CN108800172B - 一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置 - Google Patents

一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置 Download PDF

Info

Publication number
CN108800172B
CN108800172B CN201810747068.4A CN201810747068A CN108800172B CN 108800172 B CN108800172 B CN 108800172B CN 201810747068 A CN201810747068 A CN 201810747068A CN 108800172 B CN108800172 B CN 108800172B
Authority
CN
China
Prior art keywords
water
waste gas
combustion chamber
chamber
fixed mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201810747068.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108800172A (zh
Inventor
宁腾飞
司马超
杨春水
张坤
赵力行
邹昭平
蒋俊海
于浩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anhui Jingyi Automation Equipment Technology Co Ltd
Original Assignee
Anhui Jingyi Automation Equipment Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Anhui Jingyi Automation Equipment Technology Co Ltd filed Critical Anhui Jingyi Automation Equipment Technology Co Ltd
Priority to CN201810747068.4A priority Critical patent/CN108800172B/zh
Publication of CN108800172A publication Critical patent/CN108800172A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108800172B publication Critical patent/CN108800172B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
    • F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
    • F23G7/061—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating
    • F23G7/065—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating using gaseous or liquid fuel
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23J—REMOVAL OR TREATMENT OF COMBUSTION PRODUCTS OR COMBUSTION RESIDUES; FLUES 
    • F23J15/00—Arrangements of devices for treating smoke or fumes
    • F23J15/02—Arrangements of devices for treating smoke or fumes of purifiers, e.g. for removing noxious material
    • F23J15/04—Arrangements of devices for treating smoke or fumes of purifiers, e.g. for removing noxious material using washing fluids
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G2203/00—Furnace arrangements
    • F23G2203/20—Rotary drum furnace
    • F23G2203/202—Rotary drum furnace rotating around substantially vertical axis
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G2204/00—Supplementary heating arrangements
    • F23G2204/10—Supplementary heating arrangements using auxiliary fuel
    • F23G2204/103—Supplementary heating arrangements using auxiliary fuel gaseous or liquid fuel
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
    • F23G2205/00—Waste feed arrangements
    • F23G2205/20—Waste feed arrangements using airblast or pneumatic feeding

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Incineration Of Waste (AREA)

Abstract

本发明提供一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，涉及燃烧装置技术领域。该处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，包括机体，所述机体的上端外表面靠近左侧为止固定安装有燃烧室，所述燃烧室的上端外表面固定安装有废气输料管，所述废气输料管的上端外表面固定安装有废气输出端，所述废气输料管的左侧固定安装有旋风电机，所述燃烧室的内壁顶端位置固定安装有轴承装置，所述轴承装置的内部套设有空心管。该处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，使得反应更加全面，更加充分，有利于保护环境，使得水反应室内的废气与喷洒的水充分反应且与废气反应后的水通过出水口进入水箱，重复使用，节约水资源。

Description

一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置
技术领域
本发明涉及燃烧装置技术领域，具体为一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置。
背景技术
在半导体生产过程中，会产生许多有害气体，具有腐蚀性、易燃性和毒性，为了避免有害气体污染到环境，要经过过滤去除之后才能进行排放，旋风式合氧燃烧装置就是一种对半导体生产过程中产生的废气进行处理的净化设备。
而传统的旋风式合氧燃烧装置是通过在废气输出管的管口设置火焰，使得废气并不能完全与火焰充分反应，使得废气内的有害气体不能完全反应，导致直接排入大气中，对环境造成污染。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，解决了上述背景技术提出的传统的旋风式合氧燃烧装置不能将有害气体完全反应的问题。
技术方案
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，包括机体，所述机体的上端外表面靠近左侧为止固定安装有燃烧室，所述燃烧室的上端外表面固定安装有废气输料管，所述废气输料管的上端外表面固定安装有废气输出端，所述废气输料管的左侧固定安装有旋风电机，所述燃烧室的内壁顶端位置固定安装有轴承装置，所述轴承装置的内部套设有空心管，所述轴承装置与空心管之间活动安装有滚轮，所述燃烧室的内部活动安装有废气室，所述废气室的外表面开设有漏气孔，所述燃烧室与废气室之间固定安装有燃烧腔槽，所述机体的内部固定安装有一号电机，所述一号电机的上端外表面固定安装有一号旋转杆，所述燃烧室的左侧外表面活动安装有打火装置，所述打火装置包括打火室，所述打火室内部固定安装有打火石，所述打火石的一侧活动安装有摩擦条，所述打火室的左侧活动安装有横杆，所述打火室的外表面开设有进气孔，所述燃烧室的右侧设置有燃气输出端，所述所述燃气输出端与燃烧室之间固定安装有燃气输料管，所述燃烧室的右侧外表面靠近上方位置固定安装有风机，所述风机与燃烧室之间固定安装有进风管，所述机体的上端外表面靠近右侧位置固定安装有水反应室，所述燃烧室与水反应室之间固定安装有出风管，所述出风管与水反应室之间固定安装有出气板，所述水反应室的上方固定安装有二号电机，所述二号电机的下端外表面固定安装有二号旋转杆，所述水反应室的内壁顶端固定安装有轴承，且水反应室的内部活动安装有螺旋水管，所述螺旋水管的外表面开设有出水孔，所述机体的内部靠近右侧位置固定安装有水泵，且机体的右侧外表面固定安装有水箱，所述水泵与水箱之间固定安装有进水管，且水泵与水反应室之间固定安装有出水管，所述水反应室的右侧靠近底端位置连通有出水口。
进一步的，所述一号旋转杆远离一号电机的一端活动连接废气室，且一号旋转杆贯穿依次燃烧室和燃烧腔槽并延伸至燃烧腔槽内部。
进一步的，所述进风管的顶端固定安装有过滤板，且进风管贯穿燃烧室并延伸至燃烧室内部。
进一步的，所述出气板的外表面开设有出气孔，且出气板的外表面为弧形。
进一步的，所述一号电机位于燃烧室的正下方，且一号电机通过螺栓与机体固定连接。
进一步的，所述螺旋水管的两端均活动安装有轴承，所述出水孔的数量为若干组。
工作原理：使用时，废气输出端把废气输出，废气通过废气输料管经过旋风电机进行加速，使得废气旋转快速进入废气室，启动一号电机，一号电机转动带动一号旋转杆转动，使得一号旋转杆与旋转装置相互配合，使得废气室转动，废气室转动使得废气在废气室高速旋转，高速转动的废气通过漏气孔进入燃烧腔槽，同时使燃气输出端输出燃气，燃气通过燃气输料管进入燃烧腔槽，启动打火装置，转动横杆，使得横杆带动摩擦条在打火石上摩擦产生火星，打火石产生的火星引燃燃气，使得燃烧室的燃气燃烧，废气在废气室内高速旋转并通过漏气孔进入燃烧腔槽与燃气燃烧产生的火焰产生燃烧反应，使得废气充分与火焰充分反应，等到燃烧反应完成后，启动风机，使得风机通过进风管把燃烧后的气体吸出，再通过出风管和出气板把燃烧后的气体排入水反应室内，同时启动水泵，使得水泵通过进水管把水箱内的水吸出，再通过出水管把水排入螺旋水管内，同时启动二号电机，使得电机转动带动二号旋转杆，二号旋转杆转动带动螺旋水管转动，使得螺旋水管内的水高速旋转并喷洒在水反应室内，使得水与废气的反应面积增大，使得水反应室内的废气与喷洒的水充分反应，与废气反应后的水通过出水口进入水箱，重复使用，直到与废气完全反应完。
有益效果
相比较现有技术：
1、该处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，通过通过旋风电机、轴承装置，废气室、漏气孔、燃烧腔槽、一号电机、一号旋转杆和打火装置的相互配合，使得废气输出端把废气输出，废气通过废气输料管经过旋风电机进行加速，使得废气旋转快速进入废气室，启动一号电机，一号电机转动带动一号旋转杆转动，使得一号旋转杆与旋转装置相互配合，使得废气室转动，废气室转动使得废气在废气室高速旋转，高速转动的废气通过漏气孔进入燃烧腔槽，同时使燃气输出端输出燃气，燃气通过燃气输料管进入燃烧腔槽，启动打火装置，转动横杆，使得横杆带动摩擦条在打火石上摩擦产生火星，打火石产生的火星引燃燃气，使得燃烧室内的燃气燃烧，废气在废气室内高速旋转并通过漏气孔进入燃烧腔槽与燃气燃烧产生的火焰产生燃烧反应，使得该处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置能够使废气高速旋转，产生旋转气流增大与火焰的接触面积，使得反应更加全面，更加充分，有利于保护环境。
2、该处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，通过风机、水反应室、二号电机、二号旋转杆、螺旋水管、水泵和水箱的相互配合，使得风机通过进风管把燃烧后的气体吸出，再通过出风管和出气板把燃烧后的气体排入水反应室内，且出气板的外表面为弧形，增大排放废气的角度，同时启动水泵，使得水泵通过进水管把水箱内的水吸出，再通过出水管把水排入螺旋水管内，同时启动二号电机，使得二号电机转动带动二号旋转杆，二号旋转杆转动带动螺旋水管转动，使得螺旋水管内的水高速旋转并喷洒在水反应室内与水反应室内的废气反应，使得该处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置能够使水与废气的反应面积增大，使得水反应室内的废气与喷洒的水充分反应且与废气反应后的水通过出水口进入水箱，重复使用，节约水资源。
附图说明
图1为本发明整体结构示意图；
图2为本发明打火装置结构示意图；
图3为本发明轴承装置结构示意图；
图4为本发明出气板的结构示意图。
图中：1机体、2燃烧室、3废气输料管、4废气输出端、5旋风电机、6轴承装置、61滚轮、62空心管、7废气室、8漏气孔、9燃烧腔槽、10一号电机、11一号旋转杆、12打火装置、121打火室、122打火石、123摩擦条、124横杆、125进气孔、13燃气输出端、14燃气输料管、15风机、16进风管、17水反应室、18出风管、19出气板、191出气孔、20二号电机、21二号旋转杆、22轴承、23螺旋水管、24出水孔、25水泵、26水箱、27进水管、28出水管、29出水口。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1-4所示，本发明实施例提供一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，包括机体1，机体1的上端外表面靠近左侧为止固定安装有燃烧室2，燃烧室2的上端外表面固定安装有废气输料管3，废气输料管3的上端外表面固定安装有废气输出端4，废气输料管3的左侧固定安装有旋风电机5，燃烧室2的内壁顶端位置固定安装有轴承装置6，轴承装置6的内部套设有空心管62，轴承装置6与空心管62之间活动安装有滚轮61，燃烧室2的内部活动安装有废气室7，废气室7的外表面开设有漏气孔8，燃烧室2与废气室7之间固定安装有燃烧腔槽9，机体1的内部固定安装有一号电机10，一号电机10位于燃烧室2的正下方，且一号电机10通过螺栓与机体1固定连接，一号电机10的上端外表面固定安装有一号旋转杆11，一号旋转杆11远离一号电机10的一端活动连接废气室7，且一号旋转杆11贯穿依次燃烧室2和燃烧腔槽9并延伸至燃烧腔槽9内部，燃烧室2的左侧外表面活动安装有打火装置12，打火装置12包括打火室121，打火室121内部固定安装有打火石122，打火石122的一侧活动安装有摩擦条123，打火室121的左侧活动安装有横杆124，打火室121的外表面开设有进气孔125，通过通过旋风电机5、轴承装置6，废气室7、漏气孔8、燃烧腔槽9、一号电机10、一号旋转杆11和打火装置12的相互配合，使得废气输出端4把废气输出，废气通过废气输料管3经过旋风电机5进行加速，使得废气旋转快速进入废气室7，启动一号电机10，一号电机10转动带动一号旋转杆11转动，使得一号旋转杆11与轴承装置6相互配合，使得废气室7转动，废气室7转动使得废气在废气室7高速旋转，高速转动的废气通过漏气孔8进入燃烧腔槽9，同时使燃气输出端13输出燃气，燃气通过燃气输料管14进入燃烧腔槽9，启动打火装置12，转动横杆124，使得横杆124带动摩擦条123在打火石122上摩擦产生火星，打火石122产生的火星引燃燃气，使得燃烧室2内的燃气燃烧，废气在废气室7内高速旋转并通过漏气孔8进入燃烧腔槽9与燃气燃烧产生的火焰产生燃烧反应，使得该处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置能够使废气高速旋转，产生旋转气流增大与火焰的接触面积，使得反应更加全面，更加充分，有利于保护环境，燃烧室2的右侧设置有燃气输出端13，燃气输出端13与燃烧室2之间固定安装有燃气输料管14，燃烧室2的右侧外表面靠近上方位置固定安装有风机15，风机15与燃烧室2之间固定安装有进风管16，进风管16的顶端固定安装有过滤板，且进风管16贯穿燃烧室2并延伸至燃烧室2内部，机体1的上端外表面靠近右侧位置固定安装有水反应室17，燃烧室2与水反应室17之间固定安装有出风管18，出风管18与水反应室17之间固定安装有出气板19，出气板19的外表面开设有出气孔191，且出气板19的外表面为弧形，水反应室17的上方固定安装有二号电机20，二号电机20的下端外表面固定安装有二号旋转杆21，水反应室17的内壁顶端固定安装有轴承22，且水反应室17的内部活动安装有螺旋水管23，螺旋水管23的两端均活动安装有轴承22，出水孔24的数量为若干组，螺旋水管23的外表面开设有出水孔24，机体1的内部靠近右侧位置固定安装有水泵25，且机体1的右侧外表面固定安装有水箱26，通过风机15、水反应室17、二号电机20、二号旋转杆21、螺旋水管23、水泵25和水箱26的相互配合，使得风机15通过进风管16把燃烧后的气体吸出，再通过出风管18和出气板19把燃烧后的气体排入水反应室17内，且出气板19的外表面为弧形，增大排放废气的角度，同时启动水泵25，使得水泵25通过进水管27把水箱26内的水吸出，再通过出水管28把水排入螺旋水管23内，同时启动二号电机20，使得二号电机20转动带动二号旋转杆21，二号旋转杆21转动带动螺旋水管23转动，使得螺旋水管23内的水高速旋转并喷洒在水反应室17内与水反应室17内的废气反应，使得该处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置能够使水与废气的反应面积增大，使得水反应室17内的废气与喷洒的水充分反应且与废气反应后的水通过出水口29进入水箱26，重复使用，节约水资源，水泵25与水箱26之间固定安装有进水管27，且水泵25与水反应室17之间固定安装有出水管28，水反应室17的右侧靠近底端位置连通有出水口29。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (2)

1.一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的上端外表面靠近左侧位置固定安装有燃烧室(2)，所述燃烧室(2)的上端外表面固定安装有废气输料管(3)，所述废气输料管(3)的上端外表面固定安装有废气输出端(4)，所述废气输料管(3)的左侧固定安装有旋风电机(5)，所述燃烧室(2)的内壁顶端位置固定安装有轴承装置(6)，所述轴承装置(6)的内部套设有空心管(62)，所述轴承装置(6)与空心管(62)之间活动安装有滚轮(61)，所述燃烧室(2)的内部活动安装有废气室(7)，所述废气室(7)的外表面开设有漏气孔(8)，所述燃烧室(2)与废气室(7)之间固定安装有燃烧腔槽(9)，所述机体(1)的内部固定安装有一号电机(10)，所述一号电机(10)的上端外表面固定安装有一号旋转杆(11)，所述燃烧室(2)的左侧外表面活动安装有打火装置(12)，所述打火装置(12)包括打火室(121)，所述打火室(121)内部固定安装有打火石(122)，所述打火石(122)的一侧活动安装有摩擦条(123)，所述打火室(121)的左侧活动安装有横杆(124)，所述打火室(121)的外表面开设有进气孔(125)，所述燃烧室(2)的右侧设置有燃气输出端(13)，所述燃气输出端(13)与燃烧室(2)之间固定安装有燃气输料管(14)，所述燃烧室(2)的右侧外表面靠近上方位置固定安装有风机(15)，所述风机(15)与燃烧室(2)之间固定安装有进风管(16)，所述机体(1)的上端外表面靠近右侧位置固定安装有水反应室(17)，所述燃烧室(2)与水反应室(17)之间固定安装有出风管(18)，所述出风管(18)与水反应室(17)之间固定安装有出气板(19)，所述水反应室(17)的上方固定安装有二号电机(20)，所述二号电机(20)的下端外表面固定安装有二号旋转杆(21)，所述水反应室(17)的内壁顶端固定安装有轴承(22)，且水反应室(17)的内部活动安装有螺旋水管(23)，所述螺旋水管(23)的外表面开设有出水孔(24)，所述机体(1)的内部靠近右侧位置固定安装有水泵(25)，且机体(1)的右侧外表面固定安装有水箱(26)，所述水泵(25)与水箱(26)之间固定安装有进水管(27)，且水泵(25)与水反应室(17)之间固定安装有出水管(28)，所述水反应室(17)的右侧靠近底端位置连通有出水口(29)；
所述一号旋转杆(11)远离一号电机(10)的一端活动连接废气室(7)，且一号旋转杆(11)依次贯穿燃烧室(2)和燃烧腔槽(9)并延伸至燃烧腔槽(9)内部；
所述进风管(16)的顶端固定安装有过滤板，且进风管(16)贯穿燃烧室(2)并延伸至燃烧室(2)内部；
所述出气板(19)的外表面开设有出气孔(191)，且出气板(19)的外表面为弧形；
所述一号电机(10)位于燃烧室(2)的正下方，且一号电机(10)通过螺栓与机体(1)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，其特征在于：所述螺旋水管(23)的两端均活动安装有轴承(22)，所述出水孔(24)的数量为若干组。
CN201810747068.4A 2018-07-09 2018-07-09 一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置 Active CN108800172B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810747068.4A CN108800172B (zh) 2018-07-09 2018-07-09 一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810747068.4A CN108800172B (zh) 2018-07-09 2018-07-09 一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108800172A CN108800172A (zh) 2018-11-13
CN108800172B true CN108800172B (zh) 2024-04-12

Family

ID=64074918

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810747068.4A Active CN108800172B (zh) 2018-07-09 2018-07-09 一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108800172B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111298595B (zh) * 2020-02-29 2022-02-15 广州绿邦环境技术有限公司 一种有机臭气处理设备

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6363868B1 (en) * 1999-08-17 2002-04-02 Independant Stave Co. Combustors and burners with high turndown ratio
CN1997439A (zh) * 2003-12-19 2007-07-11 应用材料公司 用于控制气体污染物燃烧的装置和方法
CN101484749A (zh) * 2006-06-30 2009-07-15 爱德华兹有限公司 气体燃烧装置
CN201439951U (zh) * 2009-05-11 2010-04-21 北京航天动力研究所 一种旋流高效焚烧炉燃烧器
CN102705817A (zh) * 2012-02-03 2012-10-03 常州市鼎龙环保设备有限公司 用于废气焚烧炉的天然气燃烧室
CN107429914A (zh) * 2015-03-12 2017-12-01 株式会社荏原制作所 废气处理装置
CN207187440U (zh) * 2017-06-29 2018-04-06 江苏欣舟化工科技有限公司 一种化工废气多级高效处理装置
CN107940451A (zh) * 2017-10-20 2018-04-20 郑东亮 一种化工高效安全环保加热燃烧炉
CN208687746U (zh) * 2018-07-09 2019-04-02 安徽京仪自动化装备技术有限公司 一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6363868B1 (en) * 1999-08-17 2002-04-02 Independant Stave Co. Combustors and burners with high turndown ratio
CN1997439A (zh) * 2003-12-19 2007-07-11 应用材料公司 用于控制气体污染物燃烧的装置和方法
CN101484749A (zh) * 2006-06-30 2009-07-15 爱德华兹有限公司 气体燃烧装置
CN201439951U (zh) * 2009-05-11 2010-04-21 北京航天动力研究所 一种旋流高效焚烧炉燃烧器
CN102705817A (zh) * 2012-02-03 2012-10-03 常州市鼎龙环保设备有限公司 用于废气焚烧炉的天然气燃烧室
CN107429914A (zh) * 2015-03-12 2017-12-01 株式会社荏原制作所 废气处理装置
CN207187440U (zh) * 2017-06-29 2018-04-06 江苏欣舟化工科技有限公司 一种化工废气多级高效处理装置
CN107940451A (zh) * 2017-10-20 2018-04-20 郑东亮 一种化工高效安全环保加热燃烧炉
CN208687746U (zh) * 2018-07-09 2019-04-02 安徽京仪自动化装备技术有限公司 一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
张德姜等.《石油化工工艺管道设计与安装》.中国石化出版社,2002,第325页. *
霍然.《工程燃烧概论》.中国科学技术大学出版社,2001,第95-96页. *

Also Published As

Publication number Publication date
CN108800172A (zh) 2018-11-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109692542A (zh) 一种高效率的化工机械尾气处理装置
CN108800172B (zh) 一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置
CN207856559U (zh) 一种环保型垃圾焚烧残渣清灰除尘装置
CN209716831U (zh) 切割及焊接烟尘净化装置
CN208687746U (zh) 一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置
CN218033176U (zh) 一种尾气处理气体裂解装置
CN218834059U (zh) 一种rto排放尾气处理装置
CN208678766U (zh) 一种半导体制程废气中氟化物的净化装置
CN203777859U (zh) 雾霾油烟气体净化系统
CN216662490U (zh) 一种封闭的组合式泥磷回收系统
CN210951713U (zh) 一种用于智能建筑消防的快速排烟设备
CN113245083A (zh) 一种储水喷雾叶轮机构
CN215447280U (zh) 一种光学棱镜加工用烘箱
CN207513663U (zh) 一种汽车尾气处理装置
CN210448629U (zh) 燃气烧壳炉烟雾净化装置
CN206399186U (zh) 一种电著挂具剥漆炉
CN213480236U (zh) 一种工业固体废弃物的处理装置
CN101322895A (zh) 一种除尘装置
CN220750181U (zh) 一种具备吸油烟功能的柴火灶
CN207513669U (zh) 一种进气量大的汽车尾气处理装置
CN221122199U (zh) 一种粉煤灰燃烧器加热装置
CN214619662U (zh) 一种窑炉风机控制系统
CN215388498U (zh) 含有分子筛转轮的rto组合设备
CN214132599U (zh) 一种油管专用烘干炉
CN221310046U (zh) 一种排烟除尘设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant