CN108762592B - 一种触控感应器的制备方法及触控感应器 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种触控感应器的制备方法，在基板的第一表面印刷第一金属层，并在基板与第一表面相对的第二表面印刷第二金属层；在刻蚀过程中，会根据设置在第一金属层一侧的第一盖板将第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在第二金属层一侧的第二盖板将第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层；其中会通过第一盖板与第二盖板相互对位，使第一图案与第二图案相互匹配。通过第一盖板与第二盖板相互对位可以有效减少在对位过程中上述盖板的移动距离，且第一盖板与第二盖板在移动过程中均不易发生形变，从而可以使得上述第一图案与第二图案更加精确的相互匹配。本发明还提供了一种触控感应器，同样具有上述有益效果。

Description

一种触控感应器的制备方法及触控感应器

技术领域

本发明涉及触控技术领域，特别是涉及一种触控感应器的制备方法及触控感应器。

背景技术

随着近年来科技不断的进步以及触控显示产品行业的发展，触控感应器无论是从尺寸还是性能等方面都取得了极大的进展。

在现阶段，触控感应器通常为GFF结构，即在玻璃盖板的一侧设置有两层单独的导电膜，而在两层导电膜上分别形成有相互匹配的图案。在工作状态时每层导电膜上均存在一定的电流。当用户触碰玻璃盖板的某一区域时，两层导电膜均会被吸走一微小电流，外界的控制器会根据上述被吸走的电流对用户触碰区域进行定位。

在现有技术中，由于两层导电膜上的图案需要相互匹配，所以需要在装配触控感应器的过程中，通过设备将两层导电膜抓标对位后，实现两层导电膜上的图案之间的相互匹配。

但是在现有技术中，经常会出现两层导电膜上的图案之间的匹配度不足，两个图案之间发生错位的情况，这会在触控感应器表面产生莫尔条纹，从而影响显示图像的质量。

发明内容

本发明的目的是提供一种触控感应器的制备方法，可以使得两层导电膜上的图案精确的相互匹配；本发明还提供一种触控感应器，可以实现两层导电膜上的图案精确的相互匹配。

为解决上述技术问题，本发明提供一种触控感应器的制备方法，所述方法包括：

在基板的第一表面溅镀第一金属层，并在所述基板与所述第一表面相对的第二表面溅镀第二金属层；

根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层；其中，所述第一盖板具有镂空的所述第一图案，所述第二盖板具有镂空的所述第二图案，通过所述第一盖板与所述第二盖板相互对位，以使所述第一图案与所述第二图案相互匹配；

将所述第一金属网格层与所述第二金属网格层绑定FPC，以制成触控感应器。

可选的，所述根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层包括：

在所述第一金属层表面涂布第一光阻层，并在所述第二金属层表面涂布第二光阻层；

在所述第一光阻层表面设置所述第一盖板，并在所述第二光阻层表面设置所述第二盖板；其中，所述第一盖板与所述第二盖板相互对位；

对所述第一盖板与所述第二盖板同时曝光，以在所述第一光阻层表面曝光出所述第一图案，并在所述第二光阻层表面曝光出所述第二图案；其中，所述第一图案与所述第二图案相互匹配；

对所述第一光阻层与所述第二光阻层进行显影；

透过所述第一光阻层刻蚀所述第一金属层，以制成所述第一金属网格层，并透过所述第二光阻层刻蚀所述第二金属层，以制成所述第二金属网格层；

在刻蚀所述第一金属层与所述第二金属层之后，去除所述第一光阻层与所述第二光阻层。

可选的，所述第一盖板为第一铬板；所述第二盖板为第二铬板。

可选的，所述根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层包括：

在所述第一金属层表面设置所述第一盖板，并在所述第二金属层表面设置所述第二盖板；其中，所述第一盖板与所述第二盖板相互对位；

透过所述第一盖板在所述第一金属层表面印刷具有第一图案的第一遮挡层，并透过所述第二盖板在所述第二金属层表面印刷具有第二图案的第二遮挡层；其中，所述第一图案与所述第二图案相互匹配；

透过所述第一遮挡层刻蚀所述第一金属层，以制成所述第一金属网格层，并透过所述第二遮挡层刻蚀所述第二金属层，以制成所述第二金属网格层；

在刻蚀所述第一金属层与所述第二金属层之后，去除所述第一遮挡层与所述第二遮挡层。

可选的，所述第一金属网格层包括多条第一金属线，多条所述第一金属线构成所述第一图案；所述第二金属网格层包括多条第二金属线，多条所述第二金属线构成所述第二图案；

所述将所述第一金属网格层与所述第二金属网格层绑定FPC包括：

将所述第一金属网格层与所述第二金属网格层绑定FPC，以使所述第一金属线构成接收通道，使所述第二金属线构成驱动通道。

可选的，在所述根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层之后，所述方法还包括：

在所述第一金属网格层表面贴合第一保护层。

可选的，在所述根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层之后，所述方法还包括：

在所述第二金属网格层表面贴合第二保护层。

可选的，所述第一金属层为第一导电银浆层；所述第二金属层为第二导电银浆层。

可选的，所述在基板的第一表面溅镀第一金属层，并在所述基板与所述第一表面相对的第二表面溅镀第二金属层包括：

在所述基板的所述第一表面溅镀多个所述第一金属层，并在所述基板的所述第二表面中与所述第一金属层相对的区域溅镀多个所述第二金属层；其中，所述第一金属层与所述第二金属层一一对应；

在所述将所述第一金属网格层与所述第二金属网格层绑定FPC之前，所述方法还包括：

沿相邻所述第一金属网格层之间的间隙切割所述基板。

本发明还提供一种触控感应器，所述触控感应器具体为采用上述任一项所述方法所制备的触控感应器。

本发明所提供的一种触控感应器的制备方法，会在基板的第一表面印刷第一金属层，并在基板述第一表面相对的第二表面印刷第二金属层；在刻蚀第一金属层与第二金属层的过程中，会根据设置在第一金属层一侧的第一盖板将第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在第二金属层一侧的第二盖板将第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层；其中会通过第一盖板与第二盖板相互对位，以使第一图案与第二图案相互匹配。通过第一盖板与第二盖板相互对位可以有效减少在对位过程中上述盖板的移动距离，且第一盖板与第二盖板在移动过程中均不易发生形变，从而可以使得上述第一图案与第二图案更加精确的相互匹配。

本发明还提供了一种触控感应器，同样具有上述有益效果，在此不再进行赘述。

附图说明

为了更清楚的说明本发明实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例所提供的一种触控感应器制备方法的流程图；

图2为本发明实施例所提供的一种在溅镀金属层时触控感应器的结构示意图；

图3为本发明实施例所提供的一种在刻蚀金属层时的示意图；

图4为本发明实施例所提供的一种触控感应器的俯视结构示意图；

图5为本发明实施例所提供的一种触控感应器的侧视结构示意图；

图6为本发明实施例所提供的一种具体的触控感应器制备方法的流程图；

图7为本发明实施例所提供的另一种具体的触控感应器制备方法的流程图；

图8为本发明实施例所提供的再一种具体的触控感应器制备方法的流程图；

图9为本发明实施例所提供的一种具体的在溅镀金属层时触控感应器的结构示意图；

图10为本发明实施例所提供的一种具体的在刻蚀金属层时的示意图。

图中：1.基板、2.第一金属层、3.第二金属层、4.第一盖板、5.第二盖板、6.第一金属网格层、61.第一引线、7.第二金属网格层、71.第二引线、8.FPC。

具体实施方式

本发明的核心是提供一种触控感应器。在现有技术中，在通过设备将两层导电膜抓标对位时，由于导电膜的移动距离较长，所以在对位时容易发生错位；同时由于通常情况下导电膜的质地相对较软，在移动过程中导电膜容易发生形变，从而使得在对位导电膜的过程中容易发生错位。

而本发明所提供的一种触控感应器的制备方法，会在基板的第一表面印刷第一金属层，并在基板述第一表面相对的第二表面印刷第二金属层；在刻蚀第一金属层与第二金属层的过程中，会根据设置在第一金属层一侧的第一盖板将第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在第二金属层一侧的第二盖板将第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层；其中会通过第一盖板与第二盖板相互对位，以使第一图案与第二图案相互匹配。通过第一盖板与第二盖板相互对位可以有效减少在对位过程中上述盖板的移动距离，且第一盖板与第二盖板在移动过程中均不易发生形变，从而可以使得上述第一图案与第二图案更加精确的相互匹配。

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参考图1、图2、图3、图4和图5，图1为本发明实施例所提供的一种触控感应器制备方法的流程图；图2为本发明实施例所提供的一种在溅镀金属层时触控感应器的结构示意图；图3为本发明实施例所提供的一种在刻蚀金属层时的示意图；图4为本发明实施例所提供的一种触控感应器的俯视结构示意图；图5为本发明实施例所提供的一种触控感应器的侧视结构示意图。

参见图1，在本发明实施例中，触控感应器的制备方法可以包括：

S101：在基板的第一表面溅镀第一金属层，并在基板与第一表面相对的第二表面溅镀第二金属层。

参见图2，由于在现阶段触控感应器通常需要与显示面板配合使用，所以在本发明实施例中，上述基板1通常为透明基板。具体的，所述基板1的具体材质可以为PC、PET、COP、PEN、COC等，当然所述基板1也可以选用其他材质的基板1，有关基板1的具体材质在本发明实施例中并不做具体限定。

通常情况下，基板1具有两个相对的表面，即上述第一表面与第二表面。在本步骤中，会在基板1的第一表面溅镀第一金属层2，并在基板1的第二表面溅镀第二金属层3。有关第一金属层2与第二金属层3具体的溅镀方法可以参照现有技术，在本发明实施例中并不做具体限定，视具体情况而定。

在本发明实施例中，上述第一金属层2与第二金属层3通常为银浆所构成的金属层。当然，所述第一金属层2与第二金属层3还可以是由其他材料溅镀而成，有关第一金属层2与第二金属层3的具体材质在本发明实施例中并不做具体限定，视具体情况而定。

S102：根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层。

在本步骤中，所述第一盖板4具有镂空的所述第一图案，所述第二盖板5具有镂空的所述第二图案，通过所述第一盖板4与所述第二盖板5相互对位，以使所述第一图案与所述第二图案相互匹配。

参见图3，在本步骤中，会在S101所制成的结构中位于第一金属层2的一侧设置第一盖板4，并在上述结构中位于第二金属层3的一侧设置第二盖板5。其中，第一盖板4具有镂空的第一图案，第二盖板5具有镂空的第二图案。在本步骤中，会根据第一盖板4将第一金属层2刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层6，并根据第二盖板5将第二金属层3刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层7。有关刻蚀的具体步骤将在下述发明实施例中做详细介绍，在此不再进行赘述。

在本步骤中，上述第一金属网格层6与第二金属网格层7需要相互对位，实现第一图案与第二图案的相互匹配。在本发明实施例中，在刻蚀之前需要将第一盖板4与第二盖板5相互对位，通过第一盖板4与第二盖板5相互对位从而实现位于第一金属网格层6的第一图案与位于第二金属层3网格层的第二图案相互匹配。

在本发明实施例中，所述第一金属网格层6通常包括多条第一金属线，多条所述第一金属线构成所述第一图案；相应的，所述第二金属网格层7通常包括多条第二金属线，多条所述第二金属线构成所述第二图案。

通常情况下，触控感应器包括有可操作区域与非可操作区域。顾名思义，可操作区域为可以感应用户触碰的区域，通常情况下可操作区域位于触控感应器的中心；非可操作区域为用户不可触碰的区域，通常情况下非可操作区域位于触控感应器的边缘，在非可操作区域中通常设置有引线等结构。

通常情况下，上述构成第一金属网格层6的第一金属线会在可操作区域形成规则的图案，用于在工作状态下与用户触碰的部位形成电容，而在非可操作区域会形成连接可操作区域的第一引线61，该第一引线61用于连接FPC(柔性电路板)8，以便外部的电极对第一网格层供电；相应的，上述构成第二金属网格层7的第二金属线同样会在可操作区域形成规则的图案，用于在工作状态下与用户触碰的部位形成电容，而在非可操作区域会形成连接可操作区域的第二引线71，该第二引线71用于连接FPC8，以便外部的电极对第二网格层供电。

S103：将第一金属网格层与第二金属网格层绑定FPC，以制成触控感应器。

参见图4与图5，在本步骤中，会将第一金属网格层6与第二金属网格层7绑定FPC8，即将第一金属网格层6和第二金属网格层7均与FPC8相连接，以便于外部的电极对第一金属网格层6和第二金属网格层7供电。具体的，FPC8会与第一金属网格层6中的第一引线61电连接，以对第一金属网格层6供电；并且FPC8会与第二金属网格层7中的第二引线71电连接，以对第二金属网格层7供电。在将第一金属网格层6与第二金属网格层7绑定FPC8之后，即制成了本发明实施例所提供的触控感应器。

在本步骤中，作为优选的，在将所述第一金属网格层6与所述第二金属网格层7绑定FPC8时，会使所述第一金属线构成接收通道，使所述第二金属线构成驱动通道。

在将第一金属线构成接收通道，并将第二金属线构成驱动通道之后，可以实现多点触控。具体的，虽然驱动通道与接收通道分别位于基板1的两侧，但是从任一侧来看，接受通道与驱动通道会相互交叉，其中在交点处会形成一电容。由于用户所在的一端相当于接地，当用户触碰触控感应器的某一区域时，会与该区域中的电容相互作用，从而使得触控感应器感知用户所触碰的区域的位置。同时将驱动通道和接收通道分别设置在基板1的两侧可以实现多点触控这一功能。

本发明实施例所提供的一种触控感应器的制备方法，会在基板1的第一表面印刷第一金属层2，并在基板1第一表面相对的第二表面印刷第二金属层3；在刻蚀第一金属层2与第二金属层3的过程中，会根据设置在第一金属层2一侧的第一盖板4将第一金属层2刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层6，并根据设置在第二金属层3一侧的第二盖板5将第二金属层3刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层7；其中会通过第一盖板4与第二盖板5相互对位，以使第一图案与第二图案相互匹配。通过第一盖板4与第二盖板5相互对位可以有效减少在对位过程中上述盖板的移动距离，且第一盖板4与第二盖板5在移动过程中均不易发生形变，从而可以使得上述第一图案与第二图案更加精确的相互匹配。

有关上述刻蚀第一金属层2和第二金属层3的具体步骤将在下述发明实施例中做详细介绍。

参见图6，图6为本发明实施例所提供的一种具体的触控感应器制备方法的流程图。

参见图6，在本发明实施例中，触控感应器的制备方法可以包括：

S201：在基板的第一表面溅镀第一金属层，并在基板与第一表面相对的第二表面溅镀第二金属层。

本步骤与上述发明实施例中S101大体相同，详细内容请参照上述发明实施例，在此不再进行赘述。

S202：在第一金属层表面涂布第一光阻层，并在第二金属层表面涂布第二光阻层。

所述第一光阻层即在第一金属层2表面涂布光阻剂所形成的第一光阻层，相应的所述第二光阻层即在第二金属层3表面涂布光阻剂所形成的第二光阻层。所述光阻剂为一种光敏材料，可以通过显影、曝光等步骤在材料表面形成预设的图案。在本步骤中，所述光敏剂的具体组分可以参照现有技术，在本发明实施例中并不做具体限定，即上述第一光阻层与第二光阻层的具体材质在本发明实施例中并不做具体限定。

有关第一金属层2与第二金属层3的具体内容已在上述发明实施例中做详细介绍，在此不再进行赘述。

S203：在第一光阻层表面设置第一盖板，并在第二光阻层表面设置第二盖板。

在本步骤中，所述第一盖板4与所述第二盖板5相互对位。

在本步骤中，会在第一光阻层表面设置第一盖板4，并在第一光阻层表面设置第二盖板5。上述第一盖板4与第二盖板5在本步骤中充当这遮光板的作用，由于第一盖板4与第二盖板5均为镂空结构，可以使得部分光线透过第一盖板4与第二盖板5照射到第一光阻层与第二光阻层表面。在本发明实施例中，有关第一盖板4与第二盖板5的具体内容已在上述发明实施例中做详细介绍，详细内容请参照现有技术，在此不再进行赘述。

在本步骤中，在设置第一盖板4与第二盖板5时，会使第一盖板4与第二盖板5相互对位，从而使得第一盖板4中的第一图案与第二盖板5中的第二图案相互匹配。

S204：对第一盖板与第二盖板同时曝光，以在第一光阻层表面曝光出第一图案，并在第二光阻层表面曝光出第二图案。

在本步骤中，所述第一图案与所述第二图案相互匹配。

在本步骤中，会对第一盖板4与第二盖板5同时曝光，已在第一光阻层表面曝光出与第一盖板4相对应的第一图案，并在第二光阻层曝光出与第二盖板5相对应的第二图案。由于在S203中第一盖板4与第二盖板5已经相互对位，所以在本发明实施例中第一图案与第二图案亦相互匹配。

在现阶段，通常使用黄光对第一盖板4与第二盖板5同时曝光，以便制成精度较高的第一图案与第二图案。当然，也可以选用其他波长的光线对第一盖板4与第二盖板5进行曝光，在本发明实施例对于曝光所需的光波长并不做具体限定。需要说明的时，曝光所需的光波长需要与形成第一光阻层与第二光阻层的光阻剂的成分相匹配。

再曝光完成之后，需要将第一盖板4和第二盖板5移走，以避免对后续步骤造成影响。通常情况下，所述第一盖板4为第一铬板；所述第二盖板5为第二铬板。即上述第一盖板4是预先在铬板上镂空出第一图案所形成的第一铬板，上述第二盖板5是预先在铬板上镂空出第二图案所形成的第二铬板。使用铬板可以极大的提高在曝光时第一图案与第二图案的精度。

S205：对第一光阻层与第二光阻层进行显影。

在本步骤中，会对曝光后的第一光阻层和第二光阻层进行显影。在显影过程中，例如对第一光阻层进行显影时，会去除一部分第一光阻层并留下一部分第一光阻层。留下的第一光阻层会构成上述第一图案，以便在后续步骤中将第一金属层2刻蚀成第一金属网格层6；相应的，对第二光阻层进行显影时，会去除一部分第二光阻层并留下一部分第二光阻层。留下的第二光阻层会构成上述第二图案以便在后续步骤中将第二金属层3刻蚀成第二金属网格层7。

S206：透过第一光阻层刻蚀第一金属层，以制成第一金属网格层，并透过第二光阻层刻蚀第二金属层，以制成第二金属网格层。

在本步骤中，会透过上述构成第一图案的第一光阻层将第一金属层2刻蚀成第一金属网格层6，此时第一金属网格层6具有第一图案；相应的，在本步骤中会透过上述构成第二图案的第二光阻层将第二金属层3刻蚀成第二金属网格层7，此时第二金属网格层7具有第二图案。

在本发明实施例中，对于刻蚀第一金属层2与第二金属层3时所用的刻蚀液的具体成分并不做具体限定，详细内容请参照现有技术，在此不再进行赘述。

当然，在本发明实施例中，在上述S204中进行曝光之后，也可以先对第一光阻层进行显影并将第一金属层2刻蚀成第一金属网格层6，再对第二光阻层进行显影并将第二金属层3刻蚀成第二金属网格层7。即对于同一金属层来说，需要先进行显影再进行刻蚀，但是在制成第一金属网格层6与第二金属网格层7的过程中，对于上述两个金属层来说，可以同时进行显影和刻蚀，也可以对于每一个金属层单独进行显影和刻蚀，具体过程可以根据实际情况自行设置，在此不进行具体限定。

S207：在刻蚀第一金属层与第二金属层之后，去除第一光阻层与第二光阻层。

在刻蚀第一金属层2与第二金属层3之后，即制成上述第一金属网格层6以及第二金属网格层7之后，需要将剩余具有第一图案的第一光阻层以及具有第二图案的第二光阻层剥离。

S208：将所第一金属网格层与第二金属网格层绑定FPC，以制成触控感应器。

本步骤与上述发明实施例中S103大体相同，详细内容已在上述发明实施例中做详细介绍，在此不再进行赘述。

本发明实施例所提供的一种触控感应器的制备方法，具体采用黄光刻蚀工艺，将上述第一盖板4以及第二盖板5作为遮光板使用，从而将第一金属层2刻蚀成第一金属网格层6，并将第二金属层3刻蚀成第二金属网格层7。通过黄光工艺所制备的第一网格层与第二金属网格层7具有较小的线宽线距，且刻蚀精度比较高。

有关上述第一金属层2和第二金属层3的另一种刻蚀步骤将在下述发明实施例中做详细介绍。

参见图7，图7为本发明实施例所提供的另一种具体的触控感应器制备方法的流程图。

参见图7，在本发明实施例中，触控感应器的制备方法可以包括：

S301：在基板的第一表面溅镀第一金属层，并在基板与第一表面相对的第二表面溅镀第二金属层。

本步骤与上述发明实施例中S101以及S201大体相同，详细内容请参照上述发明实施例，在此不再进行赘述。

S302：在第一金属层表面设置第一盖板，并在第二金属层表面设置第二盖板。

在本步骤中，所述第一盖板4与所述第二盖板5相互对位。

在本步骤中，会直接在第一金属层2表面设置第一盖板4，以及在第二金属层3表面设置第二盖板5，其中第一盖板4与第二盖板5需要相互对位，从而使得第一盖板4中的第一图案与第二盖板5中的第二图案相互匹配。有关第一盖板4与第二盖板5的具体内容请参照上述发明实施例，在此不再进行赘述。

在本发明实施例中，上述第一盖板4与第二盖板5具体被当作丝网版使用，由于第一盖板4与第二盖板5均具有镂空结构，在后续步骤中可以透过第一盖板4在第一金属层2表面印刷具有第一图案的第一遮挡层，并透过第二盖板5在第二金属层3表面印刷具有第二图案的第二遮挡层。

S303：透过第一盖板在第一金属层表面印刷具有第一图案的第一遮挡层，并透过第二盖板在第二金属层表面印刷具有第二图案的第二遮挡层。

在本步骤中，所述第一图案与所述第二图案相互匹配。

在本步骤中，会透过第一盖板4在第一金属层2表面印刷具有第一图案的第一遮挡层，通常情况下印刷的材料为油墨，即所述第一遮挡层为油墨层；相应的，在本步骤中会透过第二盖板5在第二金属层3表面印刷具有第二图案的第二遮挡层，通常情况下印刷的材料同样为油墨，即所述第二遮挡层同样为油墨层。由于在S302中第一盖板4与第二盖板5已经对位，所以在本步骤中由第一遮挡层所形成的第一图案与由第二遮挡层所形成的第二图案之间会相互匹配。

当然，上述第一遮挡层与第二遮挡层还可以为其他材质，只要能透过上述盖板印刷在金属层表面，并在后续刻蚀步骤中起到遮挡层的作用即可，有关上述第一遮挡层与第二遮挡层的具体材质在本发明实施例中并不做具体限定。

再印刷完成之后，需要将第一盖板4和第二盖板5移走，以避免对后续步骤造成影响。

S304：透过第一遮挡层刻蚀第一金属层，以制成第一金属网格层，并透过第二遮挡层刻蚀第二金属层，以制成第二金属网格层。

在本步骤中，会透过上述构成第一图案的第一遮挡层将第一金属层2刻蚀成第一金属网格层6，此时第一金属网格层6具有第一图案；相应的，在本步骤中会透过上述构成第二图案的第二遮挡层将第二金属层3刻蚀成第二金属网格层7，此时第二金属网格层7具有第二图案。

在本发明实施例中，对于刻蚀第一金属层2与第二金属层3时所用的刻蚀液的具体成分并不做具体限定，详细内容请参照现有技术，在此不再进行赘述。

当然，在本发明实施例中，在上述S302中设置完第一盖板4与第二盖板5之后，也可以先印刷第一遮挡层并将第一金属层2刻蚀成第一金属网格层6，再印刷第二遮挡层并将第二金属层3刻蚀成第二金属网格层7。即对于同一金属层来说，需要先进行印刷再进行刻蚀，但是在制成第一金属网格层6与第二金属网格层7的过程中，对于上述两个金属层来说，可以同时进行印刷和刻蚀，也可以对于每一个金属层单独进行印刷和刻蚀，具体过程可以根据实际情况自行设置，在此不进行具体限定。

S305：在刻蚀所述第一金属层与所述第二金属层之后，去除所述第一遮挡层与所述第二遮挡层。

在刻蚀第一金属层2与第二金属层3之后，即制成上述第一金属网格层6以及第二金属网格层7之后，需要将剩余具有第一图案的第一遮挡层以及具有第二图案的第二遮挡层去除。

S306：将第一金属网格层与第二金属网格层绑定FPC，以制成触控感应器。

本步骤与上述发明实施例中S103以及S208大体相同，详细内容已在上述发明实施例中做详细介绍，在此不再进行赘述。

本发明实施例所提供的一种触控感应器的制备方法，具体采用丝网印刷刻蚀工艺，将上述第一盖板4以及第二盖板5作为丝网版使用，从而将第一金属层2刻蚀成第一金属网格层6，并将第二金属层3刻蚀成第二金属网格层7。通过丝网印刷工艺可以极大的减少制备触控感应器的步骤，从而降低触控感应器的制作成本。

在本发明中，可以同时制备多个触控感应器，详细内容请参照下述发明实施例。

参见图8，图9与图10，图8为本发明实施例所提供的再一种具体的触控感应器制备方法的流程图；图9为本发明实施例所提供的一种具体的在溅镀金属层时触控感应器的结构示意图；图10为本发明实施例所提供的一种具体的在刻蚀金属层时的示意图。

参见图8，在本发明实施例中，触控感应器的制备方法可以包括：

S401：在基板的第一表面溅镀多个第一金属层，并在基板的第二表面中与第一金属层相对的区域溅镀多个第二金属层。

在本步骤中，所述第一金属层2与所述第二金属层3一一对应。

参见图9，在本步骤中，会预先准备一大块基板。在溅镀金属层时，会在基板1的第一表面溅镀多个第一金属层2，在第二表面同样溅镀多个第二金属层3，其中第一金属层2与第二金属层3一一对应，相对应的第一金属层2与第二金属层3相对的设置。

其余有关第一金属层2和第二金属层3的具体内容已在上述发明实施例中做详细介绍，在此不再进行赘述。

S402：根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层。

在本步骤中，所述第一盖板4具有镂空的所述第一图案，所述第二盖板5具有镂空的所述第二图案，通过所述第一盖板4与所述第二盖板5相互对位，以使所述第一图案与所述第二图案相互匹配。

参见图10，在本步骤中，可以在基板1设置第一金属层2的一侧设置一个第一盖板4，该第一盖板4需要覆盖多个第一金属层2；同时在基板1设置第二金属层3的一侧设置一个覆盖多个第二金属层3的第二盖板5，其中第一盖板4与第二盖板5相互对位。在本步骤中也可以对于每一个第一金属层2，在基板1设置第一金属层2的一侧设置多个与第一金属层2一一对应的多个第一盖板4，相应的对于每一个第二金属层3，在基板1设置第二金属层3的一侧设置多个与第二金属层3一一对应的多个第二盖板5。由于第一金属层2与第二金属层3一一对应，所以第一盖板4与第二盖板5也需要一一对应。相对应的第一盖板4与第二盖板5需要相互对位，以实现第一图案与第二图案的相互匹配。

本步骤其余内容与上述发明实施例中S102大体相同，且已在上述发明实施例中做详细介绍，详细内容请参照上述发明实施例，在此不再进行赘述。

S403：在第一金属网格层表面贴合第一保护层。

S404：在第二金属网格层表面贴合第二保护层。

在本发明实施例中，可以进一步的在第一金属网格层6表面贴合第一保护层，也可以在第二金属网格层7表面贴合第二保护层，当然还可以不设置上述第一保护层或者是第二保护层，亦或者是仅仅设置上述第一保护层与第二保护层中的一个均可，视具体情况而定，在本发明实施例中均不作具体限定。

在本发明实施例中，第一保护层与第二保护层可以为玻璃盖板、防爆膜等等，有关第一保护层与第二保护层的具体结构在本发明实施例中均不作具体限定，只要能提到保护第一金属网格层6和第二金属网格层7的作用即可。

S405：沿相邻第一金属网格层之间的间隙切割基板。

在本步骤中，需要将沿相邻第一金属网格层6之间的间隙切割基板1，从而切割出多个导电结构，以便在S406中将每个切割而成的导电结构与FPC8绑定，从而制成触控感应器。在切割过程中，除了会切割基板1之外，若设置有上述第一保护层或第二保护层，在切割过程中会同时切割上述第一保护层与第二保护层。

S406：将第一金属网格层与第二金属网格层绑定FPC，以制成触控感应器。

在本步骤中，对于切割后的每一个导电结构，均需要将该导电结构中的第一金属网格层6与第二金属网格层7绑定FPC8，以制成触控感应器。

本步骤其余内容与上述发明实施例中S103大体相同，且已在上述发明实施例中做详细介绍，详细内容请参照上述发明实施例，在此不再进行赘述。

本发明实施例所提供的一种触控感应器的制备方法，可以在基板1的第一表面与第二表面溅镀多个一一对应的第一金属层2个第二金属层3，并在后续步骤中切割基板1从而同时得到多个导电结构，进而可以同时制备多个触控感应器，从而减少触控感应器的生产步骤，降低触控感应器的制作成本。

本发明还提供一种触控感应器，该触控感应器具体为由上述任一种发明实施例中所提供的触控感应器制备方法所制备而成的触控感应器，详细内容请参照上述发明实施例，在此不再进行赘述。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处，各个实施例之间相同或相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

专业人员还可以进一步意识到，结合本文中所公开的实施例描述的各示例的单元及算法步骤，能够以电子硬件、计算机软件或者二者的结合来实现，为了清楚地说明硬件和软件的可互换性，在上述说明中已经按照功能一般性地描述了各示例的组成及步骤。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本发明的范围。

结合本文中所公开的实施例描述的方法或算法的步骤可以直接用硬件、处理器执行的软件模块，或者二者的结合来实施。软件模块可以置于随机存储器(RAM)、内存、只读存储器(ROM)、电可编程ROM、电可擦除可编程ROM、寄存器、硬盘、可移动磁盘、CD-ROM、或技术领域内所公知的任意其它形式的存储介质中。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上对本发明所提供的一种触控感应器的制备方法及触控感应器进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

Claims (9)

1.一种触控感应器的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

在基板的第一表面溅镀第一金属层，并在所述基板与所述第一表面相对的第二表面溅镀第二金属层；

根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层；其中，所述第一盖板具有镂空的所述第一图案，所述第二盖板具有镂空的所述第二图案，通过所述第一盖板与所述第二盖板相互对位，以使所述第一图案与所述第二图案相互匹配；

将所述第一金属网格层与所述第二金属网格层绑定FPC，以制成触控感应器；

所述根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层包括：

在所述第一金属层表面涂布第一光阻层，并在所述第二金属层表面涂布第二光阻层；

在所述第一光阻层表面设置所述第一盖板，并在所述第二光阻层表面设置所述第二盖板；其中，所述第一盖板与所述第二盖板相互对位；

对所述第一盖板与所述第二盖板同时曝光，以在所述第一光阻层表面曝光出所述第一图案，并在所述第二光阻层表面曝光出所述第二图案；其中，所述第一图案与所述第二图案相互匹配；

对所述第一光阻层与所述第二光阻层进行显影；

透过所述第一光阻层刻蚀所述第一金属层，以制成所述第一金属网格层，并透过所述第二光阻层刻蚀所述第二金属层，以制成所述第二金属网格层；

在刻蚀所述第一金属层与所述第二金属层之后，去除所述第一光阻层与所述第二光阻层。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一盖板为第一铬板；所述第二盖板为第二铬板。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层包括：

在所述第一金属层表面设置所述第一盖板，并在所述第二金属层表面设置所述第二盖板；其中，所述第一盖板与所述第二盖板相互对位；

透过所述第一盖板在所述第一金属层表面印刷具有第一图案的第一遮挡层，并透过所述第二盖板在所述第二金属层表面印刷具有第二图案的第二遮挡层；其中，所述第一图案与所述第二图案相互匹配；

透过所述第一遮挡层刻蚀所述第一金属层，以制成所述第一金属网格层，并透过所述第二遮挡层刻蚀所述第二金属层，以制成所述第二金属网格层；

在刻蚀所述第一金属层与所述第二金属层之后，去除所述第一遮挡层与所述第二遮挡层。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一金属网格层包括多条第一金属线，多条所述第一金属线构成所述第一图案；所述第二金属网格层包括多条第二金属线，多条所述第二金属线构成所述第二图案；

所述将所述第一金属网格层与所述第二金属网格层绑定FPC包括：

将所述第一金属网格层与所述第二金属网格层绑定FPC，以使所述第一金属线构成接收通道，使所述第二金属线构成驱动通道。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层之后，所述方法还包括：

在所述第一金属网格层表面贴合第一保护层。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层之后，所述方法还包括：

在所述第二金属网格层表面贴合第二保护层。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一金属层为第一导电银浆层；所述第二金属层为第二导电银浆层。

8.根据权利要求1至7任一项权利要求所述的方法，其特征在于，所述在基板的第一表面溅镀第一金属层，并在所述基板与所述第一表面相对的第二表面溅镀第二金属层包括：

在所述基板的所述第一表面溅镀多个所述第一金属层，并在所述基板的所述第二表面中与所述第一金属层相对的区域溅镀多个所述第二金属层；其中，所述第一金属层与所述第二金属层一一对应；

在所述将所述第一金属网格层与所述第二金属网格层绑定FPC之前，所述方法还包括：

沿相邻所述第一金属网格层之间的间隙切割所述基板。

9.一种触控感应器，其特征在于，所述触控感应器具体为采用上述权利要求1至8任一项权利要求所述方法所制备的触控感应器。

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