CN108789205B - 夹具系统以及固定靶材组件的方法 - Google Patents

Abstract

一种夹具系统以及固定靶材组件的方法，其中方法包括：提供靶材组件；提供夹具系统，夹具系统包括：基底，基底包括核心区域和核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的自动压板夹；自动压板夹包括：压杆，压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端；固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底的距离，以使第一压杆端能朝向核心区域和远离核心区域运动；将靶材组件置于核心区域上；之后采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于靶材组件。所述方法能够提高工艺质量和工艺效率。

Description

夹具系统以及固定靶材组件的方法

技术领域

本发明涉及靶材组件加工领域，尤其涉及一种夹具系统以及固定靶材组件的方法。

背景技术

靶材组件包括靶材、以及与靶材结合并具有一定结合强度的背板。背板在所述靶材组件装配至溅射基台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。为了实现将所述靶材组件安装在溅射基台的目的，通常在背板的底部安装有连接部件，采用连接部件将背板和溅射基台相互连接并相互固定。

在背板的底部安装连接部件的过程中，需要将靶材组件固定。

然而，现有技术中固定靶材组件的工艺质量较差且工艺效率较低。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种夹具系统以及固定靶材组件的方法，以提高工艺质量和工艺效率。

为解决上述问题，本发明提供一种固定靶材组件的方法，包括：提供靶材组件；提供夹具系统，所述夹具系统包括：基底，基底包括核心区域和位于核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的自动压板夹；所述自动压板夹包括：压杆，压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端；固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，所述活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底的距离，以使第一压杆端朝向核心区域和远离核心区域运动；将靶材组件置于核心区域上，且靶材组件和自动压板夹位于基底的同一侧；将靶材组件置于核心区域上后，采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于靶材组件。

可选的，所述活塞装置包括外腔体和活塞结构；所述外腔体具有相对的第一外腔板和第二外腔板、以及位于第一外腔板和第二外腔板之间的外腔壁板，第一外腔板和边缘区域接触；所述活塞结构贯穿第二外腔板，活塞结构具有相对的第一塞端和第二塞端，第一塞端位于外腔体中，第一塞端的侧壁与外腔壁板接触，第一塞端和第一外腔板之间具有充气槽，第二塞端位于外腔体的外部。

可选的，所述活塞装置还包括第一连接杆，所述第一连接杆具有相对的第一连接端和第二连接端，第一连接端和第二塞端固定，第二连接端和第二压杆端可活动连接。

可选的，所述活塞装置还包括位于外腔体内部的内腔体，所述内腔体具有相对的第一内腔板和第二内腔板、以及位于第一内腔板和第二内腔板之间的内腔壁板，第一内腔板和第一外腔板相对，第二内腔板和第二外腔板相对；所述活塞结构包括第一活塞和第二活塞，第一活塞贯穿第一内腔板，第二活塞贯穿第二内腔板和第二外腔板；第一活塞具有相对的第一塞端和第三塞端，第一塞端位于外腔体中且位于内腔体外，第三塞端位于内腔体中，第三塞端的侧壁与内腔体接触；第二活塞具有相对的第二塞端和第四塞端，第四塞端位于内腔体中，第四塞端的侧壁与内腔体接触，第四塞端和第三塞端之间具有缓冲槽。

可选的，所述压杆还包括位于第一压杆端和第二压杆端之间的中间压杆部；所述活塞装置还包括第二连接杆和支撑杆，在自边缘区域至核心区域的方向上，第二连接杆到核心区域之间的距离小于第二塞端到核心区域之间的距离；所述第二连接杆具有相对的第三连接端和第四连接端，第三连接端与第二外腔板固定；所述支撑杆具有相对的第一支撑端和第二支撑端，第一支撑端和第四连接端可活动连接，第二支撑端和中间压杆部可活动连接。

可选的，所述夹具系统还包括气泵装置，所述气泵装置包括气泵和导气管，导气管具有相对的第一导气端和第二导气端，第一导气端和气泵连接，第二导气端与外腔体连接且与充气槽连通。

可选的，所述气泵装置通过导气管给充气槽中导入气体并推动活塞结构远离第一外腔板运动，以使第一压杆端能朝向核心区域运动；所述气泵装置还通过导气管从充气槽中导出气体并推动活塞结构朝向第一外腔板运动，以使第一压杆端能远离核心区域运动。

可选的，所述夹具系统还包括分别固定于核心区域的若干基准等高块，所述基准等高块和所述自动压板夹位于基底的同一侧；将所述靶材组件置于核心区域上的步骤包括：将所述靶材组件置于若干基准等高块的顶部表面。

可选的，所述靶材组件具有相对的溅射面和组件底面；将靶材组件置于核心区域上后，溅射面和基底核心区域相对；采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于组件底面。

本发明还提供一种夹具系统，包括：基底，基底包括核心区域和位于核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的自动压板夹；所述自动压板夹包括：压杆，压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端；固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，所述活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底的距离，以使第一压杆端朝向核心区域和远离核心区域运动。

可选的，所述活塞装置包括外腔体和活塞结构；所述外腔体具有相对的第一外腔板和第二外腔板、以及位于第一外腔板和第二外腔板之间的外腔壁板，第一外腔板和边缘区域接触；所述活塞结构贯穿第二外腔板，活塞结构具有相对的第一塞端和第二塞端，第一塞端位于外腔体中，第一塞端的侧壁与外腔壁板接触，第一塞端和第一外腔板之间具有充气槽，第二塞端位于外腔体的外部。

可选的，所述活塞装置还包括第一连接杆，所述第一连接杆具有相对的第一连接端和第二连接端，第一连接端和第二塞端固定，第二连接端和第二压杆端可活动连接。

可选的，所述第二连接端和第二压杆端通过第一销轴连接，所述压杆适于围绕第一销轴相对于第一连接杆转动。

可选的，所述活塞装置还包括位于外腔体内部的内腔体，所述内腔体具有相对的第一内腔板和第二内腔板、以及位于第一内腔板和第二内腔板之间的内腔壁板，第一内腔板和第一外腔板相对，第二内腔板和第二外腔板相对；所述活塞结构包括第一活塞和第二活塞，第一活塞贯穿第一内腔板，第二活塞贯穿第二内腔板和第二外腔板；第一活塞具有相对的第一塞端和第三塞端，第一塞端位于外腔体中且位于内腔体外，第三塞端位于内腔体中，第三塞端的侧壁与内腔体接触；第二活塞具有相对的第二塞端和第四塞端，第四塞端位于内腔体中，第四塞端的侧壁与内腔体接触，第四塞端和第三塞端之间具有缓冲槽。

可选的，所述压杆还包括位于第一压杆端和第二压杆端之间的中间压杆部；所述活塞装置还包括第二连接杆和支撑杆，在自边缘区域至核心区域的方向上，第二连接杆到核心区域之间的距离小于第二塞端到核心区域之间的距离；所述第二连接杆具有相对的第三连接端和第四连接端，第三连接端与第二外腔板固定；所述支撑杆具有相对的第一支撑端和第二支撑端，第一支撑端和第四连接端可活动连接，第二支撑端和中间压杆部可活动连接。

可选的，所述第一支撑端和所述第四连接端通过第二销轴连接，所述支撑杆适于围绕第二销轴相对于第二连接杆转动；所述第二支撑端和所述中间压杆部通过第三销轴连接，所述支撑杆和所述压杆适于以第三销轴为中心相对转动。

可选的，所述夹具系统还包括气泵装置，所述气泵装置包括气泵和导气管，导气管具有相对的第一导气端和第二导气端，第一导气端和气泵连接，第二导气端与外腔体连接且与充气槽连通。

可选的，所述气泵装置通过导气管给充气槽中导入气体并推动活塞结构远离第一外腔板运动，以使第一压杆端能朝向核心区域运动；所述气泵装置还通过导气管从充气槽中导出气体并推动活塞结构朝向第一外腔板运动，以使第一压杆端能远离核心区域运动。

可选的，所述夹具系统还包括分别固定于核心区域的若干基准等高块，所述基准等高块和所述自动压板夹位于基底的同一侧。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

本发明技术方案提供的固定靶材组件的方法中，采用夹具系统固定靶材组件，所述夹具系统包括自动压板夹，所述自动压板夹包括压杆和活塞装置。所述压杆用于向靶材组件施压而将靶材组件固定。由于通过活塞装置控制压杆的运动，因此能够避免人为因素干扰而导致的压杆和靶材组件之间的作用力与实际工艺要求偏差较大的现象。具体的，避免压杆对靶材组件出现过压或压力不到位的情况，从而使得固定靶材组件的工艺质量较高。其次，采用活塞装置控制压杆的运动，使得自动压板夹压紧和松开靶材组件的过程需要的时间均较少，因此能够提高工艺效率。

附图说明

图1是一种固定靶材组件过程中的结构示意图；

图2是本发明一实施例中固定靶材组件的流程图；

图3至图7是本发明一实施例中固定靶材组件过程中的结构示意图。

具体实施方式

正如背景技术所述，现有技术中固定靶材组件的方法的工艺质量较差且工艺效率较低。

图1是一种固定靶材组件过程中的结构示意图，固定靶材组件的方法包括：提供靶材组件100；提供压板夹，所述压板夹包括：基底110，基底110包括核心区域和位于核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的螺杆120，螺杆120垂直于基底110表面；压板130，压板130具有相对的第一压板端和第二压板端，第一压板端适于向靶材组件100施压，螺杆120贯穿第二压板端；与螺杆120配合使用的螺母140；将靶材组件100置于基底110核心区域上；之后，将螺母140旋在螺杆120上，并推动压板130向基底110运动，以使第一压板端向靶材组件100施压。

然而，上述固定靶材组件的方法的工艺质量较差且工艺效率较低，经研究发现，原因在于：

将螺母140旋在螺杆120上，并推动压板130向基底110运动的过程主要需要依靠人为操作。当螺母140紧固第一压板端和靶材组件100时，操作人员通过旋转螺母140需要的力来判断靶材组件100是否被夹紧。但是，不同的人感受力和主观判断力的标准不同，采用人为感受到的力评估靶材组件100是否被夹紧，造成靶材组件100固定的质量较差。具体的，当人为感受到的力大于实际值时，靶材组件100紧固不到位而容易滑动；当人为感受到的力小于实际值时，容易夹伤靶材组件100表面。其次，依靠旋转螺母140使第一压板朝向基底110运动，从而使第一压板端向靶材组件100施压，而旋转螺母140需要花费较长的时间，导致工艺效率较低。

为了解决上述问题，本发明提供一种固定靶材组件的方法，采用活塞装置控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动，以使第一压杆端朝向核心区域运动并施压于靶材组件。所述方法能够提高固定靶材组件的工艺质量和工艺效率。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

图2是本发明一实施例中固定靶材组件的流程图，包括以下步骤：

S01：提供靶材组件；

S02：提供夹具系统，所述夹具系统包括：基底，基底包括核心区域和位于核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的自动压板夹；所述自动压板夹包括：压杆，压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端；固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，所述活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底的距离，以使第一压杆端朝向核心区域和远离核心区域运动；

S03：将靶材组件置于核心区域上，且靶材组件和自动压板夹位于基底的同一侧；

S04：将靶材组件置于核心区域上后，采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于靶材组件。

下面结合图3至图7对上述步骤进行详细说明。

结合参考图3和图4，图4为沿图3中切割线M-M1的示意图，提供靶材组件200。

所述靶材组件200包括背板210和位于背板210表面的靶材220。

所述靶材220用于进行溅射成膜。

所述靶材220可以为钛靶材、铜靶材、铝靶材或钽靶材。需要说明的是，所述靶材220还可以选择其它材料，不再一一举例。

所述靶材220的纯度大于4N5。具体的，所述靶材220的纯度为5N或6N，其中，5N表示纯度为99.999％，而6N表示纯度为99.9999％。

本实施例中，以所述靶材220的形状为圆柱体作为示例。在其它实施例中，靶材可以选择其它形状。

所述靶材220具有相对的溅射面222和靶材背面221。

所述背板210可以为铜背板或铝背板。所述背板210的材料也可以选择其它材料。

所述背板210的尺寸根据靶材220的尺寸以及实际磁控溅射设备需要具体设计。

所述背板210具有相对的组件底面211和背板顶面212，所述靶材背面221和所述背板顶面212相接触。

本实施例中，所述背板210中具有凹槽(未标示)，部分背板顶面212为凹槽的内壁；部分靶材220位于所述凹槽中，靶材背面221与所述凹槽的底部表面接触，所述凹槽的侧壁与靶材220的部分侧壁相接触。在其它实施例中，背板中没有凹槽，靶材中仅有靶材背面和背板顶面接触。

结合参考图5和图6，图5为夹具系统的结构示意图，图6为沿图5中切割线N-N1获得的自动压板夹的剖视图，提供夹具系统，所述夹具系统包括：基底300，基底300包括核心区域(未标示)和位于核心区域周围的边缘区域(未标示)；固定于边缘区域的自动压板夹310；所述自动压板夹310包括：压杆311，压杆311具有相对的第一压杆端和第二压杆端；固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，所述活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底300的距离，以使第一压杆端朝向核心区域和远离核心区域运动。

具体的，当第一压杆端至基底300的距离减小时，第一压杆端朝向核心区域运动；当第一压杆端至基底300的距离增大时，第一压杆端远离核心区域运动。

所述活塞装置包括外腔体3120和活塞结构。

所述外腔体3120具有相对的第一外腔板3121和第二外腔板3122、以及位于第一外腔板3121和第二外腔板3122之间的外腔壁板3123，第一外腔板3121和边缘区域接触。

所述活塞结构贯穿第二外腔板3122，活塞结构具有相对的第一塞端和第二塞端，第一塞端位于外腔体3120中，第一塞端的侧壁与外腔壁板3123接触，第一塞端和第一外腔板3121之间具有充气槽3160，第二塞端位于外腔体3120的外部。

本实施例中，所述活塞装置还包括位于外腔体3120内部的内腔体，所述内腔体具有相对的第一内腔板3124和第二内腔板3125、以及位于第一内腔板3124和第二内腔板3125之间的内腔壁板3126，第一内腔板3124和第一外腔板3121相对，第二内腔板3125和第二外腔板3122相对。

当所述活塞装置包括内腔体时，所述活塞结构包括第一活塞3140和第二活塞3130，第一活塞3140贯穿第一内腔板3124，第二活塞3130贯穿第二内腔板3125和第二外腔板3122。

所述第一活塞3140具有相对的第一塞端和第三塞端，第一塞端位于外腔体3120中且位于内腔体外，第三塞端位于内腔体中，第三塞端的侧壁与内腔体接触。第二活塞3130具有相对的第二塞端和第四塞端，第四塞端位于内腔体中，第四塞端的侧壁与内腔体接触，第四塞端和第三塞端之间具有缓冲槽3170。

所述活塞装置还包括第一连接杆3150，所述第一连接杆3150具有相对的第一连接端和第二连接端，第一连接端和第二塞端固定，第二连接端和第二压杆端可活动连接。

所述第二连接端和第二压杆端通过第一销轴连接，所述压杆311适于围绕第一销轴相对于第一连接杆3150转动。

所述压杆311还包括位于第一压杆端和第二压杆端之间的中间压杆部。

所述活塞装置还包括第二连接杆315和支撑杆314。

在自边缘区域至核心区域的方向上，第二连接杆315到核心区域之间的距离小于第二塞端到核心区域之间的距离。

所述第二连接杆315具有相对的第三连接端和第四连接端，第三连接端与第二外腔板3122固定。

所述支撑杆314具有相对的第一支撑端和第二支撑端，第一支撑端和第四连接端可活动连接，第二支撑端和中间压杆部可活动连接。

所述第一支撑端和所述第四连接端通过第二销轴连接，所述支撑杆314适于围绕第二销轴相对于第二连接杆转动。

所述第二支撑端和所述中间压杆部通过第三销轴连接，所述支撑杆314和所述压杆311适于以第三销轴为中心相对转动。

所述夹具系统还包括气泵装置(未图示)，所述气泵装置包括气泵和导气管，导气管具有相对的第一导气端和第二导气端，第一导气端和气泵连接，第二导气端与外腔体连接且与充气槽3160连通。

所述气泵装置通过导气管给充气槽3160中导入气体并推动活塞结构远离第一外腔板3121运动，以使第一压杆端能朝向核心区域运动；所述气泵装置还通过导气管从充气槽3160中导出气体并推动活塞结构朝向第一外腔板3121运动，以使第一压杆端能远离核心区域运动。

需要说明的是，在气泵装置推动活塞结构远离第一外腔板3121运动的过程中，第一活塞3140和第二活塞3130远离第一外腔板3121运动，内腔体随着第一活塞3140和第二活塞3130远离第一外腔板3121运动。

所述夹具系统还包括分别固定于核心区域的若干基准等高块320，所述基准等高块320和所述自动压板夹310位于基底300的同一侧。

本实施例中，图5以基准等高块320的数量为四个作为示例。在其它实施例中，还可以根据需要选择基准等高块320的数量。

所述基准等高块320沿着核心区域轴向分布。

所述基准等高块320的作用包括：各个基准等高块320的顶部表面能够保持在同一水平面；后续将靶材组件200置于若干基准等高块320上，使组件底面211与水平面的平行度较高，利于对背板210进行机械加工。

所述夹具系统还包括分别固定于边缘区域的若干限位体330，限位体330沿边缘区域的周向分布。所述限位体330还能够延伸至部分核心区域。

所述限位体330的作用包括：用于在平行于基底300顶部表面的平面内限制靶材组件200的位置，使得靶材组件200在基底300上的位置符合工艺的需要。

参考图7，将靶材组件200置于核心区域上，且靶材组件200和自动压板夹310位于基底300的同一侧。

将所述靶材组件200置于核心区域上的步骤包括：将所述靶材组件200置于若干基准等高块320的顶部表面。

将靶材组件200置于核心区域上后，溅射面222和基底300核心区域相对，具体的，溅射面222和基准等高块320的顶部表面接触。

将靶材组件200置于核心区域上后，采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于靶材组件200。具体的，采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于组件底面211。

采用夹具系统将靶材组件200固定后，对靶材组件200进行机械加工，具体的，对背板210进行机械加工。在一个实施例中，在背板210中形成若干通孔，所述组件底面211暴露出通孔的底部表面。

相应的，本实施还提供上述方法中采用的夹具系统，夹具系统的具体结构参照上述内容，不再详述。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (15)

1.一种固定靶材组件的方法，其特征在于，包括：

提供靶材组件；

提供夹具系统，所述夹具系统包括：基底，基底包括核心区域和位于核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的自动压板夹；

所述自动压板夹包括：

压杆，压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端；

固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，所述活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底的距离，以使第一压杆端朝向核心区域和远离核心区域运动；

将靶材组件置于核心区域上，且靶材组件和自动压板夹位于基底的同一侧；

将靶材组件置于核心区域上后，采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于靶材组件；

其中，所述活塞装置包括外腔体和活塞结构；所述外腔体具有相对的第一外腔板和第二外腔板、以及位于第一外腔板和第二外腔板之间的外腔壁板，第一外腔板和边缘区域接触；所述活塞结构贯穿第二外腔板，活塞结构具有相对的第一塞端和第二塞端，第一塞端位于外腔体中，第一塞端的侧壁与外腔壁板接触，第一塞端和第一外腔板之间具有充气槽，第二塞端位于外腔体的外部；

其中，所述活塞装置还包括位于外腔体内部的内腔体，所述内腔体具有相对的第一内腔板和第二内腔板、以及位于第一内腔板和第二内腔板之间的内腔壁板，第一内腔板和第一外腔板相对，第二内腔板和第二外腔板相对；

所述活塞结构包括第一活塞和第二活塞，第一活塞贯穿第一内腔板，第二活塞贯穿第二内腔板和第二外腔板；第一活塞具有相对的第一塞端和第三塞端，第一塞端位于外腔体中且位于内腔体外，第三塞端位于内腔体中，第三塞端的侧壁与内腔体接触；第二活塞具有相对的第二塞端和第四塞端，第四塞端位于内腔体中，第四塞端的侧壁与内腔体接触，第四塞端和第三塞端之间具有缓冲槽；

其中，所述夹具系统还包括气泵装置，在所述气泵装置推动所述活塞结构远离所述第一外腔板运动的过程中，所述第一活塞和所述第二活塞远离所述第一外腔板运动，所述内腔体随着所述第一活塞和所述第二活塞远离所述第一外腔板运动。

2.根据权利要求1所述的固定靶材组件的方法，其特征在于，所述活塞装置还包括第一连接杆，所述第一连接杆具有相对的第一连接端和第二连接端，第一连接端和第二塞端固定，第二连接端和第二压杆端可活动连接。

3.根据权利要求1所述的固定靶材组件的方法，其特征在于，所述压杆还包括位于第一压杆端和第二压杆端之间的中间压杆部；所述活塞装置还包括第二连接杆和支撑杆，在自边缘区域至核心区域的方向上，第二连接杆到核心区域之间的距离小于第二塞端到核心区域之间的距离；所述第二连接杆具有相对的第三连接端和第四连接端，第三连接端与第二外腔板固定；所述支撑杆具有相对的第一支撑端和第二支撑端，第一支撑端和第四连接端可活动连接，第二支撑端和中间压杆部可活动连接。

4.根据权利要求1所述的固定靶材组件的方法，其特征在于，所述气泵装置包括气泵和导气管，导气管具有相对的第一导气端和第二导气端，第一导气端和气泵连接，第二导气端与外腔体连接且与充气槽连通。

5.根据权利要求4所述的固定靶材组件的方法，其特征在于，所述气泵装置通过导气管给充气槽中导入气体并推动活塞结构远离第一外腔板运动，以使第一压杆端能朝向核心区域运动；所述气泵装置还通过导气管从充气槽中导出气体并推动活塞结构朝向第一外腔板运动，以使第一压杆端能远离核心区域运动。

6.根据权利要求1所述的固定靶材组件的方法，其特征在于，所述夹具系统还包括分别固定于核心区域的若干基准等高块，所述基准等高块和所述自动压板夹位于基底的同一侧；将所述靶材组件置于核心区域上的步骤包括：将所述靶材组件置于若干基准等高块的顶部表面。

7.根据权利要求1所述的固定靶材组件的方法，其特征在于，所述靶材组件具有相对的溅射面和组件底面；将靶材组件置于核心区域上后，溅射面和基底核心区域相对；采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于组件底面。

8.一种夹具系统，其特征在于，包括：

基底，基底包括核心区域和位于核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的自动压板夹；

所述自动压板夹包括：

压杆，压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端；

固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，所述活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底的距离，以使第一压杆端朝向核心区域和远离核心区域运动；

其中，所述活塞装置包括外腔体和活塞结构；所述外腔体具有相对的第一外腔板和第二外腔板、以及位于第一外腔板和第二外腔板之间的外腔壁板，第一外腔板和边缘区域接触；所述活塞结构贯穿第二外腔板，活塞结构具有相对的第一塞端和第二塞端，第一塞端位于外腔体中，第一塞端的侧壁与外腔壁板接触，第一塞端和第一外腔板之间具有充气槽，第二塞端位于外腔体的外部；

其中，所述活塞装置还包括位于外腔体内部的内腔体，所述内腔体具有相对的第一内腔板和第二内腔板、以及位于第一内腔板和第二内腔板之间的内腔壁板，第一内腔板和第一外腔板相对，第二内腔板和第二外腔板相对；

所述活塞结构包括第一活塞和第二活塞，第一活塞贯穿第一内腔板，第二活塞贯穿第二内腔板和第二外腔板；第一活塞具有相对的第一塞端和第三塞端，第一塞端位于外腔体中且位于内腔体外，第三塞端位于内腔体中，第三塞端的侧壁与内腔体接触；第二活塞具有相对的第二塞端和第四塞端，第四塞端位于内腔体中，第四塞端的侧壁与内腔体接触，第四塞端和第三塞端之间具有缓冲槽；

其中，所述夹具系统还包括气泵装置，在所述气泵装置推动所述活塞结构远离所述第一外腔板运动的过程中，所述第一活塞和所述第二活塞远离所述第一外腔板运动，所述内腔体随着所述第一活塞和所述第二活塞远离所述第一外腔板运动。

9.根据权利要求8所述的夹具系统，其特征在于，所述活塞装置还包括第一连接杆，所述第一连接杆具有相对的第一连接端和第二连接端，第一连接端和第二塞端固定，第二连接端和第二压杆端可活动连接。

10.根据权利要求9所述的夹具系统，其特征在于，所述第二连接端和第二压杆端通过第一销轴连接，所述压杆适于围绕第一销轴相对于第一连接杆转动。

11.根据权利要求8所述的夹具系统，其特征在于，所述压杆还包括位于第一压杆端和第二压杆端之间的中间压杆部；所述活塞装置还包括第二连接杆和支撑杆，在自边缘区域至核心区域的方向上，第二连接杆到核心区域之间的距离小于第二塞端到核心区域之间的距离；所述第二连接杆具有相对的第三连接端和第四连接端，第三连接端与第二外腔板固定；所述支撑杆具有相对的第一支撑端和第二支撑端，第一支撑端和第四连接端可活动连接，第二支撑端和中间压杆部可活动连接。

12.根据权利要求11所述的夹具系统，其特征在于，所述第一支撑端和所述第四连接端通过第二销轴连接，所述支撑杆适于围绕第二销轴相对于第二连接杆转动；所述第二支撑端和所述中间压杆部通过第三销轴连接，所述支撑杆和所述压杆适于以第三销轴为中心相对转动。

13.根据权利要求8所述的夹具系统，其特征在于，所述气泵装置包括气泵和导气管，导气管具有相对的第一导气端和第二导气端，第一导气端和气泵连接，第二导气端与外腔体连接且与充气槽连通。

14.根据权利要求13所述的夹具系统，其特征在于，所述气泵装置通过导气管给充气槽中导入气体并推动活塞结构远离第一外腔板运动，以使第一压杆端能朝向核心区域运动；所述气泵装置还通过导气管从充气槽中导出气体并推动活塞结构朝向第一外腔板运动，以使第一压杆端能远离核心区域运动。

15.根据权利要求8所述的夹具系统，其特征在于，所述夹具系统还包括分别固定于核心区域的若干基准等高块，所述基准等高块和所述自动压板夹位于基底的同一侧。

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