CN108872259A - 一种检查玻璃基板表面的方法 - Google Patents

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李兆廷
石志强
李震
李俊生
张北斗
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Abstract

本公开涉及一种检查玻璃基板表面的方法，该方法包括：S1、用水蒸气熏染待检查的玻璃基板的表面，使水蒸气在所述玻璃基板的表面冷凝为液态水；S2、若所述液态水连接成片状且均匀分布于所述玻璃基板表面，则所述玻璃基板表面无污染物；若所述液态水在所述玻璃基板表面凝结为水珠且呈颗粒状分布，则所述玻璃基板表面有污染物。通过本公开的检查玻璃基板表面的方法能更加准确、快速且方便地确认玻璃基板表面是否存在污染物。

Description

一种检查玻璃基板表面的方法
技术领域
本公开涉及玻璃基板生产技术领域，具体地，涉及一种检查玻璃基板表面的方法。
背景技术
玻璃基板表面污染是玻璃基板生产过程中的重点管控项目，玻璃表面污染将严重影响面板生产工艺；以往玻璃表面污染的检测主要靠人工肉眼观察及检查机的检测；对于某些表面脏污，人工检查与检查机检测均无法及时发现、拦截，从而导致不合格品漏检，使得下游客户产生不必要的损失。如何能更加精准、快速地对玻璃基板表面进行检测，以确认玻璃基板表面是否存在污染物是目前亟待解决的技术问题。
发明内容
本公开的目的是提供一种检查玻璃基板表面的方法，该方法能简单、准确地判断玻璃基板表面是否存在污染物。
本公开提供一种检查玻璃基板表面的方法，该方法包括：S1、用水蒸气熏染待检查的玻璃基板的表面，使水蒸气在所述玻璃基板的表面冷凝为液态水；S2、若所述液态水连接成片状且均匀分布于所述玻璃基板表面，则所述玻璃基板表面无污染物；若所述液态水在所述玻璃基板表面凝结为水珠且呈颗粒状分布，则所述玻璃基板表面有污染物。
可选地，步骤S1和步骤S2在百级洁净间内进行。
可选地，步骤S1中所述水蒸气通过挂烫机产生。
可选地，进行步骤S1和步骤S2时，所述玻璃基板水平放置，且所述玻璃基板待检查的表面朝上。
可选地，步骤S2在暗室内光照下进行。
可选地，步骤S2在进行光照时，用于发射光线的光源位于所述玻璃基板待检查的表面上方。
可选地，通过眼睛观测完成步骤S2。
可选地，眼睛在进行观测时，眼睛与所述玻璃基板待检查的表面之间的距离在0.5m以内。
通过本公开的检查玻璃基板表面的方法能简单、快速并且更加准确地确认玻璃基板表面是否存在污染物，能提高玻璃基板检测的工作效率，避免玻璃基板表面污染物的漏检。
本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
具体实施方式
以下对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。
本公开提供一种检查玻璃基板表面的方法，该方法包括：S1、可以用水蒸气熏染待检查的玻璃基板的表面，可以使水蒸气在所述玻璃基板的表面冷凝为液态水；S2、若所述液态水连接成片状且均匀分布于所述玻璃基板表面，则所述玻璃基板表面无污染物；若所述液态水在所述玻璃基板表面凝结为水珠且呈颗粒状分布，则所述玻璃基板表面有污染物。
通过本公开的方法检查玻璃基板的表面时，首先可以将待检查的玻璃基板放入洁净的检测环境中，用水蒸气熏染待检查的玻璃基板的表面；水蒸气遇到玻璃基板表面会冷凝为液态水，若玻璃基板表面形成的液态水连接成片状且均匀分布于玻璃表面，则说明玻璃基板表面没有污染物存在；若水蒸气在玻璃表面形成的液态水凝聚为水珠，且水珠呈颗粒状分布，也可以说多个水珠分别呈各自独立的状态的分布，则说明玻璃基板表面有污染物。
根据本公开，步骤S1和步骤S2可以在百级洁净间内进行。在洁净的环境中进行所述步骤S1和S2可以减少空气中污染物对检测过程的干扰，能够提高检测结果的准确性。
根据本公开，步骤S1中所述水蒸气可以通过挂烫机产生。这样操作人员通过手持挂烫机蒸汽喷头即可方便地对待检测的玻璃基板表面不同区域喷施水蒸气。
根据本公开，进行步骤S1和步骤S2时，所述玻璃基板可以水平放置，且所述玻璃基板待检查的表面可以朝上。这样可以方便地对待检测的玻璃基板表面喷施水蒸气和观测。
根据本公开，步骤S2可以在暗室内光照下进行。通过光照可以进行步骤S2中的玻璃基板表面水珠情况的观察。
根据本公开，步骤S2在进行光照时，用于发射光线的光源可以位于所述玻璃基板待检查的表面上方。
根据本公开，可以通过眼睛观测完成步骤S2。进而通过眼睛观察玻璃基板表面液态水的聚集、分布情况等就能方便、快速而准确地确定玻璃基板表面是否存在污染物。
根据本公开，眼睛在进行观测时，眼睛与所述玻璃基板待检查的表面之间的距离可以在0.5m以内。
以下通过实施例进一步详细说明本公开，以下实施例仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。
实施例1
检测在百级洁净间内进行，将玻璃基板B1水平放置于检测台面上，待检测的玻璃基板B1的表面朝上放置，检测灯位于检测台面上方；打开检测室内的照明灯，关闭检测灯；通过挂烫机向待检测的玻璃基板B1的表面喷施水蒸气，使待检测基板表面每个位置处均喷施有水蒸气，关闭挂烫机，水蒸气很快在玻璃基板B1表面凝结形成液态水；关闭检测室内的照明灯，打开检测灯，检测人员通过眼睛对玻璃基板B1表面的液态水的聚集情况等进行观察并记录，检测人员在检测过程中眼睛与玻璃基板待检测表面的距离在0.15-0.35m范围内，详细记录结果见表1。
测试实施例1
通过检查机检测玻璃基板B1表面。
表1
通过上述表1中内容可以看出，本公开的检查玻璃基板表面的方法能够准确地检测出表里表面是否存在污染物，本公开的检查玻璃基板表面的方法检测过程简单、快速，检测结果准确。
以上详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。

Claims (8)

1.一种检查玻璃基板表面的方法，其特征在于，该方法包括：
S1、用水蒸气熏染待检查的玻璃基板的表面，使水蒸气在所述玻璃基板的表面冷凝为液态水；
S2、若所述液态水连接成片状且均匀分布于所述玻璃基板表面，则所述玻璃基板表面无污染物；若所述液态水在所述玻璃基板表面凝结为水珠且呈颗粒状分布，则所述玻璃基板表面有污染物。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，步骤S1和步骤S2在百级洁净间内进行。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，步骤S1中所述水蒸气通过挂烫机产生。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，进行步骤S1和步骤S2时，所述玻璃基板水平放置，且所述玻璃基板待检查的表面朝上。
5.根据权利要求1所述的方法，其中，步骤S2在暗室内光照下进行。
6.根据权利要求5所述的方法，其中，步骤S2在进行光照时，用于发射光线的光源位于所述玻璃基板待检查的表面上方。
7.根据权利要求1所述的方法，其中，通过眼睛观测完成步骤S2。
8.根据权利要求7所述的方法，其中，眼睛在进行观测时，眼睛与所述玻璃基板待检查的表面之间的距离在0.5m以内。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109596463A (zh) * 2018-12-26 2019-04-09 浙江星星科技股份有限公司 一种显示面板表面af防指纹膜的检测方法
CN113281923A (zh) * 2021-04-21 2021-08-20 信利（惠州）智能显示有限公司 一种检测tft清洗线mura的方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61198045A (ja) * 1985-02-28 1986-09-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 表面汚染度観察方法
US20080014653A1 (en) * 2006-07-13 2008-01-17 Elementum Labs, Inc. Spectral analysis system utilizing water vapor plasma
CN101191775A (zh) * 2006-11-24 2008-06-04 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 检验光学镜片清洁度的装置及方法
CN204514916U (zh) * 2015-01-05 2015-07-29 芜湖东旭光电科技有限公司 一种玻璃基板检测装置
CN206132656U (zh) * 2016-09-30 2017-04-26 营口康辉石化有限公司 一种薄膜表面油迹检测装置
CN108090487A (zh) * 2017-11-28 2018-05-29 华南理工大学 一种利用图像特征检测复合绝缘子憎水等级的自动识别方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61198045A (ja) * 1985-02-28 1986-09-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 表面汚染度観察方法
US20080014653A1 (en) * 2006-07-13 2008-01-17 Elementum Labs, Inc. Spectral analysis system utilizing water vapor plasma
CN101191775A (zh) * 2006-11-24 2008-06-04 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 检验光学镜片清洁度的装置及方法
CN204514916U (zh) * 2015-01-05 2015-07-29 芜湖东旭光电科技有限公司 一种玻璃基板检测装置
CN206132656U (zh) * 2016-09-30 2017-04-26 营口康辉石化有限公司 一种薄膜表面油迹检测装置
CN108090487A (zh) * 2017-11-28 2018-05-29 华南理工大学 一种利用图像特征检测复合绝缘子憎水等级的自动识别方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109596463A (zh) * 2018-12-26 2019-04-09 浙江星星科技股份有限公司 一种显示面板表面af防指纹膜的检测方法
CN113281923A (zh) * 2021-04-21 2021-08-20 信利（惠州）智能显示有限公司 一种检测tft清洗线mura的方法

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