CN109116594A - 一种四轴高精度压头 - Google Patents

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CN109116594A CN201810959173.4A CN201810959173A CN109116594A CN 109116594 A CN109116594 A CN 109116594A CN 201810959173 A CN201810959173 A CN 201810959173A CN 109116594 A CN109116594 A CN 109116594A
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王鹏
杨德重
陆豪亮
姚毅
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    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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Abstract

本发明公开了一种四轴高精度压头,包括:探针压头组件、直线电机、线性模组、电动滑台、DD马达和两个CCD相机组件。由直线电机调整X轴方向的偏差,由线性模组调整Y轴方向的偏差。由DD马达调整θ轴方向的偏差,由电动滑台在Z轴方向上起到下压作用。探针压头组件的一端设有屏幕放置台,CCD相机组件位于屏幕放置台的上方。本实施例提供的四轴高精度压头通过CCD相机组件拍摄屏幕,进行二次对位;根据探针与Pad点的位置关系,自动补偿探针的X、Y和θ位置,保证探针能够与pad点完美贴合,实现高精度的压合点亮过程。因此,通过可视化人工点亮,大大提升点亮效率和点亮精度,经过补偿后可以实现满足COF机种探针pad点压合的高精度定位和运动的要求。

Description

一种四轴高精度压头
技术领域
本发明涉及自动化技术领域,尤其涉及一种四轴高精度压头。
背景技术
随着LCD行业发展迅速,将芯片直接固定在柔性FPC上的COF工艺生产屏幕逐渐得到发展。屏幕的端子部与外界实现电路信号交互的部分被称为Pad点,不同的屏幕Pad 点大小、数量、间距不一,通常采用探针与Pad点压合进行信号输入,从而实现屏幕点亮。每个屏幕上还有用于对位的Mark点,Mark点为十字型,屏幕的两边一端一个,与Pad点同样在端子部,且与Pad点之间拥有很高的位置精度,一般用作CCD视觉对位用。
普通屏幕机种的pad点宽度约为0.3至0.8mm之间,对机构自动压合点亮的精度要求并不严苛。但COF机种的pad点宽度约为0.05mm至0.08mm之间,几乎降低了一个数量级,无论是人工肉眼标定还是系统自动压合,常用的视觉对位机构和探针压合机构都不能满足要求。可见,现有的压合机构无法满足高精度的对位点亮功能。
发明内容
本发明提供了一种四轴高精度压头,以解决现有的压合机构无法满足高精度的对位点亮功能的问题。
本发明提供了一种四轴高精度压头,包括:探针压头组件、直线电机、线性模组、电动滑台、DD马达和两个CCD相机组件,其中,
所述线性模组固定在直线电机的上端,所述直线电机的驱动方向为X轴限定方向,线性模组的驱动方向为Y轴限定方向;
所述电动滑台位于直线电机的一侧,电动滑台与直线电机的底部连接;所述电动滑台的驱动方向为Z轴限定方向;
所述DD马达通过电动滑台与直线电机连接,所述DD马达通过连接件与电动滑台连接;所述连接件用于罩住DD马达;所述DD马达的旋转方向为θ轴限定方向;
所述探针压头组件与DD马达的底部连接,所述探针压头组件、直线电机和DD马达位于一直线上,以通过直线电机、线性模组、电动滑台和DD马达调整探针压头组件在X、Y和θ轴方向上的位置偏差,通过电动滑台下压探针压头组件;所述探针压头组件的设有探针的一侧设有屏幕放置台;
两个所述CCD相机组件设置在DD马达的远离直线电机一侧的斜上方,位于屏幕放置台的上方;两个所述CCD相机组件之间的连线与直线电机的X轴限定方向平行。
可选地,所述直线电机包括:底座和位于底座上部的连接块;所述底座的上部设有齿槽,所述齿槽与底座的两端形成两个凸台,每个所述凸台上设置一导轨;
所述连接块底部的相对两端分别设置一滑块,所述滑块的设置方向与导轨的设置方向相同,滑块与导轨滑动连接,使得连接块通过滑块沿底座做相对移动;
所述连接块的上部设有安装孔,所述安装孔用于与线性模组的底部连接。
可选地,所述连接块的底部还设有铁芯,所述铁芯设置在两个滑块之间,所述铁芯位于齿槽内。
可选地,所述线性模组包括:驱动装置、固定框、直线导轨、滚珠丝杠和滑动块;所述驱动装置设于固定框的一侧;所述直线导轨、滚珠丝杠和滑动块位于固定框内,所述驱动装置用于驱动滚珠丝杠的旋转;所述滚珠丝杠位于直线导轨内,所述滑动块设于滚珠丝杠上,滑动块沿滚珠丝杠移动。
可选地,所述电动滑台包括:下压底座、驱动器、X轴连接件和θ轴连接件;所述驱动器设置在下压底座的上端,驱动器用于驱动下压底座产生向下移动的作用力;所述 X轴连接件和θ轴连接件分别设置在下压底座的一侧,使得电动滑台呈L型;所述X轴连接件和θ轴连接件位于直线电机和DD马达之间。
可选地,所述X轴连接件位于靠近直线电机的一侧,所述X轴连接件用于实现电动滑台和直线电机的连接;所述θ轴连接件位于靠近DD马达的一侧,所述θ轴连接件与连接件连接,以实现电动滑台和DD马达的连接。
可选地,所述DD马达包括:上盖、回转部、固定部和线缆;所述上盖设置在回转部的顶端;其中一个所述线缆设置在上盖的侧壁上,另一个线缆设置在回转部的侧壁上,两个线缆的位置相对,相互平行,通过线缆驱动回转部内的转子转动;所述固定部设置在回转部的底部。
可选地,所述CCD相机组件包括:固定支座、镜筒、镜头、加固件、移动件和滑轨;
所述镜筒的一端固定在固定支座上,镜筒的另一端设有镜头;所述镜头的光轴方向朝向屏幕放置台,两个CCD相机组件的光轴之间的距离小于屏幕放置台的宽度;
所述固定支座的侧壁通过加固件与移动件连接,所述滑轨位于移动件的底部,所述移动件的底部与滑轨滑动连接。
由以上技术方案可知,本发明实施例提供的一种四轴高精度压头,包括:探针压头组件、直线电机、线性模组、电动滑台、DD马达和两个CCD相机组件。考虑负载的累加性,将负载能力强、精度要求较低的线性模组置于最上端,即将线性模组固定在直线电机的上端,由直线电机调整X轴方向的偏差,由线性模组调整Y轴方向的偏差。DD 马达通过电动滑台与直线电机连接,探针压头组件与DD马达的底部连接,由DD马达调整θ轴方向的偏差,由电动滑台在Z轴方向上起到下压作用;探针压头组件的另一端设有屏幕放置台,CCD相机组件位于屏幕放置台的上方。本实施例提供的四轴高精度压头通过CCD相机组件拍摄屏幕,进行二次对位;观察Mark点相对于探针的位置,从而间接得到探针与Pad点的相互位置关系,以控制直线电机、线性模组和DD马达自动补偿探针的X、Y和θ位置,保证探针能够与pad点完美贴合,实现高精度的压合点亮过程。因此,该压头精度分配合理,结构紧凑,通过可视化人工点亮,大大提升点亮效率和点亮精度,经过补偿后可以实现满足COF机种探针pad点压合的高精度定位和运动的要求。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,对于本领域普通技术人员而言,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的四轴高精度压头的立体图;
图2为本发明实施例提供的四轴高精度压头的正视图;
图3为本发明实施例提供的四轴高精度压头的坐标系示意图;
图4为本发明实施例提供的直线电机的立体图;
图5为本发明实施例提供的直线电机的正视图;
图6为本发明实施例提供的线性模组的立体图;
图7为本发明实施例提供的线性模组的正视图;
图8为本发明实施例提供的电动滑台的立体图;
图9为本发明实施例提供的DD马达的立体图;
图10为本发明实施例提供的DD马达的正视图;
图11为本发明实施例提供的CCD相机组件的立体图;
图12为本发明实施例提供的CCD相机组件的正视图;
图13为本发明实施例提供的探针压合屏幕的俯视图;
图14为本发明实施例提供的CCD相机组件拍摄探针与屏幕pad点压合情况的示意图。
图示说明:
其中,1-探针压头组件,2-直线电机,21-底座,22-连接块,23-导轨,24-滑块,25-铁芯,26-齿槽,27-安装孔,3-线性模组,31-驱动装置,32-固定框,33-直线导轨,34- 滑动块,4-电动滑台,41-下压底座,42-驱动器,43-X轴连接件,44-θ轴连接件,5-DD 马达,51-上盖,52-回转部,53-线缆,54-固定部,6-CCD相机组件,61-固定支座,62- 镜筒,63-镜头,64-加固件,65-移动件,66-滑轨,7-连接件,8-屏幕放置台。
具体实施方式
图1为本发明实施例提供的四轴高精度压头的立体图;图2为本发明实施例提供的四轴高精度压头的正视图。
参见图1和图2,本发明实施例提供的一种四轴高精度压头,适用于COF机种,能实现高精度的对位点亮功能,同时又拥有占用空间小,方便标定调试等特点。这是由于全自动AOI检测设备涉及屏幕的多次搬运与交接,屏幕位置精度难免会有损失,因此对于普通屏幕来说,一般会在屏幕搬运到治具前进行CCD视觉对位,通过视觉算法计算屏幕位置偏差,矫正屏幕位然后放置在治具上,通过上述流程即可以实现屏幕点亮。
然而由于COF机种pad点宽度和间距过小,原流程的屏幕位置调整环节和矫正后屏幕搬运到治具的环节所产生的位置精度误差足以让探针位置偏离pad点,造成点亮失败。因此,本发明实施例所依据的工作流程是在屏幕已经固定在治具后再用CCD相机拍摄屏幕,进行二次对位,通过精密调整探针的位置,保证探针能够与pad点完美贴合,实现自动点亮功能。
为进行二次对位以及高精度屏幕点亮,本发明实施例提供的四轴高精度压头包括:探针压头组件1、直线电机2、线性模组3、电动滑台4、DD马达5和两个CCD相机组件6。
线性模组3固定在直线电机2的上端,直线电机2的驱动方向为X轴限定方向,线性模组3的驱动方向为Y轴限定方向。本实施例提供的四轴高精度压头的坐标系如图3 所示,屏幕被放置在治具上后,屏幕位置在X、Y,θ方向仍会有微小的位置误差存在,因此该压头可以精密调整X、Y,θ轴的方向。即由直线电机2调整X方向的偏差,由线性模组3调整Y方向的偏差。
如图4和图5所示,直线电机2是一种将电能直接转换成直线运动机械能,而不需要任何中间转换机构的传动装置。直线电机2包括:底座21和位于底座21上部的连接块22;底座21的上部设有齿槽26,齿槽26与底座21的两端形成两个凸台,每个凸台上设置一导轨23。
连接块22底部的相对两端分别设置一滑块24,滑块24的设置方向与导轨23的设置方向相同,滑块24与导轨23滑动连接,使得连接块22通过滑块24沿底座21做相对移动;连接块22的上部设有安装孔27,安装孔27用于与线性模组3的底部连接。
底座21固定不动,连接块22通过其上固定的滑块24在导轨23内的滑动,实现沿底座21的滑动,进而实现X轴方向的偏差调整。连接块22的滑动由设置在底座21一侧的电机驱动。
连接块22的底部还设有铁芯25,铁芯25设置在两个滑块24之间,铁芯25位于齿槽26内。由齿槽26及两侧的导轨23、以及上端的连接块22形成钢结构,导轨23选用磁轨。铁芯25置于上述形成的钢结构里以产生铁芯线圈单元,铁芯25有效增强电机的推力输出通过聚焦线圈产生的磁场。铁芯25和磁轨之间强大的吸引力,保证直线电机2 的传动精度,以准确调整X轴方向的偏差。
如图6和图7所示,线性模组3包括:驱动装置31、固定框32、直线导轨33、滚珠丝杠和滑动块34;驱动装置31设于固定框32的一侧;直线导轨33、滚珠丝杠和滑动块34位于固定框32内,驱动装置31用于驱动滚珠丝杠的旋转;滚珠丝杠位于直线导轨 33内,滑动块34设于滚珠丝杠上,滑动块34沿滚珠丝杠移动。
线性模组3用于调整Y轴方向的误差,由驱动装置31驱动滚珠丝杠在直线导轨33内旋转,进而带动滑动块34沿滚珠丝杠移动,以实现Y轴方向的位置补偿。
电动滑台4位于直线电机2的一侧,电动滑台4与直线电机2的底部连接;电动滑台4的驱动方向为Z轴限定方向。电动滑台4的一部分位于直线电机2的一侧,另一部分位于直线电机2和DD马达5之间。电动滑台4用于提供下压力,以对屏幕施加下压力,防止屏幕出现滑动。
如图8所示,电动滑台4包括:下压底座41、驱动器42、X轴连接件43和θ轴连接件44;驱动器42设置在下压底座41的上端,驱动器42用于驱动下压底座41产生向下移动的作用力;X轴连接件43和θ轴连接件44分别设置在下压底座41的一侧,使得电动滑台4呈L型;X轴连接件43和θ轴连接件44位于直线电机2和DD马达5之间。
X轴连接件43位于靠近直线电机2的一侧,X轴连接件43用于实现电动滑台4和直线电机2的连接;θ轴连接件44位于靠近DD马达5的一侧,θ轴连接件44与连接件 7连接,以实现电动滑台4和DD马达5的连接。
电动滑台4通过X轴连接件43与直线电机2连接,通过θ轴连接件44与DD马达 5连接,实现DD马达5驱动电动滑台4带动工件进行线性运动的目的。
DD马达5通过电动滑台4与直线电机2连接,DD马达5通过连接件7与电动滑台 4连接;连接件7用于罩住DD马达5,防止DD马达5在旋转时因零件疏松飞出伤害操作人员。DD马达5的旋转方向为θ轴限定方向,DD马达5可以精密调整θ方向的偏差。
DD马达5采用的是绝对值编码器,不需要原点复位就能识别屏幕所在的位置;还可在有限的体积内输出高扭矩,能在高速旋转下驱动较大的负载。
如图9和图10所示,DD马达5包括:上盖51、回转部52、固定部54和线缆53;上盖51设置在回转部52的顶端;其中一个线缆53设置在上盖51的侧壁上,另一个线缆53设置在回转部52的侧壁上,两个线缆53的位置相对,相互平行,通过线缆53驱动回转部52内的转子转动;固定部54设置在回转部52的底部。
固定部54为DD马达5的底座,用于在回转部52做回转运动时提供稳定的支撑力,以保证DD马达5的运行稳定性。线缆53用于连接驱动装置,以为DD马达5提供驱动力,进行回转运动,进而实现精密调整θ方向的偏差的目的。
固定部54内设有编码器,根据检测结果驱动回转部52内的定子和转子执行相应的操作。DD马达5内设置高解析度的编码器,可提高驱动精度。由于DD马达5采用直接连接方式,可以减少由于机械结构产生的定位误差,使得工艺精度得以保证。
探针压头组件1与DD马达5的底部连接,探针压头组件1、直线电机2和DD马达 5位于一直线上,以通过直线电机2、线性模组3、电动滑台4和DD马达5调整探针压头组件1在X、Y和θ轴方向上的位置偏差,通过电动滑台4下压探针压头组件1;探针压头组件1的设有探针的一侧设有屏幕放置台8。
探针压头组件1采用伸出式探针,在进行检测时,探针伸出至屏幕放置台8,落在屏幕上。检测探针与屏幕上pad点之间的误差,控制直线电机2、线性模组3和DD马达 5进行位置补偿,使得探针位于pad点中心处,提高压合点亮的精度。
屏幕放置台8用于放置待检测屏幕,将屏幕放置台8与探针压头组件1、直线电机2和DD马达5设置在同一直线上,可以保证在进行调整X、Y和θ轴方向上的位置偏差时的准确度,便于根据探针压头组件1检测的结果,再利用视觉算法,进行位置补偿,以保证探针压合点亮的精度。
两个CCD相机组件6设置在DD马达5的远离直线电机2一侧的斜上方,位于屏幕放置台8的上方;两个CCD相机组件6之间的连线与直线电机2的X轴限定方向平行。
本实施例中采用两个CCD相机组件6,用于拍摄屏幕端子部两侧的pad点。CCD相机组件6通过固定架进行固定,以满足拍摄精度要求即可,具体的固定位置本实施例不做具体限定。
如图11和图12所示,CCD相机组件6包括:固定支座61、镜筒62、镜头63、加固件64、移动件65和滑轨66。
镜筒62的一端固定在固定支座61上,镜筒62的另一端设有镜头63;镜头63的光轴方向朝向屏幕放置台8,即镜头63与屏幕相对,以便于拍摄。两个CCD相机组件6 的光轴之间的距离小于屏幕放置台8的宽度,以便于CCD相机组件6拍摄屏幕端子部两侧的pad点。
固定支座61的侧壁通过加固件64与移动件65连接,滑轨66位于移动件65的底部,移动件65的底部与滑轨66滑动连接。滑轨66通过固定架进行固定,即在实际应用中,移动件65保持不动,通过移动件65在滑轨66上的滑动,来带动镜筒62和镜头63的移动,实现调节两个CCD相机组件6之间距离的目的,以保证CCD相机组件6能够拍摄到准确的图像。
传统的屏幕检测中,CCD相机对位是通过拍摄屏幕端子部两端的Mark点的位置,经过视觉算法计算来实现的。但对于精度要求非常高的COF机种来说,通过Mark点位置经过计算得到的位置补偿是间接的,仍会存在一定偏差。当偏差超出允许范围时,很容易造成点亮失败。可见,现有的检测方法并不适用于COF机种的高精度检测。
而本实施例提供的四轴高精度压头在实际应用中,当屏幕最终放置于治具上时,其位置在X、Y和θ方向并没有完全限制,因此探针在X、Y和θ方向需要有调节功能,加上Z轴下压功能,本发明的高精度压头共有4轴。而为了适用于COF机种,如图13 和14所示,在进行屏幕检测中,通过CCD相机组件6拍摄屏幕端子部两端的Mark点位置的图像;再利用伸出式探针,由CCD相机组件6拍摄探针与pad点的图像。由于在未经压头补偿的状况下,探针的位置很大概率并不在pad点上。因此,需通过视觉算法,计算出X、Y和θ轴方向的偏差,进而控制直线电机2、线性模组3和DD马达5进行相应的操作,从而控制四轴压头进行补偿,让探针压合在pad点上,以精准调整X、Y和θ轴方向上的位置偏差。由于Z轴方向的电动滑台4起到下压作用,可进一步提高调整精度。
由以上技术方案可知,本发明实施例提供的一种四轴高精度压头,包括:探针压头组件1、直线电机2、线性模组3、电动滑台4、DD马达5和两个CCD相机组件6。考虑负载的累加性,将负载能力强、精度要求较低的线性模组3置于最上端,即将线性模组3固定在直线电机2的上端,由直线电机2调整X轴方向的偏差,由线性模组3调整 Y轴方向的偏差。DD马达5通过电动滑台4与直线电机2连接,探针压头组件1与DD 马达5的底部连接,由DD马达5调整θ轴方向的偏差,由电动滑台4在Z轴方向上起到下压作用;探针压头组件1的另一端设有屏幕放置台8,CCD相机组件6位于屏幕放置台8的上方。本实施例提供的四轴高精度压头通过CCD相机组件6拍摄屏幕,进行二次对位;观察Mark点相对于探针的位置,从而间接得到探针与Pad点的相互位置关系,以控制直线电机2、线性模组3和DD马达5自动补偿探针的X、Y和θ位置,保证探针能够与pad点完美贴合,实现高精度的压合点亮过程。因此,该压头精度分配合理,结构紧凑,通过可视化人工点亮,大大提升点亮效率和点亮精度,经过补偿后可以实现满足COF机种探针pad点压合的高精度定位和运动的要求。
本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后,将容易想到本发明的其它实施方案。本申请旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化,这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的,本发明的真正范围和精神由所附的权利要求指出。
应当理解的是,本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构,并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (8)

1.一种四轴高精度压头,其特征在于,包括:探针压头组件(1)、直线电机(2)、线性模组(3)、电动滑台(4)、DD马达(5)和两个CCD相机组件(6),其中,
所述线性模组(3)固定在直线电机(2)的上端,所述直线电机(2)的驱动方向为X轴限定方向,线性模组(3)的驱动方向为Y轴限定方向;
所述电动滑台(4)位于直线电机(2)的一侧,电动滑台(4)与直线电机(2)的底部连接;所述电动滑台(4)的驱动方向为Z轴限定方向;
所述DD马达(5)通过电动滑台(4)与直线电机(2)连接,所述DD马达(5)通过连接件(7)与电动滑台(4)连接;所述连接件(7)用于罩住DD马达(5);所述DD马达(5)的旋转方向为θ轴限定方向;
所述探针压头组件(1)与DD马达(5)的底部连接,所述探针压头组件(1)、直线电机(2)和DD马达(5)位于一直线上,以通过直线电机(2)、线性模组(3)、电动滑台(4)和DD马达(5)调整探针压头组件(1)在X、Y和θ轴方向上的位置偏差,通过电动滑台(4)下压探针压头组件(1);所述探针压头组件(1)的设有探针的一侧设有屏幕放置台(8);
两个所述CCD相机组件(6)设置在DD马达(5)的远离直线电机(2)一侧的斜上方,位于屏幕放置台(8)的上方;两个所述CCD相机组件(6)之间的连线与直线电机(2)的X轴限定方向平行。
2.根据权利要求1所述的四轴高精度压头,其特征在于,所述直线电机(2)包括:底座(21)和位于底座(21)上部的连接块(22);所述底座(21)的上部设有齿槽(26),所述齿槽(26)与底座(21)的两端形成两个凸台,每个所述凸台上设置一导轨(23);
所述连接块(22)底部的相对两端分别设置一滑块(24),所述滑块(24)的设置方向与导轨(23)的设置方向相同,滑块(24)与导轨(23)滑动连接,使得连接块(22)通过滑块(24)沿底座(21)做相对移动;
所述连接块(22)的上部设有安装孔(27),所述安装孔(27)用于与线性模组(3)的底部连接。
3.根据权利要求2所述的四轴高精度压头,其特征在于,所述连接块(22)的底部还设有铁芯(25),所述铁芯(25)设置在两个滑块(24)之间,所述铁芯(25)位于齿槽(26)内。
4.根据权利要求1所述的四轴高精度压头,其特征在于,所述线性模组(3)包括:驱动装置(31)、固定框(32)、直线导轨(33)、滚珠丝杠和滑动块(34);所述驱动装置(31)设于固定框(32)的一侧;所述直线导轨(33)、滚珠丝杠和滑动块(34)位于固定框(32)内,所述驱动装置(31)用于驱动滚珠丝杠的旋转;所述滚珠丝杠位于直线导轨(33)内,所述滑动块(34)设于滚珠丝杠上,滑动块(34)沿滚珠丝杠移动。
5.根据权利要求1所述的四轴高精度压头,其特征在于,所述电动滑台(4)包括:下压底座(41)、驱动器(42)、X轴连接件(43)和θ轴连接件(44);所述驱动器(42)设置在下压底座(41)的上端,驱动器(42)用于驱动下压底座(41)产生向下移动的作用力;所述X轴连接件(43)和θ轴连接件(44)分别设置在下压底座(41)的一侧,使得电动滑台(4)呈L型;所述X轴连接件(43)和θ轴连接件(44)位于直线电机(2)和DD马达(5)之间。
6.根据权利要求5所述的四轴高精度压头,其特征在于,所述X轴连接件(43)位于靠近直线电机(2)的一侧,所述X轴连接件(43)用于实现电动滑台(4)和直线电机(2)的连接;所述θ轴连接件(44)位于靠近DD马达(5)的一侧,所述θ轴连接件(44)与连接件(7)连接,以实现电动滑台(4)和DD马达(5)的连接。
7.根据权利要求1所述的四轴高精度压头,其特征在于,所述DD马达(5)包括:上盖(51)、回转部(52)、固定部(54)和线缆(53);所述上盖(51)设置在回转部(52)的顶端;其中一个所述线缆(53)设置在上盖(51)的侧壁上,另一个线缆(53)设置在回转部(52)的侧壁上,两个线缆(53)的位置相对,相互平行,通过线缆(53)驱动回转部(52)内的转子转动;所述固定部(54)设置在回转部(52)的底部。
8.根据权利要求1所述的四轴高精度压头,其特征在于,所述CCD相机组件(6)包括:固定支座(61)、镜筒(62)、镜头(63)、加固件(64)、移动件(65)和滑轨(66);
所述镜筒(62)的一端固定在固定支座(61)上,镜筒(62)的另一端设有镜头(63);所述镜头(63)的光轴方向朝向屏幕放置台(8),两个CCD相机组件(6)的光轴之间的距离小于屏幕放置台(8)的宽度;
所述固定支座(61)的侧壁通过加固件(64)与移动件(65)连接,所述滑轨(66)位于移动件(65)的底部,所述移动件(65)的底部与滑轨(66)滑动连接。
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