CN108672411A - 一种自动清洁机 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种用于清洁卡匣仓储搬运设备内的储位接触面的自动清洁机，包括外框、底框、风机过滤机组、无尘室吸尘器、可编程逻辑控制器、烟雾侦测器、颗粒计数器和锂电池组，所述外框和底框一起形成一个密封的几何空间，所述无尘室吸尘器与所述底框无缝隙地接合，所述底框上设置一个开口，所述开口位于所述无尘室吸尘器和所述底框的接合处。所述自动清洁机具有瞬间启动、低压安全、实时监控、节省人力、预防危险、节能环保和长久耐用等优点，可解决设备维护人员无法定时清洁、高空清洁和实时清洁等难题，进一步提高卡匣仓储搬运设备的洁净度。

Description

一种自动清洁机
技术领域
本发明涉及半导体/液晶面板制造领域，涉及一种用于在无尘室内清洁卡匣仓储搬运设备的自动清洁机。
背景技术
随着液晶显示技术的不断发展，液晶屏已经成为人们日常生活中较为常见的显示屏。液晶面板是液晶屏的重要组成部分。
在液晶面板制造行业中，玻璃面板存储在各个仓储柜中，需要采用搬运设备可对每个仓储柜中的卡匣进行搬运。
在半导体制造工厂中，半导体晶圆由于需经过各种不同流程的处理且需配合工艺设备，因此会被搬运到不同的工作站。为了方便晶圆的搬运且避免受到外力碰撞，会将多个晶圆收纳于晶圆暂存卡匣中。当将存放晶圆的晶圆暂存卡匣搬运至下一工作站时，作业人员操纵机械手臂将晶圆暂存卡匣搬运至下一工作站，或者采用自动晶圆搬送机搬运晶圆暂存卡匣。
然而，不论是液晶面板厂还是半导体制造工厂，卡匣仓储搬运设备都是在无尘室内建造的，需要达到ISO 14644-1 Class 2以上标准。鉴于卡匣仓储搬运设备具有稼动率高、设备大、运行速度快、危险性高等特点，为了满足卡匣仓储搬运设备的洁净度要求，往往需要定期停机（每次1～4小时不等），花费大量人力进行清洁（每次需要4～8个人不等），以保证设备洁净度。此外，这还会导致产能损失、人力浪费、作业危险等问题。
为此，已有不少厂家采用卡匣仓储搬运设备自动清洁机，通过物料管理系统（materiel control system, MCS）针对卡匣仓储搬运设备的任意存放位置和接触位置进行清洁，同时也可设置定期清洁计划，有系统安排逐一执行，这能够有效地解决产能损失、人力浪费和作业危险等问题。
但是，现有的卡匣仓储搬运设备自动清洁机存在以下缺点：（1）卡匣仓储搬运设备自动清洁机动力部分需要电池供电，因此需要定期更换电池；（2）电池有燃烧和爆炸的风险，一旦发生将严重影响无尘室环境，因此需要在清洁机内安装电池温度侦测装置实时监控，电池需要放置在封闭不锈钢金属空间内，以防意外发生；（3）卡匣仓储搬运设备自动清洁机清洁区域存在局限性，只能清洁与卡匣仓储搬运设备接触的区域，不可完全取代人员清洁。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于，提供一种改进的卡匣仓储搬运设备自动清洁机，解决了现有的卡匣搬运设备清洁难，以至于长期累积的微小颗粒影响产品良率。
为了解决上述技术问题，本发明的实施例提供了一种用于清洁卡匣仓储搬运设备内的储位接触面的自动清洁机，其特征在于，包括外框、底框、风机过滤机组、无尘室吸尘器、可编程逻辑控制器、烟雾侦测器、颗粒计数器和锂电池组，所述外框和底框一起形成一个密封的几何空间，所述风机过滤机组、无尘室吸尘器、可编程逻辑控制器、烟雾侦测器和颗粒计数器位于所述密封的几何空间中并且由所述锂电池组供电，所述无尘室吸尘器与所述底框无缝隙地接合，所述底框上设置一个开口，所述开口位于所述无尘室吸尘器和所述底框的接合处。
进一步地，所述无尘室吸尘器由吸尘器本体、管子和吸尘室吸嘴组成，所述吸尘器本体和所述吸尘室吸嘴由管子连接在一起，所述无尘室吸尘器通过其所述吸尘室吸嘴无缝隙地接合所述底框。
进一步地，所述自动清洁机还包括超音波传感器，所述超音波传感器位于所述底框上，用于侦测所述底框与所述储位接触面之间的距离。
进一步地，所述自动清洁机还包括压差计、风速计和振动计中的至少一种。
进一步地，所述密封的几何空间为长方体、正方体、圆柱体或棱柱体。
进一步地，所述锂电池组由4～6个锂电池组成。
进一步地，所述锂电池组位于所述密封的几何空间中。
进一步地，所述锂电池组位于所述外框的外表面上。
进一步地，所述锂电池组位于所述底框的外表面上。
进一步地，所述外框为SUS304空心方管。
进一步地，所述自动清洁机含有一个识别信息读码器。
本发明中提及的“储位接触面”指的是，在利用卡匣仓储搬运设备搬运卡匣时，卡匣仓储搬运设备与其所搬运的卡匣之间的接触表面。
本发明所提供的改进型卡匣仓储搬运设备自动清洁机，包括外框和底框，位于所述外框内的风机过滤机组、无尘室吸尘器、可编程逻辑控制器、烟雾侦测器、颗粒计数器和锂电池组等元件。采用本发明提供的自动清洁机，可解决设备维护人员无法定时清洁、高空清洁和实时清洁等难题，进一步提高卡匣仓储搬运设备的洁净度。本发明提供的自动清洁机具有瞬间启动、低压安全、实时监控、节省人力、预防危险、节能环保和长久耐用等优点。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明自动清洁机的平面结构示意图；
图2是本发明自动清洁机中的无尘室吸尘器的平面结构示意图；
图3是本发明自动清洁机的信号/控制线路示意图；
图4是本发明自动清洁机的电力输送线路示意图。
具体实施方式
下面参考附图对本发明的优选实施例进行描述。
如图1所示，本发明的实施例提供了一种改进的用于清洁卡匣仓储搬运设备内的储位接触面的自动清洁机，包括：外框1、底框2、风机过滤机组（Fan Filter Unit,FFU）3、无尘室吸尘器4、可编程逻辑控制器（Programmable Logic Controller,PLC）5、烟雾侦测器6、颗粒计数器（Particle Counter）7和锂电池组8。风机过滤机组3、无尘室吸尘器4、可编程逻辑控制器5、烟雾侦测器6和颗粒计数器7位于外框1和底框2一起形成的一个密封的几何空间中并且由锂电池组8供电。无尘室吸尘器4与底框2无缝隙地接合，底框2上设置一个开口，该开口位于无尘室吸尘器4和底框2的接合处。
锂电池组8可位于外框1和底框2一起形成的一个密封的几何空间中，也可设置于外框1或底框2的外表面上。
如图2所示，无尘室吸尘器4由吸尘器本体43、管子42和吸尘室吸嘴41组成，吸尘器本体43和吸尘室吸嘴41由管子42连接在一起，无尘室吸尘器4通过吸尘室吸嘴41吸取的颗粒等异物通过管子42进入吸尘器本体43。吸尘室吸嘴41无缝隙地接合在底框2上。
如图1所示，外框1位于底框2上，并与底框2一起形成一个密封的几何空间，所述几何空间可以为长方体、正方体、圆柱体、棱柱体等规则几何结构，也可以是没有规则的几何结构。鉴于无尘室只能使用不易生锈的材料，外框1一般采用SUS304空心方管。为了让吸取无尘室吸尘器4通过吸尘室吸嘴41吸取卡匣仓储搬运设备内的储位接触面上的颗粒等异物，在底框2上设置一个开口，所述开口位于底框2和吸尘室吸嘴41之间的接合处，这样就确保在吸取无尘室吸尘器4吸取储位接触面上的颗粒等异物时，风机过滤机组3、无尘室吸尘器4、烟雾侦测器6和颗粒计数器7依然处于外框1与底框2一起形成的一个密封的几何空间中，从而防止无尘室吸尘器4吸取的颗粒泄漏。
优选地，用于清洁卡匣仓储搬运设备内的储位接触面的自动清洁机还包括一个超音波传感器9（图中未显示），所述超音波传感器9位于底框2上，可侦测所述底框2上的吸尘器吸嘴41与储位接触面之间的距离，用于确定风机过滤机组3和无尘室吸尘器4的启动和关闭时间，在接触前2秒吸尘器吸嘴41开始吸取，吸取20秒后停止或者脱离储位接触面后停止，风机过滤机组3启动时间为无尘室吸尘器4启动前4秒，关闭时间点为无尘室吸尘器4停止后4秒。
由锂电池组8提供电力，可编程逻辑控制器5控制自动清洁机中的风机过滤机组3、无尘室吸尘器4、烟雾侦测器6、颗粒计数器7和超音波传感器9等各个元件的运作，如图3所示。无尘室吸尘器4对储位接触面进行吸尘，无尘室吸尘器4排出的空气经由风机过滤机组3过滤后排放到自动清洁机所在的无尘室内。烟雾侦测器6用于侦测自动清洁机是否出现烟雾，防止本发明的自动清洁机在运行时或者在充电时，意外起火未被发现。颗粒计数器7监控排出的空气洁净度是否达到ISO 14644-1 Class 2标准。
此外，压差计、风速计、振动计（图中未显示）也可装于本发明的自动清洁机中，用于监控自动清洁机的运行状况。压差计，用于检测自动清洁机与外界之间存在的负压差。风速计是一种测量无尘室吸尘器4排出的空气流速的仪器。振动计是用来直接指示位移、速度、加速度和加速度导数等振动量的峰值、峰-峰值、平均值或均方根值的仪器，振动计的主要元件有积分微分电路、放大电路、电压检波器和表头。
在进行清洁过程中，本发明的自动清洁机中的风机过滤机组、烟雾侦测器、无尘室吸尘器、颗粒计数器和超音波传感器等各个元件的数据可通过可编程逻辑控制器上传至物料管理系统，供设备维护人员进行分析和判断，便于及时了解设备运行情况，以及针对设备运行时出现的异常情况，及时给出纠正对策。如风机过滤机组会上报其运行状况和风速等数据给可编程逻辑控制器；颗粒计数器会上报其测量到的颗粒数值等数据给可编程逻辑控制器；烟雾侦测器实时监控，反馈其监控值等数据给可编程逻辑控制器。编程逻辑控制器与物料管理系统之间的数据传送通过无线网络进行。
针对本发明的自动清洁机的电源部分，选用优质的锂电池组8，一般4～6个锂电池一组，为风机过滤机组3、无尘室吸尘器4、可编程逻辑控制器5、烟雾侦测器6、颗粒计数器7、超音波传感器9、压差计、风速计、振动计等各个元件提供电力，如图4所示。锂电池组的电量和温度等信息通过编程逻辑控制器自动上报至物料管理系统，设备维护人员可进行电量及温度观察，如电量过低，则可将自动清洁机搬运至更换口，更换锂电池组。当然，也可设计为当锂电池组的电量过低时，让自动清洁机自动跑到充电站自行充电。
另外，鉴于卡匣仓储搬运设备中可能存放着多个卡匣，为此，在卡匣仓储搬运设备上为每个卡匣设置一个携带着识别信息的ID板，所述识别信息可以是一个专有的6位由数字和字母组成的一维条码，也可以是二维的图形条码，另外也可以RFID标签。在清洁时，本发明的自动清洁机配置一个识别信息读码器来读取ID板上携带的识别信息，识别所清洁的卡匣，从而避免重复清洁或者忘记清洁一个或多个卡匣与卡匣仓储搬运设备之间的储位接触面。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于清洁卡匣仓储搬运设备内的储位接触面的自动清洁机，其特征在于，包括外框、底框、风机过滤机组、无尘室吸尘器、可编程逻辑控制器、烟雾侦测器、颗粒计数器和锂电池组，所述外框和底框一起形成一个密封的几何空间，所述风机过滤机组、无尘室吸尘器、可编程逻辑控制器、烟雾侦测器和颗粒计数器位于所述密封的几何空间中并且由所述锂电池组供电，所述无尘室吸尘器与所述底框无缝隙地接合，所述底框上设置一个开口，所述开口位于所述无尘室吸尘器和所述底框的接合处。
2.如权利要求1所述的自动清洁机，其特征在于，所述无尘室吸尘器由吸尘器本体、管子和吸尘室吸嘴组成，所述吸尘器本体和所述吸尘室吸嘴由管子连接在一起，所述无尘室吸尘器通过其所述吸尘室吸嘴无缝隙地接合所述底框。
3.如权利要求1所述的自动清洁机，其特征在于，所述自动清洁机还包括超音波传感器，所述超音波传感器位于所述底框上，用于侦测所述底框与所述储位接触面之间的距离。
4.如权利要求1所述的自动清洁机，其特征在于，所述自动清洁机还包括压差计、风速计和振动计中的至少一种。
5.如权利要求1所述的自动清洁机，其特征在于，所述密封的几何空间为长方体、正方体、圆柱体或棱柱体。
6.如权利要求1所述的自动清洁机，其特征在于，所述锂电池组由4～6个锂电池组成。
7.如权利要求1～6之一所述的自动清洁机，其特征在于，所述锂电池组位于所述密封的几何空间中。
8.如权利要求1～6之一所述的自动清洁机，其特征在于，所述锂电池组位于所述外框的外表面上。
9.如权利要求1～6之一所述的自动清洁机，其特征在于，所述锂电池组位于所述底框的外表面上。
10.如权利要求1所述的自动清洁机，其特征在于，所述自动清洁机含有一个识别信息读码器。
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