CN108895830A - 一种适用于led半导体真空烘烤炉 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种适用于LED半导体真空烘烤炉，包括炉体，所述炉体前后两端分别活动安装有前炉门和后炉门，所述炉体底端通过支架安装在安装面上，所述炉体外周表面上设置有若干进出气口，所述炉体内部设置有内炉体，所述炉体和内炉体之间设置有夹层，所述炉体上设置有若干用于扣紧前炉门和后炉门的扣紧装置，所述扣紧装置环绕炉体的中心轴线均匀分布，所述后炉门远离炉体的一端上安装有风机，所述风机的输出端延伸至后炉门与内炉体之间，所述内炉体的前后两端分别设置有风口，其中内炉体前端的风口处设置有前风门，本发明提供了一种具有良好密闭性的真空炉，具有良好的加热效果和加热效率，各组件的结构简单，便于维护。

Description

一种适用于LED半导体真空烘烤炉

技术领域

本发明涉及真空炉技术领域，具体为一种适用于LED半导体真空烘烤炉。

背景技术

真空炉，即在炉腔这一特定空间内利用真空系统（由真空泵、真空测量装置、真空阀门等元件经过精心组装而成）将炉腔内部分物质排出，使炉腔内压强小于一个标准大气压，炉腔内空间从而实现真空状态。真空炉是在真空环境中进行加热的设备，在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接，炉膛真空度可达133×(10-2～10-4)Pa。炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热，也可用高频感应加热，最高温度可达3000℃左右。主要用于陶瓷烧成、真空冶炼、电真空零件除气、退火、金属件的钎焊，以及陶瓷-金属封接等。LED半导体在加工过程中，需要使用到真空炉作为加热装置，但是目前的真空炉存在密闭性能不足的问题，加热效果不佳，影响了LED半导体的加工效果和生产质量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种适用于LED半导体真空烘烤炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种适用于LED半导体真空烘烤炉，包括炉体，所述炉体前后两端分别活动安装有前炉门和后炉门，所述炉体底端通过支架安装在安装面上，所述炉体外周表面上设置有若干进出气口，所述炉体内部设置有内炉体，所述炉体和内炉体之间设置有夹层，所述炉体上设置有若干用于扣紧前炉门和后炉门的扣紧装置，所述扣紧装置环绕炉体的中心轴线均匀分布，所述后炉门远离炉体的一端上安装有风机，所述风机的输出端延伸至后炉门与内炉体之间，所述内炉体的前后两端分别设置有风口，其中内炉体前端的风口处设置有前风门，所述前风门上连接有自动调整密闭装置，所述内炉体后端的风口处设置有后风门，所述后风门上连接有旋转密闭装置。

优选的，所述炉体侧壁中设置有真空隔层，所述内炉体的侧壁表面覆盖有保温板，所述前风门朝向内炉体的一端表面和后风门朝向内炉体的一端表面均覆盖有隔热层，所述前风门的面积大于风口，且前风门靠近风口的一端设置有与风口相对应的凸环。

优选的，所述进出气口包括外进气入口、外进气出口、内进气出口和内进气入口，所述外进气入口和外进气出口设置有多个，且环绕炉体的中心轴线均匀分布，所述外进气入口和外进气出口均连通到夹层中，所述内炉体上设置有与外进气入口、外进气出口相对应的通孔，所述内进气出口设置在炉体底端，所述内进气入口设置在炉体顶端，且内进气出口和内进气入口均依次贯穿夹层、内炉体侧壁延伸至内炉体内部。

优选的，所述内进气入口设置在内炉体内部的一端固定连接有固定块，所述固定块上设置有曝气管，所述曝气管水平设置，且曝气管表面上设置有若干均匀分布的曝气孔，所述内进气入口和曝气管相连通。

优选的，所述扣紧装置包括扣紧气缸，所述炉体上对应前炉门、后炉门的连接处设置有若干安装架，所述扣紧气缸安装在安装架上，所述扣紧气缸的伸缩端通过调节螺丝安装有连接块，所述连接块靠近炉体的一端固定连接有压块，所述连接块外罩有防护罩，所述防护罩上设置有开口，所述防护罩通过若干定位销安装在安装架上。

优选的，所述自动调整密闭装置包括密闭气缸，所述密闭气缸安装在前炉门上，所述密闭气缸的伸缩端延伸至前炉门和内炉体之间，且该伸缩端固定连接有固定盘，所述固定盘和前风门的中心轴线处于同一水平线上，所述固定盘通过若干固定螺钉安装在前风门上，所述固定螺钉环绕固定盘的中心均匀分布，所述前风门和固定盘上均设置有与固定螺钉相对应的安装孔。

优选的，所述固定螺钉上套装有防退螺母，所述固定盘和前风门之间设置有若干调节弹簧，所述调节弹簧套在固定螺钉外周。

优选的，所述旋转密闭装置包括电机和调节气缸，所述电机和调节气缸，所述电机的输出端安装有主动齿轮，所述主动齿轮啮合连接有从动齿轮，所述主动齿轮和从动齿轮均设置在齿轮箱内部，所述齿轮箱固定设置在后炉门外部，所述电机和调节气缸均固定安装在齿轮箱外部，所述从动齿轮固定套接在驱动杆外周，所述驱动杆设置在齿轮箱内部的一端设置有卡槽，所述调节气缸的伸缩端滑动连接在卡槽中，所述驱动杆远离调节气缸的一端贯穿后炉门延伸至炉体内部，且驱动杆位于炉体内部的一端固定连接有连接杆，所述连接杆固定连接在后风门上。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：炉体内部设置有内炉体，炉体和内炉体之间设置有夹层，炉体的侧壁中设置有真空隔层，内炉体侧壁表面覆盖有保温板，配合前风门、后风门上的隔热层，起到较好的保温隔热效果，防止真空炉内部的热量逸散到外界，减少能源浪费，提高加热效率；设置有多组进出气口，其中外进气入口和外进气出口连通到夹层中，内进气入口和内进气出口连通到内炉体内部，这样提供了多种不同的进出气方式，可以根据工作需求采用不同的进出气口；内进气入口连通到曝气管，曝气管使得充入的气体能够均匀分散到内炉体内部各处；当前炉门和后炉门关闭时，扣紧气缸驱动压块压紧在炉门上，使前炉门、后炉门和炉体之间连接更加紧密，具有更加良好的密闭性，压块通过连接块安装在扣紧气缸的伸缩端，当需要开启炉门时，扣紧气缸驱动压块远离炉门，再通过人工拧动调节螺丝，使压块偏移一定角度，让出炉门的开启路径，避免干扰到炉门的开启；内炉体的前后两端设置有风口，通过前风门和后风门使内炉体内部形成单独的密封结构，便于真空作业；前风门连接在密闭气缸上，密闭气缸的伸长缩短带动前风门压紧或离开风口，前风门设置有与风口的形状相匹配的凸环，提高密封性，固定螺钉上套有的调节弹簧提供了弹力，使发生振动等情况时，前风门依然能够牢牢压紧在风口上，从而具有一定的自动调节能力；由于后炉门上需要安装风机，受限于空间，无法采用与前风门上的自动调整密闭装置相同的驱动结构，此处采用电机驱动齿轮转动的方式，通过齿轮作用，以驱动杆为轴带动后风门旋转，使得后风门能够挡住风口或从风口处移开；但是后风门在旋转时，需要与内炉体之间存在一定的间隙，会影响内炉体的密封性，对内部加热的器件造成不利影响，因此设置有调节气缸，使驱动杆能够在一定距离内水平移动，当关闭后风门时，后风门先在电机作用下旋转到风口处，再通过调节气缸压紧在内炉体上，保证内炉体的密闭性，开启时则是通过调节气缸驱动后风门远离内炉体，使后风门与内炉体之间存在间隙后，再通过电机旋转挪开后风门。本发明提供了一种具有良好密闭性的真空炉，具有良好的加热效果和加热效率，各组件的结构简单，便于维护。

附图说明

图1为一种适用于LED半导体真空烘烤炉的安装示意图；

图2为一种适用于LED半导体真空烘烤炉的结构示意图；

图3为一种适用于LED半导体真空烘烤炉的内部结构正视图；

图4为一种适用于LED半导体真空烘烤炉的内部结构侧视图；

图5为一种适用于LED半导体真空烘烤炉中扣紧装置的结构示意图；

图6为一种适用于LED半导体真空烘烤炉中自动调整密闭装置的结构示意图；

图7为一种适用于LED半导体真空烘烤炉中自动调整密闭装置的立体结构图；

图8为一种适用于LED半导体真空烘烤炉中旋转密闭装置的结构示意图；

图9为一种适用于LED半导体真空烘烤炉中旋转密闭装置的立体结构图。

图中：1-炉体，2-前炉门，3-后炉门，4-支架，5-外进气入口，6-外进气出口，7-内进气出口，8-内进气入口，9-内炉体，10-通孔，11-夹层，12-固定块，13-曝气管，14-真空隔层，15-扣紧装置，16-风机，17-风口，18-前风门，19-自动调整密闭装置，20-后风门，21-旋转密闭装置，22-安装架，23-扣紧气缸，24-调节螺丝，25-连接块，26-压块，27-防护罩，28-定位销，29-密闭气缸，30-固定盘，31-固定螺钉，32-防退螺母，33-调节弹簧，34-电机，35-调节气缸，36-主动齿轮，37-驱动杆，38-卡槽，39-从动齿轮，40-齿轮箱，41-连接杆。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1～9，本发明提供一种技术方案：一种适用于LED半导体真空烘烤炉，包括炉体1，所述炉体1前后两端分别活动安装有前炉门2和后炉门3，所述炉体1底端通过支架4安装在安装面上，所述炉体1外周表面上设置有若干进出气口，所述炉体1内部设置有内炉体9，所述炉体1和内炉体9之间设置有夹层11，所述炉体1上设置有若干用于扣紧前炉门2和后炉门3的扣紧装置15，所述扣紧装置15环绕炉体1的中心轴线均匀分布，所述后炉门3远离炉体1的一端上安装有风机16，所述风机16的输出端延伸至后炉门3与内炉体9之间，所述内炉体9的前后两端分别设置有风口17，其中内炉体9前端的风口17处设置有前风门18，所述前风门18上连接有自动调整密闭装置19，所述内炉体9后端的风口17处设置有后风门20，所述后风门20上连接有旋转密闭装置21。

所述炉体1侧壁中设置有真空隔层14，所述内炉体9的侧壁表面覆盖有保温板，所述前风门18朝向内炉体9的一端表面和后风门20朝向内炉体9的一端表面均覆盖有隔热层，所述前风门18的面积大于风口17，且前风门18靠近风口17的一端设置有与风口17相对应的凸环。

所述进出气口包括外进气入口5、外进气出口6、内进气出口7和内进气入口8，所述外进气入口5和外进气出口6设置有多个，且环绕炉体1的中心轴线均匀分布，所述外进气入口5和外进气出口6均连通到夹层11中，所述内炉体9上设置有与外进气入口5、外进气出口6相对应的通孔10，所述内进气出口7设置在炉体1底端，所述内进气入口8设置在炉体1顶端，且内进气出口7和内进气入口8均依次贯穿夹层11、内炉体9侧壁延伸至内炉体9内部。

所述内进气入口8设置在内炉体9内部的一端固定连接有固定块12，所述固定块12上设置有曝气管13，所述曝气管13水平设置，且曝气管13表面上设置有若干均匀分布的曝气孔，所述内进气入口8和曝气管13相连通。

所述扣紧装置15包括扣紧气缸23，所述炉体1上对应前炉门2、后炉门3的连接处设置有若干安装架22，所述扣紧气缸23安装在安装架22上，所述扣紧气缸23的伸缩端通过调节螺丝24安装有连接块25，所述连接块25靠近炉体1的一端固定连接有压块26，所述连接块25外罩有防护罩27，所述防护罩27上设置有开口，所述防护罩27通过若干定位销28安装在安装架22上。

所述自动调整密闭装置19包括密闭气缸29，所述密闭气缸29安装在前炉门2上，所述密闭气缸29的伸缩端延伸至前炉门2和内炉体9之间，且该伸缩端固定连接有固定盘30，所述固定盘30和前风门18的中心轴线处于同一水平线上，所述固定盘30通过若干固定螺钉31安装在前风门18上，所述固定螺钉31环绕固定盘30的中心均匀分布，所述前风门18和固定盘30上均设置有与固定螺钉31相对应的安装孔。

所述固定螺钉31上套装有防退螺母32，所述固定盘30和前风门18之间设置有若干调节弹簧33，所述调节弹簧33套在固定螺钉31外周。

所述旋转密闭装置21包括电机34和调节气缸35，所述电机34和调节气缸35，所述电机34的输出端安装有主动齿轮36，所述主动齿轮36啮合连接有从动齿轮39，所述主动齿轮36和从动齿轮39均设置在齿轮箱40内部，所述齿轮箱40固定设置在后炉门3外部，所述电机34和调节气缸35均固定安装在齿轮箱40外部，所述从动齿轮39固定套接在驱动杆37外周，所述驱动杆37设置在齿轮箱40内部的一端设置有卡槽38，所述调节气缸35的伸缩端滑动连接在卡槽38中，所述驱动杆37远离调节气缸35的一端贯穿后炉门3延伸至炉体1内部，且驱动杆37位于炉体1内部的一端固定连接有连接杆41，所述连接杆41固定连接在后风门20上。

本发明的工作原理是：炉体1内部设置有内炉体9，炉体1和内炉体9之间设置有夹层11，炉体1的侧壁中设置有真空隔层14，内炉体9侧壁表面覆盖有保温板，配合前风门18、后风门20上的隔热层，起到较好的保温隔热效果，防止真空炉内部的热量逸散到外界，减少能源浪费，提高加热效率；设置有多组进出气口，其中外进气入口5和外进气出口6连通到夹层11中，内进气入口8和内进气出口7连通到内炉体9内部，这样提供了多种不同的进出气方式，可以根据工作需求采用不同的进出气口；内进气入口8连通到曝气管13，曝气管13使得充入的气体能够均匀分散到内炉体9内部各处；当前炉门2和后炉门3关闭时，扣紧气缸23驱动压块26压紧在炉门上，使前炉门2、后炉门3和炉体1之间连接更加紧密，具有更加良好的密闭性，压块26通过连接块25安装在扣紧气缸23的伸缩端，当需要开启炉门时，扣紧气缸23驱动压块26远离炉门，再通过人工拧动调节螺丝24，使压块26偏移一定角度，让出炉门的开启路径，避免干扰到炉门的开启；内炉体9的前后两端设置有风口17，通过前风门18和后风门20使内炉体9内部形成单独的密封结构，便于真空作业；前风门18连接在密闭气缸29上，密闭气缸29的伸长缩短带动前风门18压紧或离开风口17，前风门18设置有与风口17的形状相匹配的凸环，提高密封性，固定螺钉31上套有的调节弹簧33提供了弹力，使发生振动等情况时，前风门18依然能够牢牢压紧在风口17上，从而具有一定的自动调节能力；由于后炉门3上需要安装风机16，受限于空间，无法采用与前风门18上的自动调整密闭装置19相同的驱动结构，此处采用电机34驱动齿轮转动的方式，通过齿轮作用，以驱动杆37为轴带动后风门20旋转，使得后风门20能够挡住风口17或从风口17处移开；但是后风门20在旋转时，需要与内炉体9之间存在一定的间隙，会影响内炉体9的密封性，对内部加热的器件造成不利影响，因此设置有调节气缸35，使驱动杆37能够在一定距离内水平移动，当关闭后风门20时，后风门20先在电机34作用下旋转到风口17处，再通过调节气缸35压紧在内炉体9上，保证内炉体9的密闭性，开启时则是通过调节气缸35驱动后风门20远离内炉体9，使后风门20与内炉体9之间存在间隙后，再通过电机34旋转挪开后风门20。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (8)

1.一种适用于LED半导体真空烘烤炉，包括炉体（1），其特征在于：所述炉体（1）前后两端分别活动安装有前炉门（2）和后炉门（3），所述炉体（1）底端通过支架（4）安装在安装面上，所述炉体（1）外周表面上设置有若干进出气口，所述炉体（1）内部设置有内炉体（9），所述炉体（1）和内炉体（9）之间设置有夹层（11），所述炉体（1）上设置有若干用于扣紧前炉门（2）和后炉门（3）的扣紧装置（15），所述扣紧装置（15）环绕炉体（1）的中心轴线均匀分布，所述后炉门（3）远离炉体（1）的一端上安装有风机（16），所述风机（16）的输出端延伸至后炉门（3）与内炉体（9）之间，所述内炉体（9）的前后两端分别设置有风口（17），其中内炉体（9）前端的风口（17）处设置有前风门（18），所述前风门（18）上连接有自动调整密闭装置（19），所述内炉体（9）后端的风口（17）处设置有后风门（20），所述后风门（20）上连接有旋转密闭装置（21）。

2.根据权利要求1所述的一种适用于LED半导体真空烘烤炉，其特征在于：所述炉体（1）侧壁中设置有真空隔层（14），所述内炉体（9）的侧壁表面覆盖有保温板，所述前风门（18）朝向内炉体（9）的一端表面和后风门（20）朝向内炉体（9）的一端表面均覆盖有隔热层，所述前风门（18）的面积大于风口（17），且前风门（18）靠近风口（17）的一端设置有与风口（17）相对应的凸环。

3.根据权利要求1所述的一种适用于LED半导体真空烘烤炉，其特征在于：所述进出气口包括外进气入口（5）、外进气出口（6）、内进气出口（7）和内进气入口（8），所述外进气入口（5）和外进气出口（6）设置有多个，且环绕炉体（1）的中心轴线均匀分布，所述外进气入口（5）和外进气出口（6）均连通到夹层（11）中，所述内炉体（9）上设置有与外进气入口（5）、外进气出口（6）相对应的通孔（10），所述内进气出口（7）设置在炉体（1）底端，所述内进气入口（8）设置在炉体（1）顶端，且内进气出口（7）和内进气入口（8）均依次贯穿夹层（11）、内炉体（9）侧壁延伸至内炉体（9）内部。

4.根据权利要求3所述的一种适用于LED半导体真空烘烤炉，其特征在于：所述内进气入口（8）设置在内炉体（9）内部的一端固定连接有固定块（12），所述固定块（12）上设置有曝气管（13），所述曝气管（13）水平设置，且曝气管（13）表面上设置有若干均匀分布的曝气孔，所述内进气入口（8）和曝气管（13）相连通。

5.根据权利要求1所述的一种适用于LED半导体真空烘烤炉，其特征在于：所述扣紧装置（15）包括扣紧气缸（23），所述炉体（1）上对应前炉门（2）、后炉门（3）的连接处设置有若干安装架（22），所述扣紧气缸（23）安装在安装架（22）上，所述扣紧气缸（23）的伸缩端通过调节螺丝（24）安装有连接块（25），所述连接块（25）靠近炉体（1）的一端固定连接有压块（26），所述连接块（25）外罩有防护罩（27），所述防护罩（27）上设置有开口，所述防护罩（27）通过若干定位销（28）安装在安装架（22）上。

6.根据权利要求1所述的一种适用于LED半导体真空烘烤炉，其特征在于：所述自动调整密闭装置（19）包括密闭气缸（29），所述密闭气缸（29）安装在前炉门（2）上，所述密闭气缸（29）的伸缩端延伸至前炉门（2）和内炉体（9）之间，且该伸缩端固定连接有固定盘（30），所述固定盘（30）和前风门（18）的中心轴线处于同一水平线上，所述固定盘（30）通过若干固定螺钉（31）安装在前风门（18）上，所述固定螺钉（31）环绕固定盘（30）的中心均匀分布，所述前风门（18）和固定盘（30）上均设置有与固定螺钉（31）相对应的安装孔。

7.根据权利要求6所述的一种适用于LED半导体真空烘烤炉，其特征在于：所述固定螺钉（31）上套装有防退螺母（32），所述固定盘（30）和前风门（18）之间设置有若干调节弹簧（33），所述调节弹簧（33）套在固定螺钉（31）外周。

8.根据权利要求1所述的一种适用于LED半导体真空烘烤炉，其特征在于：所述旋转密闭装置（21）包括电机（34）和调节气缸（35），所述电机（34）和调节气缸（35），所述电机（34）的输出端安装有主动齿轮（36），所述主动齿轮（36）啮合连接有从动齿轮（39），所述主动齿轮（36）和从动齿轮（39）均设置在齿轮箱（40）内部，所述齿轮箱（40）固定设置在后炉门（3）外部，所述电机（34）和调节气缸（35）均固定安装在齿轮箱（40）外部，所述从动齿轮（39）固定套接在驱动杆（37）外周，所述驱动杆（37）设置在齿轮箱（40）内部的一端设置有卡槽（38），所述调节气缸（35）的伸缩端滑动连接在卡槽（38）中，所述驱动杆（37）远离调节气缸（35）的一端贯穿后炉门（3）延伸至炉体（1）内部，且驱动杆（37）位于炉体（1）内部的一端固定连接有连接杆（41），所述连接杆（41）固定连接在后风门（20）上。