CN109031660A - 消单色像差大视场双级联变焦透镜及其设计方法 - Google Patents

消单色像差大视场双级联变焦透镜及其设计方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109031660A
CN109031660A CN201811025893.XA CN201811025893A CN109031660A CN 109031660 A CN109031660 A CN 109031660A CN 201811025893 A CN201811025893 A CN 201811025893A CN 109031660 A CN109031660 A CN 109031660A
Authority
CN
China
Prior art keywords
nano brick
array structure
visual field
big visual
disappears
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201811025893.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN109031660B (zh
Inventor
郑国兴
李嘉鑫
邓娟
邓联贵
李子乐
陶金
武霖
刘子晨
吴伟标
毛庆洲
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuhan University WHU
Original Assignee
Wuhan University WHU
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuhan University WHU filed Critical Wuhan University WHU
Priority to CN201811025893.XA priority Critical patent/CN109031660B/zh
Publication of CN109031660A publication Critical patent/CN109031660A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109031660B publication Critical patent/CN109031660B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0012—Optical design, e.g. procedures, algorithms, optimisation routines
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/002—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements made of materials engineered to provide properties not available in nature, e.g. metamaterials

Abstract

本发明提供提供一种消单色像差大视场双级联变焦透镜及其设计方法，能够有效消除大视场下的单色像差。本发明所涉及的消单色像差的大视场双级联变焦透镜，其特征在于，包括：石英玻璃；第一纳米砖阵列结构，形成在该石英玻璃的一侧表面，用以校正透镜在大视场下的像差；以及第二纳米砖阵列结构，形成在该石英玻璃的另一侧表面，用以实现平行光束的聚焦，其中，第一纳米砖阵列结构和第二纳米砖阵列结构均由纳米砖单元周期性排列形成，并且纳米砖为长方体形，长宽高均为亚波长尺寸。本发明所提供的大视场双级联变焦透镜，具有体积小、成本低、重量小、设计思路简单的优点，非常适宜于在微型光电体系中应用。

Description

消单色像差大视场双级联变焦透镜及其设计方法
技术领域
本发明属于微纳光学和偏振光学领域，具体涉及一种消单色像差大视场双级联变焦透镜及其设计方法。
背景技术
变焦透镜组在军事侦察、红外探测成像、或手机单反摄影等领域有着举足轻重的作用。相比于连续变焦光学系统，双档变焦系统的轴向尺寸更小、透过率更高、装调更容易，在某些应用中已替换了连续变焦系统。双档变焦光学系统的变焦方式分为切入式变焦方式和透镜组轴向移动变焦两种，这两种方式都是通过透镜组的机械移动来实现补偿式的光学变焦。因此，这样的双档变焦光学系统，需要精密的光学设计，且需要较大的光学体系来给像差补偿提供条件，限制了变焦光学系统在微型光电体系中的应用。
基于圆偏光控制的超表面双档变焦透镜，较好的解决了传统双档变焦透镜的弊端，然而因为其中的每一块超表面阵列都只针对一种特定的入射情况设计，因而不能很好的消除轴外像差。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种消单色像差大视场双级联变焦透镜及其设计方法。
本发明为了实现上述目的，采用了以下方案：
<透镜>
本发明提供一种消单色像差的大视场双级联变焦透镜，其特征在于，包括：石英玻璃；第一纳米砖阵列结构，形成在该石英玻璃的一侧表面，用以校正透镜在大视场下的像差；以及第二纳米砖阵列结构，形成在该石英玻璃的另一侧表面，用以实现平行光束的聚焦，其中，第一纳米砖阵列结构和第二纳米砖阵列结构均由纳米砖周期性排列形成，并且纳米砖为长方体形，长宽高均为亚波长尺寸。
优选地，本发明提供的消单色像差的大视场双级联变焦透镜，还可以具有以下特征：纳米砖为硅纳米砖。
优选地，本发明提供的消单色像差的大视场双级联变焦透镜，还可以具有以下特征：第一纳米砖阵列结构和第二纳米砖阵列结构上纳米砖的相位分布是基于优化扫描后的偶次多项式的各项系数选取：设定透镜的相关参数，然后基于光线追迹的方法经由优化扫描得到偶次多项式的各项系数，优化的目标是寻找使得该超表面透镜在大角度入射下的光斑直径最小的最优解，根据优化得到的各项系数，设计第一纳米砖阵列结构和第二纳米砖阵列结构的相位分布。
<设计方法>
本发明还提供一种消单色像差的大视场双级联变焦透镜的设计方法，其特征在于，包括：根据所设定的透镜的相关参数，和寻找使得该透镜在大角度入射下光斑直径最小的最优解的优化目标，基于光线追迹的方法经由优化扫描得到偶次多项式的各项系数，根据优化得到的各项系数，设计位于石英玻璃两侧面上的第一纳米砖阵列结构和第二纳米砖阵列结构的相位分布。
进一步地，本发明提供的消单色像差的大视场双级联变焦透镜的设计方法，还可以具有以下特征：相关参数包含：焦距、入射波长，基底厚度、基底材料、评价函数以及入射角范围。
发明的作用与效果
(1)与单一超表面阵列双档变焦透镜相比，本发明具有能够消除大视场下的单色像差的优点；
(2)与传统双档变焦光学系统相比，本发明不需要复杂的光学设计，更加适宜于在微型光电体系中的应用，具有体积小、成本低、重量小、设计思路简单的优点；
(3)本发明仅需要改变入射线偏光的偏振方向就能实现光学变焦，且在变焦前后能保持透镜的焦面位置不变，结构参数的微调对本发明影响较小；
(4)本发明具有紧凑的尺寸结构，可广泛用于微型光电系统；
(5)纳米砖阵列结构可沿用标准光刻工艺加工，工艺简单。
附图说明
图1为本发明实施例涉及的消单色像差的大视场双级联变焦透镜的结构示意图；
图2为本发明实施例涉及的不同角度平行光通过消单色像差的大视场双级联变焦透镜后被聚焦的结构示意图，其中(a)为X方向偏振，(b)为Y方向偏振；
图3为本发明实施例涉及的消单色像差的大视场双级联变焦透镜在不同角度平行光下的具体聚焦情况示意图，其中(a)为X方向偏振，(b)为Y方向偏振。
具体实施方式
以下结合附图对本发明涉及的消单色像差大视场双级联变焦透镜及其设计方法的具体实施方案进行详细地说明。
<实施例>
如图1和2所示，本实施例所提供的消单色像差的大视场双级联变焦透镜10包括三层结构，从左至右依次为第一纳米砖阵列结构11、石英玻璃12、第二纳米砖阵列结构13。其中，第一纳米砖阵列结构11和第二纳米砖阵列结构13均由硅纳米砖周期性排列构成，硅纳米砖为长方体形，旋向和尺寸相同，且其长宽高均为亚波长尺寸。第一纳米砖阵列结构11用以校正透镜10在大视场下的像差，第二纳米砖阵列结构13用以实现平行光束的聚焦。
下面对上述消单色像差的大视场双级联变焦透镜10的具体设计方法进行说明，该方法包括如下步骤：
步骤1.为了优化得出纳米砖的最佳结构，对纳米砖在x方向和y方向上的宽度Lx与Ly进行了从40nm到200nm、步进为5nm的扫描；在扫描的过程中，保持相邻的纳米砖中心间隔C为250nm，纳米砖的高度H为310nm。经过数据的筛选，对0～2π的相位变化范围分成四台阶，即选取相位延迟为0、π/2、π、3π/2，并对两种不同的正交线偏振光选择了4×4＝16种不同的纳米砖结构参数，在保证透过率基本一致的前提下实现所需要的相位变化。纳米砖详细的几何参数如下表1所示：
表1硅纳米砖对应相位变化的几何参数表
Lx(nm) 55 45 60 170 110 100 95 85 135 115 110 100 165 140 135 120
Ly(nm) 105 170 165 125 85 110 125 170 75 105 120 165 75 95 110 140
X-Phase 0 0 0 0 π/2 π/2 π/2 π/2 π π π π 3π/2 3π/2 3π/2 3π/2
X-T(％) 96 96 95 73 72 74 77 83 55 55 55 56 67 66 69 65
Y-Phase 0 π/2 π 3π/2 0 π/2 π 3π/2 0 π/2 π 3π/2 0 π/2 π 3π/2
Y-T(％) 92 65 60 74 91 62 56 73 93 62 57 77 92 71 55 74
步骤2.设定透镜10的相关参数，包括：焦距、入射波长、基底厚度、基底材料、评价函数以及入射角范围，本实施例中设置入射波长为658nm，入射角度范围为0～30°；然后将这些参数输入ZEMAX软件中，由ZEMAX软件基于光线追迹的方法经由优化扫描得到偶次多项式的各项系数an，优化的目标是寻找使得该超表面透镜10在大角度入射下的光斑直径(RMS直径)最小的最优解。这里提到的偶次多项式与变焦有关，因此如下表2和3所示，在x和y方向偏振情况下，它的各项系数an(表中a1～a8)均为两组参数，分别与第一纳米砖阵列结构11(校正超表面)和第二纳米砖阵列结构13(聚焦超表面)相关。
表2透镜在x方向偏振光下的相位系数表
超表面阵列 a1 a2 a3 a4 a5 a6 a7 a8
校正超表面 -71.86 57.9 9.62 1.3 0.66 0 0 0
聚焦超表面 -3285.68 -31.88 33.77 -8.41 1.51 0 0 0
表3透镜在y方向偏振光下的相位系数表
超表面阵列 a1 a2 a3 a4 a5 a6 a7 a8
校正超表面 135.53 -59.41 128.5 -102.3 21.06 -1.326 0.45 4.80
聚焦超表面 -1490 -221.9 618.3 -709 188.9 180 120.57 -209.5
步骤3.根据优化得到的各项系数an，确定需要的相位调节量，然后与步骤1扫描得到的相位延迟进行比较，选取匹配区域的纳米砖的结构参数，基于这些结构参数设计好与第一纳米砖阵列结构11和第二纳米砖阵列结构13的相位分布，即得到消单色像差的大视场双级联变焦透镜10。结构参数具体包括纳米砖的长、宽、高以及硅纳米砖阵列的周期，周期为纳米砖阵列中横向和纵向上相邻硅纳米砖的中心轴的距离。
步骤4.针对该透镜10在不同角度的平行光入射下进行仿真分析，仿真结果如图3所示，在x方向线偏振光入射下，该超表面材料变焦透镜10的焦距为0.717mm，且在0°～30°下，入射的光束都能聚焦到同一点上，表示完善成像；该变焦透镜10在y方向的线偏振光入射下，其焦距为2mm，在0°～15°下，入射的光束近似完善聚焦。
以上实施例仅仅是对本发明技术方案所做的举例说明。本发明所涉及的消单色像差大视场双级联变焦透镜10及其设计方法并不限定于在以上实施例中所描述的内容，而是以权利要求所限定的范围为准。本发明所属领域技术人员在该实施例的基础上所做的任何修改或补充或等效替换，都在本发明的权利要求所要求保护的范围内。

Claims (5)

1.一种消单色像差的大视场双级联变焦透镜，其特征在于，包括：
石英玻璃；
第一纳米砖阵列结构，形成在所述石英玻璃的一侧表面，用以校正透镜在大视场下的像差；以及
第二纳米砖阵列结构，形成在所述石英玻璃的另一侧表面，用以实现平行光束的聚焦，
其中，所述第一纳米砖阵列结构和所述第二纳米砖阵列结构均由纳米砖周期性排列形成，并且所述纳米砖为长方体形，长宽高均为亚波长尺寸。
2.根据权利要求1所述的消单色像差的大视场双级联变焦透镜，其特征在于：
其中，所述纳米砖为硅纳米砖。
3.根据权利要求1所述的消单色像差的大视场双级联变焦透镜，其特征在于：
其中，所述第一纳米砖阵列结构和所述第二纳米砖阵列结构上纳米砖的相位分布是基于优化扫描后的偶次多项式的各项系数选取：
设定透镜的相关参数，然后基于光线追迹的方法经由优化扫描得到偶次多项式的各项系数，优化的目标是寻找使得该超表面透镜在大角度入射下的光斑直径最小的最优解，根据优化得到的各项系数，设计所述第一纳米砖阵列结构和所述第二纳米砖阵列结构的相位分布。
4.一种消单色像差的大视场双级联变焦透镜的设计方法，其特征在于，包括：
根据所设定的透镜的相关参数，和寻找使得该透镜在大角度入射下光斑直径最小的最优解的优化目标，基于光线追迹的方法经由优化扫描得到偶次多项式的各项系数，根据优化得到的各项系数，设计位于石英玻璃两侧面上的第一纳米砖阵列结构和所述第二纳米砖阵列结构的相位分布。
5.根据权利要求4所述的消单色像差的大视场双级联变焦透镜的设计方法，其特征在于：
其中，所述相关参数包含：焦距、入射波长、基底厚度、基底材料、评价函数以及入射角范围。
CN201811025893.XA 2018-09-04 2018-09-04 消单色像差大视场双级联变焦透镜及其设计方法 Expired - Fee Related CN109031660B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811025893.XA CN109031660B (zh) 2018-09-04 2018-09-04 消单色像差大视场双级联变焦透镜及其设计方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811025893.XA CN109031660B (zh) 2018-09-04 2018-09-04 消单色像差大视场双级联变焦透镜及其设计方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109031660A true CN109031660A (zh) 2018-12-18
CN109031660B CN109031660B (zh) 2020-12-01

Family

ID=64623642

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811025893.XA Expired - Fee Related CN109031660B (zh) 2018-09-04 2018-09-04 消单色像差大视场双级联变焦透镜及其设计方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109031660B (zh)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109683310A (zh) * 2019-01-10 2019-04-26 上海理工大学 一种太赫兹波超宽带消色差聚焦的级联超表面设计方法
CN110488394A (zh) * 2019-08-26 2019-11-22 华中科技大学 一种长波红外复合光学系统
CN110879477A (zh) * 2019-11-25 2020-03-13 武汉大学 基于超表面微透镜阵列的真三维立体成像技术
CN111258058A (zh) * 2020-01-21 2020-06-09 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 柔性遥感卫星光学镜片及其制作方法
CN111474611A (zh) * 2020-06-05 2020-07-31 浙江舜宇光学有限公司 超透镜组、超成像装置
CN111856746A (zh) * 2020-07-21 2020-10-30 武汉大学 基于叠层超表面的双档振幅光栅的设计方法
CN112099114A (zh) * 2020-09-29 2020-12-18 烟台睿创微纳技术股份有限公司 一种复合透镜及其制作方法、红外探测器
CN112147817A (zh) * 2020-10-30 2020-12-29 东南大学 一种基于超表面的纯相位空间光调制器
CN112987012A (zh) * 2021-02-02 2021-06-18 Oppo广东移动通信有限公司 光学组件、光线发射装置及接收装置、深度相机、终端及测距方法
CN113946034A (zh) * 2021-11-08 2022-01-18 中国科学院光电技术研究所 一种宽带手性光谱分析和大视场成像系统和设计方法
CN114488519A (zh) * 2021-12-23 2022-05-13 北京理工大学 大角度入射焦距连续可调的衍射光学透镜及其设计方法
CN114637120A (zh) * 2022-03-31 2022-06-17 天津山河光电科技有限公司 一种多功能超表面分束器
CN114764156A (zh) * 2021-01-11 2022-07-19 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种红外全介质正交柱面超透镜

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105549130A (zh) * 2015-12-29 2016-05-04 武汉大学 一种基于偏振态控制的双档变焦透镜
CN107065491A (zh) * 2017-06-20 2017-08-18 武汉大学 应用于全息防伪的纳米砖阵列全息片及其设计方法
US20180045953A1 (en) * 2016-04-29 2018-02-15 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Device components formed of geometric structures
CN107783309A (zh) * 2017-11-23 2018-03-09 武汉大学 金属纳米砖阵列结构及其用作偏振分光器的应用
CN107870446A (zh) * 2017-10-25 2018-04-03 武汉大学 一种将倏逝波转化为行波的方法
CN108490509A (zh) * 2018-04-08 2018-09-04 武汉大学 低深宽比的电介质几何相位超表面材料及其结构优化方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105549130A (zh) * 2015-12-29 2016-05-04 武汉大学 一种基于偏振态控制的双档变焦透镜
US20180045953A1 (en) * 2016-04-29 2018-02-15 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Device components formed of geometric structures
CN107065491A (zh) * 2017-06-20 2017-08-18 武汉大学 应用于全息防伪的纳米砖阵列全息片及其设计方法
CN107870446A (zh) * 2017-10-25 2018-04-03 武汉大学 一种将倏逝波转化为行波的方法
CN107783309A (zh) * 2017-11-23 2018-03-09 武汉大学 金属纳米砖阵列结构及其用作偏振分光器的应用
CN108490509A (zh) * 2018-04-08 2018-09-04 武汉大学 低深宽比的电介质几何相位超表面材料及其结构优化方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DONGLIANG TANG等: "Ultrabroadband superoscillatory lens composed by plasmonic metasurfaces for subdiffraction light focusing", 《LASER&PHOTONICS REVIEWS》 *
MOHAMMADREZA KHORASANINEJAD等: "Metalenses at visible wavelengths:Diffraction-limited focusing and subwavelength resolution imaging", 《APPLIED OPTICS》 *

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109683310A (zh) * 2019-01-10 2019-04-26 上海理工大学 一种太赫兹波超宽带消色差聚焦的级联超表面设计方法
CN110488394A (zh) * 2019-08-26 2019-11-22 华中科技大学 一种长波红外复合光学系统
CN110879477A (zh) * 2019-11-25 2020-03-13 武汉大学 基于超表面微透镜阵列的真三维立体成像技术
CN110879477B (zh) * 2019-11-25 2022-04-15 武汉大学 基于超表面微透镜阵列的真三维立体成像方法
CN111258058A (zh) * 2020-01-21 2020-06-09 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 柔性遥感卫星光学镜片及其制作方法
CN111474611A (zh) * 2020-06-05 2020-07-31 浙江舜宇光学有限公司 超透镜组、超成像装置
CN111474611B (zh) * 2020-06-05 2023-08-08 浙江舜宇光学有限公司 超透镜组、超成像装置
CN111856746B (zh) * 2020-07-21 2021-09-03 武汉大学 基于叠层超表面的双档振幅光栅的设计方法
CN111856746A (zh) * 2020-07-21 2020-10-30 武汉大学 基于叠层超表面的双档振幅光栅的设计方法
CN112099114A (zh) * 2020-09-29 2020-12-18 烟台睿创微纳技术股份有限公司 一种复合透镜及其制作方法、红外探测器
CN112147817A (zh) * 2020-10-30 2020-12-29 东南大学 一种基于超表面的纯相位空间光调制器
CN114764156A (zh) * 2021-01-11 2022-07-19 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种红外全介质正交柱面超透镜
CN114764156B (zh) * 2021-01-11 2024-04-02 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种红外全介质正交柱面超透镜
CN112987012A (zh) * 2021-02-02 2021-06-18 Oppo广东移动通信有限公司 光学组件、光线发射装置及接收装置、深度相机、终端及测距方法
CN113946034B (zh) * 2021-11-08 2023-09-19 中国科学院光电技术研究所 一种宽带手性光谱分析和大视场成像系统和设计方法
CN113946034A (zh) * 2021-11-08 2022-01-18 中国科学院光电技术研究所 一种宽带手性光谱分析和大视场成像系统和设计方法
CN114488519B (zh) * 2021-12-23 2023-03-10 北京理工大学 大角度入射焦距连续可调的衍射光学透镜及其设计方法
CN114488519A (zh) * 2021-12-23 2022-05-13 北京理工大学 大角度入射焦距连续可调的衍射光学透镜及其设计方法
CN114637120A (zh) * 2022-03-31 2022-06-17 天津山河光电科技有限公司 一种多功能超表面分束器

Also Published As

Publication number Publication date
CN109031660B (zh) 2020-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109031660A (zh) 消单色像差大视场双级联变焦透镜及其设计方法
CN111367088B (zh) 一种基于超构表面的正交偏振光成像衍射光学器件
Culbreath et al. Note: Automated maskless micro-multidomain photoalignment
Hao et al. Single‐layer aberration‐compensated flat lens for robust wide‐angle imaging
CN108241208A (zh) 基于超构透镜利用波长调控的光学变焦方法
CN105445826A (zh) 用于使用液晶自适应光学装置进行自动聚焦的方法和装置
Hu et al. Large depth-of-field 3D shape measurement using an electrically tunable lens
CN112147721A (zh) 偏振阶数可调且可连续变焦的柱矢量光束透镜及构造方法
CN112596232A (zh) 一种基于偏振无关透镜的红外光场成像装置及制备方法
Wang et al. Super-resolution imaging and field of view extension using a single camera with Risley prisms
CN107121769A (zh) 一种长波线列式扫描红外成像光学系统
CN113655548A (zh) 一种基于超构表面的光学边缘检测设计方法及装置
CN108169880A (zh) 一种紧凑型连续变焦红外光学系统
US11089197B1 (en) Camera with phased metalens
CN209297023U (zh) 一种高光轴精度、小型化双视场制冷中波红外光学系统
CN111025608B (zh) 一种超紧凑型连续变焦中波红外光学系统
CN102998779A (zh) 一种变焦距光刻物镜系统
KR20160115682A (ko) 대상에 대하여 공간적으로 가변하는 오토 포커싱을 가능하게 하는 방법 및 이를 이용하는 촬상 시스템
CN107885041B (zh) 一种大视场曝光系统
Lin et al. High‐Efficiency Optical Sparse Aperture Metalens Based on GaN Nanobrick Array
Dong et al. Lossless imaging based on a donut-like optical sparse aperture metalens
CN113655547B (zh) 一种分辨率可调的超透镜阵列及实现方法
KR102338120B1 (ko) 비대칭 배율 검사 시스템 및 조명 모듈
CN104267484A (zh) 一种小尺寸非制冷双视场红外光学系统
CN104656179A (zh) 一种偏振镜及其制造方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20201201

Termination date: 20210904