CN109119535B - 柔性基材、柔性基板及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本公开的实施例提供一种柔性基材及其制备方法、柔性基板及其制备方法，该柔性基材包括：主体柔性材料；分散于主体柔性材料中的吸附有磁性粒子的载体；该载体的表面具有亲有机物的官能团。

Description

柔性基材、柔性基板及其制备方法

技术领域

本公开的实施例涉及一种柔性基材及其制备方法、柔性基板及其制备方法。

背景技术

在柔性基材上制成的电路结构具有体积小，重量轻，可弯曲的特点。该电路结构的应用包括触摸屏、薄膜晶体管、有机发光二极管、柔性印刷电路以及生物或医学传感器等。

随着有机光电子技术的快速发展，有机太阳能电池、传感器、薄膜晶体管等光电子产品都逐渐发展成熟，其大大地改善了人们的生活。同时，光电子技术在社会生活的各个领域的广泛应用，也创造了日益增长的市场。

例如，有机电致发光二极管(OLED)采用塑料基板，而非常见的玻璃基板，其借助薄膜封装技术，并在面板背面粘贴保护膜，让面板变得可弯曲，不易折断。

发明内容

本公开至少一实施例提供一种柔性基材，该柔性基材包括：主体柔性材料；分散于所述主体柔性材料中的吸附有磁性粒子的载体；其中，所述载体的表面具有亲有机物的官能团。

例如，在本公开至少一实施例提供的柔性基材中，所述主体柔性材料包括聚醚醚酮、聚芳酯、含氟聚酰亚胺、聚酰亚胺、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯酸酯、多芳基化合物、聚醚酰亚胺、聚醚砜、聚乙二醇对苯二甲酸酯、聚丙烯、聚砜、聚甲基丙烯酸甲酯、三醋酸纤维素、环烯烃聚合物、醋酸丙酸纤维素、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚或者环烯烃共聚物。

例如，在本公开至少一实施例提供的柔性基材中，所述亲有机物的官能团包括氨基、巯基、乙烯基、环氧基、氰基、羧基以及甲基丙烯酰氧基中的至少一种。

例如，在本公开至少一实施例提供的柔性基材中，所述磁性粒子包括铁、钴、镍金属单质及其合金。

例如，在本公开至少一实施例提供的柔性基材中，所述磁性粒子为球状或者类球状。

例如，在本公开至少一实施例提供的柔性基材中，所述载体由炭黑、活性炭、和碳纳米管中的至少一种构成。

本公开至少一实施例还提供一种柔性基材的制备方法，该制备方法包括：形成吸附有磁性粒子的载体；将所述吸附有磁性粒子的载体分散于主体柔性材料中；其中，在将所述吸附有磁性粒子的载体分散于主体柔性材料中之前，所述制备方法还包括：对所述载体进行表面处理，以使所述载体表面具有亲有机物的官能团。

例如，在本公开至少一实施例提供的制备方法中，所述形成吸附有磁性粒子的载体包括：将所述磁性粒子分散于第一溶剂中，形成磁性粒子分散液；将所述载体分散于所述磁性粒子分散液中，以吸附所述磁性粒子；分离所述载体与所述磁性粒子分散液中的分散液；烘干所述载体，获得所述吸附有磁性粒子的载体颗粒。

例如，在本公开至少一实施例提供的制备方法中，在所述形成吸附有磁性粒子的载体之前，所述制备方法还包括：对载体进行改性处理，以暴露出所述载体内部的吸附通道。

例如，在本公开至少一实施例提供的制备方法中，所述对载体进行改性处理，以暴露出所述载体内部的吸附通道，包括：将载体颗粒分散于酸性溶剂中；分离所述载体与所述酸性溶剂；将所述载体洗涤至pH值稳定；烘干所述载体，获得经过改性处理的所述载体。

例如，在本公开至少一实施例提供的制备方法中，对所述载体进行表面处理，以使所述载体表面具有亲有机物的官能团，包括：将所述载体分散于第二溶剂中；加热分散有所述载体的第二溶剂；将具有亲有机物的官能团的溶液加入所述第二溶剂中；分离所述载体；烘干所述载体，获得表面具有所述亲有机物的官能团的所述载体。

本公开至少一实施例还提供一种柔性基板，其包括：上述任一项所述的柔性基材形成的柔性衬底；以及形成在所述柔性衬底上的薄膜晶体管。

例如，在本公开至少一实施例提供的柔性基板中，在所述柔性衬底和所述薄膜晶体管之间设置有有机绝缘层。

例如，在本公开至少一实施例提供的柔性基板中，在所述有机绝缘层和所述薄膜晶体管之间进一步设置有无机绝缘层。

本公开至少一实施例还提供一种柔性基板的制备方法，该制备方法包括：提供玻璃基板；在所述玻璃基板上形成磁性层；采用上述任一项所述的柔性基材在所述磁性层上形成柔性衬底；在所述柔性衬底上形成薄膜晶体管；对所述磁性层与所述柔性衬底进行处理以消除它们之间的磁性力；将所述玻璃基板和所述磁性层移除以获得所述柔性基板。

例如，在本公开至少一实施例提供的制备方法中，所述磁性层的材料包括钐钴磁体、钕铁硼磁铁、铁氧体磁铁、铝镍钴磁铁和铁铬钴磁铁。

例如，在本公开至少一实施例提供的制备方法中，对所述磁性层与所述柔性衬底进行处理以消除它们之间的磁性力，包括采用外力、加热或者施加电场消除所述磁性层与所述柔性衬底之间的磁性力。

例如，本公开至少一实施例提供的制备方法还包括：在所述柔性衬底和所述薄膜晶体管之间形成有机绝缘层。

例如，本公开至少一实施例提供的制备方法还包括：在所述有机绝缘层和所述薄膜晶体管之间形成无机绝缘层。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制。

图1为一种柔性基材的组成示意图；

图2为本公开一实施例提供的一种柔性基材的组成示意图；

图3为本公开一实施例提供的一种吸附有磁性粒子的载体颗粒的放大结构示意图；

图4为本公开一实施例提供的一种柔性基材的制备方法的流程图；

图5为本公开一实施例提供的一种柔性基板的简图；

图6为本公开一实施例提供的一种柔性基板的截面结构示意图；

图7为本公开另一实施例提供的一种柔性基板的截面结构示意图；

图8为本公开一实施例提供的一种柔性基板的制备方法的流程图；以及

图9为本公开一实施例提供的施加电场消除磁性层与柔性衬底之间的磁性力的示意图。

附图标记：

10，20-柔性基材；21-主体柔性材料；22-磁性粒子；23-载体；24-亲有机物的官能团；31-柔性衬底；32-薄膜晶体管；321-栅极层；322-栅绝缘层；323-有源层；324-源漏电极层；3241-源电极；3242-漏电极；325-钝化层；326-像素电极；33-有机绝缘层；34-无机绝缘层；40-磁性层；50-玻璃基板。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

需要说明的是，由于本公开的实施例所涉及的各结构尺寸通常在毫米(mm)、微米(μm)、亚微米(100nm～1.0μm)、纳米(nm)数量级，为了清楚起见，本公开的实施例附图中各结构的尺寸均被夸大，不代表实际尺寸。

目前，制备柔性电子器件需要提供玻璃基板，在玻璃基板上形成柔性衬底，然后在柔性衬底上进行各个功能结构的制备，在完成各个功能结构的制备之后需要通过激光极性烧结，以实现柔性衬底与玻璃基板的分离，但是，激光的照射对薄膜晶体管的有源层会产生不可避免的影响，且在激光照射分离柔性衬底与玻璃基板的过程中，容易造成柔性衬底碳化的问题。

本公开的发明人注意到，可以在玻璃基板上制作磁性层，然后在磁性层上形成柔性衬底，且使得柔性衬底兼具磁性和柔性，通过磁性作用力使得玻璃基板上的磁性层与柔性衬底紧密的贴合，然后通过外力、加热或者消磁的方式使得玻璃基板与柔性衬底分离，这样可以避免激光照射分离对有源层和柔性衬底带来的问题，且整个过程简单易操作，且对功能层无任何影响。

本公开的实施例首先在玻璃基板的表面形成磁性层，然后形成含磁性粒子的中间有机层，可选择的，在中间有机层的表面再形成一层柔性层(需要说明的是，可以仅将含磁性粒子的中间有机层作为柔性衬底，或者将中间有机层和柔性层的结合作为柔性衬底)，最终在柔性衬底上进行各个功能层的制作，该方法通过含磁性粒子的中间有机层与玻璃基板上的磁性层之间的磁性作用实现玻璃基板和柔性基板的固定，且为了增强这种磁性作用力，可以将中间有机层中的磁性粒子吸附固定于改性的载体上，然后将含有大量磁性粒子的载体混合到中间有机层中。

例如，图1为一种柔性基材的组成示意图，该柔性基材10中只含有主体柔性材料，该柔性基材只具有柔性不具有磁性，在玻璃基板上形成由该柔性基材制备的柔性衬底，在柔性衬底上形成各个功能结构后，玻璃基板和柔性衬底要通过激光极性烧结的方式分离，这样就会出现上述提及的对有源层会产生影响，柔性衬底碳化的问题。

本公开至少一实施例提供一种柔性基材，例如，图2为本公开一实施例提供的一种柔性基材的组成示意图，如图2所示，该柔性基材20包括：主体柔性材料21；分散于主体柔性材料21中的吸附有磁性粒子22的载体23；该载体23的表面具有亲有机物的官能团24。

例如，该载体23均匀地或者非均匀地分散于主体柔性材料21中；磁性粒子22均匀地或者非均匀地吸附在载体23上，可选择地，载体23具有吸附孔道，磁性粒子22可以吸附在载体23的吸附孔道中；亲有机物的官能团24均匀或者非均匀地分布在载体23的表面。

例如，在该柔性基材中，载体23的质量百分含量为20％～40％，磁性粒子的质量百分含量为5％～10％，主体柔性材料的质量百分含量为55％～70％。

例如，在该柔性基材中，载体23的质量百分含量为35％，磁性粒子的质量百分含量为8％，主体柔性材料的质量百分含量为57％。

例如，该主体柔性材料21包括聚醚醚酮、聚芳酯、含氟聚酰亚胺、聚酰亚胺(PI)、聚碳酸酯(PC)、聚乙烯、聚丙烯酸酯、多芳基化合物、聚醚酰亚胺、聚醚砜、聚乙二醇对苯二甲酸酯(PET)、聚丙烯(PP)、聚砜(PSF)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、三醋酸纤维素(TAC)、环烯烃聚合物(COP)、醋酸丙酸纤维素(CAP)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚苯硫醚(PPS)或者环烯烃共聚物(COC)。

需要说明的是，该主体柔性材料21包括但不限于上述材料中的任意一种或者上述材料的任意组合，该主体柔性材料21还可以包括其他适合的材料。

例如，该亲有机物的官能团包括氨基、巯基、乙烯基、环氧基、氰基、羧基以及甲基丙烯酰氧基中的至少一种。例如，该亲有机物的官能团包括上述基团中的任意一种，或者上述基团的任意组合。

由于载体23的表面具有上述亲有机物的官能团，使得载体23自身在主体柔性材料21中的分散性得以提高，最终进一步提高磁性粒子22在主体柔性材料21中的分散性，使得形成的上述柔性衬底具有更优的磁性能。

例如，该磁性粒子包括铁、钴、镍等具有磁性的金属单质或者合金。

例如，上述合金态的磁性粒子包括铁钴合金、铁镍合金、钴镍合金或者铁钴镍合金等，在上述合金中，各组分的质量百分含量没有具体的限制。

例如，该磁性粒子的形状为球状或者类球状，相比于鳞片状、树枝状等结构，磁性粒子为球状时更有利于载体的吸附，因此，磁性粒子优选为球状。

需要说明的是，少许磁性粒子的形状也可能是其他形状，在制备磁性粒子的过程中避免不了的会出现磁性粒子的形状和尺寸不均匀。

例如，该磁性粒子的粒径或者等效粒径为1nm～10nm，例如，该磁性粒子的粒径或者等效粒径为1nm，2nm，4nm，6nm，8nm或者10nm。

需要说明的是，在合成磁性粒子的过程中，该磁性粒子的粒径会不均匀，上述尺寸范围之外一定尺寸范围内的磁性粒子也属于本公开的实施例保护的范围。

例如，该载体由炭黑、活性炭和碳纳米管中的至少一种构成。例如，该载体可以具有吸附孔道，磁性粒子可以进入吸附孔道以减少磁性粒子团聚的现象。

需要说明的是，炭黑、活性炭和碳纳米管通常具有较大的比表面积、适宜的孔径结构和表面微结构，对其上的吸附质具有较强烈的吸附能力。需要说明的是，该载体是指在一定尺寸范围内具有特定形状的几何体，这里所说的一定尺寸通常是在毫米到纳米之间。因此，上述的载体即指具有较小尺寸数量级的粒子，其微观的具体形状不限于球状或者管状，可以为其他的多种形状，具体不作限定。

例如，炭黑一般都是烃类化合物在控制一定的工艺条件下经过不完全燃烧或者热解过程而得到的黑色粉末状物质，炭黑中的主要成分为碳元素，同时也含有少量氧、氢和硫等元素，炭黑粒子的形貌近似为球形，尺寸大小为0.05μm～0.1μm。

例如，活性炭是黑色粉末状、块状、颗粒状或者蜂窝状的无定形碳，或者是排列规整的晶体碳。活性炭对气体、溶液中的无机或有机物质及胶体颗粒等都具有良好的吸附能力，活性炭具有独特的吸附表面结构特性和表面化学性能。活性炭中碳元素的质量百分含量为80％-90％，除了碳元素外，活性炭还包含有两类掺和物：一类是化学结合的元素，主要是氧和氢，这些元素是由于未完全炭化而残留在炭中，或者在活化过程中，外来的非碳元素与活性炭表面化学结合，如用水蒸气活化时，活性炭表面被氧化或水蒸气氧化；另一类掺和物是灰分，它是活性炭的无机部分。

例如，碳纳米管是具有特殊结构(径向尺寸为纳米量级，轴向尺寸为微米量级，管子两端基本上都封口)的一维量子材料。碳纳米管主要由呈六边形排列的碳原子构成数层到数十层的同轴圆管，碳纳米管的层与层之间保持固定的距离，约0.34nm，碳纳米管的直径一般为10～20nm。

例如，上述各种类型的载体需要经过改性，通过对载体进行改性使其表面具有亲有机物的官能团，该亲有机物的官能团使得载体在主体柔性材料中更好地分散，不会出现团聚现象。同时，该亲有机物的官能团上可以吸附更多的磁性粒子，磁性粒子分布在载体和其上的亲有机物的官能团上，使得载体上吸附的磁性粒子更多，且使得磁性粒子在主体柔性材料中更好地分散。

例如，图3为吸附有磁性粒子的载体的放大结构示意图，如图3所示，磁性粒子22被吸附在载体23的表面，可以减少磁性粒子22的团聚现象，同时可以使得磁性粒子22在主体柔性材料中的分散更加均匀。

例如，磁性粒子22也可以被吸附在载体23的内部孔道中，例如，磁性粒子22的微观形状为球状或者类球状，且磁性粒子22的尺寸小于载体23的孔道尺寸；或者，磁性粒子22的一部分被吸附在载体23的内部孔道以及表面的微结构处，即，磁性粒子22的尺寸与载体23的孔道、表面微结构的尺寸相近，此时，磁性粒子22的微观形状通常为鳞片状、树枝状等结构，具体不作限定，只要可实现上述的磁性粒子22被载体23所吸附，使吸附的磁性粒子22通过载体23而分散在上述的柔性基材中即可。

通过本公开的实施例提供的上述柔性基材，由于磁性粒子22被载体23所吸附，使得磁性粒子22能够借助载体23而较为均匀地分散于主体柔性材料中，避免了由于直接将磁性粒子22分散在主体柔性材料中而产生的团聚、粒径增大等现象，提高了柔性基材的整体磁性，使其应用于电子部件之间的粘连效果更优。

本公开至少一实施例还提供一种柔性基材的制备方法，例如，图4为本公开一实施例提供的一种柔性基材的制备方法的流程图，如图4所示，该制备方法包括：

S101：提供载体；

S102：对载体进行表面处理，以使载体表面具有亲有机物的官能团；

S103：在载体上吸附磁性粒子；

S104：将吸附有磁性粒子的载体分散于主体柔性材料中。

例如，该载体由炭黑、活性炭和碳纳米管中的至少一种构成。炭黑、活性炭和碳纳米管的性能可以参见上述中的相关描述，在此不再赘述。

例如，在载体上吸附磁性粒子包括：将磁性粒子分散于第一溶剂中，形成磁性粒子分散液；将载体分散于该磁性粒子分散液中，以在载体上吸附磁性粒子；分离吸附有磁性粒子的载体与磁性粒子分散液中的分散液；对载体进行烘干处理，获得干燥的吸附有磁性粒子的载体。

例如，可以采用超声波分散，以提高磁性粒子在第一溶剂中的分散均匀性，并提高后续载体的吸附效率。

例如，第一溶剂的作用是防止磁性粒子发生沉降和凝聚，并能形成稳定的悬浮液，例如，该第一溶剂可以为高分子型分散剂等常用分散试剂。例如，甲基戊醇、丙酮或者乙醇等。

例如，可以通过高速离心机将吸附有磁性粒子的载体与磁性粒子分散液分离开。

例如，在对载体进行烘干处理的过程中，为了防止载体由于高温而发生固相反应造成颗粒团聚，烘干时的温度及烘干的时间应根据载体的质量灵活地进行调整，例如，可以采用逐渐升温的方式进行烘干，例如，可以在减压下进行烘干。

例如，炭黑、活性炭和碳纳米管载体经高温加热后转变为气态的二氧化碳，因此，可以采用以下方式验证载体上是否吸附有上述的磁性粒子：将通过上述步骤S101至步骤S103获得的载体放置于马弗炉等加热设备中进行焙烧，以去除炭黑、活性炭和碳纳米管等，剩余的固体物质即为磁性粒子的材料。也可以采用SEM(Scanning Electron Microscope，扫描电子显微镜)等测试仪器表征载体的表面是否吸附有上述磁性粒子，以及磁性粒子吸附后的分布状态等详细的信息。

例如，由于炭黑、活性炭和碳纳米管等形成的载体具有较大的比表面积、适宜的孔径结构和表面微结构，对被吸附的物质有较强烈的吸附能力，由于静电吸附效应，载体的表面可能会吸附有很多的杂质离子，导致载体内部的吸附通道被封堵，还会在后续形成的柔性基材中引入杂质，影响其性能，因此，需要对载体进行改性处理，以暴露出载体内部的吸附通道，且清除载体上吸附的杂质。

例如，对载体进行改性处理，以暴露出载体内部的吸附通道包括：将载体颗粒分散于酸性溶剂中；分离载体与酸性溶剂；将载体洗涤至pH值稳定；烘干载体，获得经过改性处理的载体。

例如，酸性溶剂可以为硝酸等常见的改性试剂，其反应时间及反应温度可以根据载体与酸性溶剂的不同灵活调整，在此不作限定。

例如，可以将载体放置于烘箱中，在120℃的温度条件下进行烘干活化，以暴露出载体内部的吸附通道，即完成对载体进行的改性处理。由于烘干过程中载体可能会发生较小程度地团聚，可以通过玻璃棒将其进行轻轻碾压，以减小其团聚程度。

需要说明的是，pH值是表示溶液酸碱程度的一个值，“将载体洗涤至pH值稳定”是指通过去离子水对载体进行洗涤，直至洗涤后的去离子水的pH值不再发生变化，或变化的幅度非常微小，pH值稳定后，pH值相应地在一个偏酸性的数值范围内稳定。

例如，上述过程中的物料配比、改性剂(即酸性溶剂)的浓度、搅拌转速、反应时间、反应温度、活化温度以及时间等因素都会对载体的表面改性的效果产生影响，改性的效果可以根据上述各影响因素灵活调整，具体不作限定。

例如，对载体进行表面处理，以使载体表面具有亲有机物的官能团，包括：将载体分散于第二溶剂中；加热分散有载体的第二溶剂；将具有亲有机物的官能团的溶液加入第二溶剂中；分离载体；烘干载体，获得表面具有亲有机物的官能团的载体。

例如，对载体进行表面处理，以使载体的表面具有亲有机物的官能团，该亲有机物的官能团用于使载体在主体柔性材料中均匀分散，且使载体上能够吸附更多的磁性粒子。

例如，该第二溶剂的作用是防止载体发生沉降和凝聚，并能形成稳定的悬浮液，例如，该第二溶剂为甲基戊醇。

下面以亲有机物的官能团包括氨基、巯基、乙烯基、环氧基、氰基、羧基以及甲基丙烯酰氧基中的至少一种为例进行描述。

将一定质量的炭黑、活性炭和碳纳米管等载体放置于三口烧瓶中，然后加入适当体积的第二溶剂，通过超声波振荡使载体进行分散；然后通过加热套加热分散有载体的第二溶剂至一定的温度；在一定的转速下进行搅拌，将偶联剂(具有亲有机物的官能团的溶液)缓慢加入上述搅拌后的溶液中；其中，偶联剂和载体之间合适的配比关系可根据具体反应灵活调整；通过离心洗涤，将第二溶剂以及未反应的偶联剂或硅烷偶联剂与载体颗粒分离；将分离的载体放置于表面皿内，在烘箱中以一定温度进行烘干，获得表面具有亲有机物的官能团的载体颗粒。

例如，该反应过程的物料配比、第二溶剂的浓度、搅拌转速、反应时间和反应温度等因素都会对载体的表面形成亲有机物的官能团的效果产生影响，通过亲有机物的官能团对载体进行改性的效果可以根据上述各影响因素灵活的调整，具体不作限定。

例如，将吸附有磁性粒子的载体分散于主体柔性材料中的过程可以是将吸附有磁性粒子的载体直接分散于液体状态的主体柔性材料中，然后混合均匀固化形成柔性基材，需要说明的是，主体柔性材料是液体时，主体柔性材料需要在溶剂中有一定的溶解度，采用刮涂的方法涂覆，然后真空除去溶剂，再进行两段的加热固化，最终形成要求厚度的柔性衬底；或者也可以是将磁性粒子与形成主体柔性材料的单体混合均匀，然后通过聚合反应制备形成柔性基材。

本公开至少一实施例还提供一种柔性基板，例如，图5为本公开一实施例提供的一种柔性基板的简图，如图5所示，该柔性基板30包括上述任一项柔性基材形成的柔性衬底31，形成在该柔性衬底31上的薄膜晶体管32。例如，该薄膜晶体管32可以是底栅型的薄膜晶体管，也可以是顶栅型的薄膜晶体管。

例如，图6为本公开一实施例提供的一种柔性基板的截面结构示意图，图6以薄膜晶体管为底栅型的薄膜晶体管为例加以说明，如图6所示，该柔性基板包括：柔性衬底31；设置在柔性衬底31上的栅极层321、栅绝缘层322、有源层323和源漏电极层324，该源漏电极层324包括源电极3241和漏电极3242；在该源电极3241和漏电极3242之上形成钝化层325，在钝化层325中形成有过孔结构，在钝化层325上形成有像素电极326，该像素电极326通过钝化层325中的过孔结构与漏电极3242电连接。

例如，薄膜晶体管上的各层结构的制备方法为常规的方法，各个膜层的厚度可以参考常规的厚度设计，在此不再赘述。

例如，顶栅型的薄膜晶体管和底栅型的薄膜晶体管的不同之处仅在于，在底栅型薄膜晶体管中，栅极层321设置在有源层323的靠近柔性衬底31的一侧；在顶栅型薄膜晶体管中，有源层323设置在栅极层321的靠近柔性衬底31的一侧，薄膜晶体管中各层结构的具体的设计可参见上述底栅型薄膜晶体管的相关描述，在此不再赘述。

例如，在薄膜晶体管上可以形成有机发光二极管，该有机发光二极管包括从下往上依次层叠设置的第一电极、空穴注入层、空穴传输层、量子点发光层、电子注入层、电子传输层和第二电极，该第一电极可以是上述薄膜晶体管中的像素电极。

例如，图7为本公开另一实施例提供的一种柔性基板的截面结构示意图，如图7所示，在图6所示结构的基础上，在柔性衬底31和薄膜晶体管32之间还设置有有机绝缘层33，该有机绝缘层33可以防止柔性衬底中的磁性粒子扩散至薄膜晶体管的有源层中，从而避免对薄膜晶体管的性能造成影响，同时该有机绝缘层33还具有柔性，不会降低柔性衬底的柔性。

例如，如图7所示，在有机绝缘层33和薄膜晶体管32之间还设置有无机绝缘层34。该无机绝缘层34可以起到封装的作用，以防止水汽等进入有机电致发光二极管中，从而避免对OLED的性能造成影响。

本公开至少一实施例还提供一种柔性基板的制备方法，例如，图8为本公开一实施例提供的一种柔性基板的制备方法的流程图，如图8所示，该制备方法包括：

S201：提供玻璃基板；

S202：在玻璃基板上形成磁性层；

S203：采用柔性基材在磁性层上形成柔性衬底；

S204：在柔性衬底上形成薄膜晶体管；

S205：对磁性层与柔性衬底进行处理以消除它们之间的磁性力；

S206：将玻璃基板和磁性层移除以获得柔性基板。

例如，该磁性层的材料包括钐钴磁体、钕铁硼磁铁、铁氧体磁铁、铝镍钴磁铁和铁铬钴磁铁。

例如，该磁性粒子的形状为球状或者类球状，相比于鳞片状、树枝状等结构，磁性粒子为球状时更有利于载体的吸附，因此，磁性粒子优选为球状。此外，球状或者类球状的磁性粒子的磁性相较于其他形状的磁性粒子使得整个柔性基材的磁性分布更均匀。

例如，该磁性粒子的粒径或者等效粒径为1nm～10nm，例如，该磁性粒子的粒径或者等效粒径为1nm，2nm，4nm，6nm，8nm或者10nm。

例如，对磁性层与柔性衬底进行处理以消除它们之间的磁性力，包括采用外力、加热或者施加电场消除磁性层与柔性衬底之间的磁性力。

例如，外力为通过机械手施加的外力硬性分离磁性层和柔性衬底，只要满足该外力大于磁性层与柔性衬底之间的磁性力即可。

例如，可以采用加热的方式消除磁性层与柔性衬底之间的磁性力，加热的温度为300℃～500℃，本公开的实施例中的主体柔性材料的耐热温度优选为500℃左右，因此，采用加热的方式消除磁性层与柔性衬底之间的磁性力的温度一般不高于500℃，根据主体柔性材料的耐热温度的不同，该加热温度也可以适应性地调整，在此不作限定。

例如，通过施加电场消除磁性层40与柔性衬底31之间的磁性力，例如，图9为本公开一实施例提供的施加电场消除磁性层与柔性衬底之间的磁性力的示意图，如图9所示，施加电场的过程为：在磁性层40的两侧设置电极，然后给电极施加电场，通过电场改变磁性层40内部原子的排列，以消除其磁性，例如，该电极的材料为氧化铟锡，这样施加电场后，磁性层40就可以很容易地从玻璃基板50上分离。

例如，该制备方法还包括：在柔性衬底和薄膜晶体管之间形成有机绝缘层。例如，该有机绝缘层的材料为聚酰亚胺、丙烯酸酯、环氧树脂或者聚甲基丙烯酸甲酯等有机绝缘材料，该绝缘层例如可以采用化学气相沉积工艺或者旋涂、印刷等工艺。

例如，该制备方法还包括：在有机绝缘层和薄膜晶体管之间形成无机绝缘层。该无机绝缘层的材料包括氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等硅的氧化物、硅的氮化物或硅的氮氧化物，或者氧化铝、氮化钛等包括金属氮氧化物绝缘材料

本公开的实施例提供的一种柔性基材及其制备方法、柔性基板及其制备方法，具有以下至少一项有益效果：

(1)本公开至少一实施例提供的柔性基板的制备方法，通过磁性作用力使得玻璃基板上的磁性层与柔性衬底紧密的贴合，然后通过外力、加热或者消磁的方式使得玻璃基板与柔性衬底分离，以避免激光照射分离对有源层和柔性衬底带来的问题；

(2)本公开至少一实施例提供的柔性基板的制备方法，过程简单易操作，且对功能层无任何影响。

有以下几点需要说明：

(1)本发明实施例附图只涉及到与本发明实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计。

(2)为了清晰起见，在用于描述本发明的实施例的附图中，层或区域的厚度被放大或缩小，即这些附图并非按照实际的比例绘制。可以理解，当诸如层、膜、区域或基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”，或者可以存在中间元件。

(3)在不冲突的情况下，本发明的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (14)

1.一种柔性基材，包括：主体柔性材料；分散于所述主体柔性材料中的吸附有磁性粒子的载体；其中，所述载体的表面具有亲有机物的官能团，并且其中所述载体具有吸附孔道，所述磁性粒子吸附在所述载体的吸附孔道中，其中，所述磁性粒子包括铁、钴金属单质或其合金或者其与镍的合金。

2.根据权利要求1所述的柔性基材，其中，所述主体柔性材料包括聚醚醚酮、聚芳酯、含氟聚酰亚胺、聚酰亚胺、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯酸酯、多芳基化合物、聚醚酰亚胺、聚醚砜、聚乙二醇对苯二甲酸酯、聚丙烯、聚砜、聚甲基丙烯酸甲酯、三醋酸纤维素、环烯烃聚合物、醋酸丙酸纤维素、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚或者环烯烃共聚物。

3.根据权利要求1所述的柔性基材，其中，所述亲有机物的官能团包括氨基、巯基、乙烯基、环氧基、氰基、羧基以及甲基丙烯酰氧基中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的柔性基材，其中，合金态的磁性粒子包括铁钴合金、铁镍合金、钴镍合金或者铁钴镍合金。

5.根据权利要求1或4所述的柔性基材，其中，所述磁性粒子为球状或者类球状。

6.根据权利要求1所述的柔性基材，其中，所述载体由炭黑、活性炭、和碳纳米管中的至少一种构成。

7.一种柔性基材的制备方法，包括：

形成吸附有磁性粒子的载体；

将所述吸附有磁性粒子的载体分散于主体柔性材料中；

其中，在所述形成吸附有磁性粒子的载体之前，对载体进行改性处理，以暴露出所述载体内部的吸附通道，所述磁性粒子吸附在所述载体的吸附通道中，和

其中，在将所述吸附有磁性粒子的载体分散于主体柔性材料中之前，所述制备方法还包括：

对所述载体进行表面处理，以使所述载体表面具有亲有机物的官能团。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其中，所述形成吸附有磁性粒子的载体包括：

将所述磁性粒子分散于第一溶剂中，形成磁性粒子分散液；

将所述载体分散于所述磁性粒子分散液中，以吸附所述磁性粒子；

分离所述载体与所述磁性粒子分散液中的分散液；

烘干所述载体，获得所述吸附有磁性粒子的载体颗粒。

9.根据权利要求7所述的制备方法，其中，所述对载体进行改性处理，以暴露出所述载体内部的吸附通道，包括：

将载体颗粒分散于酸性溶剂中；

分离所述载体与所述酸性溶剂；

将所述载体洗涤至pH值稳定；

烘干所述载体，获得经过改性处理的所述载体。

10.根据权利要求7所述的制备方法，其中，对所述载体进行表面处理，以使所述载体表面具有亲有机物的官能团，包括：

将所述载体分散于第二溶剂中；

加热分散有所述载体的第二溶剂；

将具有亲有机物的官能团的溶液加入所述第二溶剂中；

分离所述载体；

烘干所述载体，获得表面具有亲有机物的官能团的所述载体。

11.一种柔性基板，包括：

权利要求1～6中任一项所述的柔性基材形成的柔性衬底，以及

形成在所述柔性衬底上的薄膜晶体管。

12.根据权利要求11所述的柔性基板，其中，在所述柔性衬底和所述薄膜晶体管之间设置有有机绝缘层。

13.根据权利要求12所述的柔性基板，其中，在所述有机绝缘层和所述薄膜晶体管之间设置有无机绝缘层。

14.一种柔性基板的制备方法，包括：

提供玻璃基板；

在所述玻璃基板上形成磁性层；

采用权利要求1～6中任一项所述的柔性基材在所述磁性层上形成柔性衬底；

在所述柔性衬底上形成薄膜晶体管；

对所述磁性层与所述柔性衬底进行处理以消除它们之间的磁性力；

将所述玻璃基板和所述磁性层移除以获得所述柔性基板。

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