CN108827465A - 光照度测试系统、方法及设备 - Google Patents
光照度测试系统、方法及设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108827465A CN108827465A CN201810718257.9A CN201810718257A CN108827465A CN 108827465 A CN108827465 A CN 108827465A CN 201810718257 A CN201810718257 A CN 201810718257A CN 108827465 A CN108827465 A CN 108827465A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- guide rail
- illuminance
- exposure
- controller
- illumination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 137
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 123
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 75
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 25
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/429—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to measurement of ultraviolet light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0403—Mechanical elements; Supports for optical elements; Scanning arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
本发明提出一种光照度测试系统、方法及设备，其中系统包括：互相垂直设置的第一导轨和第二导轨、照度探头及控制器，照度探头包括N个照度传感器，N为大于或等于1的正整数；照度探头固定设置在第一导轨的一端；第一导轨的另一端与第二导轨活动连接；控制器的输入端与照度传感器的输出端连接，用于获取照度传感器采集的光照度值；控制器的第一输出端与第一导轨的控制端连接，用于控制第一导轨沿第二导轨所在方向往返移动。该系统通过将照度探头设置在可移动的导轨上，以通过控制导轨移动，实现对曝光面光照度的测试，从而减少了人工测试所花费的时间和成本，提高了对曝光面的光照度测试的准确性，且避免了曝光灯发出的紫外光对人体的损伤。
Description
技术领域
本发明涉及电子设备技术领域，尤其涉及一种光照度测试系统、方法及设备。
背景技术
通常，曝光设备是利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，受到电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图案。其中，曝光面的光照度均匀性是保证曝光面上曝光量一致性的重要指标，因此，对曝光面的光照度均匀性进行测试，成为一项必不可少了操作。特别是，当曝光设备中曝光灯被更换之后，需要对曝光面进行光照度测试，以将光照度分布调整至管控范围内。
目前，对曝光面的光照度均匀性进行测试时，可采用以下两种方式实现，方式一：人工利用一个照度计探头进行多个单点位置测试，以确定曝光面的光照度是否分布均匀；方式二：利用多个照度探头同时采集多个位置的光照度，然后对采集的多个位置的光照度进行计算，以确定曝光面的光照度是否分布均匀。
然而，发明人发现，利用上述两种方式对曝光面的光照度均匀性进行测试时存在以下问题：方式一，需要人工进行多次照度计探头位置的调整，使得测量过程比较繁琐，且耗时比较长，同时测量值还会随着每次取点位置的变化而发生变化，从而使得测量结果随机误差比较大，导致测试的曝光面的光照度均匀性准确度低；方式二：当多个照度探头中的任意一个或多个存在误差时，就可能对曝光面的光照度均匀性测试结果造成更大的误差，从而影响曝光面的光照度均匀性测试的质量。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
为此，本发明的第一个目的在于提出一种光照度测试系统，该系统通过将照度探头设置在可移动的导轨上，以通过控制导轨移动，实现对曝光面光照度的测试，从而减少了人工测试所花费的时间和成本，提高了对曝光面的光照度测试的准确性，且避免了曝光灯发出的紫外光对人体的损伤。
本发明的第二个目的在于提出一种光照度测试方法。
本发明的第三个目的在于提出一种光照度测试设备。
本发明的第四个目的在于提出一种计算机可读存储介质。
为达上述目的，本发明第一方面实施例提出了一种光照度测试系统，包括：互相垂直设置的第一导轨和第二导轨、照度探头及控制器，所述照度探头包括N个照度传感器，N为大于或等于1的正整数；所述照度探头固定设置在第一导轨的一端；所述第一导轨的另一端与所述第二导轨活动连接；所述控制器的输入端与所述照度传感器的输出端连接，用于获取所述照度传感器采集的光照度值；所述控制器的第一输出端与所述第一导轨的控制端连接，用于控制所述第一导轨沿所述第二导轨所在方向往返移动。
本发明实施例提供的光照度测试系统，包括互相垂直的第一导轨和第二导轨，照度探头及控制器，其中照度探头规定设置在第一导轨的一端，第一导轨的另一端与第二导轨活动连接，控制器的输入端与照度传感器的输出端连接，用于获取照度传感器采集的光照度值，控制器的第一输出端与第一导轨的控制端连接，用于控制第一导轨沿第二导轨所在方向往返移动。由此，通过将照度探头设置在可移动的导轨上，以通过控制导轨移动，实现对曝光面光照度的测试，从而减少了人工测试所花费的时间和成本，提高了对曝光面的光照度测试的准确性，且避免了曝光灯发出的紫外光对人体的损伤。
另外，本发明上述实施例提出的光照度测试系统还可以具有如下附加的技术特征：
可选的，在本发明的一个实施例中，N大于1时，所述N个照度传感器沿所述第一导轨等距设置。
可选的，在本发明的另一个实施例中，还包括：第一驱动器；所述第一驱动器的输入端与所述控制器的第一输出端连接，所述第一驱动器的输出端与所述第一导轨的第一控制端连接，用于根据获取到的所述控制器发送的控制指令，驱动所述第一导轨运动。
可选的，在本发明的另一个实施例中，N大于1、且所述照度探头每次采集的光照度区域的长度，小于曝光面在第一导轨所在方向上的长度，或者，N等于1；所述系统还包括：第二驱动器；所述第二驱动器的输入端与所述控制器的第二输出端连接；所述第二驱动器的输出端与所述第一导轨的第二控制端连接，用于根据控制器发送的控制指令，驱动所述第一导轨的一端沿所述第一导轨所在方向进行伸缩运动。
可选的，在本发明的另一个实施例中，还包括：曝光灯、设置所述曝光灯的基座及承载所述基座的第三导轨、第四导轨；所述控制器，还用于在确定所述曝光灯的曝光度未满足要求时，控制所述基座沿所述第三导轨所在方向和/或第四导轨所在方向移动。
可选的，在本发明的另一个实施例中，还包括：第三驱动器；所述第三驱动器的输入端与所述控制器的第三输出端连接；所述第三驱动器的输出端与所述基座连接，用于在所述控制器的控制下，驱动所述基座沿所述第三导轨所在方向和/或第四导轨所在方向移动。
可选的，在本发明的另一个实施例中，所述第三驱动器为步进电机或伺服电机。
为达上述目的，本发明第二方面实施例提出了一种光照度测试方法，包括：按照预设的规则，控制设置照度探头的第一导轨运动，以依次采集曝光面不同位置的光照度值；根据采集的曝光面不同位置的光照度值，确定所述曝光面的光照度分布是否满足预设条件。
本发明实施例提供的光照度测试方法，通过按照预设的规则，控制设置照度探头的第一导轨运动，以依次采集曝光面不同位置的光照度值，然后根据采集的曝光面不同位置的光照度值，确定曝光面的光照度分布是否满足预设条件。由此，通过将照度探头设置在可移动的导轨上，以通过控制导轨移动，实现对曝光面光照度的测试，从而减少了人工测试所花费的时间和成本，提高了对曝光面的光照度测试的准确性，且避免了曝光灯发出的紫外光对人体的损伤。
另外，本发明上述实施例提出的光照度测试方法还可以具有如下附加的技术特征：
可选的，在本发明的一个实施例中，所述确定所述曝光面的光照度分布是否满足预设条件之后，还包括：若否，则根据所述曝光面当前的光照度分布，对曝光灯的位置进行调整。
可选的，在本发明的另一个实施例中，所述对曝光灯的位置进行调整，包括：控制设置所述曝光灯的基座向光照度值小的方向移动。
可选的，在本发明的另一个实施例中，所述按照预设的规则，控制设置照度探头的导轨逐渐运动之前，还包括：确定所述照度探头中包括的照度传感器的数量和/或排列方式；根据所述照度传感器的数量和/或排列方式，确定所述预设的规则。
可选的，在本发明的另一个实施例中，所述根据所述照度传感器的数量和/或排列方式，确定所述预设的规则，包括：若所述照度探头中包括的照度传感器的数量大于1，且所述照度探头每次采集的光照度区域的长度，等于所述曝光面在所述第一导轨所在方向的长度，则所述预设的规则为：控制所述第一导轨沿第一方向匀速运动，所述第一方向与所述第一导轨所在方向垂直；若所述照度传感器的数量大于1、且所述照度探头每次采集的光照度区域的长度，小于所述曝光面在所述第一导轨所在方向的长度，或者若所述照度传感器的数量等于1，则所述预设的规则为：控制所述第一导轨依次沿第一方向及第二方向匀速运动，所述第一方向与所述第二方向垂直。
为达上述目的，本发明第三方面实施例提出了一种光照度测试设备，包括：第一方面实施例所述的光照度测试系统。
本发明实施例提供的光照度测试设备，包括互相垂直的第一导轨和第二导轨，照度探头及控制器，其中照度探头规定设置在第一导轨的一端，第一导轨的另一端与第二导轨活动连接，控制器的输入端与照度传感器的输出端连接，用于获取照度传感器采集的光照度值，控制器的第一输出端与第一导轨的控制端连接，用于控制第一导轨沿第二导轨所在方向往返移动。由此，通过将照度探头设置在可移动的导轨上，以通过控制导轨移动，实现对曝光面光照度的测试，从而减少了人工测试所花费的时间和成本，提高了对曝光面的光照度测试的准确性，且避免了曝光灯发出的紫外光对人体的损伤。
为达上述目的，本发明第三方面实施例提出了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时，实现如第二方面实施例所述的光照度测试方法。
本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是本发明一个实施例的光照度测试系统的结构示意图；
图2是本发明另一个实施例的光照度测试系统的结构示意图；
图3是本发明又一个实施例的光照度测试系统的结构示意图；
图4是本发明一个实施例的照度探头包括一个照度传感器的光照度测试系统结构示意图；
图5是本发明一个实施例利用可伸缩的第一导轨上一个照度传感器采集不同位置的光照度值的流程示意图；
图6是本发明另一个实施例照度探头包括多个照度传感器的光照度测试系统结构示意图；
图7是本发明再一个实施例的光照度测试系统的结构示意图；
图8是本发明一个实施例的光照度测试方法的流程示意图；
图9是本发明一个实施例的光照度测试设备的结构示意图。
附图标记说明：
光照度测试系统-10、第一导轨-11、第一导轨11的第一控制端110和第二控制端111、第二导轨-12、照度探头-13、照度传感器-131、控制器-14、控制器14的输入端141、控制器的第一输出端142、第二输出端143、第三输出端144、第一驱动器-15、第二驱动器-16、曝光灯-17、基座-18、第三导轨-19、第四导轨-20、第三驱动器-21、曝光面-22、光照度测试设备100。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
本发明主要针对现有技术中，采用一个照度计探头对曝光面的光照度均匀性进行测试时，需要人工进行多次照度计探头位置的调整，使得测量过程比较繁琐，且耗时较长，同时测量值还会随着每次取点位置的变化而发生变化，从而使得测量结果随机误差比较大，导致测试的曝光面的光照度均匀性准确性低；或者，采用多个照度探头对曝光面的光照度均匀性进行测试时，当多个照度探头中的任意一个或多个存在误差时，就可能导致曝光面的光照度均匀性的测试结果造成更大的误差，从而影响曝光面的光照度均匀性测试质量的问题，提出一种光照度测试系统。
本发明提出的光照度测试系统中，包括互相垂直设置的第一导线和第二导线、照度探头及控制器，其中照度探头包括N个照度传感器，N为大于或等于1的正整数；照度探头固定设置在第一导轨的一端，第一导轨的另一端与第二导轨活动连接，控制器的输入端与照度传感器的输出端连接，用于获取照度传感器采集的光照度值，控制器的第一输出端与第一导轨的控制端连接，用于控制第一导轨沿第二导轨所在方向往返移动。由此，通过将照度探头设置在可移动的导轨上，以通过控制导轨移动，实现对曝光面光照度的测试，从而减少了人工测试所花费的时间和成本，提高了对曝光面的光照度测试的准确性，且避免了曝光灯发出的紫外光对人体的损伤。
下面参考附图描述本发明实施例的光照度测试系统、方法及设备。
首先结合附图1，对本发明实施例提供的光照度测试系统进行具体说明。
图1是本发明一个实施例的光照度测试系统的结构示意图。
如图1所示，本发明的光照度测试系统10包括：互相垂直设置的第一导轨11和第二导轨12、照度探头13及控制器14；
其中，照度探头13包括N个照度传感器131，N为大于或等于1的正整数；
照度探头13固定设置在第一导轨11的一端；
第一导轨11的另一端与第二导轨12活动连接；
控制器14的输入端141与照度传感器131的输出端连接，用于获取照度传感器131采集的光照度值；
控制器14的第一输出端142与第一导轨11的控制端连接，用于控制第一导轨11沿第二导轨12所在方向往返移动。
其中，在本实施例中，控制器14可以是集成电路芯片(即单片机，英文名称为：Microcontrollers)等等，本实施例对此不作具体限定。
在具体实现时，本发明的光照度测试系统10的控制器14，通过向设置有照度探头13的第一导轨11发送沿第二导轨12所在方向移动的控制信号，以使第一导轨11根据控制信号沿着第二导轨12所在方向作往返移动。当第一导轨11沿着第二导轨12所在方向往返移动时，固定设置在第一导轨11上照度探头13中的照度传感器131，即可对曝光面22上的不同位置的光照度值进行采集，并将采集的光照度值通过自身的输出端发送给控制器14，以使控制器14根据照度传感器131发送的光照度值对曝光面22的光照度均匀性进行判断。由此，通过移动设置有照度探头13的第一导轨11沿第二导轨12所在方向往返移动，实现对曝光面22的光照度是否均匀分布的自动化测试，从而减少了人工测试所花费的时间和成本，提高了对曝光面的照度均匀性测试的准确性。
在本实施例中，由于照度探头13可包括N个照度传感器131，N为大于或等于1的正整数。因此，当N个照度传感器131等于1时，本实施例可在照度探头13的中心位置设置上述照度传感器131，以实现对曝光面22单点采集光照度值，从而有效避免多照度探头13自身误差对测试结果造成的不利影响；当N个照度传感器131大于1时，本实施例则可将N个照度传感器131沿第一导轨11等距设置，以保证对曝光面22的光照度进行均匀测试。
在本发明的一个实施例中，为了实现对第一导轨11的移动进行精准控制，本实施例还可在光照度测试系统10中，设置第一驱动器15，具体参见图2。
其中，第一驱动器15的输入端与控制器14的第一输出端142连接，第一驱动器15的输出端与第一导轨11的第一控制端110连接，用于根据获取到的控制器14发送的控制指令，驱动第一导轨11运动。
也就是说，当控制器14向第一导轨11发送控制指令时，先将控制指令发送给第一驱动器15，以使第一驱动器15对控制指令进行解析，并根据解析后获取的控制信息，向第一导轨11发送驱动信号，从而使得第一导轨11接收到第一驱动器15发送的驱动信号之后，根据驱动信号执行相应的运动，由此提高了对第一导轨11运动的控制准确性。
如图3所示，当本实施例中，照度探头13包括的N个照度传感器131的数量大于1、且照度探头13每次采集的光照度区域的长度，小于曝光面22在第一导轨11所在方向上的长度，或者，N个照度传感器131的数量等于1时，光照度测试系统10还可以包括：第二驱动器16。
其中，第二驱动器16的输入端与控制器14的第二输出端143连接；
第二驱动器16的输出端与第一导轨11的第二控制端111连接，用于根据控制器14发送的控制指令，驱动第一导轨11的一端沿第一导轨11所在方向进行伸缩运动。
也就是说，当固定设置在第一导轨11上的照度探头13，采集的光照度区域没有完全覆盖曝光面22在第一导轨11所在方向上的长度时，为了能够对整个曝光面22上的不同位置上的光照度值均进行采集，本实施例可以将第一导轨11设置成可伸缩的，从而当固定设置在第一导轨11上的照度探头13对曝光面22的部分光照度区域进行采集之后，可通过控制器14向第二驱动器16发送控制指令，以使第二驱动器16根据控制器14发送的控制指令，向第一导线11发送对应的驱动信号，从而使得第一导轨11接收到第二驱动器16发送的驱动信号之后，根据驱动信息沿第一导轨11所在方向进行伸缩运动，由此实现了对整个曝光面22上不同位置的光照度值进行采集操作。
为了更清楚的说明本发明实施例，下面结合图4-图6对上述当照度传感器131的数量大于1，且照度探头13每次采集的光照度区域的长度，小于曝光面22在第一导轨11所在方向上的长度，或者，当照度传感器131的数量等于1时，为了对整个曝光面22上不同位置的光照度值进行采集，本实施例将第一导轨11设置成可伸缩的情况进行举例说明：
首先，结合图4，对照度传感器131的数量等于1进行说明。
如图4所示，当光照度测试系统10中的照度探头13中包括一个照度传感器131时，将包括一个照度传感器131的照度探头13设置在第一导轨11的一端，并将第一导轨11的另一端与第二导轨12活动连接，同时将照度传感器131的输出端与控制器14的输入端141连接，控制器14的第一输出端142与第一驱动器15的输入端连接，第一驱动器15的输出端与第一导线11的第一控制端110连接，控制器14的第二输出端143与第二驱动器16的输入端连接，第二驱动器16的输出端与第一导轨11的第二控制端111连接，从而当控制器14向第一驱动器15发送控制指令后，第一驱动器15根据控制信息驱动第一导轨11沿第二导轨12所在方向进行往返运动，当控制器14向第二驱动器16发送控制指令之后，第二驱动器16根据控制信息驱动第一导轨11(可伸缩导轨)进行伸缩移动，从而达到照度探头13在上下左右个方向上的自由移动。
具体实现过程可以为：当控制器14向第一驱动器15和第二驱动器16发送控制指令之后，第一驱动器15和第二驱动器16驱动第一导轨11移动到第一个测试位置，以使照度传感器131采集第一测试位置的光照度值，并且当照度传感器131采集完该测试点的光照度值之后，直接将采集的光照度值反馈给控制器14；当控制器14接收到照度传感器131发送的光照度值之后，向第一驱动器15和第二驱动器16再次发送控制指令，以使第一驱动器15和第二驱动器16驱动第一导轨11移动至第二个测试位置，以使照度传感器131采集第二测试位置的光照度值，并将采集的光照度值发送给控制器14，依次类推，直到完成对曝光面22上不同测试位置的光照度值的采集为止。
或者，为了节省整个光照度值采集的过程花费的时间，本实施例的控制器14还可以一次性的将所有要采集的测试位置携带在控制指令中，发送给第一驱动器15和第二驱动器16，以使第一驱动器15和第二驱动器16根据控制指令中携带的所有要采集的测试位置，依次对第一导轨11的移动进行控制，从而使得照度传感器131可以在对所有要采集的测试位置均完成光照度值采集的操作之后，将所有的光照度值以测试位置及光照度值对应关系对的形式发送给控制器14，以使控制器14可以采集的所有测试位置及对应的光照度值进行统一处理。
其中，在本示例中，曝光面22上的测试位置可以用(XN，YN)表示，其中，X表示测试位置在曝光面22上的横坐标，Y表示测试位置在曝光面22上的纵坐标，N表示第N个测试位置；对应的，曝光面22上测试位置对应的光照度值可用PN表示，其中，P表示在任一测试位置上采集的光照度值，N表示第N个测试位置。
举例来说，若控制器14向第一驱动器15和第二驱动器16发送的控制指令中分别携带的测试位置的横坐标X1和纵坐标Y1，即测试位置为(X1，Y1)，那么第一驱动器15和第二驱动器16可对控制指令进行解析，分别获取到上述测试位置的横坐标X1和纵坐标Y1，然后第一驱动器15根据测试位置的横坐标X1向第一导轨11发送驱动指令，以使第一导轨11在横坐标上伸缩X1，同时第二驱动器16根据测试位置的纵坐标Y1，向第一导轨11发送驱动指令，以使第一导轨11在纵坐标上伸缩Y1，从而使得照度探头13到达测试位置(X1，Y1)，并对测试位置(X1，Y1)的光照度值P1进行采集，当采集完成之后照度传感器131可将光照度值P1发送给控制器14，以使控制器14根据照度传感器131发送的光照度值P1生成数据(X1，Y1，P1)。当控制器14将生成的数据(X1，X1，P1)保存之后，可进一步向第一驱动器15和第二驱动器16发送下一指令(X2，Y2)，以使第一驱动器15和第二驱动器16根据上述指令对第一导轨11进行控制，移动至第二个测试位置(X2，Y2)，并通过照度传感器131对第二测试位置(X2，Y2)的光照度值P2进行采集，并将采集的光照度值P2发送给控制器14，以使控制器根据照度传感器131发送的光照度值P2生成数据(X2，Y2，P2)，依次类推，直到获取到所有测试位置对应光照度值为止，上述示例的具体流程可参见图5所示。
下面结合图6，对照度传感器131的数量大于1进行说明。
如图6所示，当光照度测试系统10中的照度探头13中包括多个照度传感器131时，将多个照度传感器131沿第一导轨11一端的顶端依次进行等距设置，并将第一导轨11的另一端与第二导轨12活动连接，同时将照度传感器131的输出端与控制器14的输入端141连接，控制器14的第一输出端142与第一驱动器15的输入端连接，第一驱动器15的输出端与第一导线11的第一控制端110连接，控制器14的第二输出端143与第二驱动器16的输入端连接，第二驱动器16的输出端与第一导轨11的第二控制端111连接，从而当控制器14向第一驱动器15和第二驱动器16发送控制指令之后，第一驱动器15根据控制信息驱动第一导轨11沿着第二导轨12所在方向上进行往返运动，第二驱动器16根据控制信息驱动第一导轨11(可伸缩导轨)进行伸缩移动，从而达到照度探头13在上下左右各方向上的自由移动。
具体实现过程与上述照度探头13包括一个照度传感器131的基本相似，区别仅在于：控制器14向第一驱动器15和第二驱动器16发送的控制指令中携带的测试位置为多个，因此照度传感器131向控制器14所发送的光照度值也为多个。
进一步的，当控制器14接收到照度传感器131反馈的曝光面22上不同位置对应的光照度值之后，可对光照度值进行统一处理，以对曝光面22的光照度分布是否均匀进行确定。若确定出曝光面22的光照度均匀性符合预设要求，则结束操作；若确定曝光面22的光照度均匀性不符合预设要求，则控制器14可对曝光灯17的设置位置进行调节，以使曝光面22的光照度分布符合预设要求。
其中，在本实施例中，预设要求可根据实际需要进行适应性设置，本实施例对此不作具体限定。
具体的，如图7所示，本发明的光照度测试系统10，还可以包括：曝光灯17、设置曝光灯17的基座18及承载基座18的第三导轨19和第四导轨20。
具体实现时，当控制器14确定曝光灯17的曝光度未满足要求时，则控制基座18沿第三导轨19所在方向和/或第四导轨20所在方向移动，以使曝光灯17的曝光度满足要求。
也就是说，当控制器14确定曝光面22的光照度分布不均匀时，光照度测试系统10中的控制器14可通过对设置曝光灯17的基座18进行调节，以使曝光灯17处于相对曝光面22焦点的坐标位置，从而实现对曝光面22的光照度分布进行智能调整。
进一步的，为了能够对曝光灯17所在位置进行准确调节，本实施例还可在光照度测试系统10中，设置第三驱动器21，具体如图7所示。在本实施例中，第三驱动器21可以为步进电机或者伺服电机，本实施例对此不作具体限定。
其中，第三驱动器21的输入端与控制器14的第三输出端144连接；
第三驱动器21的输出端与基座18连接，用于在控制器14的控制下，驱动基座18沿第三导轨19所在方向和/或第四导轨20所在方向移动。
具体的，通过控制器14向第三驱动器21发送控制指令，以使第三驱动器21根据控制指令对应的控制信息，驱动承载基座18的第三导轨19和/或第四导轨20进行相应的移动，同时每当第三导轨19和/或第四导轨20移动一次，照度传感器131就采集该位置的光照度值，并将采集的光照度值发送给控制器14，以使控制器14对采集位置及对应的光照度值进行分析得出光照度分布，从而通过对光照度分布进行分析，以判断曝光面22的光照度分布是否达到预设要求。如果达到预设要求则停止调整，如果未达到预设要求则继续对设置曝光灯17的基座18位置进行调整，直到曝光面22的光照度分布达到预设要求为止。
进一步的，为了使得技术人员能够实时了解对曝光灯17的位置调整情况，本实施例中对采集位置及对应的光照度值进行分析得出光照度分布时，控制器14还可将上述光照度分布提供给技术人员，以为技术人员根据上述光照度分布对光路进行直观判断，及对曝光灯17的调整提供条件。
可以理解的是，在本实施例中，基座18可以沿第三导轨19所在方向进行移动；或者，也可以是沿第四导轨20所在方向进行移动；又或者，还可以是沿着第三导轨19和第四导轨20所在方向上同时进行移动，本实施例对此不作具体限定。
例如，当控制器14以最左侧光照度值数据为起始列，向右依次递推，逐列进行数据比较直至最后一列，同时对每列的数据也进行比较，快速得出光照度值的变化趋势。当左侧光照度值数据比右侧光照度值数据偏高时，控制器14向第三驱动器21发送控制指令，以控制第三驱动器21带动设置曝光灯17的基座18向右偏移，偏移量根据以前人工调整照度经验设定。同理，当右侧光照度值数据比左侧光照度值数据偏高时，控制器14向第三驱动器21发送控制指令，以控制第三驱动器21带动设置曝光灯17的基座18向左偏移。当左右侧光照度值数据相等或相差不多时则不进行任何移动，设置有曝光灯17的基座18偏移结束后发送指令，控制器14继续进行测试以采集光照度值数据，达到设定要求则调整结束本次光照度测试工作完成，如没有达到要求则按上述步骤循环往复，直至测试结果达到要求。即通过上述方式可达到根据采集的光照度值数据自动调节曝光灯17位置，从而达到控制曝光面22的光照度分布情况的目的。
也就是说，光照度测试系统10通过照度传感器131采集的不同位置的光照度值，对设置曝光灯17的基座18的位置进行智能调整，从而实现对曝光面的光照度分布的自动调节目的。
本发明实施例提供的光照度测试系统，包括互相垂直的第一导轨和第二导轨，照度探头及控制器，其中照度探头规定设置在第一导轨的一端，第一导轨的另一端与第二导轨活动连接，控制器的输入端与照度传感器的输出端连接，用于获取照度传感器采集的光照度值，控制器的第一输出端与第一导轨的控制端连接，用于控制第一导轨沿第二导轨所在方向往返移动。由此，通过将照度探头设置在可移动的导轨上，以通过控制导轨移动，实现对曝光面光照度的测试，从而减少了人工测试所花费的时间和成本，提高了对曝光面的光照度测试的准确性，且避免了曝光灯发出的紫外光对人体的损伤。
基于上述实施例提供的光照度测试系统，可以知晓通过将照度探头设置在可移动的导轨上，以通过控制可移动导轨的移动实现对曝光面的光照度均匀分布进行自动化测试。下面基于上述光照度测试系统，对本发明实施例提出的光照度测试方法进行详细描述。
具体的，如图8所示，该光照度测试方法可以包括以下步骤：
步骤120，按照预设的规则，控制设置照度探头的第一导轨运动，以依次采集曝光面不同位置的光照度值。
其中，本实施例中的预设规则可以根据实际需求进行适应性设置，本实施例对此不作具体限定。
具体在执行步骤120之前，本实施例的光照度测试方法还包括：
确定照度探头中包括的照度传感器的数量和/或排列方式；
根据照度传感器的数量和/或排列方式，确定预设的规则。
具体的，在本实施例中，照度探头中包括的照度传感器的数量可以为1个，也可以为多个。
相应的，当照度探头中包括的照度传感器的数量为1个时，则照度传感器的排列方式可以是设置在第一导轨的一端；当照度探头中包括的照度传感器的数量为多个时，则照度传感器的排列方式可以是沿第一导轨进行等距设置。
当确定出照度探头中包括的照度传感器的数量和/或排列方式之后，光照度测试设备可根据照度传感器的数量和/或排列方式，确定出对应的预设的规则。
具体实现时，若照度探头中包括的照度传感器的数量大于1，且照度探头每次采集的光照度区域的长度，等于曝光面在第一导轨所在方向的长度，则预设的规则为：控制第一导轨沿第一方向匀速运动，第一方向与第一导轨所在方向垂直；
若照度传感器的数量大于1、且照度探头每次采集的光照度区域的长度，小于曝光面在第一导轨所在方向的长度，或者若照度传感器的数量等于1，则预设的规则为：控制第一导轨依次沿第一方向及第二方向匀速运动，第一方向与第二方向垂直。
进一步的，当确定出预设的规则之后，光照度测试设备可按照确定的预设规则，控制设置照度探头的第一轨道运动，以依次采集曝光面不同位置的光照度值。
步骤140，根据采集的曝光面不同位置的光照度值，确定曝光面的光照度分布是否满足预设条件，若不满足，则执行步骤160，否则，执行步骤180。
其中，预设的条件可以是根据实际情况适应性设置的，本实施例对此不作具体限定。
具体的，当采集到曝光面不同位置的光照度值之后，通过对不同位置的光照度值进行分析处理，即可得到曝光面的光照度分布情况，然后将得到的光照度分布情况与预设的条件进行匹配，若匹配成功，则说明曝光面的光照度分布满足预设条件；若匹配失败，则说明曝光面的光照度分布不满足预设条件。当确定曝光面的光照度分布不满足预设条件时，则需要对曝光灯的位置进行调整，以使调整后的曝光面的光照度分布满足预设条件。
步骤160，根据曝光面当前的光照度分布，对曝光灯的位置进行调整。
具体的，当确定曝光面当前的光照度分布不满足预设条件时，则根据曝光面当前的光照度分布，对曝光灯的位置进行调整。
具体实现时，当确定曝光面左侧光照度分布比右侧光照度分布密集时，控制设置曝光灯向光照度值稀疏的右侧方向移动；当确定曝光面左侧光照度分布比右侧光照度分布稀疏时，控制曝光灯向光照度值稀疏的左侧方向移动。即通过控制设置所述曝光灯的基座向光照度值小的方向移动，以使曝光面上的光照度分布更均匀。
步骤180，结束。
本发明实施例提供的光照度测试方法，通过按照预设的规则，控制设置照度探头的第一导轨运动，以依次采集曝光面不同位置的光照度值，然后根据采集的曝光面不同位置的光照度值，确定曝光面的光照度分布是否满足预设条件。由此，通过将照度探头设置在可移动的导轨上，以通过控制导轨移动，实现对曝光面光照度的测试，从而减少了人工测试所花费的时间和成本，提高了对曝光面的光照度测试的准确性，且避免了曝光灯发出的紫外光对人体的损伤。
为了实现上述实施例，本发明还提出一种光照度测试设备。
图9是本发明一个实施例的光照度测试设备的结构示意图。
如图9所示，上述光照度测试设备100包括：第二方面实施例所述的光照度测试系统10。
需要说明的是，本实施例的光照度测试设备的实施过程和技术原理参见前述对第一方面实施例的光照度测试系统的解释说明，此处不再赘述。
本发明实施例提供的光照度测试设备，包括互相垂直的第一导轨和第二导轨，照度探头及控制器，其中照度探头规定设置在第一导轨的一端，第一导轨的另一端与第二导轨活动连接，控制器的输入端与照度传感器的输出端连接，用于获取照度传感器采集的光照度值，控制器的第一输出端与第一导轨的控制端连接，用于控制第一导轨沿第二导轨所在方向往返移动。由此，通过将照度探头设置在可移动的导轨上，以通过控制导轨移动，实现对曝光面光照度的测试，从而减少了人工测试所花费的时间和成本，提高了对曝光面的光照度测试的准确性，且避免了曝光灯发出的紫外光对人体的损伤。
为了实现上述实施例，本发明还提出一种计算机可读存储介质。
其中该计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时，以实现第二方面实施例所述的光照度测试方法。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本发明的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本发明的实施例所属技术领域的技术人员所理解。
应当理解，本发明的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述实施方式中，多个步骤或方法可以用存储在存储器中且由合适的指令执行系统执行的软件或固件来实现。例如，如果用硬件来实现，和在另一实施方式中一样，可用本领域公知的下列技术中的任一项或他们的组合来实现：具有用于对数据信号实现逻辑功能的逻辑门电路的离散逻辑电路，具有合适的组合逻辑门电路的专用集成电路，可编程门阵列(PGA)，现场可编程门阵列(FPGA)等。
本技术领域的普通技术人员可以理解实现上述实施例方法携带的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件完成，所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，该程序在执行时，包括方法实施例的步骤之一或其组合。
上述提到的存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
Claims (14)
1.一种光照度测试系统，其特征在于，包括：互相垂直设置的第一导轨和第二导轨、照度探头及控制器，所述照度探头包括N个照度传感器，N为大于或等于1的正整数；
所述照度探头固定设置在第一导轨的一端；
所述第一导轨的另一端与所述第二导轨活动连接；
所述控制器的输入端与所述照度传感器的输出端连接，用于获取所述照度传感器采集的光照度值；
所述控制器的第一输出端与所述第一导轨的控制端连接，用于控制所述第一导轨沿所述第二导轨所在方向往返移动。
2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，N大于1时，所述N个照度传感器沿所述第一导轨等距设置。
3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：第一驱动器；
所述第一驱动器的输入端与所述控制器的第一输出端连接，所述第一驱动器的输出端与所述第一导轨的第一控制端连接，用于根据获取到的所述控制器发送的控制指令，驱动所述第一导轨运动。
4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，N大于1、且所述照度探头每次采集的光照度区域的长度，小于曝光面在第一导轨所在方向上的长度，或者，N等于1；
所述系统还包括：第二驱动器；
所述第二驱动器的输入端与所述控制器的第二输出端连接；
所述第二驱动器的输出端与所述第一导轨的第二控制端连接，用于根据控制器发送的控制指令，驱动所述第一导轨的一端沿所述第一导轨所在方向进行伸缩运动。
5.如权利要求1-4任一所述的系统，其特征在于，还包括：曝光灯、设置所述曝光灯的基座及承载所述基座的第三导轨、第四导轨；
所述控制器，还用于在确定所述曝光灯的曝光度未满足要求时，控制所述基座沿所述第三导轨所在方向和/或第四导轨所在方向移动。
6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，还包括：第三驱动器；
所述第三驱动器的输入端与所述控制器的第三输出端连接；
所述第三驱动器的输出端与所述基座连接，用于在所述控制器的控制下，驱动所述基座沿所述第三导轨所在方向和/或第四导轨所在方向移动。
7.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述第三驱动器为步进电机或伺服电机。
8.一种光照度测试方法，其特征在于，包括：
按照预设的规则，控制设置照度探头的第一导轨运动，以依次采集曝光面不同位置的光照度值；
根据采集的曝光面不同位置的光照度值，确定所述曝光面的光照度分布是否满足预设条件。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述确定所述曝光面的光照度分布是否满足预设条件之后，还包括：
若否，则根据所述曝光面当前的光照度分布，对曝光灯的位置进行调整。
10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述对曝光灯的位置进行调整，包括：
控制设置所述曝光灯的基座向光照度值小的方向移动。
11.如权利要求8-10任一所述的方法，其特征在于，所述按照预设的规则，控制设置照度探头的导轨逐渐运动之前，还包括：
确定所述照度探头中包括的照度传感器的数量和/或排列方式；
根据所述照度传感器的数量和/或排列方式，确定所述预设的规则。
12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，所述根据所述照度传感器的数量和/或排列方式，确定所述预设的规则，包括：
若所述照度探头中包括的照度传感器的数量大于1，且所述照度探头每次采集的光照度区域的长度，等于所述曝光面在所述第一导轨所在方向的长度，则所述预设的规则为：控制所述第一导轨沿第一方向匀速运动，所述第一方向与所述第一导轨所在方向垂直；
若所述照度传感器的数量大于1、且所述照度探头每次采集的光照度区域的长度，小于所述曝光面在所述第一导轨所在方向的长度，或者若所述照度传感器的数量等于1，则所述预设的规则为：控制所述第一导轨依次沿第一方向及第二方向匀速运动，所述第一方向与所述第二方向垂直。
13.一种光照度测试设备，其特征在于，包括：如权利要求1-7任一所述的光照度测试系统。
14.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时，实现如权利要求8-12任一所述的光照度测试方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810718257.9A CN108827465A (zh) | 2018-07-03 | 2018-07-03 | 光照度测试系统、方法及设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810718257.9A CN108827465A (zh) | 2018-07-03 | 2018-07-03 | 光照度测试系统、方法及设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108827465A true CN108827465A (zh) | 2018-11-16 |
Family
ID=64135139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810718257.9A Pending CN108827465A (zh) | 2018-07-03 | 2018-07-03 | 光照度测试系统、方法及设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108827465A (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109283192A (zh) * | 2018-11-20 | 2019-01-29 | 苏州精濑光电有限公司 | 照度自动校正方法、装置及系统 |
| CN110177263A (zh) * | 2019-05-24 | 2019-08-27 | 峰米(北京)科技有限公司 | 用于投影机的校准系统及方法 |
| CN113916502A (zh) * | 2021-09-29 | 2022-01-11 | 歌尔光学科技有限公司 | 智能眼镜红外led测试方法、系统及其定位方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW201231941A (en) * | 2011-01-21 | 2012-08-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Device for testing luminance |
| CN104154991A (zh) * | 2014-08-06 | 2014-11-19 | 东莞市万德光电科技有限公司 | 一种光照度测试方法及该光照度测试装置 |
| CN205664939U (zh) * | 2016-06-07 | 2016-10-26 | 云南银河之星科技有限公司 | 一种光照度传感器 |
| CN206311206U (zh) * | 2016-12-23 | 2017-07-07 | 重庆房地产职业学院 | 一种房屋采光检测装置 |
| CN207050856U (zh) * | 2017-07-19 | 2018-02-27 | 深圳市新天泽消防工程有限公司 | 一种应急照明灯光光照度检测装置 |
-
2018
- 2018-07-03 CN CN201810718257.9A patent/CN108827465A/zh active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW201231941A (en) * | 2011-01-21 | 2012-08-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Device for testing luminance |
| CN104154991A (zh) * | 2014-08-06 | 2014-11-19 | 东莞市万德光电科技有限公司 | 一种光照度测试方法及该光照度测试装置 |
| CN205664939U (zh) * | 2016-06-07 | 2016-10-26 | 云南银河之星科技有限公司 | 一种光照度传感器 |
| CN206311206U (zh) * | 2016-12-23 | 2017-07-07 | 重庆房地产职业学院 | 一种房屋采光检测装置 |
| CN207050856U (zh) * | 2017-07-19 | 2018-02-27 | 深圳市新天泽消防工程有限公司 | 一种应急照明灯光光照度检测装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109283192A (zh) * | 2018-11-20 | 2019-01-29 | 苏州精濑光电有限公司 | 照度自动校正方法、装置及系统 |
| CN110177263A (zh) * | 2019-05-24 | 2019-08-27 | 峰米(北京)科技有限公司 | 用于投影机的校准系统及方法 |
| CN113916502A (zh) * | 2021-09-29 | 2022-01-11 | 歌尔光学科技有限公司 | 智能眼镜红外led测试方法、系统及其定位方法 |
| CN113916502B (zh) * | 2021-09-29 | 2024-03-15 | 歌尔科技有限公司 | 智能眼镜红外led测试方法、系统及其定位方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108827465A (zh) | 光照度测试系统、方法及设备 | |
| JP4810185B2 (ja) | 画像検査システムについてのワーク検査プログラムをプログラミングする方法 | |
| US9664733B2 (en) | Probe device for testing electrical characteristics of semiconductor element | |
| CN104122077B (zh) | 无限共轭光路测量光学镜头的调制传递函数的方法及装置 | |
| CN111788883B (zh) | 部件贴装状态的检查方法、印刷电路板检查装置及计算机可读记录介质 | |
| CN105182209B (zh) | 微型显示芯片的生产检测系统及方法 | |
| AU2015267333A1 (en) | Brain-computer interface for facilitating direct selection of multiple-choice answers and the identification of state changes | |
| US20060153436A1 (en) | Method for determining acquisition parameters for a medical tomography device, and an associated apparatus | |
| JP6161262B2 (ja) | 画像測定機のｌｅｄ照明方法及び装置 | |
| JP2007208253A (ja) | イメージセンサテスト方法及びその装置 | |
| JP2008264267A (ja) | 視力検査装置 | |
| CN106441804A (zh) | 解像力测试方法 | |
| US20140332662A1 (en) | Illumination setting method, apparatus and computer-readable medium for a brightness tool of an image measuring apparatus | |
| CN104113946A (zh) | 光源照度自适应控制装置及方法 | |
| CN207850528U (zh) | 一种声级计检定装置自动化控制系统 | |
| WO2022160545A1 (zh) | 一种lcd光固化3d打印均光优化补偿方法及装置 | |
| CN108267291A (zh) | 一种基于图像的纹影刀口精确定位装置 | |
| US20150362553A1 (en) | Alignment Support Device and Alignment Support Method for Probe Device | |
| TW201443710A (zh) | 光學導航裝置以及控制光學導航裝置中多個光學機構的方法 | |
| CN206610544U (zh) | 眼睛模拟装置 | |
| US20020071127A1 (en) | Positioning apparatus for probe card and TAB | |
| US10937673B2 (en) | Substrate processing apparatus, substrate processing method and recording medium | |
| US20230232603A1 (en) | Solder printing inspection device | |
| US7010082B2 (en) | Method for conducting a test measurement in a CT apparatus, and CT apparatus | |
| CN104965526B (zh) | 光束平行准直快速调整检测装置及快速调整检测方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20181116 |