CN108953177A - 一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构 - Google Patents

一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构 Download PDF

Info

Publication number
CN108953177A
CN108953177A CN201810841491.0A CN201810841491A CN108953177A CN 108953177 A CN108953177 A CN 108953177A CN 201810841491 A CN201810841491 A CN 201810841491A CN 108953177 A CN108953177 A CN 108953177A
Authority
CN
China
Prior art keywords
transition section
turbomolecular pump
arc transition
arc
diameter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201810841491.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108953177B (zh
Inventor
孙坤
张世伟
李海涛
张志军
韩进
李雅洁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Northeastern University China
Original Assignee
Northeastern University China
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Northeastern University China filed Critical Northeastern University China
Priority to CN201810841491.0A priority Critical patent/CN108953177B/zh
Publication of CN108953177A publication Critical patent/CN108953177A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108953177B publication Critical patent/CN108953177B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/42—Casings; Connections of working fluid for radial or helico-centrifugal pumps
    • F04D29/4206—Casings; Connections of working fluid for radial or helico-centrifugal pumps especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/42—Casings; Connections of working fluid for radial or helico-centrifugal pumps
    • F04D29/4206—Casings; Connections of working fluid for radial or helico-centrifugal pumps especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/4213—Casings; Connections of working fluid for radial or helico-centrifugal pumps especially adapted for elastic fluid pumps suction ports
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
    • F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/545—Ducts
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2250/00—Geometry
    • F05D2250/50—Inlet or outlet
    • F05D2250/51—Inlet

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，不仅适用于大口径涡轮分子泵与小口径真空管道过渡连接，还可直接应用到涡轮分子泵入口结构，将涡轮分子泵泵入口直接过渡到小口径形式，可直接与小口径真空管道相连，与未采用本发明过渡结构的涡轮分子泵相比，可将抽气速率进一步提升5％左右。当作为大口径涡轮分子泵与小口径真空管道转接结构时，包括圆弧过渡段、小口径法兰、大口径法兰及锥形端盖反射屏，圆弧过渡段小径端与小口径法兰相固连，圆弧过渡段大径端与大口径法兰相固连。当作为涡轮分子泵入口结构时，包括圆弧过渡段、小口径法兰及锥形端盖反射屏，圆弧过渡段小径端与小口径法兰相固连，圆弧过渡段大径端与涡轮分子泵入口端壳体相固连。

Description

一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构
技术领域
本发明属于真空系统与真空获得设备技术领域，特别是涉及一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构。
背景技术
涡轮分子泵是一种通过高速旋转的动叶片将动量传给气体分子以使气体分子产生定向流动的传输式真空泵，涡轮分子泵具有操作简单、启动时间短、能够获得清洁的高真空和超高真空环境等优点，已广泛应用于高能加速器、重粒子加速器、表面物理和仪器仪表、半导体和光学元器件制造、真空镀膜等领域。
近年来，随着加工和制造精度的不断提升，仪器仪表做的越来越小，并逐渐向着小型化、便携式的方向发展，不仅促进了涡轮分子泵也逐渐向着小型化发展，但也带来了仪器本身因结构尺寸很小而需要较大抽气速率的难题。
对于小型化的涡轮分子泵来说，其泵体结构尺寸很小，导致中间涡轮端盖占涡轮分子泵总体尺寸的比例会很大，这就造成了涡轮叶片区域的有效抽气面积很小，从而使涡轮分子泵的入口单位面积抽气速率急剧下降的问题。
由于许多大抽速涡轮分子泵的入口连接法兰口径很大，导致难以与结构尺寸很小的仪器相连接，进而形成了大口径涡轮分子泵连接小口径真空管道的难题。
目前，无论是小型涡轮分子泵，还是大抽速的大口径涡轮分子泵，其中间涡轮端盖几乎都在采用平板圆盘式端盖，而与涡轮分子泵泵口相连接的真空管道也是相同口径的直圆柱形接管，并且气体分子由于受到管道束流效应的影响，在经过一段接管后会向管道的中心聚集，而到达涡轮分子泵入口的气体分子将恰好撞击到中间涡轮端盖上，由于涡轮分子泵的实际有效抽气区域是在转子叶片区域，撞击后的气体分子将大部分反射到涡轮分子泵入口，进而返回到入口接管中，从而造成了涡轮分子泵的有效抽气速率的下降，而这一现象已经严重阻碍了涡轮分子泵抽气速率的提升。
因此，涡轮分子泵在实际工作中的这一缺陷一直困扰着真空工作者，尤其是对小型涡轮分子泵抽气速率的影响更为严重，而如何解决上述问题和克服这一缺陷已经成为真空行业的迫切需要。
发明内容
针对现有技术存在的问题，本发明提供一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，不仅适用于大口径涡轮分子泵与小口径真空管道的过渡连接，还可以直接应用到涡轮分子泵的入口结构，并将涡轮分子泵的泵入口直接过渡到小口径形式，进而可直接与小口径真空管道相连，而与未采用本发明过渡结构的涡轮分子泵相比，可将小口径入口单位面积的有效抽气速率进一步提升5％左右。
为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，作为大口径涡轮分子泵与小口径真空管道的转接结构，包括圆弧过渡段、小口径法兰、大口径法兰及锥形端盖反射屏，圆弧过渡段的小径端与小口径法兰相固连，圆弧过渡段的大径端与大口径法兰相固连；所述小口径法兰与真空管道的管口法兰密封配合接连，大口径法兰与涡轮分子泵的入口法兰密封配合接连；所述锥形端盖反射屏通过支撑杆固定在大口径法兰上，锥形端盖反射屏的尖端朝向圆弧过渡段的小径端，锥形端盖反射屏的底口直径与涡轮分子泵的转子涡轮端盖直径相同，锥形端盖反射屏的底面与大口径法兰的外端面平齐。
所述小口径法兰的内径设为d，所述大口径法兰的内径设为D，圆弧过渡段的倾角设为α，圆弧过渡段的圆弧半径设为R，圆弧过渡段的圆弧圆心O位于大口径法兰的外端平面内，圆弧过渡段的圆弧面与大口径法兰的内壁面相切，圆弧过渡段的圆弧面与小口径法兰的内壁面相交，且R＝0.25×(D-d)/cos2α。
所述圆弧过渡段的倾角α的范围为60°～70°。
所述锥形端盖反射屏的圆锥底角设为β，且圆锥底角β的范围为25°～45°。
所述支撑杆的数量至少为两根。
一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，作为涡轮分子泵的入口结构，包括圆弧过渡段、小口径法兰及锥形端盖反射屏，圆弧过渡段的小径端与小口径法兰相固连，圆弧过渡段的大径端与涡轮分子泵的入口端壳体相固连；所述小口径法兰与真空管道的管口法兰密封配合接连；所述锥形端盖反射屏通过支撑杆固定在圆弧过渡段的大径端，或者锥形端盖反射屏直接安装在涡轮分子泵的转子涡轮端盖上；所述锥形端盖反射屏的尖端朝向圆弧过渡段的小径端，锥形端盖反射屏的底口直径与涡轮分子泵的转子涡轮端盖直径相同。
所述小口径法兰的内径设为d，圆弧过渡段大径端的端口内径设为D，圆弧过渡段的倾角设为α，圆弧过渡段的圆弧半径设为R，圆弧过渡段的圆弧圆心O位于圆弧过渡段大径端的端口平面内，圆弧过渡段的圆弧面与圆弧过渡段大径端的端口内壁面相切，圆弧过渡段的圆弧面与小口径法兰的内壁面相交，且R＝0.25×(D-d)/cos2α。
所述圆弧过渡段的倾角α的范围为60°～70°。
所述锥形端盖反射屏的圆锥底角设为β，且圆锥底角β的范围为25°～45°。
所述支撑杆的数量至少为两根。
本发明的有益效果：
本发明的用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，不仅适用于大口径涡轮分子泵与小口径真空管道的过渡连接，还可以直接应用到涡轮分子泵的入口结构，并将涡轮分子泵的泵入口直接过渡到小口径形式，进而可直接与小口径真空管道相连，而与未采用本发明过渡结构的涡轮分子泵相比，可将抽气速率进一步提升5％左右。
附图说明
图1为本发明的一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构(作为大口径涡轮分子泵与小口径真空管道的转接结构)的示意图；
图2为本发明的一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构(作为涡轮分子泵的入口结构且锥形端盖反射屏通过支撑杆与圆弧过渡段相固连)的示意图；
图3为本发明的一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构(作为涡轮分子泵的入口结构且锥形端盖反射屏直接安装在涡轮分子泵的转子涡轮端盖上)的示意图；
图中，1—圆弧过渡段，2—小口径法兰，3—大口径法兰，4—锥形端盖反射屏，5—真空管道，6—涡轮分子泵，7—支撑杆，8—转子涡轮端盖。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的详细说明。
实施例一
如图1所示，一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，作为大口径涡轮分子泵与小口径真空管道的转接结构，包括圆弧过渡段1、小口径法兰2、大口径法兰3及锥形端盖反射屏4，圆弧过渡段1的小径端与小口径法兰2相固连，圆弧过渡段1的大径端与大口径法兰3相固连；所述小口径法兰2与真空管道5的管口法兰密封配合接连，大口径法兰3与涡轮分子泵6的入口法兰密封配合接连；所述锥形端盖反射屏4通过支撑杆7固定在大口径法兰3上，锥形端盖反射屏4的尖端朝向圆弧过渡段1的小径端，锥形端盖反射屏4的底口直径与涡轮分子泵6的转子涡轮端盖8直径相同，锥形端盖反射屏4的底面与大口径法兰3的外端面平齐。
所述小口径法兰2的内径设为d，所述大口径法兰3的内径设为D，圆弧过渡段1的倾角设为α，圆弧过渡段1的圆弧半径设为R，圆弧过渡段1的圆弧圆心O位于大口径法兰3的外端平面内，圆弧过渡段1的圆弧面与大口径法兰3的内壁面相切，圆弧过渡段1的圆弧面与小口径法兰2的内壁面相交，且R＝0.25×(D-d)/cos2α。
所述圆弧过渡段1的倾角α的范围为60°～70°。
所述锥形端盖反射屏4的圆锥底角设为β，且圆锥底角β的范围为25°～45°。
所述支撑杆7的数量至少为两根。
实施例二
如图2、3所示，一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，作为涡轮分子泵的入口结构，包括圆弧过渡段1、小口径法兰2及锥形端盖反射屏4，圆弧过渡段1的小径端与小口径法兰2相固连，圆弧过渡段1的大径端与涡轮分子泵6的入口端壳体相固连；所述小口径法兰2与真空管道5的管口法兰密封配合接连；所述锥形端盖反射屏4通过支撑杆7固定在圆弧过渡段1的大径端(如图2所示)，或者锥形端盖反射屏4直接安装在涡轮分子泵6的转子涡轮端盖8上(如图3所示)；所述锥形端盖反射屏4的尖端朝向圆弧过渡段1的小径端，锥形端盖反射屏4的底口直径与涡轮分子泵6的转子涡轮端盖直径相同。
所述小口径法兰2的内径设为d，圆弧过渡段1大径端的端口内径设为D，圆弧过渡段1的倾角设为α，圆弧过渡段1的圆弧半径设为R，圆弧过渡段1的圆弧圆心O位于圆弧过渡段1大径端的端口平面内，圆弧过渡段1的圆弧面与圆弧过渡段1大径端的端口内壁面相切，圆弧过渡段1的圆弧面与小口径法兰2的内壁面相交，且R＝0.25×(D-d)/cos2α。
所述圆弧过渡段1的倾角α的范围为60°～70°。
所述锥形端盖反射屏4的圆锥底角设为β，且圆锥底角β的范围为25°～45°。
所述支撑杆7的数量至少为两根。
下面结合附图说明本发明的使用过程：
当气体分子经过真空管道5后，虽然会受到管道束流效应的影响向中心聚焦，但是由于锥形端盖反射屏4的存在，撞击到锥形端盖反射屏4上的气体分子不再会垂直反射到入口，而是反射到圆弧过渡段1所在区域，再次发生反射的气体分子就会进入转子叶片抽气区域，这样一来，返回到入口的气体分子数量减少，而到达转子叶片抽气区域的气体分子数将增多，进而达到提高涡轮分子泵抽气速率的目的，尤其是小型涡轮分子泵，当采用发明的过渡结构后，其而与未采用本发明过渡结构的涡轮分子泵相比，可将抽气速率进一步提升5％左右。
对于目前已有的涡轮分子泵，可以将本发明直接作为大口径涡轮分子泵与小口径真空管道的转接结构来应用，不用改变原有真空系统中其他设备的结构和布局，具有广泛的适用性。
对于定制的涡轮分子泵，可以将本发明直接作为涡轮分子泵的入口结构来应用，从而使涡轮分子泵的泵入口直接过渡到小口径形式，继而省去了中间过渡连接件。
实施例中的方案并非用以限制本发明的专利保护范围，凡未脱离本发明所为的等效实施或变更，均包含于本案的专利范围中。

Claims (10)

1.一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，其特征在于：作为大口径涡轮分子泵与小口径真空管道的转接结构，包括圆弧过渡段、小口径法兰、大口径法兰及锥形端盖反射屏，圆弧过渡段的小径端与小口径法兰相固连，圆弧过渡段的大径端与大口径法兰相固连；所述小口径法兰与真空管道的管口法兰密封配合接连，大口径法兰与涡轮分子泵的入口法兰密封配合接连；所述锥形端盖反射屏通过支撑杆固定在大口径法兰上，锥形端盖反射屏的尖端朝向圆弧过渡段的小径端，锥形端盖反射屏的底口直径与涡轮分子泵的转子涡轮端盖直径相同，锥形端盖反射屏的底面与大口径法兰的外端面平齐。
2.根据权利要求1所述的一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，其特征在于：所述小口径法兰的内径设为d，所述大口径法兰的内径设为D，圆弧过渡段的倾角设为α，圆弧过渡段的圆弧半径设为R，圆弧过渡段的圆弧圆心O位于大口径法兰的外端平面内，圆弧过渡段的圆弧面与大口径法兰的内壁面相切，圆弧过渡段的圆弧面与小口径法兰的内壁面相交，且R＝0.25×(D-d)/cos2α。
3.根据权利要求2所述的一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，其特征在于：所述圆弧过渡段的倾角α的范围为60°～70°。
4.根据权利要求1所述的一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，其特征在于：所述锥形端盖反射屏的圆锥底角设为β，且圆锥底角β的范围为25°～45°。
5.根据权利要求1所述的一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，其特征在于：所述支撑杆的数量至少为两根。
6.一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，其特征在于：作为涡轮分子泵的入口结构，包括圆弧过渡段、小口径法兰及锥形端盖反射屏，圆弧过渡段的小径端与小口径法兰相固连，圆弧过渡段的大径端与涡轮分子泵的入口端壳体相固连；所述小口径法兰与真空管道的管口法兰密封配合接连；所述锥形端盖反射屏通过支撑杆固定在圆弧过渡段的大径端，或者锥形端盖反射屏直接安装在涡轮分子泵的转子涡轮端盖上；所述锥形端盖反射屏的尖端朝向圆弧过渡段的小径端，锥形端盖反射屏的底口直径与涡轮分子泵的转子涡轮端盖直径相同。
7.根据权利要求6所述的一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，其特征在于：所述小口径法兰的内径设为d，圆弧过渡段大径端的端口内径设为D，圆弧过渡段的倾角设为α，圆弧过渡段的圆弧半径设为R，圆弧过渡段的圆弧圆心O位于圆弧过渡段大径端的端口平面内，圆弧过渡段的圆弧面与圆弧过渡段大径端的端口内壁面相切，圆弧过渡段的圆弧面与小口径法兰的内壁面相交，且R＝0.25×(D-d)/cos2α。
8.根据权利要求7所述的一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，其特征在于：所述圆弧过渡段的倾角α的范围为60°～70°。
9.根据权利要求6所述的一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，其特征在于：所述锥形端盖反射屏的圆锥底角设为β，且圆锥底角β的范围为25°～45°。
10.根据权利要求6所述的一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，其特征在于：所述支撑杆的数量至少为两根。
CN201810841491.0A 2018-07-27 2018-07-27 一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构 Active CN108953177B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810841491.0A CN108953177B (zh) 2018-07-27 2018-07-27 一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810841491.0A CN108953177B (zh) 2018-07-27 2018-07-27 一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108953177A true CN108953177A (zh) 2018-12-07
CN108953177B CN108953177B (zh) 2020-03-31

Family

ID=64465593

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810841491.0A Active CN108953177B (zh) 2018-07-27 2018-07-27 一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108953177B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112460051A (zh) * 2019-09-06 2021-03-09 台达电子工业股份有限公司 离心风扇

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB597884A (en) * 1943-11-05 1948-02-05 Adolph Henry Rosenthal Improvements in a high vacuum pump
CN101392751A (zh) * 2008-10-31 2009-03-25 东北大学 大抽速型高真空干式真空泵
CN101809290A (zh) * 2007-09-26 2010-08-18 阿尔卡特朗讯 具有两个螺旋形转子的真空泵
CN203285742U (zh) * 2013-05-29 2013-11-13 上海青浦莲盛泵阀厂有限公司 轴流泵的进水喇叭体
CN107143506A (zh) * 2017-07-12 2017-09-08 东北大学 一种多级高真空干泵

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB597884A (en) * 1943-11-05 1948-02-05 Adolph Henry Rosenthal Improvements in a high vacuum pump
CN101809290A (zh) * 2007-09-26 2010-08-18 阿尔卡特朗讯 具有两个螺旋形转子的真空泵
CN101392751A (zh) * 2008-10-31 2009-03-25 东北大学 大抽速型高真空干式真空泵
CN203285742U (zh) * 2013-05-29 2013-11-13 上海青浦莲盛泵阀厂有限公司 轴流泵的进水喇叭体
CN107143506A (zh) * 2017-07-12 2017-09-08 东北大学 一种多级高真空干泵

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112460051A (zh) * 2019-09-06 2021-03-09 台达电子工业股份有限公司 离心风扇
CN112460051B (zh) * 2019-09-06 2022-10-18 台达电子工业股份有限公司 离心风扇

Also Published As

Publication number Publication date
CN108953177B (zh) 2020-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106064122B (zh) 锯齿喷射式抽空器
CN104863904B (zh) 一种动态强旋流引射器
CN108953177A (zh) 一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构
CN104772239A (zh) 超音速菊花型喷嘴及安装有该喷嘴的气体喷射式真空泵
CN116537865B (zh) 一种环隙引射喷雾除尘装置和除尘方法
CN101793271A (zh) 一种气动抽气机
CN209244922U (zh) 高效率防涡流的离心风机集流系统
CN106481568B (zh) 自吸屏蔽复合泵
CN207539495U (zh) 改善冲刷腐蚀的管件
CN110465213B (zh) 气体旋风混合器
CN106224286A (zh) 带浮动口环的导叶结构
CN105756988A (zh) 具有能量正反馈沟槽结构的高效离心泵
CN102734203B (zh) 卧式多级泵轴向进口装置及其连接结构
CN217926073U (zh) 发动机进气管道中的预旋结构
CN218325027U (zh) 一种具有进气预旋结构的发动机进气管道
CN106837822B (zh) 一种水平出水的脉冲射流真空泵
CN214146013U (zh) 高压压气机转子、减涡装置
CN205858805U (zh) 一种潜水泵扩张式喷嘴排液装置
CN205478308U (zh) 一种机械真空泵
CN208745172U (zh) 钢塑管生产线外胶涂覆抽真空的装置
CN216785979U (zh) 一种爆口机流体柜
CN208397024U (zh) 一种组合引射器设计结构
CN112901564A (zh) 一种真空排渣系统
CN110410040A (zh) 一种基于可调式环形抽吸助排井口可燃气的安全作业系统
CN110439465A (zh) 一种钻井排砂管线轴向斜喷抽吸助排机构

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant