节2个准直器端面的间距，至示波器上出现稳定的与信号发生器的周期信号同频的周期曲线，此时干涉仪的二臂长相等。
步骤Ⅴ、调节干涉仪的臂长差
继续调节水平调节架的调节旋钮，即调节2个光纤准直器相对端面的间距，在臂长差调节件的有效调节范围内增或减此臂长度，达到设计的臂长差。
步骤Ⅵ、固定准直器和套管
光纤准直器外壳和套管焊接固定，得到精确控制臂长差的非平衡光纤M-Z干涉仪。
非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法实施例二
本非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法实施例二使用上述非平衡光纤M-Z干涉仪的调节平台实施例；待调节的非平衡光纤M-Z干涉仪的分光调相装置为一个前3dB光纤耦合器及光纤相位调制器，还有与实施例1相同的一个3dB光纤耦合器和一个臂长差调节件。本例臂长差调节件的两个光纤准直器分别插在套管两端，两个光纤准直器的中心线与套管的中心线相重合；即本方法制作的非平衡光纤M-Z干涉仪为上述非平衡光纤M-Z干涉仪实施例2，本方法实施例二的主要步骤如下：
步骤Ⅰ、臂长差调节件安装于调节平台
与上述方法实施例一相同。
步骤Ⅱ、M-Z干涉仪的光纤连接及与调节仪器的连接
对前3dB光纤耦合器的输出光纤、光纤相位调制器的输入和输出光纤、3dB光纤耦合器的输入光纤、光纤准直器的尾端光纤进行截取。
前3dB光纤耦合器的1根输出光纤、3dB光纤耦合器的1根输入光纤以及2个光纤准直器的尾端截留的长度为20.5cm，此4段光纤的长度总和为A＝82cm；前3dB光纤耦合器的1根输出光纤和3dB光纤耦合器的1根输入光纤分别与臂长差调节件的1个2个光纤准直器的尾端熔接。
前3dB光纤耦合器的另1根输出光纤、光纤相位调制器的输入和输出光纤以及3dB光纤耦合器的另1根输入光纤截留的长度为21cm，此4段光纤的长度和为B＝84cm；前3dB光纤耦合器的另1根输出光纤和3dB光纤耦合器的另1根输入光纤分别与光纤相位调制器的输入和输出光纤熔接。
前3dB光纤耦合器的输入光纤连接宽谱光源，光纤相位调制器的调制端经信号线连接信号发生器。
3dB光纤耦合器的输出光纤，即干涉仪的输出端，经光纤接入光探测器，所得电信号经信号线接入示波器。
步骤Ⅲ、仪器调节
开启宽谱光源、信号发生器和光探测器。
调节信号发生器的输出周期信号，使其周期信号的频率处于所用Y波导和示波器的工作频率范围内；调节信号发生器的输出电压为PZT光纤相位调制器半波电压的1倍与2倍之间。
本步骤示波器的调节与实施例一相同。
步骤Ⅳ、Ⅴ和Ⅵ与上述方法实施例一相同。
上述实施例，仅为对本发明的目的、技术方案和有益效果进一步详细说明的具体个例，本发明并非限定于此。凡在本发明的公开的范围之内所做的任何修改、等同替换、改进等，均包含在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法，所述非平衡光纤M-Z干涉仪包括一个分光调相装置、一个3dB光纤耦合器和一个臂长差调节件；3dB光纤耦合器对输入光合光，其输出光纤为本M-Z干涉仪的输出端；所述分光调相装置为一个集成光学器件Y波导或者由一个分光3dB光纤耦合器及一个光纤相位调制器组成；
当分光调相装置为Y波导，Y波导的输入光纤为本M-Z干涉仪的输入端，Y波导对输入光进行分光与相位调制；Y波导的一根输出光纤直接与3dB光纤耦合器的一个输入光纤连接，构成M-Z干涉仪的一臂，Y波导的另一输出光纤经臂长差调节件连接3dB光纤耦合器的另一输入光纤，构成M-Z干涉仪的另一臂；
当分光调相装置为一个前3dB光纤耦合器及光纤相位调制器，前3dB光纤耦合器的输入光纤为本M-Z干涉仪的输入端，对输入光进行分光，前3dB光纤耦合器的一根输出光纤经光纤相位调制器连接3dB光纤耦合器的一根输入光纤，构成M-Z干涉仪的一臂，光纤相位调制器对此路光信号进行相位调制；前3dB光纤耦合器的另一根输出光纤经臂长差调节件连接3dB光纤耦合器的另一输入光纤，构成本M-Z干涉仪的另一臂；
所述臂长差调节件包括两个光纤准直器及与其相匹配的套管，两个光纤准直器分别插在该套管两端并与套管固定连接，两个光纤准直器的中心线与套管的中心线相重合，所述套管内径等于光纤准直器外径，二者固定连接；
所用的非平衡光纤M-Z干涉仪的调节平台，包括三个光学微调架，其中一个光学微调架为套管支架，其支柱上安装可上下移动的套管夹具，套管夹具夹持的套管中心线为水平；另外两个光学微调架为准直器支架，位于套管支架两侧，均包括准直器夹具和水平调节架，准直器支架的竖柱上安装可上下移动的水平调节架，水平调节架上安装可水平移动的准直器夹具，准直器夹具与水平调节架一端的调节钮相连接，调节旋钮转动角度决定准直器夹具水平位移距离；
所述非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法的特征在于：
待调节的非平衡光纤M-Z干涉仪的臂长差调节件的两个光纤准直器分别插在套管两端，两个光纤准直器的中心线与套管的中心线相重合；本方法的主要步骤如下：
步骤Ⅰ、臂长差调节件安装于调节平台
将臂长差调节件安装于所述调节平台，套管支架上的套管夹具夹持套管，两个光纤准直器的前端分别插入该套管两端，两个准直器支架上的准直器夹具分别夹持一个光纤准直器的尾端，调节三个光学微调架上套管夹具和2个准直器夹具的高度，使套管和两个光纤准直器中心线重合且处于水平；
步骤Ⅱ、M-Z干涉仪的光纤连接及与调节仪器的连接
当分光调相装置为Y波导时，对Y波导的输出光纤、3dB光纤耦合器的输入光纤、光纤准直器的尾端光纤进行截取；
Y波导的1根输出光纤、3dB光纤耦合器的1根输入光纤以及2个光纤准直器的尾端截留的长度为20cm～21cm，此4段光纤的长度总和为A；Y波导的另1根输出光纤和3dB光纤耦合器的另1根输入光纤截留的长度为40cm以上，此2段光纤的长度和为A cm+(2～3)cm；
Y波导的1根较短的输出光纤和3dB光纤耦合器的1根较短的输入光纤分别与臂长差调节件的1个光纤准直器的尾端熔接；Y波导的另1根输出光纤和3dB光纤耦合器的另1根较长的输入光纤熔接；
Y波导的输入光纤连接宽谱光源，Y波导的调制端经信号线连接信号发生器；
当分光调相装置为一个前3dB光纤耦合器及光纤相位调制器时，对前3dB光纤耦合器的输出光纤、光纤相位调制器的输入和输出光纤、3dB光纤耦合器的输入光纤、光纤准直器的尾端光纤进行截取；
前3dB光纤耦合器的1根输出光纤、3dB光纤耦合器的1根输入光纤以及2个光纤准直器的尾端截留的长度为20cm～21cm，此4段光纤的长度总和为A；前3dB光纤耦合器的1根输出光纤和3dB光纤耦合器的1根输入光纤分别与臂长差调节件的2个光纤准直器的尾端熔接；
前3dB光纤耦合器的另1根输出光纤、光纤相位调制器的输入和输出光纤以及3dB光纤耦合器的另1根输入光纤截留的长度为20.5cm～21.5cm，此4段光纤的长度和为B，B－A＝(2～3)cm；前3dB光纤耦合器的另1根输出光纤和3dB光纤耦合器的另1根输入光纤分别与光纤相位调制器的输入和输出光纤熔接；
前3dB光纤耦合器的输入光纤连接宽谱光源，光纤相位调制器的调制端经信号线连接信号发生器；
3dB光纤耦合器的输出光纤，即干涉仪的输出光纤接入光探测器，所得电信号经信号线接入示波器；
步骤Ⅲ、仪器调节
开启宽谱光源、信号发生器和光探测器；
调节信号发生器的输出周期信号，使其周期信号的频率处于所用Y波导和示波器的工作频率范围内；调节信号发生器的输出电压为Y波导或光纤相位调制器的半波电压的1倍到2倍；
将示波器的垂直输入耦合方式设置为“AC耦合”，根据光探测器的输出电压参数调节示波器的垂直电压量程；根据信号发生器发出的信号的周期时长调节示波器的水平扫描时间，将示波器水平扫描时间设为1ms/div比较适宜)，示波器的触发同步方式设为自动；
步骤Ⅳ、寻找等臂长点
调节2个准直器支架上水平调节架的调节旋钮，调节准直器夹具在水平调节架上的位置，即调节2个准直器端面的间距，至示波器上出现稳定的与信号发生器的周期信号同频的周期曲线，此时干涉仪的二臂长相等；
步骤Ⅴ、调节干涉仪的臂长差
继续调节水平调节架的调节旋钮，即调节2个光纤准直器相对端面的间距，在臂长差调节件的有效调节范围内增或减此臂长度，达到设计的臂长差；
步骤Ⅵ、固定准直器和套管
光纤准直器外壳和套管固定连接，得到精确控制臂长差的非平衡光纤M-Z干涉仪。
2.根据权利要求1所述的非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法，其特征在于：
所述非平衡光纤M-Z干涉仪的两个光纤准直器相同。
3.根据权利要求1所述的非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法，其特征在于：
所述非平衡光纤M-Z干涉仪的两个光纤准直器相对端的间距为3mm～30mm。
4.根据权利要求1所述的非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法，其特征在于：
所述非平衡光纤M-Z干涉仪的两个光纤准直器插入套管的部分占光纤准直器全长的1/3至2/3。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法，其特征在于：
所述非平衡光纤M-Z干涉仪的调节平台的光学微调架的调节精度等于或高于10微米。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法，其特征在于：
待调节的非平衡光纤M-Z干涉仪臂长差调节件的套管为金属套管，步骤Ⅵ中光纤准直器外壳和套管焊接固定。
7.根据权利要求1至4中任一项所述的非平衡光纤M-Z干涉仪的制作方法，其特征在于：
所述步骤Ⅱ中所用的宽谱光源为放大自发辐射ASE光源或超辐射发光二极管SLD光源，谱线宽等于或大于40nm。
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| GR01 | Patent grant | ||
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