CN109023272A - 一种隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜及制备方法 - Google Patents

一种隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜及制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109023272A
CN109023272A CN201810785983.2A CN201810785983A CN109023272A CN 109023272 A CN109023272 A CN 109023272A CN 201810785983 A CN201810785983 A CN 201810785983A CN 109023272 A CN109023272 A CN 109023272A
Authority
CN
China
Prior art keywords
sio
film
sputtering
target
heat insulation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810785983.2A
Other languages
English (en)
Inventor
余兴亮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HAIAN HAOCHI SCIENCE & TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
HAIAN HAOCHI SCIENCE & TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HAIAN HAOCHI SCIENCE & TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical HAIAN HAOCHI SCIENCE & TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN201810785983.2A priority Critical patent/CN109023272A/zh
Publication of CN109023272A publication Critical patent/CN109023272A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/35Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
    • C23C14/352Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering using more than one target
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J5/00Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
    • C08J5/18Manufacture of films or sheets
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/04Coating
    • C08J7/06Coating with compositions not containing macromolecular substances
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/10Glass or silica
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/20Metallic material, boron or silicon on organic substrates
    • C23C14/205Metallic material, boron or silicon on organic substrates by cathodic sputtering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J2367/00Characterised by the use of polyesters obtained by reactions forming a carboxylic ester link in the main chain; Derivatives of such polymers
    • C08J2367/02Polyesters derived from dicarboxylic acids and dihydroxy compounds

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明涉及汽车贴膜技术领域,涉及一种隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜及制备方法。本发明的材料包括SiO2薄膜材料和Al,二者通过磁控溅射法进行交替叠加。本发明的材料的结构通式为[Al(a)nm/SiO2(b)nm]x,式中a、b分别表示所述的单层Al薄膜和单层SiO2薄膜的厚度,10≤a≤40nm,60≤b≤90nm,x表示单层SiO2和单层Sb薄膜的交替周期数或者交替层数,且x为正整数。薄膜的总厚度可由x与所述单层SiO2和单层Sb薄膜的厚度计算所得,即[(a+b)*x](nm)。本发明的Al/SiO2多层复合薄膜的总厚度约为500nm,此时(a+b)*x≈500(nm)。本发明的Al/SiO2多层复合薄膜具有较高的隔热率、较好的紫外线反射率、较低的雾度及较高的可见光透过率,适合于汽车隔热贴膜,极具市场开发前景。

Description

一种隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜及制备方法
技术领域
本发明涉及汽车贴膜技术领域,尤其涉及一种隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜及制备方法。
背景技术
汽车贴膜就是在车辆前后挡风玻璃、侧窗玻璃以及天窗上贴上一层薄膜状物体,而这层薄膜状物体也叫做太阳膜或者叫做隔热膜。它作用主要是阻挡紫外线、阻隔部分热量以及防止玻璃飞溅导致的伤人、防眩光等情况发生,同时根据太阳膜的单向透视性能,达到保护个人隐私的目的。此外,它也可以减少车内物品以及人员因紫外线照射造成的损伤,通过物理反光,降低车内温度,减少汽车空调的使用,从而降低油耗,节省一部分开支。
由于人们观察使用的光谱主要来自可见光谱,波长范围400~700nm左右,而热量主要集中在红外波长范围700nm以上。为此,必须在不降低可见光透过率的基础上有效提高红外光区域的反射率。
使用纳米隔热材料制备形成的透明涂膜,其中纳米导电粒子含有一定浓度的电子空穴,会引起自由载流子的吸收,具体表现在太阳光谱中,波长在 380~760nm的可见光区,涂膜透光率不受影响;波长在小于380nm的紫外线区,涂膜吸收率为90%左右;波长在760~2500nm的近红外区域,由于太阳入射光的频率高于涂膜中纳米导电粒子的振动频率,引起其离子的高反射,对分布于红外波段的太阳能量起反射阻隔作用,从而达到透明隔热的效果。
薄膜表面镀铝的作用是遮光、防紫外线照射,既延长了内容物的保质期,又提高了薄膜的亮度,也具有价廉、美观及较好的热阻隔性能。其介电常数约为4.0,并具有良好的机械性能。其介电常数约为4.0,并具有良好的机械性能。非晶态SiO2薄膜具有透明、高热阻隔的性能。多层复合薄膜可以改善单一膜层所存在的不足。由于成分和结构的相容性,不仅提高了膜与基体的结合力,也带来的一系列特殊性能,如耐磨抗蚀、抗热疲劳和热冲击、低热导率等。
发明内容
针对现有技术中的不足,本发明的目的是提供一种能够解决现有技术中存在问题,通过多层薄膜的特殊功效,有效提高汽车玻璃的防晒、隔热以及抗紫外线效果,从而改善汽车内的环境,节能并保护皮肤的目的的隔热防紫外线镀 Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜及制备方法。
本发明首先公开了一种沉积了Al/SiO2多层复合薄膜的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)材料,所述Al/SiO2多层复合薄膜材料中Al薄膜和SiO2薄膜交替排列,其中,单层Al薄膜的厚度为10~40nm,单层SiO2薄膜的厚度为60~ 90nm,所述Al/SiO2多层复合薄膜总厚度为500nm。
本发明所述Al表示该薄膜材料中的Al成分;SiO2表示该薄膜材料中的SiO2成分。
为实现上述目的,本发明采用如下技术方案:
本发明的Al/SiO2多层复合薄膜,通过磁控溅射交替沉积Al和SiO2层,在纳米量级复合而成。
本发明的Al/SiO2多层复合薄膜,其中的单层Al薄膜和单层SiO2薄膜交替排列成多层薄膜结构,且单层Al膜的厚度范围为10~40nm,单层SiO2膜的厚度范围为60~90nm。
本发明的Al/SiO2多层复合薄膜的结构符合下列通式:[Al(a)nm/SiO2 (b)nm]x,式中a、b分别表示所述的单层Al薄膜和单层SiO2薄膜的厚度,10 ≤a≤40nm,60≤b≤90nm,x表示单层SiO2和单层Al薄膜的交替周期数或者交替层数,且x为正整数。薄膜的总厚度可由x与所述单层SiO2和单层Al薄膜的厚度计算所得,即[(a+b)*x](nm)。本发明的Al/SiO2多层复合薄膜的总厚度约为500nm,此时(a+b)*x≈500(nm)。
本发明所述的Al/SiO2多层复合薄膜采用磁控溅射方法制备,衬底采用 PET材料,溅射靶材为Al和SiO2,溅射气体为高纯Ar气。
较佳的,所述的Al和SiO2靶材的纯度在原子百分比99.999%以上,本底真空度不大于5×10-4Pa。
较佳的,所述的Al靶材和SiO2靶材均采用射频电源,且溅射功率为 190-210W;溅射功率优选为200W。
较佳的,所述Ar气的纯度为体积百分比99.999%以上,气体流量为55~ 65SCCM,溅射气压为0.55~0.65Pa;优选的,所述气体流量为60SCCM,溅射气压为0.50Pa。
最佳的,本发明所述的Al/SiO2多层复合薄膜的厚度可以通过溅射时间来调控。
本发明所述的Al/SiO2多层复合薄膜材料的制备过程具体包括以下步骤:
1)清洗PET材料;
2)安装好溅射靶材;设定溅射功率,设定溅射Ar气流量及溅射气压;
3)采用室温磁控溅射方法制备Al/SiO2多层复合薄膜材料;
a)将空基托旋转到Al靶位,打开Al靶上的射频电源,依照设定的溅射时间(如100s),开始对Al靶材表面进行溅射,清洁Al靶位表面;
b)Al靶位表面清洁完成后,关闭Al靶位上所施加的射频电源,将空基托旋转到SiO2靶位,开启SiO2靶上的射频电源,依照设定的溅射时间(如 200s),开始对SiO2靶材表面进行溅射,清洁SiO2靶位表面;
c)SiO2靶位表面清洁完成后,将待溅射的基片旋转到Al靶位,打开Al 靶位上的射频电源,依照设定的溅射时间,开始溅射Al薄膜;
d)Al薄膜溅射完成后,关闭Al靶上所施加的射频电源,将基片旋转到SiO2靶位,开启SiO2靶位射频电源,依照设定的溅射时间,开始溅射SiO2薄膜;
e)重复c)和d)两步,即在PET基底上制备Al/SiO2多层复合薄膜材料。在总厚度固定的前提下,对于某一确定周期数的薄膜,通过控制Al和SiO2靶材的溅射时间来调节薄膜周期中Al和SiO2单层薄膜的厚度,从而形成所需结构的Al/SiO2多层复合薄膜材料。
本发明的Al/SiO2多层复合薄膜材料为通过交替溅射沉积Al层和SiO2层,在纳米量级复合而成。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参照图1,本实施例中制备的[Al(a)nm/SiO2(b)nm]x多层复合薄膜的总厚度为500nm。材料结构具体分别为[Al(10nm)/SiO2(90nm)]5/PET、 [Al(20nm)/SiO2(80nm)]5/PET、[Al(30nm)/SiO2(70nm)]5/PET、[Al(40nm)/ SiO2(60nm)]5/PET。
制备步骤为:
1.清洗PET基片,清洗表面、背面,去除灰尘颗粒、有机和无机杂质;
a)在丙酮溶液中强超声清洗3-5分钟,去离子水冲洗;
b)在乙醇溶液中强超声清洗3-5分钟,去离子水冲洗,高纯N2吹干表面和背面;
c)在120℃烘箱内烘干水汽,约20分钟。
2.采用磁控溅射方法制备[Al(a)/SiO2(b)]x多层复合薄膜前准备:
a)装好Al和SiO2溅射靶材,靶材的纯度均达到99.999%(原子百分比),并将本底真空抽至5×10-4Pa;
b)设定溅射功率为200W;
c)使用高纯Ar作为溅射气体(体积百分比达到99.999%),设定Ar气流量为60SCCM,并将溅射气压调节至0.5Pa。
3.采用磁控交替溅射方法制备[Al(a)/SiO2(b)]x多层复合薄膜:
a)将空基托旋转到Al靶位,打开Al靶上的射频电源,依照设定的溅射时间(如200s),开始对Al靶材表面进行溅射,清洁Al靶位表面;
b)Al靶位表面清洁完成后,关闭Al靶位上所施加的直流电源,将空基托旋转到SiO2靶位,开启SiO2靶上的射频电源,依照设定的溅射时间(如100s),开始对SiO2靶材表面进行溅射,清洁SiO2靶位表面;
c)SiO2靶位表面清洁完成后,将待溅射的基片旋转到Al靶位,打开Al靶位上的交流电源,依照设定的溅射时间,开始溅射Al薄膜;
d)Al薄膜溅射完成后,关闭Al靶上所施加的射频电源,将基片旋转到SiO2靶位,开启SiO2靶位射频电源,依照设定的溅射时间,开始溅射SiO2薄膜;
e)重复c)和d)两步,即在PET基片上制备[Al(a)/SiO2(b)]x多层复合薄膜材料。
最终获得镀有[Al(1nm)/Sb(9nm)]5、[Al(2nm)/SiO2(8nm)]5、[Al(3nm)/ SiO2(7nm)]5、[Al(4nm)/SiO2(6nm)]5复合多层薄膜的PET材料,其中 [Al(a)/SiO2(b)]x多层复合薄膜的总厚度约为500nm,薄膜厚度通过溅射时间来控制,Al的溅射速率为3.5s/nm,SiO2的溅射速率为2.6s/nm。
实验方法及结果
将上述实施例制备的4种镀有[Al(a)nm/SiO2(b)nm]x多层复合薄膜的PET 材料和用于对比的纯PET材料进行测试,得到各薄膜材料的雾度、可见光透光率、紫外线吸收率、隔热温差如表1所示。
本发明采用下述方法对实施例和对比例作评价
1.薄膜的透明度测试,采用雾度(Haze)与透光率来表示,测量的条件按照GB/T2410-2008执行。
2.紫外线阻隔率:采用日本岛津UV-3600型分光光度计测试,参照国家标准GB/T2680进行检测。
由表1可知,所有实施例薄膜对可见光的透光率均高于纯PET的透光率,从而能保证汽车玻璃具有较好的可见光视觉;所有实施例的雾度指数均小于纯PET的雾度指数,从而能保证具有较好的防起雾效果;再次,所发明薄膜对紫外线的吸收率均明显高于纯PET的吸收率,表明本发明的汽车贴膜具有较好的防晒能力;通过对隔热温差的测试,发现本发明的汽车贴膜的隔热效果明显好于纯PET薄膜。综上,本发明的汽车贴膜具有较好的隔热、防紫外线等功效。
表1
上所述仅为本申请的实施方式而已,并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理的内所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包括在本申请的权利要求范围之内。

Claims (10)

1.一种隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜,其特征在于,包括二氧化硅薄膜材料和单质铝薄膜材料,二者通过交替叠加形成类超晶格结构。
2.根据权利要求1所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜,其特征在于,所述Al/SiO2多层复合薄膜材料的结构通式为[Al(a)nm/SiO2(b)nm]x,式中a、b分别表示所述的单层Al薄膜和单层SiO2薄膜的厚度,10≤a≤40nm,60≤b≤90nm,x表示单层SiO2和单层Sb薄膜的交替周期数或者交替层数,并且x为任一正整数。
3.根据权利要求1或2所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜的制备方法,其特征在于,其通过磁控溅射法将SiO2薄膜材料和单质Al薄膜材料进行纳米量级复合,形成具有多层结构的纳米复合薄膜材料。
4.根据权利要求3所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜的制备方法,其特征在于,所述磁控溅射法采用的衬底为PET材料;溅射靶材为SiO2和Al;溅射气体为氩气。
5.根据权利要求4所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜的制备方法,其特征在于,所述溅射靶材为纯度达到99.999%的SiO2和原子百分比纯度达到99.999%的Al;所述溅射气体为体积百分比纯度达到99.999%的氩气。
6.根据权利要求3所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜的制备方法,其特征在于,所述磁控溅射法的本底真空度不大于5×10-4Pa;溅射功率为190-210W;氩气气体流量为55~65SCCM,溅射气压为0.55~0.65Pa。
7.根据权利要求6所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜的制备方法,其特征在于,所述磁控溅射法的溅射功率为200W;氩气气体流量为60sccm;溅射气压为0.50Pa。
8.根据权利要求3所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜的制备方法,其特征在于,
所述磁控溅射法具体包括如下步骤:
1)清洗PET衬底;
2)装好溅射靶材;设定溅射功率、溅射氩气流量及溅射气压;
3)采用射频溅射程序制备Al/SiO2多层复合薄膜材料。
9.根据权利要求3所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜的制备方法,其特征在于,
步骤3)中所述射频溅射程序包括如下步骤:
a)将空基托旋转到SiO2靶位,打开SiO2靶上的射频电源,依照设定的溅射时间,开始对SiO2靶材表面进行溅射,清洁SiO2靶位表面;
b)SiO2靶位表面清洁完成后,关闭SiO2靶上的射频电源,将空基托旋转到Al靶位,开启Al靶上的射频电源,依照设定的溅射时间,开始对Al靶材表面进行溅射,清洁Al靶材表面;
c)Al靶位表面清洁完成后,将待溅射的PET衬底旋转到Al靶位,打开Al靶上的射频电源,依照设定的溅射时间,开始溅射Al薄膜;
d)Al薄膜溅射完成后,关闭Al靶上的射频电源,将已经溅射了Al薄膜的基片旋转到SiO2靶位,开启SiO2靶上的射频电源,依照设定的溅射时间,开始溅射SiO2薄膜;
e)重复步骤c)和d)中溅射Al薄膜和SiO2薄膜的操作,即在PET衬底上制备出Al/SiO2多层复合薄膜材料。
10.根据权利要求1或2所述的隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜在制备隔热汽车贴膜中的应用。
CN201810785983.2A 2018-07-17 2018-07-17 一种隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜及制备方法 Pending CN109023272A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810785983.2A CN109023272A (zh) 2018-07-17 2018-07-17 一种隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜及制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810785983.2A CN109023272A (zh) 2018-07-17 2018-07-17 一种隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜及制备方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109023272A true CN109023272A (zh) 2018-12-18

Family

ID=64643020

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810785983.2A Pending CN109023272A (zh) 2018-07-17 2018-07-17 一种隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜及制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109023272A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114134458A (zh) * 2021-12-08 2022-03-04 上海交通大学 一种具有纳米多孔结构的周期性多层超薄隔热薄膜及其制备和应用

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102673042A (zh) * 2012-04-26 2012-09-19 蒙特集团(香港)有限公司 一种新型宽幅遮阳材料及其制作方法
CN106185799A (zh) * 2016-09-26 2016-12-07 江苏理工学院 一种SiO2/Sb类超晶格纳米相变薄膜材料及其制备方法和应用
CN106381465A (zh) * 2016-09-08 2017-02-08 江苏双星彩塑新材料股份有限公司 一种四银低辐射节能窗膜及其制备方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102673042A (zh) * 2012-04-26 2012-09-19 蒙特集团(香港)有限公司 一种新型宽幅遮阳材料及其制作方法
CN106381465A (zh) * 2016-09-08 2017-02-08 江苏双星彩塑新材料股份有限公司 一种四银低辐射节能窗膜及其制备方法
CN106185799A (zh) * 2016-09-26 2016-12-07 江苏理工学院 一种SiO2/Sb类超晶格纳米相变薄膜材料及其制备方法和应用

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114134458A (zh) * 2021-12-08 2022-03-04 上海交通大学 一种具有纳米多孔结构的周期性多层超薄隔热薄膜及其制备和应用

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Rezaei et al. A review of conventional, advanced, and smart glazing technologies and materials for improving indoor environment
CN109437596B (zh) 一种辐射制冷玻璃及其制备方法
TW200526534A (en) Transparent substrate that can be used, alternatively or cumulatively, for thermal control, for electromagnetic shielding and for heated windows
CN107393979A (zh) 一种基于超薄金属膜的透明电极及其制备方法和应用
US20150205021A1 (en) Metamaterial for improved energy efficiency
KR101194257B1 (ko) 광대역 반사방지 다층코팅을 갖는 태양전지용 투명 기판 및 그 제조방법
CN108726891B (zh) 低辐射镀膜玻璃及其制备方法
WO2016086472A1 (zh) 一种窗膜及其制备方法
CN111584647A (zh) 一种光伏组件用黄色前板玻璃及其制备的黄色光伏组件
CN108179389B (zh) 一种用于汽车玻璃的光谱选择性ito薄膜的制备方法
CN111477708A (zh) 一种光伏组件用灰色前板玻璃及其制备的灰色光伏组件
CN109023272A (zh) 一种隔热防紫外线镀Al/SiO2多层薄膜的汽车贴膜及制备方法
CN103288362A (zh) 一种高透过率高性能低辐射玻璃的工艺
EP3568720A1 (en) Infrared reflective and electrical conductive composite film and manufacturing method thereof
CN109082639A (zh) 一种抗紫外线镀ZnO/SiO2纳米多层材料的超晶格汽车PET贴膜
CN109130798A (zh) 一种镀TiO2/SiO2纳米多层薄膜的PET汽车贴膜及制备方法和应用
CN111584652A (zh) 一种光伏组件用绿色前板玻璃及其制备的绿色光伏组件
CN108998762A (zh) 一种抗紫外线镀Cu/Al2O3纳米多层薄膜的汽车贴膜及制备方法
CN109265718A (zh) 一种具有光谱选择性吸收功能的AgO/Si汽车贴膜材料
Lansåker et al. Thin gold films on SnO2: In: Temperature-dependent effects on the optical properties
CN114635105B (zh) 双织构表面太阳能选择性吸收涂层的制备方法及该涂层
US9405046B2 (en) High solar gain low-e panel and method for forming the same
CN111362588A (zh) 一种具有防紫外线功能的ar玻璃及其生产工艺
US20150075603A1 (en) Novel hydrophobic coatings and methods and compositions relating thereto
WO2010098200A1 (ja) 積層体物品

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20181218