CN108895775A - 一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置 - Google Patents

一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置 Download PDF

Info

Publication number
CN108895775A
CN108895775A CN201810758883.0A CN201810758883A CN108895775A CN 108895775 A CN108895775 A CN 108895775A CN 201810758883 A CN201810758883 A CN 201810758883A CN 108895775 A CN108895775 A CN 108895775A
Authority
CN
China
Prior art keywords
heating
water pipe
cooling water
micro
quartz crystal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810758883.0A
Other languages
English (en)
Inventor
李刚炎
岳思齐
喻信东
胡剑
黄大勇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HUBEI TKD ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd
Wuhan University of Technology WUT
Original Assignee
HUBEI TKD ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd
Wuhan University of Technology WUT
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HUBEI TKD ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd, Wuhan University of Technology WUT filed Critical HUBEI TKD ELECTRONIC TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN201810758883.0A priority Critical patent/CN108895775A/zh
Publication of CN108895775A publication Critical patent/CN108895775A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B9/00—Machines or apparatus for drying solid materials or objects at rest or with only local agitation; Domestic airing cupboards
    • F26B9/06—Machines or apparatus for drying solid materials or objects at rest or with only local agitation; Domestic airing cupboards in stationary drums or chambers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25D—REFRIGERATORS; COLD ROOMS; ICE-BOXES; COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F25D1/00—Devices using naturally cold air or cold water
    • F25D1/02—Devices using naturally cold air or cold water using naturally cold water, e.g. household tap water
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B23/00—Heating arrangements
    • F26B23/04—Heating arrangements using electric heating
    • F26B23/06—Heating arrangements using electric heating resistance heating
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B25/00—Details of general application not covered by group F26B21/00 or F26B23/00
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B5/00—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
    • F26B5/04—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by evaporation or sublimation of moisture under reduced pressure, e.g. in a vacuum

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Abstract

本发明提出一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置，包括壳体、加热系统、冷却系统，壳体顶部设有真空计接口、热电偶引入接口、氮气填充接口，壳体侧壁底部设有排气口；加热系统设于壳体内部空腔，包括加热引入电极、数组加热丝、陶瓷块、玻璃管、数个热电偶，加热引入电极设于壳体顶部，数组加热丝分别设于玻璃管内，玻璃管纵向排列，通过陶瓷块固定于烤箱盘架上，数个热电偶设于热电偶引入接口；冷却系统包括壳体外部冷却水管和壳体内部冷却水管，分别布设于壳体侧壁外表面上及烤箱盘架两侧，壳体内部冷却水管底部固定于壳体底板上，本发明应用场合广泛，实用价值高，为微纳米石英晶体的工业加热冷却提供了解决方案。

Description

一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置
技术领域
本发明属于机械传动的技术领域，尤其涉及一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置。
背景技术
通常情况下，微纳米石英晶体在进行压焊封装前，需要对产品进行烘烤，蒸发水汽，退火消除应力。工业烤箱在自然环境下，冷却效率非常低下，达不到生产要求，该冷却装置能对上、中、下三层同时进行冷却，同时，腔体表面方形冷却水管大大增大了接触面积，提高了冷却效率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置，将加热与冷却融为一体，提高了冷却效率。
本发明解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置，其特征在于，包括壳体、加热系统、冷却系统，所述壳体顶部设有真空计接口、热电偶引入接口、氮气填充接口，壳体侧壁底部设有排气口；加热系统设于壳体内部空腔，包括加热引入电极、数组加热丝、陶瓷块、玻璃管、数个热电偶，所述加热引入电极设于壳体顶部，所述数组加热丝分别设于玻璃管内，玻璃管纵向排列，通过陶瓷块固定于烤箱盘架上，所述数个热电偶设于热电偶引入接口；所述冷却系统包括壳体外部冷却水管和壳体内部冷却水管，所述壳体外部冷却水管布设于壳体侧壁外表面上，所述壳体内部冷却水管左右对称设于烤箱盘架两侧，壳体内部冷却水管底部固定于壳体底板上。
按上述方案，所述加热丝分为上、中、下三组，所述热电偶为三个，分别测量所述上、中、下三组加热丝的温度，三个热电偶通过线缆与PLC控制器温控模块相连，所述加热引入电极为三个，分别与三组加热丝相连。
按上述方案，所述壳体外部冷却水管的截面为方形。
按上述方案，所述壳体内部冷却水管为多道折弯管，两端头连接波纹管。
本发明的有益效果是：本发明提供一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置，将加热与冷却融为一体，加热与冷却装置设计新颖，解决了热量在真空中的传递问题，能对上、中、下三层同时进行冷却，解决了工业烤箱快速水冷的问题，同时，壳体表面方形冷却水管大大增大了接触面积，提高冷却效率。
附图说明
图1为本发明一个实施例的结构示意图。
图2为本发明一个实施例的壳体内部冷却水管示意图。
具体实施方式
为更好地理解本发明，下面结合附图和实施例对本发明作进一步的描述。
如图1、图2所示，一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置，包括壳体1、加热系统、冷却系统，壳体顶部设有真空计接口2、热电偶引入接口4、氮气填充接口5，壳体侧壁底部设有排气口11；加热系统设于壳体内部空腔，包括加热引入电极3、数组加热丝6、陶瓷块7、玻璃管8、数个热电偶，加热引入电极设于壳体顶部，数组加热丝分别设于玻璃管内，既对加热丝和周围金属起绝缘作用，又不影响其热传递，玻璃管纵向排列，通过陶瓷块固定于烤箱盘架上，数个热电偶设于热电偶引入接口；冷却系统包括壳体外部冷却水管9和壳体内部冷却水管10，壳体外部冷却水管布设于壳体侧壁外表面上，壳体内部冷却水管左右对称设于烤箱盘架两侧，壳体内部冷却水管底部固定于壳体底板上。壳体外部冷却水管是为了防止壳体表面温度过高，避免在实际生产时烫伤操作工人；壳体内部冷却水管是因为在真空环境或常压环境下，冷却效率非常低，而在实际生产时，对工作时间有要求，故需要安设内部冷却水管来提高冷却效率。
加热丝分为上、中、下三组，热电偶为三个，分别测量上、中、下三组加热丝的温度，三个热电偶通过线缆与PLC控制器温控模块相连，加热引入电极为三个，分别与三组加热丝相连，为加热丝提供电源。
壳体外部冷却水管的截面为方形，焊接在壳体侧壁上，大大提高了腔体表面冷却效率。
壳体内部冷却水管为多道折弯管，增大了冷却水管的有效长度，其两端头连接波纹管为壳体内部冷却水管的安装位置提供了一定的容错性。
具体实施作业方式如下：
1、物料准备完成后，在操作平台上发出机器运行指令，开始正常烘烤作业。
2、通过系统操作平台将真空烤箱抽到一定的真空度，向腔体内充入高纯氮气，其作用是通过排气口向外排出壳体内带有水分的空气和灰尘，保证壳体内的烘烤氛围。
3、在开始加热前，向壳体内部冷却水管中充气，排出壳体内部冷却水管中残存的水，为真空烤箱加热作好准备。
4、前级工序准备完成后，开启加热系统部分，壳体内开始加热，当壳体内上、中、下三层加热到某一温度时，壳体外部冷却水管中通冷却水，对壳体表面进行降温，当壳体内上、中、下三层加热至指定温度，进行保温一个小时。
5、保温阶段完成后，通过向壳体内部冷却水管中通水对产品进行降温，降温至指定的温度。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例，并非对本发明作任何限制，凡是根据本发明方法实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效变化，均仍属于本发明技术方法的保护范围内。

Claims (4)

1.一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置，其特征在于，包括壳体、加热系统、冷却系统，所述壳体顶部设有真空计接口、热电偶引入接口、氮气填充接口，壳体侧壁底部设有排气口；加热系统设于壳体内部空腔，包括加热引入电极、数组加热丝、陶瓷块、玻璃管、数个热电偶，所述加热引入电极设于壳体顶部，所述数组加热丝分别设于玻璃管内，玻璃管纵向排列，通过陶瓷块固定于烤箱盘架上，所述数个热电偶设于热电偶引入接口；所述冷却系统包括壳体外部冷却水管和壳体内部冷却水管，所述壳体外部冷却水管布设于壳体侧壁外表面上，所述壳体内部冷却水管左右对称设于烤箱盘架两侧，壳体内部冷却水管底部固定于壳体底板上。
2.根据权利要求1所述的一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置，其特征在于，所述加热丝分为上、中、下三组，所述热电偶为三个，分别测量所述上、中、下三组加热丝的温度，三个热电偶通过线缆与PLC控制器温控模块相连，所述加热引入电极为三个，分别与三组加热丝相连。
3.根据权利要求1所述的一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置，其特征在于，所述壳体外部冷却水管的截面为方形。
4.根据权利要求1所述的一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置，其特征在于，所述壳体内部冷却水管为多道折弯管，两端头连接波纹管。
CN201810758883.0A 2018-07-11 2018-07-11 一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置 Pending CN108895775A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810758883.0A CN108895775A (zh) 2018-07-11 2018-07-11 一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810758883.0A CN108895775A (zh) 2018-07-11 2018-07-11 一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108895775A true CN108895775A (zh) 2018-11-27

Family

ID=64348623

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810758883.0A Pending CN108895775A (zh) 2018-07-11 2018-07-11 一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108895775A (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201177438Y (zh) * 2007-11-27 2009-01-07 河南黄河实业集团股份有限公司 电热真空干燥器的冷却回收水弯管装置
CN201177439Y (zh) * 2007-12-29 2009-01-07 河南黄河实业集团股份有限公司 电热真空干燥装置的接水板结构
CN201257698Y (zh) * 2008-06-20 2009-06-17 柴明 木材电热高温处理设备和有联合干燥功能的热处理设备
CN101561218A (zh) * 2008-04-16 2009-10-21 富葵精密组件(深圳)有限公司 真空氮气烘箱
RU110464U1 (ru) * 2011-07-05 2011-11-20 Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Калининградский государственный технический университет" Установка для вакуумной сушки
CN204987671U (zh) * 2015-07-08 2016-01-20 河南金明自动化设备有限公司 热泵型低温真空干燥装置
CN107782072A (zh) * 2016-08-31 2018-03-09 四川飚毅中药材科技有限公司 一种防爆烘干箱
CN107812702A (zh) * 2017-11-22 2018-03-20 合肥微信片农业科技有限公司 具有筛分功能的玉米种子烘干装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201177438Y (zh) * 2007-11-27 2009-01-07 河南黄河实业集团股份有限公司 电热真空干燥器的冷却回收水弯管装置
CN201177439Y (zh) * 2007-12-29 2009-01-07 河南黄河实业集团股份有限公司 电热真空干燥装置的接水板结构
CN101561218A (zh) * 2008-04-16 2009-10-21 富葵精密组件(深圳)有限公司 真空氮气烘箱
CN201257698Y (zh) * 2008-06-20 2009-06-17 柴明 木材电热高温处理设备和有联合干燥功能的热处理设备
RU110464U1 (ru) * 2011-07-05 2011-11-20 Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Калининградский государственный технический университет" Установка для вакуумной сушки
CN204987671U (zh) * 2015-07-08 2016-01-20 河南金明自动化设备有限公司 热泵型低温真空干燥装置
CN107782072A (zh) * 2016-08-31 2018-03-09 四川飚毅中药材科技有限公司 一种防爆烘干箱
CN107812702A (zh) * 2017-11-22 2018-03-20 合肥微信片农业科技有限公司 具有筛分功能的玉米种子烘干装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104569046B (zh) 超高温隔热性能试验装置及试验方法
CN101655310B (zh) 1800度高温保护气氛真空烧结炉
CN106495453A (zh) 电子设备玻璃热弯成型炉
CN107202495A (zh) 闪烧结构和闪烧炉
CN106830651B (zh) 大尺寸光纤预制棒的脱羟退火方法
CN104596235A (zh) 一种复合式微波烧结炉
FR2821925B1 (fr) Enceinte d'etancheite au gaz et au vide d'isolation thermique destinee a un dispositif de chauffage par induction
CN102234713A (zh) 三区三控封闭式内循环气体保护铜线真空快速冷却退火炉
CN201965064U (zh) 高温硬度计
CN108895775A (zh) 一种微纳米石英晶体的真空烤箱加热与冷却装置
CN103964679A (zh) 一种隧道式泡沫玻璃退火窑
CN207365687U (zh) Ito靶材烧结炉
CN210030826U (zh) 一种新型钢丝热处理装置
CN204389422U (zh) 超高温隔热性能试验装置
CN204902448U (zh) 建筑构件热循环干燥设备
CN209439570U (zh) 保温杯全自动高真空钎焊设备的加热冷却系统
CN205537094U (zh) 充水冷却式氢气烧结炉
CN204455201U (zh) 非晶合金立体卷铁芯退火炉
CN209065958U (zh) 一种全自动高温软磁合金退火装置
CN207797740U (zh) 箱式电阻炉快速升降温辅助装置
CN103629905A (zh) 一种银片干燥炉
CN208282597U (zh) 一种用于制备氧化物陶瓷靶材的复合式微波烧结装置
CN205980755U (zh) 太阳能电池片烧结炉的烘干装置
CN215887316U (zh) 一种晶片退火炉
CN107857241A (zh) 高纯度氮化硅粉体生产工艺

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20181127