CN108780039A - 气体浓度测量装置 - Google Patents

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横山哲也
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东亮
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Abstract

本发明所涉及的气体浓度测量装置(1)中，发光部(3)以及受光部(4)夹着筒形的测量管路(2)而对置配置，来自发光部(3)的照射光从测量管路(2)内透射出来并由受光部(4)接收，由此对从测量管路(2)内通过的测量对象气体的浓度进行测定。将冲洗气体朝向发光部(3)以及受光部(4)的光学系统导入的冲洗气体导管(11、13)连结于测量管路(2)的侧壁。测量管路(2)具有：从气体供给口越趋向于下游侧也就越扩大的锥状的气体入口部(21)。

Description

气体浓度测量装置
技术领域
本发明涉及用于对在管路内流动的气体中的成分的浓度进行测量的气体浓度测量装置，特别是涉及基于照射光进行测量的气体浓度测量装置。
背景技术
以往，为了对来自内燃机、焚烧炉等燃烧机构的废气、或者流向燃气发动机、燃料电池等燃气机构的燃料气体之中的各种气体成分进行测定，采用利用光的气体浓度测量装置。而且，作为基于照射光进行测量的气体浓度测量装置的测定方式，已知利用了干涉的红外光的强度分布的傅里叶变换红外分光方式(FTIR：Fourier transform infraredspectrometer)、或者利用了所照射的激光的光吸收的波长可变半导体激光吸收分光法(TDLAS：(tunable diode laserabsorption spectroscopy)等。
使用TDLAS法的气体浓度测量装置是照射出与测量对象气体的吸收光谱一致的波长的激光，来对透射后的激光的衰减量进行测定，由此对测量对象气体的浓度进行测量(参照专利文献1)。基于TDLAS法进行测量的气体浓度测量装置是对测定用光学系统喷射出仪表空气、氮气等冲洗气体(purge gas)，由此防止光学系统结垢、结露。
专利文献
专利文献1：日本特许第5606056号公报
发明内容
在TDLAS法中，按照基于Lambert-Beer定律的以下(1)式，对测量对象气体的气体浓度进行测定。即，在基于TDLAS法而对气体浓度的测定过程中，作为参数而包括：能从测定对象透射的激光的光路长度(透射光路长度)。为了以高精度对气体浓度进行分析，最好使得从采样气体(区域)中透射的激光的光路长度不发生变动。因此，需要使测量对象气体所流动的测定宽度呈恒定。
I1＝I0×exp(-ε×N×L)…(1)
(I0：透射前的激光强度，I1：透射前的激光强度，ε：摩尔吸光系数，N：测定对象的摩尔浓度，L：透射光路长度)
然而，以往，在中间隔着供测量对象气体流动的管路(测定单元)而分别设置有气体浓度测量装置的受光发光部的情况下，在管路中流动的采样气体向气体浓度测量装置侧进入。为了不使气体浓度测量装置的受光发光部的光学系统污损而设置了能将冲洗气体导入的导管，使冲洗气体流动而防止采样气体进入，但是，在冲洗气体流量出现不良的情况下，上述测定宽度(透射光路长度L)会变为不稳定的值，从而导致测定值的可靠性降低。
本发明的目的在于，研究如上现状而提供一种实施了改善的气体浓度测量装置。
本发明的气体浓度测量装置中，发光部以及受光部夹着筒形的测量管路而对置配置，来自所述发光部的照射光在所述测量管路内透射并由所述受光部接收，由此对从所述测量管路内通过的测量对象气体的浓度进行测定，将冲洗气体朝向所述发光部以及所述受光部中的光学系统导入的冲洗气体导管连结于所述测量管路的侧壁，且在相互对置的位置处被配置为与测量对象气体的流动方向正交，所述测量管路具有：从气体供给口越趋向于测量对象气体流动方向下游侧也就越扩大的锥状的气体入口部。
在上述气体浓度测量装置中，所述测量管路也可以在所述测量部的下游侧设置有气体出口部，该气体出口部形成为：越趋向于测量对象气体流动方向下游侧端部的气体排出口也就越缩小的锥状。
另外，在上述气体浓度测量装置中，所述排气流出口可以设置于主路径侧，所述排气流出口也可以设置于旁通路径侧。
另外，在上述气体浓度测量装置中，可以基于成为长径部分的所述测量部的截面积相对于成为短径部分的气体流入口的截面积而言的比率、以及流入于所述测量管路的气体流速，来对朝向所述冲洗气体导管供给的冲洗气体的流量进行计算。
另外，在上述气体浓度测量装置中，可以对流入于所述测量管路的气体的流速变化进行检测，并调整为与该流速变化相对应的冲洗气体流量。
发明效果
根据本发明，在测量管路内，能够抑制：采样气体朝向冲洗气体导管和测量管路之间的连结部流入。因此，能够将对测量管路中的采样气体照射激光时的光路长度维持为恒定，从而能够提高气体浓度的测量值的可靠性。另外，能够抑制冲洗气体朝向冲洗气体导管的供给流量。因此，不仅能够使冲洗气体供给用的各装置实现小型化，还能够降低用于供给冲洗气体的电力、燃料成本。
另外，根据本发明，测量管路中的长径部分的截面积相对于短径部分的截面积而言的比率越大，越能够抑制采样气体朝向冲洗气体导管进入。由此，能够容易地计算出冲洗气体流量，并能够根据采样气体的流速而设定所需的冲洗气体流量。
附图说明
图1是示出了：包括测量管路的气体浓度测量装置的结构的立体图。
图2是示出了：气体浓度测量装置的系统结构的概要图。
图3是气体浓度测量装置的剖视图。
图4是测量管路的放大剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明的气体浓度测量装置进行说明。图1是示出了：本实施方式的气体浓度测量装置的结构的概要立体图，图2是示出了：本实施方式的气体浓度测量装置的系统结构的概要图，图3是示出了：本实施方式的气体浓度测量装置的结构的剖视图。
如图1～图3所示，本实施方式的气体浓度测量装置1具备：测量管路(测量单元)2，含有测量对象气体的采样气体在该测量管路2中流动；发光部3，该发光部3对测量管路2照射激光；以及受光部4，该受光部4接收从测量管路2透射来的激光。测量管路2设置于：使得采样气体流向测量管路2的气体供给管路5、与使得采样气体从测量管路2被流入的气体排出管路6之间。即，气体供给管路5连结于测量管路2的废气入口侧，另一方面，气体排出管路6连结于测量管路2的废气出口侧。此外，作为采样气体，例如，供给来自燃烧机构的废气、流向气体机构的燃料气体，作为测量对象气体，对具有吸收红外区域的光的特性的气体的浓度进行测定，例如：氨、卤化氢、氮氧化物、硫氧化物、一氧化碳、二氧化碳、氧、水、碳化氢、硫化氢等气体。
发光部3以及受光部4设置于：夹着测量管路2而相对称的位置，从发光部3朝向受光部4的光轴相对于在测量管路2中流动的采样气体的流动方向正交。测量管路2具备主管7，采样气体在该主管7中流动。而且，在主管7侧壁，以与发光部3的设置位置相对置的方式设置有入射管(支管)8，且该入射管8用于将来自发光部3的激光向测量管路2的主管7内引导，并且，以与发光部3的设置位置相对置的方式还设置有：将从主管7内透射过来的激光向受光部4引导的射出管(支管)9。即，入射管8以及射出管9分别以主管7的径向为其长度方向，并且设置于以主管7的轴心为中心而对称的位置。
发光部3具备：射出激光的激光二极管(未图示)，光轴调整部10具备对所射出的激光的光轴进行调整的光学系统，且该光轴调整部10的入射侧与激光射出侧连结。而且，光轴调整部10的射出侧经由冲洗气体导管11而与测量管路2的入射管8连结，其中，向光轴调整部10喷射的冲洗气体在该冲洗气体导管11中流动。即，发光部3经由光轴调整部10以及冲洗气体导管11而与测量管路2的入射管8连结。
受光部4具备：接收激光并进行光电转换的光电二极管(未图示)，光轴调整部12具备对所入射的激光的光轴进行调整的光学系统，且该光轴调整部12的射出侧与激光入射侧连结。而且，光轴调整部12的入射侧经由冲洗气体导管13而与测量管路2的射出管9连结，其中，向光轴调整部12喷射的冲洗气体在该冲洗气体导管13中流动。即，受光部4经由光轴调整部12以及冲洗气体导管13而与测量管路2的射出管9连结。
利用与冲洗气体源15连接的冲洗流量调整部16，来对仪表空气、氮气等冲洗气体的流量进行调整，并通过分岔的气体管路17、18而将该冲洗气体从气体导入口19、20朝向冲洗气体导管11、13内供给。即，由气体管路17、18将冲洗流量调整部16和冲洗气体导管11、13的气体导入口19、20分别连接起来。
在气体管路17、18上分别设置有气体流量计30、31。气体流量计30、31对朝向冲洗气体导管11、13供给的冲洗气体的供给流量进行测定，并将其测定信号朝向测量控制部32输出。另外，冲洗流量调整部16基于来自测量控制部32的指令信号而确定冲洗气体的供给流量。
测量控制部32基于在测量管路2的主管7内流动的采样气体的流速而设定冲洗气体的供给流量，为了通知设定的流速而将指令信号朝向冲洗流量调整部16输出。另外，测量控制部32对发光部3发出指令信号，使其照射出与测量对象气体的吸收光谱一致的波长的激光(近红外的波长区域的激光)，并将由受光部4接收到的激光的光量作为测定信号，来进行接收。测量控制部32若接收到来自受光部4的测定信号，则确认根据测定信号而确认到的透射光量，按照基于TDLAS法的上述(1)式，来对采样气体中的测量对象气体的浓度进行计算。另外，测量控制部32对采样气体的流速变化进行检测，并调整为与该流速变化相应的冲洗气体流量。
测量管路2具备：气体入口部21，其具备流入口，采样气体从该流入口流入；气体出口部22，其具备排出口，采样气体从该排出口排出；以及筒状的测量部23，其设置于气体入口部21以及气体出口部22之间。即，主管7构成为：包括气体入口部21、气体出口部22以及测量部23，入射管8以及射出管9设置为：从测量部23的侧壁突出。
气体入口部21与气体供给管路5连结，并且该气体入口部21构成为：越趋向于测量部23而其内径越扩大的锥状。另一方面，气体出口部22与气体排出管路6连结，并且该气体出口部22构成为：越趋向于测量部23而其内径越扩大的锥状。在测量管路2的主管7中，测量部23的内径大于：气体入口部21的流入口以及气体出口部22的排出口各自的内径，主管7具有：与气体供给管路5以及气体排出管路6分别连结的两端缩小的酒壶形状。即，处于测量管路2的测量位置的测量部23的内径大于：气体供给管路5以及气体排出管路6各自的内径。测量管路2的气体入口部21形成为：随着趋向于采样气体流动上游侧而截面积缩小的前端缩小的锥状(锥形)，从而，在测量部23，采样气体向入射管8以及射出管9的流入得到抑制。
如图3所示，测量部23的内径R2大于：气体入口部21的流入口的内径R1，因此，呈现出：采样气体欲向测量部23的中心部流动的趋势，采样气体的分布幅度从气体入口部21朝向下游侧而扩大。此时，在比采样气体的分布幅度达到测量部23的内壁的位置更靠近上游侧的位置，设置有入射管8以及射出管9。由此，能够降低：采样气体流向入射管8以及射出管9的流入量，从而能够使入射管8以及射出管9的设置位置处的采样气体的分布幅度呈恒定。
另外，由于能够抑制采样气体朝向入射管8以及射出管9的流入，因此，能够将冲洗气体朝向冲洗气体导管11、13供给的流量降低在较小的量。测量控制部32接收在气体供给管路5中流动的采样气体的流速Sf的测定信号，并基于以下(2)式而设定冲洗气体的供给流量Pf。
Pf＝(K1×Sf)/(R22/R12)2…(2)
(K1：常数)
如上所述，在本实施方式的气体浓度测量装置1中，发光部3以及受光部4夹着筒型的测量管路2而对置配置，来自发光部3的照射光从测量管路2内透射过来并由受光部4接收，由此，对从测量管路2内通过的测量对象气体的浓度进行测定。将冲洗气体朝向发光部3以及受光部4的光学系统导入的冲洗气体导管11、13连结于测量管路2的侧壁。测量管路2具有：从气体供给口趋向于下游侧而扩大的锥状的气体入口部21。冲洗气体导管11、13在比气体入口部21更靠近下游侧且相互对置的位置处以与采样气体的流动方向(测量管路2的长度方向)正交的方式配置。
由此，在测量管路2内，能够抑制采样气体朝向冲洗气体导管11、13和测量管路2之间的连结部流入。因此，能够将对测量管路2中的采样气体照射激光时的光路长度维持为恒定，从而能够提高气体浓度的测量值的可靠性。另外，能够抑制冲洗气体朝向冲洗气体导管11、13的供给流量。因此，不仅能够使冲洗气体供给用的各装置实现小型化，还能够降低用于对装置进行驱动的电力或燃料成本。
在测量管路2中，与冲洗气体导管11、13连结的测量部23具有：以与气体入口部21内径的最大值相同的内径而构成的筒状。另外，测量管路2的下游侧端部的气体出口部22形成为：从气体排出口越趋向于上游侧也就越扩大的锥状。换言之，在测量部23的下游侧设置的气体出口部22形成为：越趋向于下游侧端部的气体排出口也就越缩小的锥状。即，测量管路2具有：两端以锥状而缩小的酒壶形状。
基于成为长径部分的测量部23的截面积相对于成为短径部分的气体流入口的截面积而言的比率、以及在测量部23流动的采样气体的流速，来对朝向冲洗气体导管11、13供给的冲洗气体的流量进行计算。此时，测量管路2的长径部分的截面积相对于短径部分的截面积而言的比率越大，越能够抑制采样气体朝向冲洗气体导管11、13的进入。由此，能够容易地计算出冲洗气体流量，并能够根据采样气体的流速而设定所需的冲洗气体流量。
此外，各部分的结构并不限定于图示的实施方式，可以在未脱离本发明的主旨的范围内进行各种变更。例如，作为将冲洗气体分别向测量管路2的入射管8以及射出管9供给的结构，可以形成为省略了冲洗气体导管11、13的结构。另外，虽然测量管路2的测量部23形成为圆筒形状，但并不局限于圆筒形状，例如也可以形成为多棱筒形状。
附图标记说明
1 气体浓度测量装置
2 测量管路(测量单元)
3 发光部
4 受光部
5 气体供给管路
6 气体排出管路
7 主管
8 入射管(支管)
9 射出管(支管)
10 光轴调整部
11 冲洗气体导管
12 光轴调整部
13 冲洗气体导管
15 冲洗气体源
16 冲洗流量调整部
17 气体管路
18 气体管路
19 气体导入口
20 气体导入口
21 气体入口部
22 气体出口部
23 测量部
30 气体流量计
31 气体流量计
32 测量控制部

Claims (5)

1.一种气体浓度测量装置，其中，发光部以及受光部夹着筒形的测量管路而对置配置，来自所述发光部的照射光在所述测量管路内透射并由所述受光部接收，由此对从所述测量管路内通过的测量对象气体的浓度进行测定，
所述气体浓度测量装置的特征在于，
将冲洗气体朝向所述发光部以及所述受光部中的光学系统导入的冲洗气体导管连结于所述测量管路的侧壁，且在相互对置的位置处被配置为与测量对象气体的流动方向正交，
所述测量管路具有：从气体供给口越趋向于测量对象气体流动方向下游侧也就越扩大的锥状的气体入口部。
2.根据权利要求1所述的气体浓度测量装置，其特征在于，
所述测量管路在比所述气体入口部更靠近测量对象气体流动方向下游侧的位置具备：内径呈恒定的筒状的测量部，
所述冲洗气体导管设置于该测量部。
3.根据权利要求2所述的气体浓度测量装置，其特征在于，
所述测量管路在所述测量部的下游侧设置有气体出口部，该气体出口部形成为：越趋向于测量对象气体流动方向下游侧端部的气体排出口也就越缩小的锥状。
4.根据权利要求2所述的气体浓度测量装置，其特征在于，
基于成为长径部分的所述测量部的截面积相对于成为短径部分的气体流入口的截面积而言的比率、以及流入于所述测量管路的气体流速，来对向所述冲洗气体导管供给的冲洗气体的流量进行计算。
5.根据权利要求4所述的气体浓度测量装置，其特征在于，
对流入于所述测量管路的气体的流速变化进行检测，并调整为与该流速变化相对应的冲洗气体流量。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114963003A (zh) * 2021-02-19 2022-08-30 中国科学院微电子研究所 一种用于半导体制造的供气系统及供气方法

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6924665B2 (ja) * 2017-10-04 2021-08-25 東邦チタニウム株式会社 ガス濃度測定システム
KR102074727B1 (ko) * 2017-12-18 2020-02-07 주식회사 포스코 가스 농도 측정 장치
KR102113028B1 (ko) * 2018-10-05 2020-05-20 재단법인 포항산업과학연구원 가스 분석 장치
KR102222298B1 (ko) * 2019-01-03 2021-03-04 주식회사 리트코 미립자 측정이 가능한 시스템
CN113654757B (zh) * 2021-08-27 2022-10-28 中国科学技术大学 一种模拟喷管中高超声速凝结过程的装置及诊断方法
KR102530591B1 (ko) * 2022-12-06 2023-05-09 주식회사 사람과안전건설화재에너지연구원 화재 시험 장치

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63111654U (zh) * 1987-01-12 1988-07-18
JPH03154852A (ja) * 1989-11-13 1991-07-02 Nippon Soken Inc スモーク濃度測定装置
US5374399A (en) * 1991-06-26 1994-12-20 Horiba, Ltd. Sample cell for improved gas flow in a gas analyzer
JP2001083075A (ja) * 1999-07-15 2001-03-30 Nippon Steel Corp 流通性に優れる赤外線吸収分析計用測定セル及び赤外線吸収分析装置
DE10309604A1 (de) * 2003-03-05 2004-09-23 Siemens Ag Absorptionsgas-Sensor
JP2007285721A (ja) * 2006-04-12 2007-11-01 Toyota Motor Corp 校正装置
US20080011049A1 (en) * 2004-06-04 2008-01-17 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. Device and Method for Optical Detecting Substances Contained in Waste Gases of Chemical Processes
CN101203295A (zh) * 2005-06-21 2008-06-18 埃克森美孚研究工程公司 利用第一和第二催化作用还原NOx的方法和设备
CN201697876U (zh) * 2010-07-03 2011-01-05 聚光科技(杭州)股份有限公司 气体的在位测量装置
CN102062726A (zh) * 2009-11-11 2011-05-18 中国科学院半导体研究所 汽车尾气氮氧化物监测光纤传感器
JP2011127988A (ja) * 2009-12-17 2011-06-30 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ガス計測セル及びこれを用いたガス濃度計測装置
CN102782460A (zh) * 2010-04-13 2012-11-14 三菱重工业株式会社 流量测定装置及流速测定装置
CN103185693A (zh) * 2011-12-27 2013-07-03 株式会社堀场制作所 气体分析装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS566056B2 (zh) 1973-02-12 1981-02-09
EP0370248A1 (de) * 1988-11-22 1990-05-30 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Messung der Partikelbelastung im Rauch- oder Abgas eines Verbrennungsprozesses
GB2396023A (en) * 2002-10-05 2004-06-09 Oxford Lasers Ltd Imaging system with purging device to prevent adhesion of particles
JP6210195B2 (ja) * 2013-06-12 2017-10-11 富士電機株式会社 レーザ式酸素ガス分析計

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63111654U (zh) * 1987-01-12 1988-07-18
JPH03154852A (ja) * 1989-11-13 1991-07-02 Nippon Soken Inc スモーク濃度測定装置
US5374399A (en) * 1991-06-26 1994-12-20 Horiba, Ltd. Sample cell for improved gas flow in a gas analyzer
JP2001083075A (ja) * 1999-07-15 2001-03-30 Nippon Steel Corp 流通性に優れる赤外線吸収分析計用測定セル及び赤外線吸収分析装置
DE10309604A1 (de) * 2003-03-05 2004-09-23 Siemens Ag Absorptionsgas-Sensor
US20080011049A1 (en) * 2004-06-04 2008-01-17 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. Device and Method for Optical Detecting Substances Contained in Waste Gases of Chemical Processes
CN101203295A (zh) * 2005-06-21 2008-06-18 埃克森美孚研究工程公司 利用第一和第二催化作用还原NOx的方法和设备
JP2007285721A (ja) * 2006-04-12 2007-11-01 Toyota Motor Corp 校正装置
CN102062726A (zh) * 2009-11-11 2011-05-18 中国科学院半导体研究所 汽车尾气氮氧化物监测光纤传感器
JP2011127988A (ja) * 2009-12-17 2011-06-30 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ガス計測セル及びこれを用いたガス濃度計測装置
CN102782460A (zh) * 2010-04-13 2012-11-14 三菱重工业株式会社 流量测定装置及流速测定装置
CN201697876U (zh) * 2010-07-03 2011-01-05 聚光科技(杭州)股份有限公司 气体的在位测量装置
CN103185693A (zh) * 2011-12-27 2013-07-03 株式会社堀场制作所 气体分析装置

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
廖力夫 等: "《分析化学（第二版）》", 31 August 2015, 华中科技大学出版社 *
邓曾录: "《锅炉工考工问答》", 28 February 1983, 河南科学技术出版社 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114963003A (zh) * 2021-02-19 2022-08-30 中国科学院微电子研究所 一种用于半导体制造的供气系统及供气方法

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Publication number Publication date
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