CN109107985A - 一种实验室检测用的硅片翻转冲洗装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种实验室检测用的硅片翻转冲洗装置，包括挂杆，插套，清洗液泵，硅片插架，滑动杆，定位套，滤筒，滤筒盖，喷水管和电热风机；所述清洗筒的底部焊接固定有一处聚水罩，此聚水罩与清洗筒的交界处焊接支撑有一处安装环板，且三处电动推杆就呈环形阵列支撑安装于安装环板的顶端；所述滤筒盖螺纹拧紧于排水方管底部的开口螺纹圆管；所述定位套的后侧板面上还支撑焊接有一处挂钩，且滑动杆的后端钩框可转动钩挂于此挂钩上，本发明滤筒的设置，滤筒能够过滤盛液筒内部清洗掉的杂质，且杂质会被截留其内部，只需将滤筒盖松开即可将滤筒抽拉取出对截留杂质进行方便的倾倒冲洗。

Description

一种实验室检测用的硅片翻转冲洗装置

技术领域

本发明属于硅片净洗设备技术领域，更具体地说，特别涉及一种实验室检测用的硅片翻转冲洗装置。

背景技术

随着大规模集成电路的发展、集成电路的集成度不断提高、线宽不断减小，集成电路对硅片表面的洁净度、表面化学态、氧化膜厚度的要求也越来越高。硅片在进行试验测试时必须经严格清洗，否则即使微量污染也会导致后续检测数据的偏差，进而这就需要一种实验室检测用的硅片翻转冲洗装置。

经过检索例如专利号为CN207781552U的专利，公开了一种硅片制绒工艺处理技术领域，尤其是一种制绒后硅片清洗检测装置，包括PLC控制器、电阻率测试仪、报警器及装有纯水的慢提拉槽体，慢提拉槽体的上端具有溢流口，慢提拉槽体的溢流口处连通有溢流管，电阻率测试仪用于检测溢流管中液体的电阻率，PLC控制器分别与电阻率测试仪及报警器信号连接，本发明通过将硅片放入到装有纯水的慢提拉槽体中，然后巧妙的利用电阻率测试仪检测慢提提拉槽体中所溢流出的液体的电阻率是否发生变化，从而获知硅片是否清洗干净，确保制绒后的硅片经水洗、酸洗及再次水洗其表面不在残留化学药液，有效的避免了后续制绒后的硅片被污染的问题及对后续工艺造成影响，进而提高太阳能电池的转换效率。

基于上述专利并结合现有技术本发明人发现，现有的设备虽然能够进行常规的净洗设备使用，但是其在实际应用中存在，功能集成较少，不能够一次性的进行清洗，清水冲洗以及烘干，使用较为繁琐不便，且清洗的效果较差，另外对清洗液杂质的滤净效果较差，不便于对截留杂质进行清理的问题。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种实验室检测用的硅片翻转冲洗装置，以解决现有硅片净洗设备功能集成较少，不能够一次性的进行清洗，清水冲洗以及烘干，使用较为繁琐不便，且清洗的效果较差，另外对清洗液杂质的滤净效果较差，不便于对截留杂质进行清理的问题。

本发明实验室检测用的硅片翻转冲洗装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：

一种实验室检测用的硅片翻转冲洗装置，包括清洗筒，烘干风筒，安装环板，插套，聚水罩，换能器安装柱，电动推杆，弧形盖板，电机，轴承座，盛液筒，球阀，超声波换能器，清水泵，排水方管，管内水罩，转动架，挂杆，插套，清洗液泵，硅片插架，定位框，插销，定位耳板，插接耳板，挂钩，滑动杆，定位套，滤筒，滤筒盖，喷水管和电热风机；所述清洗筒的圆周外壁上呈环形阵列支撑连通有六处烘干风筒，此六处烘干风筒的顶端均安装有一处电热风机，且六处烘干风筒之间的三处间隔圆弧壁面的顶端位置均焊接设置有两处插套，三处弧形盖板就通过其圆周外檐上的两处插杆对应插接置于这三组插套中并定位盖置于清洗筒的顶端开口上；所述清洗筒的底部焊接固定有一处聚水罩，此聚水罩与清洗筒的交界处焊接支撑有一处安装环板，且三处电动推杆就呈环形阵列支撑安装于安装环板的顶端；所述聚水罩的底部吊置连通有一处排水方管，此排水方管内部的顶端位置焊接设置有一处管内水罩，这处管内水罩的底部又焊接支撑有一处插环，且排水方管底板的中心处支撑设置有一处开口螺纹圆管；所述滤筒盖螺纹拧紧于排水方管底部的开口螺纹圆管；所述盛液筒内部空间的中间位置支撑设置有一处间隔板，此间隔板将盛液筒一分为二，左半部分为清水腔，右半部分为清洗液腔，且清水腔和清洗液腔的圆周外壁上分别螺丝锁紧安装有一处清水泵和一处清洗液泵，其中清水泵的出水管与喷水管底部的环形导水管连通，清洗液泵的出水管直接与清洗筒的内部连通；所述盛液筒清水腔和清洗液腔的底部均螺纹锁紧有一处球阀；所述硅片插架由两处呈人字形支撑设置的支架和一处定位框共同插接组合形成，其中人字形支撑支架的两处支架撑板上均等距排列开设有若干处插槽，定位框的支撑框板上也等距排列开设有若干处插槽，这些插槽的底侧端面以及左右侧壁上均黏贴有一层硅胶垫，且硅片就插置定位于上述三排插槽之间；所述硅片插架前后两处人字形支撑连接板上对称焊接有两处定位套，两处滑动杆就滑动穿插通过此两处定位套，且滑动杆首端焊接固定有一处插框，其后端转动连接有一处钩框；所述定位套的后侧板面上还支撑焊接有一处挂钩，且滑动杆的后端钩框可转动钩挂于此挂钩上；所述硅片插架人字形支架的左侧支架撑板的前后两端位置对称插销，且两处插销对应插接于两处插套的内部，进而三处硅片插架被竖直挂接于三处挂杆上；所述电机的转轴上套设有一处轴承座，此轴承座与电机的减速机上均呈环形阵列支撑有三处支撑板，且这上下对应的六处支撑板分别与三处电动推杆的伸缩杆支撑连接。

进一步的，所述聚水罩支撑设置有一处换能器安装柱，此换能器安装柱上呈环形阵列安装设置有六排超声波换能器，且清洗筒的圆周内壁上呈环形阵列间隔设置有十二排超声波换能器和十二根喷水管，硅片插架就环绕套设于换能器安装柱与此十二排超声波换能器之间的环形空间中。

进一步的，所述转动架焊机于电机转轴的末端，其由三处支撑板呈三角形状焊接拼合而成，且三处支撑板的首端均竖直向下焊接支撑有一处挂杆，此挂杆上呈上下间隔焊接有两处插套。

进一步的，所述排水方管左右侧壁的底部位置对称支撑连通有一处清水折弯导水管和一处清洗液折弯导水管，此两处折弯导水管均设置有一处电磁阀，且两处折弯导水管末端分与清水腔和清洗液腔焊接连通。

进一步的，所述滤筒的顶端呈开口设置，其底部为滤网封堵设置，且滤筒竖直向上滑动插置于排水方管的内部，当滤筒处于滑动插接完成的状态时，其顶端开口套插抵靠于管内水罩的底部插环上。

进一步的，所述硅片插架人字形支架前后两处顶端折角上对称支撑有两处开设有中心插孔的插接耳板，且定位框前后支撑的末端对称支撑有两处带有中心插杆的定位耳板，此两处定位耳板对应靠置于插接耳板上，其上的两处插杆则对应插接于两处插接耳板的中心插孔中。

进一步的，所述滑动杆上套设有一处弹簧，此弹簧压缩置于其首端插框和定位套之间，进而在弹簧的顶推下滑动杆的首端插框滑动插套于抵靠在一起的插接耳板和定位耳板上。

进一步的，所述盛液筒的中间处内凹设置有一处为贯穿的方形槽，排水方管就位于此方形槽的正上方，且盛液筒的顶端通过呈环形阵列的六处支撑杆顶置支撑有清洗筒。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

本发明，可使硅片于同一腔体内部进行清洗，冲洗以及烘干一整套流程，不必将硅片取出依次放进不同的设备进行上述作业，这极大方便了使用，简化了清洗操作流程，减少多次搬移硅片所带来的麻烦，且每次排放盛液筒内的液体，液体一定会全部流经滤筒，这就使清洗以及冲洗下的杂质能够得到较为彻底的过滤；硅片的各部分能够跟自由转动不断的改变方位并暴露于超声波换能器的对立侧，这便于硅片各部分的清洗，使硅片可进行全方位的彻底清洗，提高了硅片的清洗洁净度，有利于后续检测数据的准确性，且三处硅片插架的慢速转动也便于十二根喷水管上的喷头对硅片进行冲洗，还能够便于六处电热风机对硅片进行烘干，有效的提高了装置本体冲洗以及烘干效果；滤筒能够过滤盛液筒内部清洗掉的杂质，且杂质会被截留其内部，只需将滤筒盖松开即可将滤筒抽拉取出对截留杂质进行方便的倾倒冲洗。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明三维结构示意图。

图3是本发明底部三维结构示意图。

图4是本发明清洗筒结构示意图。

图5是本发明三处硅片插架驱动旋示意图。

图6是本发明三处硅片插架挂接安装示意图。

图7是本发明换能器安装柱结构示意图。

图8是本发明滤筒装配示意图。

图9是本发明硅片插架结构示意图。

图10是本发明盛液筒内部结构示意图。

图中，部件名称与附图编号的对应关系为：

1-清洗筒，101-烘干风筒，102-安装环板，103-插套，104-聚水罩，2-换能器安装柱，3-电动推杆，4-弧形盖板，5-电机，501-轴承座，6-盛液筒，601-球阀，7-超声波换能器，8-清水泵，9-排水方管，901-管内水罩，10-转动架，1001-挂杆，1002-插套，11-清洗液泵，12-硅片插架，1201-定位框，1202-插销，1203-定位耳板，1204-插接耳板，1205-挂钩，1206-滑动杆，1207-定位套，13-滤筒，1301-滤筒盖，14-喷水管，15-电热风机。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。

在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例：

如附图1至附图10所示：

本发明提供一种实验室检测用的硅片翻转冲洗装置，包括清洗筒1，烘干风筒101，安装环板102，插套103，聚水罩104，换能器安装柱2，电动推杆3，弧形盖板4，电机5，轴承座501，盛液筒6，球阀601，超声波换能器7，清水泵8，排水方管9，管内水罩901，转动架10，挂杆1001，插套1002，清洗液泵11，硅片插架12，定位框1201，插销1202，定位耳板1203，插接耳板1204，挂钩1205，滑动杆1206，定位套1207，滤筒13，滤筒盖1301，喷水管14和电热风机15；所述清洗筒1的圆周外壁上呈环形阵列支撑连通有六处烘干风筒101，此六处烘干风筒101的顶端均安装有一处电热风机15，且六处烘干风筒101之间的三处间隔圆弧壁面的顶端位置均焊接设置有两处插套103，三处弧形盖板4就通过其圆周外檐上的两处插杆对应插接置于这三组插套103中并定位盖置于清洗筒1的顶端开口上；所述清洗筒1的底部焊接固定有一处聚水罩104，此聚水罩104与清洗筒1的交界处焊接支撑有一处安装环板102，且三处电动推杆3就呈环形阵列支撑安装于安装环板102的顶端；所述聚水罩104的底部吊置连通有一处排水方管9，此排水方管9内部的顶端位置焊接设置有一处管内水罩901，这处管内水罩901的底部又焊接支撑有一处插环，且排水方管9底板的中心处支撑设置有一处开口螺纹圆管；所述滤筒盖1301螺纹拧紧于排水方管9底部的开口螺纹圆管；所述盛液筒6内部空间的中间位置支撑设置有一处间隔板，此间隔板将盛液筒6一分为二，左半部分为清水腔，右半部分为清洗液腔，且清水腔和清洗液腔的圆周外壁上分别螺丝锁紧安装有一处清水泵8和一处清洗液泵11，其中清水泵8的出水管与喷水管14底部的环形导水管连通，清洗液泵11的出水管直接与清洗筒1的内部连通；所述盛液筒6清水腔和清洗液腔的底部均螺纹锁紧有一处球阀601；所述硅片插架12由两处呈人字形支撑设置的支架和一处定位框1201共同插接组合形成，其中人字形支撑支架的两处支架撑板上均等距排列开设有若干处插槽，定位框1201的支撑框板上也等距排列开设有若干处插槽，这些插槽的底侧端面以及左右侧壁上均黏贴有一层硅胶垫，且硅片就插置定位于上述三排插槽之间；所述硅片插架12前后两处人字形支撑连接板上对称焊接有两处定位套1207，两处滑动杆1206就滑动穿插通过此两处定位套1207，且滑动杆1206首端焊接固定有一处插框，其后端转动连接有一处钩框；所述定位套1207的后侧板面上还支撑焊接有一处挂钩1205，且滑动杆1206的后端钩框可转动钩挂于此挂钩1205上；所述硅片插架12人字形支架的左侧支架撑板的前后两端位置对称插销1202，且两处插销1202对应插接于两处插套1002的内部，进而三处硅片插架12被竖直挂接于三处挂杆1001上；所述电机5的转轴上套设有一处轴承座501，此轴承座501与电机5的减速机上均呈环形阵列支撑有三处支撑板，且这上下对应的六处支撑板分别与三处电动推杆3的伸缩杆支撑连接。

其中，所述聚水罩104支撑设置有一处换能器安装柱2，此换能器安装柱2上呈环形阵列安装设置有六排超声波换能器7，且清洗筒1的圆周内壁上呈环形阵列间隔设置有十二排超声波换能器7和，硅片插架12就环绕套设于换能器安装柱2与此十二排超声波换能十二根喷水管14器7之间的环形空间中，换能器安装柱2上的六排超声波换能器7和清洗筒1圆周内壁上的十二排超声波换能器7能够配合使用对三处硅片插架12上硅片的内外两侧部分进行同时清洗，使硅片能够得到较为充分全面的清洗。

其中，所述转动架10焊机于电机5转轴的末端，其由三处支撑板呈三角形状焊接拼合而成，且三处支撑板的首端均竖直向下焊接支撑有一处挂杆1001，此挂杆1001上呈上下间隔焊接有两处插套1002，三处硅片插架12上可在电机5的驱动下进行慢速旋转，进而其上硅片的各部分能够跟随转动不断的改变方位并暴露于超声波换能器7的对立侧，这便于硅片各部分的清洗，使硅片可进行全方位的彻底清洗，提高了硅片的清洗洁净度，有利于后续检测数据的准确性，且三处硅片插架12的慢速转动也便于十二根喷水管14上的喷头对硅片进行冲洗，还能够便于六处电热风机15对硅片进行烘干，有效的提高了装置本体冲洗以及烘干效果。

其中，所述排水方管9左右侧壁的底部位置对称支撑连通有一处清水折弯导水管和一处清洗液折弯导水管，此两处折弯导水管均设置有一处电磁阀，且两处折弯导水管末端分与清水腔和清洗液腔焊接连通，通过清水折弯导水管和清洗液折弯导以及其上的电磁阀可将清洗筒1内部的洗液分类排放于盛液筒6内部的清水腔和清洗液腔中，在超声波清洗完成后将打开清洗液管电磁阀，可使盛液筒6内部的清洗液流入清洗液腔中，待排放完毕后关闭清洗液管电磁阀，即可在盛液筒6内部对硅片进行清洗冲洗作业，同理在冲洗完成直接在盛液筒6进行烘干作业，进而硅片可在同一腔体内部进行清洗，冲洗以及烘干一整套流程，不必将硅片取出依次放进不同的设备进行上述作业，这极大方便了使用，简化了清洗操作流程，减少多次搬移硅片所带来的麻烦，且每次排放盛液筒6内的液体，液体一定会全部流经滤筒13，这就使清洗以及冲洗下的杂质能够得到较为彻底的过滤。

其中，所述滤筒13的顶端呈开口设置，其底部为滤网封堵设置，且滤筒13竖直向上滑动插置于排水方管9的内部，当滤筒13处于滑动插接完成的状态时，其顶端开口套插抵靠于管内水罩901的底部插环上，滤筒13能够过滤盛液筒6内部清洗掉的杂质，且杂质会被截留其内部，只需将滤筒盖1301松开即可将滤筒13抽拉取出对截留杂质进行方便的倾倒冲洗。

其中，所述硅片插架12人字形支架前后两处顶端折角上对称支撑有两处开设有中心插孔的插接耳板1204，且定位框1201前后支撑的末端对称支撑有两处带有中心插杆的定位耳板1203，此两处定位耳板1203对应靠置于插接耳板1204上，其上的两处插杆则对应插接于两处插接耳板1204的中心插孔中，进而能够避免定位框1201于人字形支架的顶端左右摇晃。

其中，所述滑动杆1206上套设有一处弹簧，此弹簧压缩置于其首端插框和定位套1207之间，进而在弹簧的顶推下滑动杆1206的首端插框滑动插套于抵靠在一起的插接耳板1204和定位耳板1203上，定位框1201能够将硅片顶靠定位于硅片插架12上，滑动杆1206的首端插框能够插接卡靠定位插接耳板1204和定位耳板1203进而使定位框1201定位于硅片插架12上，保证了定位框1201对硅片的顶靠功能，且只需向后抽拉滑动杆1206即可使滑动杆1206的首端插框脱离开来并方便的将定位框1201取下，这就为硅片于硅片插架12上的装卸提供了便利。

其中，所述盛液筒6的中间处内凹设置有一处为贯穿的方形槽，排水方管9就位于此方形槽的正上方，且盛液筒6的顶端通过呈环形阵列的六处支撑杆顶置支撑有清洗筒1，方形凹槽能够为滤筒13的抽拉装卸提供操作空间。

清洗筒1圆周外壁的中间位置安装设置有一处控制面板箱，此控制面板箱集成安装有三处编码器、四处接触器和一处大功率超声波发生器，其中三处编码器对应控制三处电动推杆3，六处接触器分别对应控制电机5、清水泵8、清水管电磁阀、清洗液泵11、清洗液电磁阀以及六处电热风机15，而超声波发生器则与所有的超声波换能器7输出连接。

编码器能够通过脉冲数准确反馈马达主轴转动圈数，从而精确计算电动推杆行程变化，实现精确控制。

本实施例的具体使用方式与作用：

本发明使用流程：首先将三处插装满硅片的硅片插架12挂接于转动架10上并把三处弧形盖板4盖置于盛液筒6的顶端开口上，然后通过控制面板箱上的下降按钮控制三处电动推杆3下降并使三处硅片插架12插置于盛液筒6内部，接着启动清洗液泵11对盛液筒6进行加水，待加注到标准水位后停止清洗液泵11，随后启动电机5和所有的超声波换能器7开始超声波清洗，待超声波清洗结束后，打开清洗液电磁阀将清洗液排放于清洗液腔中，上述流程结束后，启动清水泵8和清水管电磁阀开始对硅片进行清水冲洗，冲洗过后的水会经滤筒1、清水折弯管直接排入清水腔中，自此冲洗流程结束，启动六处电热风机15对硅片进行烘干，最后烘干完成后将硅片取出即可。

本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (8)

1.一种实验室检测用的硅片翻转冲洗装置，其特征在于：该实验室检测用的硅片翻转冲洗装置包括清洗筒(1)，烘干风筒(101)，安装环板(102)，插套(103)，聚水罩(104)，换能器安装柱(2)，电动推杆(3)，弧形盖板(4)，电机(5)，轴承座(501)，盛液筒(6)，球阀(601)，超声波换能器(7)，清水泵(8)，排水方管(9)，管内水罩(901)，转动架(10)，挂杆(1001)，插套(1002)，清洗液泵(11)，硅片插架(12)，定位框(1201)，插销(1202)，定位耳板(1203)，插接耳板(1204)，挂钩(1205)，滑动杆(1206)，定位套(1207)，滤筒(13)，滤筒盖(1301)，喷水管(14)和电热风机(15)；所述清洗筒(1)的圆周外壁上呈环形阵列支撑连通有六处烘干风筒(101)，此六处烘干风筒(101)的顶端均安装有一处电热风机(15)，且六处烘干风筒(101)之间的三处间隔圆弧壁面的顶端位置均焊接设置有两处插套(103)，三处弧形盖板(4)就通过其圆周外檐上的两处插杆对应插接置于这三组插套(103)中并定位盖置于清洗筒(1)的顶端开口上；所述清洗筒(1)的底部焊接固定有一处聚水罩(104)，此聚水罩(104)与清洗筒(1)的交界处焊接支撑有一处安装环板(102)，且三处电动推杆(3)就呈环形阵列支撑安装于安装环板(102)的顶端；所述聚水罩(104)的底部吊置连通有一处排水方管(9)，此排水方管(9)内部的顶端位置焊接设置有一处管内水罩(901)，这处管内水罩(901)的底部又焊接支撑有一处插环，且排水方管(9)底板的中心处支撑设置有一处开口螺纹圆管；所述滤筒盖(1301)螺纹拧紧于排水方管(9)底部的开口螺纹圆管；所述盛液筒(6)内部空间的中间位置支撑设置有一处间隔板，此间隔板将盛液筒(6)一分为二，左半部分为清水腔，右半部分为清洗液腔，且清水腔和清洗液腔的圆周外壁上分别螺丝锁紧安装有一处清水泵(8)和一处清洗液泵(11)，其中清水泵(8)的出水管与喷水管(14)底部的环形导水管连通，清洗液泵(11)的出水管直接与清洗筒(1)的内部连通；所述盛液筒(6)清水腔和清洗液腔的底部均螺纹锁紧有一处球阀(601)；所述硅片插架(12)由两处呈人字形支撑设置的支架和一处定位框(1201)共同插接组合形成，其中人字形支撑支架的两处支架撑板上均等距排列开设有若干处插槽，定位框(1201)的支撑框板上也等距排列开设有若干处插槽，这些插槽的底侧端面以及左右侧壁上均黏贴有一层硅胶垫，且硅片就插置定位于上述三排插槽之间；所述硅片插架(12)前后两处人字形支撑连接板上对称焊接有两处定位套(1207)，两处滑动杆(1206)就滑动穿插通过此两处定位套(1207)，且滑动杆(1206)首端焊接固定有一处插框，其后端转动连接有一处钩框；所述定位套(1207)的后侧板面上还支撑焊接有一处挂钩(1205)，且滑动杆(1206)的后端钩框可转动钩挂于此挂钩(1205)上；所述硅片插架(12)人字形支架的左侧支架撑板的前后两端位置对称插销(1202)，且两处插销(1202)对应插接于两处插套(1002)的内部，进而三处硅片插架(12)被竖直挂接于三处挂杆(1001)上；所述电机(5)的转轴上套设有一处轴承座(501)，此轴承座(501)与电机(5)的减速机上均呈环形阵列支撑有三处支撑板，且这上下对应的六处支撑板分别与三处电动推杆(3)的伸缩杆支撑连接。

2.如权利要求1所述实验室检测用的硅片翻转冲洗装置，其特征在于：所述聚水罩(104)支撑设置有一处换能器安装柱(2)，此换能器安装柱(2)上呈环形阵列安装设置有六排超声波换能器(7)，且清洗筒(1)的圆周内壁上呈环形阵列间隔设置有十二排超声波换能器(7)和十二根喷水管(14)，硅片插架(12)就环绕套设于换能器安装柱(2)与此十二排超声波换能器(7)之间的环形空间中。

3.如权利要求1所述实验室检测用的硅片翻转冲洗装置，其特征在于：所述转动架(10)焊机于电机(5)转轴的末端，其由三处支撑板呈三角形状焊接拼合而成，且三处支撑板的首端均竖直向下焊接支撑有一处挂杆(1001)，此挂杆(1001)上呈上下间隔焊接有两处插套(1002)。

4.如权利要求1所述实验室检测用的硅片翻转冲洗装置，其特征在于：所述排水方管(9)左右侧壁的底部位置对称支撑连通有一处清水折弯导水管和一处清洗液折弯导水管，此两处折弯导水管均设置有一处电磁阀，且两处折弯导水管末端分与清水腔和清洗液腔焊接连通。

5.如权利要求1所述实验室检测用的硅片翻转冲洗装置，其特征在于：所述滤筒(13)的顶端呈开口设置，其底部为滤网封堵设置，且滤筒(13)竖直向上滑动插置于排水方管(9)的内部，当滤筒(13)处于滑动插接完成的状态时，其顶端开口套插抵靠于管内水罩(901)的底部插环上。

6.如权利要求1或5所述实验室检测用的硅片翻转冲洗装置，其特征在于：所述硅片插架(12)人字形支架前后两处顶端折角上对称支撑有两处开设有中心插孔的插接耳板(1204)，且定位框(1201)前后支撑的末端对称支撑有两处带有中心插杆的定位耳板(1203)，此两处定位耳板(1203)对应靠置于插接耳板(1204)上，其上的两处插杆则对应插接于两处插接耳板(1204)的中心插孔中。

7.如权利要求1所述实验室检测用的硅片翻转冲洗装置，其特征在于：所述滑动杆(1206)上套设有一处弹簧，此弹簧压缩置于其首端插框和定位套(1207)之间，进而在弹簧的顶推下滑动杆(1206)的首端插框滑动插套于抵靠在一起的插接耳板(1204)和定位耳板(1203)上。

8.如权利要求1所述实验室检测用的硅片翻转冲洗装置，其特征在于：所述盛液筒(6)的中间处内凹设置有一处为贯穿的方形槽，排水方管(9)就位于此方形槽的正上方，且盛液筒(6)的顶端通过呈环形阵列的六处支撑杆顶置支撑有清洗筒(1)。