CN108827553A - 一种晶体管泄漏测试设备 - Google Patents

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    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material

Abstract

本发明提出的一种晶体管泄漏测试设备，包括：密封容器、三通阀、酒精测试仪和真空泵；密封容器由底座和罩设在底座上的盖体组成，底座上设有用于放置晶体管的工位，盖体内侧设有聚气罩，聚气罩通过空心杆安装在盖体上；盖体罩设在底座上的状态下，聚气罩罩设在工位上，且聚气罩底部与底座之间有间隙；聚气罩上设有通孔，酒精测试仪安装在盖体外侧，其测试气体接入软管插入盖体并通过空心杆与通孔连通。本发明结构简单，操作容易，且使用范围广。本发明中，通过设置聚气罩，可保证酒精测试仪对晶体管周围的的气体进行重点监测，如果晶体管泄漏，则酒精测试仪可快速的获取酒精分子，从而进行快速响应，以提高检测效率。

Description

一种晶体管泄漏测试设备
技术领域
本发明涉及晶体管检测设备技术领域，尤其涉及一种晶体管泄漏测试设备。
背景技术
当薄膜晶体管的半导体层暴露于某种环境中(例如，湿法处理过程中的溶剂)时，薄膜晶体管(TFT)的性能很可能被退化。因此，晶体管的密封性非常重要。
发明内容
基于背景技术存在的技术问题，本发明提出了一种晶体管泄漏测试设备。
本发明提出的一种晶体管泄漏测试设备，包括：密封容器、三通阀、酒精测试仪和真空泵；
密封容器由底座和罩设在底座上的盖体组成，底座上设有用于放置晶体管的工位，盖体内侧设有聚气罩，聚气罩通过空心杆安装在盖体上；盖体罩设在底座上的状态下，聚气罩罩设在工位上，且聚气罩底部与底座之间有间隙；
聚气罩上设有通孔，酒精测试仪安装在盖体外侧，其测试气体接入软管插入盖体并通过空心杆与通孔连通；
盖体上相对的两侧分别设有连通盖体内侧的第一接头和第二接头，第一接头与三通阀的输出端连通，三通阀的第一输入端和第二输入端分别用于连接酒精气体供给装置和空气供给装置；第二接头与真空泵输入端连接。
优选地，底座底部还设有加热器。
优选地，还包括支撑架，盖体固定安装在支撑架上，支撑架上还设有上下运动地用于放置底座的托台，托台上移状态下，托台上的底座与盖体配合形成密封容器；托台下移状态下，托台上的底座与盖体分离。
优选地，聚气罩为半球形结构。
本发明提出的一种晶体管泄漏测试设备工作时，首先，将待检测晶体管防止底座的工位上，再将盖体罩设在底座上形成密封容器；然后通过真空泵将密封容器内部抽真空，再通过酒精气体供给装置和三通阀向密封容器内输入定量的酒精气体；然后将三通阀切换到连通空气供给装置，通过空气供给装置和真空泵同步工作，在保持密封容器内压强恒定的情况下，将密封容器内的酒精气体置换为空气；再关闭空气供给装置和三通阀，通过真空泵抽取密封容器内一定体积的空气，然后根据酒精测试仪的检测结果判断晶体管是否泄漏。
本发明提出的一种晶体管泄漏测试设备，结构简单，操作容易，且使用范围广。具体工作式，工位上可放置任意数量的晶体管，从而灵活控制测试效率。
本发明中，通过设置聚气罩，可保证酒精测试仪对晶体管周围的的气体进行重点监测，如果晶体管泄漏，则酒精测试仪可快速的获取酒精分子，从而进行快速响应，以提高检测效率。
附图说明
图1为本发明提出的一种晶体管泄漏测试设备结构图。
具体实施方式
参照图1，本发明提出的一种晶体管泄漏测试设备，包括：密封容器、三通阀2、酒精测试仪3和真空泵4。
密封容器由底座1A和罩设在底座1A上的盖体1B组成，底座1A上设有用于放置晶体管的工位，盖体1B内侧设有聚气罩5，聚气罩5通过空心杆6安装在盖体1B上。盖体1B罩设在底座1A上的状态下，聚气罩5罩设在工位上，且聚气罩5底部与底座1A之间有间隙。
聚气罩5上设有通孔50，酒精测试仪3安装在盖体1B外侧，其测试气体接入软管30插入盖体1B并通过空心杆6与通孔50连通。如此，聚气罩5内侧的气体可通过空心杆6进入测试气体接入软管30，从而通过酒精测试仪检测工位上晶体管周围的气体酒精含量。
盖体1B上相对的两侧分别设有连通盖体1B内侧的第一接头7和第二接头8，第一接头7与三通阀2的输出端连通，三通阀2的第一输入端和第二输入端分别用于连接酒精气体供给装置和空气供给装置。第二接头8与真空泵4输入端连接。
本实施方式中的晶体管泄漏测试设备工作时，首先，将待检测晶体管防止底座1A的工位上，再将盖体1B罩设在底座1A上形成密封容器；然后通过真空泵4将密封容器内部抽真空，再通过酒精气体供给装置和三通阀2向密封容器内输入定量的酒精气体；然后将三通阀2切换到连通空气供给装置，通过空气供给装置和真空泵4同步工作，在保持密封容器内压强恒定的情况下，将密封容器内的酒精气体置换为空气；再关闭空气供给装置和三通阀2，通过真空泵4抽取密封容器内一定体积的空气，然后根据酒精测试仪3的检测结果判断晶体管是否泄漏。
具体的，工作时，如果晶体管泄漏，则晶体管内部与密封容器内部连通，当密封容器抽真空时，晶体管内部也被抽真空；当密封容器内充入酒精气体，酒精气体也进入晶体管；在密封容器内进行气体置换时，由于密封容器内的压强恒定，故而晶体管内的酒精气体不会向外散发，从而实现晶体管内气体成分与密封容器内的区分；最后，再对密封容器抽取一定气体，则密封容器内的压强降低，导致晶体管内的酒精气体外泄，从而酒精测试仪检测到密封容器内的酒精含量升高。故而，本实施方式中，如果最后酒精测试仪检测到密封容器内的酒精含量升高，则表示晶体管泄漏；反之，如果酒精测试仪的检测值不变或降低，则表示晶体管合格。
本实施方式中，通过设置聚气罩，可保证酒精测试仪3对晶体管周围的的气体进行重点监测，如果晶体管泄漏，则酒精测试仪可快速的获取酒精分子，从而进行快速响应，以提高检测效率。本实施方式中，聚气罩5为半球形结构。
本实施方式中，底座1A底部还设有加热器9。如此，在密封容器内气体置换完成并抽取密封容器内一定体积的气体后，开启加热器9，可提高泄漏的晶体管内酒精气体的散发效率，进一步提高晶体管测试效率和精确。
本实施方式提供的晶体管泄漏测试设备还包括支撑架，盖体1B固定安装在支撑架上，支撑架上还设有上下运动地用于放置底座1A的托台，托台上移状态下，托台上的底座1A与盖体1B配合形成密封容器。托台下移状态下，托台上的底座1A与盖体1B分离。如此，本实施方式中，在更换晶体管时，只需要将托台下移，然后更换底座1A上的晶体管后再将托台上移，便可以对新的晶体管进行检测。如此，晶体管更换过程中，对于盖体1B与三通阀2、酒精测试仪3和真空泵4的搭建不需要移动，有利于保证测试环境的稳定，节约操作时间。
以上所述，仅为本发明涉及的较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种晶体管泄漏测试设备，其特征在于，包括：密封容器、三通阀(2)、酒精测试仪(3)和真空泵(4)；
密封容器由底座(1A)和罩设在底座(1A)上的盖体(1B)组成，底座(1A)上设有用于放置晶体管的工位，盖体(1B)内侧设有聚气罩(5)，聚气罩(5)通过空心杆(6)安装在盖体(1B)上；盖体(1B)罩设在底座(1A)上的状态下，聚气罩(5)罩设在工位上，且聚气罩(5)底部与底座(1A)之间有间隙；
聚气罩(5)上设有通孔(50)，酒精测试仪(3)安装在盖体(1B)外侧，其测试气体接入软管(30)插入盖体(1B)并通过空心杆(6)与通孔(50)连通；
盖体(1B)上相对的两侧分别设有连通盖体(1B)内侧的第一接头(7)和第二接头(8)，第一接头(7)与三通阀(2)的输出端连通，三通阀(2)的第一输入端和第二输入端分别用于连接酒精气体供给装置和空气供给装置；第二接头(8)与真空泵(4)输入端连接。
2.如权利要求1所述的晶体管泄漏测试设备，其特征在于，底座(1A)底部还设有加热器(9)。
3.如权利要求1所述的晶体管泄漏测试设备，其特征在于，还包括支撑架，盖体(1B)固定安装在支撑架上，支撑架上还设有上下运动地用于放置底座(1A)的托台，托台上移状态下，托台上的底座(1A)与盖体(1B)配合形成密封容器；托台下移状态下，托台上的底座(1A)与盖体(1B)分离。
4.如权利要求1或2或3所述的晶体管泄漏测试设备，其特征在于，聚气罩(5)为半球形结构。
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