CN108831852B - 一种晶圆流片用质检装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶圆流片质检附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片用质检装置，其能根据工作人员的需求对外壳的位置进行调节，以便对放大镜片的高度和角度进行调整，提高适应能力；同时方便在光线较暗的情况下进行使用，降低使用局限性；且减轻周围走动人员对检查人员产生的影响，并避免晃动的影像对检查人员造成的妨害，提高使用性；包括底座、工作台、支架、外壳和放大镜片；还包括两组调节件，支架包括两组下螺纹管、两组下螺纹杆和两组下滚珠轴承；还包括四组支撑杆、顶板、移动件，安装架和照明灯；还包括左挡板、右挡板和后挡板，左挡板、右挡板和后挡板分别设置在工作台顶端左侧、右侧和后侧上。

Description

一种晶圆流片用质检装置

技术领域

本发明涉及晶圆流片质检附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片用质检装置。

背景技术

众所周知，晶圆流片用质检装置是一种用于芯片生产过程中，检查晶圆流片有无连焊、漏焊，有无缺少元件的辅助装置，其在后续对芯片进行生产领域中得到广泛的使用；现有的晶圆流片用质检装置包括底座、工作台、支架、外壳和放大镜片，工作台设置在底座顶端，支架设置在工作台顶端前半区域上，外壳设置在支架上，外壳上设置有安装孔，放大镜片设置在安装孔内；现有的晶圆流片用质检装置使用时只需将需要检查的晶圆流片放在外壳后侧，并通过放大镜片对晶圆流片的情况进行检查即可；现有的晶圆流片用质检装置使用中发现外壳的位置固定，从而导致放大镜片的高度和角度固定，不能根据工作人员的需求进行调节，适应能力较差；并且检查时较费眼力，导致其不方便在光线较暗的情况下进行使用，使用局限性较高；且检查时若周围有人员走动，则易对检查人员产生影响，且晃动的影像也易对检查人员造成妨害，使用性有限。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种能根据工作人员的需求对外壳的位置进行调节，以便对放大镜片的高度和角度进行调整，提高适应能力；同时方便在光线较暗的情况下进行使用，降低使用局限性；且减轻周围走动人员对检查人员产生的影响，并避免晃动的影像对检查人员造成的妨害，提高使用性的晶圆流片用质检装置。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，包括底座、工作台、支架、外壳和放大镜片，工作台设置在底座顶端，支架设置在工作台顶端前半区域上，外壳上设置有安装孔，放大镜片设置在安装孔内；还包括两组调节件，所述支架包括两组下螺纹管、两组下螺纹杆和两组下滚珠轴承，所述工作台顶端前侧左半区域和右半区域上均设置有下安装槽，两组下滚珠轴承分别设置在两组下安装槽内，所述两组下螺纹管底端分别插入至两组下滚珠轴承内部，两组下螺纹杆底端分别插入并螺装在两组下螺纹管顶端内部，所述两组调节件分别设置在两组下螺纹杆顶端，且两组调节件分别与外壳左右两端连接；还包括四组支撑杆、顶板、移动件，安装架和照明灯，所述四组支撑杆分别设置在工作台顶端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，且四组支撑杆顶端分别与顶板底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述移动件设置在顶板底端，安装架设置在移动件上，所述照明灯设置在安装架底端；还包括左挡板、右挡板和后挡板，所述左挡板、右挡板和后挡板分别设置在工作台顶端左侧、右侧和后侧上，且左挡板、右挡板和后挡板顶端分别与顶板底端左侧、右侧和后侧连接。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，所述调节件包括支块、连接块和连接杆，所述支块设置在下螺纹杆顶端，支块上横向设置有通孔，并在通孔内侧壁上设置有内螺纹结构，所述连接杆直径与通孔内直径相等，并在连接杆外侧壁上设置有与通孔内螺纹结构相匹配的外螺纹结构，且所述连接杆穿过并螺装在通孔上，所述连接块设置在连接杆上，且连接块与外壳连接。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，所述移动件包括两组滑块和两组固定座，所述顶板底端左半区域和右半区域上均设置有滑槽，两组滑块分别设置在两组滑槽上，且两组滑块可分别在两组滑槽内前后滑动，所述两组固定座分别设置在两组滑块底端。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，所述安装架包括两组上螺纹管、两组上螺纹杆和两组上滚珠轴承，所述两组固定座底端均设置有上固定槽，两组上滚珠轴承分别设置在两组上固定槽内，所述两组上螺纹管顶端分别插入至两组上滚珠轴承内部，两组上螺纹杆顶端分别插入并螺装在两组上螺纹管底端内部，且两组上螺纹杆底端分别与照明灯顶端左右两侧连接。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，所述左挡板前后两端分别与位于左前侧的支撑杆后端和位于左后侧的支撑杆前端连接，右挡板前后两端分别与位于右前侧的支撑杆后端和位于右后侧的支撑杆前端连接，所述后挡板左右两端分别与位于左后侧的支撑杆右端和位于右后侧的支撑杆左端连接。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，还包括三组白板，所述三组白板分别设置在三组挡板内侧，且三组白板顶端分别与顶板底端左半区域、右半区域和后半区域连接，三组白板底端分别与工作台顶端左半区域、右半区域和后半区域连接。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，还包括两组上限位环，所述两组上螺纹管上半区域外侧壁上均设置有上环形凹槽，两组上限位环分别套装在两组上环形凹槽上，且两组上限位环顶端外侧分别与两组固定座底端外侧连接。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，还包括两组下限位环，所述两组下螺纹管下半区域外侧壁上均设置有下环形凹槽，两组下限位环分别套装在两组下环形凹槽上，且两组下限位环底端外侧分别与工作台顶端前侧左半区域和右半区域连接。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，还包括把手，所述把手设置在外壳底端。

与现有技术相比本发明的有益效果为：其可通过螺纹结构，通过同时旋转两组位置不变的下螺纹管控制下螺纹杆带动调节件上的外壳进行上下移动，以便根据工作人员需求对放大镜片的高度位置进行调整，并通过使外壳带动调节件进行旋转，从而能根据工作人员的需求对放大镜片的角度进行调整，提高适应能力，且通过螺纹结构增强连接杆与通孔间的固定效果，以便提高调节后的稳固性，提高使用效果；同时可通过照明灯进行照明，从而方便在光线较暗的情况下进行使用，降低使用局限性；且可通过左挡板、右挡板和后挡板对工作台上方进行遮挡，以便减轻周围走动人员对检查人员产生的影响，并避免晃动的影像对检查人员造成的妨害，提高使用性。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是图1的右视图；

图3是图1的A部局部放大图；

附图中标记：1、底座；2、工作台；3、外壳；4、放大镜片；5、下螺纹管；6、下螺纹杆；7、下滚珠轴承；8、支撑杆；9、顶板；10、照明灯；11、右挡板；12、后挡板；13、支块；14、连接块；15、连接杆；16、滑块；17、固定座；18、上螺纹管；19、上螺纹杆；20、上滚珠轴承；21、白板；22、上限位环；23、下限位环；24、把手。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1至图3所示，本发明的一种晶圆流片用质检装置，包括底座1、工作台2、支架、外壳3和放大镜片4，工作台设置在底座顶端，支架设置在工作台顶端前半区域上，外壳上设置有安装孔，放大镜片设置在安装孔内；还包括两组调节件，支架包括两组下螺纹管5、两组下螺纹杆6和两组下滚珠轴承7，工作台顶端前侧左半区域和右半区域上均设置有下安装槽，两组下滚珠轴承分别设置在两组下安装槽内，两组下螺纹管底端分别插入至两组下滚珠轴承内部，两组下螺纹杆底端分别插入并螺装在两组下螺纹管顶端内部，两组调节件分别设置在两组下螺纹杆顶端，且两组调节件分别与外壳左右两端连接；还包括四组支撑杆8、顶板9、移动件，安装架和照明灯10，四组支撑杆分别设置在工作台顶端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，且四组支撑杆顶端分别与顶板底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，移动件设置在顶板底端，安装架设置在移动件上，照明灯设置在安装架底端；还包括左挡板、右挡板11和后挡板12，左挡板、右挡板和后挡板分别设置在工作台顶端左侧、右侧和后侧上，且左挡板、右挡板和后挡板顶端分别与顶板底端左侧、右侧和后侧连接；其可通过螺纹结构，通过同时旋转两组位置不变的下螺纹管控制下螺纹杆带动调节件上的外壳进行上下移动，以便根据工作人员需求对放大镜片的高度位置进行调整，并通过使外壳带动调节件进行旋转，从而能根据工作人员的需求对放大镜片的角度进行调整，提高适应能力，且通过螺纹结构增强连接杆与通孔间的固定效果，以便提高调节后的稳固性，提高使用效果；同时可通过照明灯进行照明，从而方便在光线较暗的情况下进行使用，降低使用局限性；且可通过左挡板、右挡板和后挡板对工作台上方进行遮挡，以便减轻周围走动人员对检查人员产生的影响，并避免晃动的影像对检查人员造成的妨害，提高使用性。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，调节件包括支块13、连接块14和连接杆15，支块设置在下螺纹杆顶端，支块上横向设置有通孔，并在通孔内侧壁上设置有内螺纹结构，连接杆直径与通孔内直径相等，并在连接杆外侧壁上设置有与通孔内螺纹结构相匹配的外螺纹结构，且连接杆穿过并螺装在通孔上，连接块设置在连接杆上，且连接块与外壳连接；其可通过转动外壳使连接杆在通孔内部进行旋转，从而能根据工作人员的需求对放大镜片的角度进行调整，提高适应能力，且通过螺纹结构增强连接杆与通孔间的固定效果，以便提高调节后的稳固性，提高使用效果。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，移动件包括两组滑块16和两组固定座17，顶板底端左半区域和右半区域上均设置有滑槽，两组滑块分别设置在两组滑槽上，且两组滑块可分别在两组滑槽内前后滑动，两组固定座分别设置在两组滑块底端；其可通过滑块在滑槽内部的滑动对安装件进行前后移动，以便对照明灯位置进行调整，提高适应能力。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，安装架包括两组上螺纹管18、两组上螺纹杆19和两组上滚珠轴承20，两组固定座底端均设置有上固定槽，两组上滚珠轴承分别设置在两组上固定槽内，两组上螺纹管顶端分别插入至两组上滚珠轴承内部，两组上螺纹杆顶端分别插入并螺装在两组上螺纹管底端内部，且两组上螺纹杆底端分别与照明灯顶端左右两侧连接；其可通过螺纹结构，通过同时旋转两组位置不变的上螺纹管控制上螺纹杆带动照明灯进行上下移动，以便根据工作人员需求对照明灯的高度位置进行调整，提高适应能力。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，左挡板前后两端分别与位于左前侧的支撑杆后端和位于左后侧的支撑杆前端连接，右挡板前后两端分别与位于右前侧的支撑杆后端和位于右后侧的支撑杆前端连接，后挡板左右两端分别与位于左后侧的支撑杆右端和位于右后侧的支撑杆左端连接；且可增强左挡板、右挡板和后挡板的遮挡效果，提高使用性。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，还包括三组白板21，三组白板分别设置在三组挡板内侧，且三组白板顶端分别与顶板底端左半区域、右半区域和后半区域连接，三组白板底端分别与工作台顶端左半区域、右半区域和后半区域连接；其可减小周围环境对晶圆流片观察时的妨碍，以便辅助工作人员对晶圆流片进行检测，提高使用性。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，还包括两组上限位环22，两组上螺纹管上半区域外侧壁上均设置有上环形凹槽，两组上限位环分别套装在两组上环形凹槽上，且两组上限位环顶端外侧分别与两组固定座底端外侧连接；其可增强上螺纹管与固定座间的连接效果和稳固性。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，还包括两组下限位环23，两组下螺纹管下半区域外侧壁上均设置有下环形凹槽，两组下限位环分别套装在两组下环形凹槽上，且两组下限位环底端外侧分别与工作台顶端前侧左半区域和右半区域连接；其可增强下螺纹管与工作台间的连接效果和稳固性。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，还包括把手24，把手设置在外壳底端；其可方便对外壳进行转动，以便对其角度进行调整，提高使用性。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，其在使用时先根据工作人员的需求同时旋转两组下螺纹管控制下螺纹杆带动调节件上的外壳进行上下移动，对放大镜片的高度位置进行调整，之后将需要检查的晶圆流片放在外壳后侧，并通过放大镜片对晶圆流片的情况进行检查，并在检测过程中根据需求手握把手并带动外壳进行旋转，对放大镜片的角度进行调整即可；上述过程中，可在光线较暗的情况下开启照明灯进行辅助照明，同时通过前后拉动安装架带动滑块在滑槽内前后滑动，以便对照明灯的前后位置进行调整，并可根据工作人员需求同时旋转两组上螺纹管控制上螺纹杆带动照明灯进行上下移动，以便对照明灯的高度位置进行调整。

本发明的一种晶圆流片用质检装置，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施；并且上述各部件的型号不限，只要能够达成其有益效果的均可进行实施，且照明灯为市面常见设备，自带控制模块和电线，插电即可使用，未改变其内部结构。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种晶圆流片用质检装置，包括底座（1）、工作台（2）、支架、外壳（3）和放大镜片（4），工作台设置在底座顶端，支架设置在工作台顶端前半区域上，外壳上设置有安装孔，放大镜片设置在安装孔内；其特征在于，还包括两组调节件，支架包括两组下螺纹管（5）、两组下螺纹杆（6）和两组下滚珠轴承（7），工作台顶端前侧左半区域和右半区域上均设置有下安装槽，两组下滚珠轴承分别设置在两组下安装槽内，两组下螺纹管底端分别插入至两组下滚珠轴承内部，两组下螺纹杆底端分别插入并螺装在两组下螺纹管顶端内部，两组调节件分别设置在两组下螺纹杆顶端，且两组调节件分别与外壳左右两端连接；还包括四组支撑杆（8）、顶板（9）、移动件，安装架和照明灯（10），四组支撑杆分别设置在工作台顶端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，且四组支撑杆顶端分别与顶板底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，移动件设置在顶板底端，安装架设置在移动件上，照明灯设置在安装架底端；还包括左挡板、右挡板（11）和后挡板（12），左挡板、右挡板和后挡板分别设置在工作台顶端左侧、右侧和后侧上，且左挡板、右挡板和后挡板顶端分别与顶板底端左侧、右侧和后侧连接，所述调节件包括支块（13）、连接块（14）和连接杆（15），支块设置在下螺纹杆顶端，支块上横向设置有通孔，并在通孔内侧壁上设置有内螺纹结构，连接杆直径与通孔内直径相等，并在连接杆外侧壁上设置有与通孔内螺纹结构相匹配的外螺纹结构，且连接杆穿过并螺装在通孔上，连接块设置在连接杆上，且连接块与外壳连接，所述移动件包括两组滑块（16）和两组固定座（17），顶板底端左半区域和右半区域上均设置有滑槽，两组滑块分别设置在两组滑槽上，且两组滑块可分别在两组滑槽内前后滑动，两组固定座分别设置在两组滑块底端。

2.如权利要求1所述的一种晶圆流片用质检装置，其特征在于，所述安装架包括两组上螺纹管（18）、两组上螺纹杆（19）和两组上滚珠轴承（20），两组固定座底端均设置有上固定槽，两组上滚珠轴承分别设置在两组上固定槽内，两组上螺纹管顶端分别插入至两组上滚珠轴承内部，两组上螺纹杆顶端分别插入并螺装在两组上螺纹管底端内部，且两组上螺纹杆底端分别与照明灯顶端左右两侧连接。

3.如权利要求2所述的一种晶圆流片用质检装置，其特征在于，左挡板前后两端分别与位于左前侧的支撑杆后端和位于左后侧的支撑杆前端连接，右挡板前后两端分别与位于右前侧的支撑杆后端和位于右后侧的支撑杆前端连接，后挡板左右两端分别与位于左后侧的支撑杆右端和位于右后侧的支撑杆左端连接。

4.如权利要求3所述的一种晶圆流片用质检装置，其特征在于，还包括三组白板（21），三组白板分别设置在三组挡板内侧，且三组白板顶端分别与顶板底端左半区域、右半区域和后半区域连接，三组白板底端分别与工作台顶端左半区域、右半区域和后半区域连接。

5.如权利要求4所述的一种晶圆流片用质检装置，其特征在于，还包括两组上限位环（22），两组上螺纹管上半区域外侧壁上均设置有上环形凹槽，两组上限位环分别套装在两组上环形凹槽上，且两组上限位环顶端外侧分别与两组固定座底端外侧连接。

6.如权利要求5所述的一种晶圆流片用质检装置，其特征在于，还包括两组下限位环（23），两组下螺纹管下半区域外侧壁上均设置有下环形凹槽，两组下限位环分别套装在两组下环形凹槽上，且两组下限位环底端外侧分别与工作台顶端前侧左半区域和右半区域连接。

7.如权利要求6所述的一种晶圆流片用质检装置，其特征在于，还包括把手（24），把手设置在外壳底端。