CN114449721A - 一种静电消除系统和静电消除方法 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例公开了一种静电消除系统及静电消除方法，该静电消除系统至少包括视频监控模块、静电检测模块、温度检测模块、湿度检测模块、服务器和离子风机，视频监控模块用于获取预设区域内的视频监控数据；静电检测模块用于获取预设区域内的静电数据；温度检测模块用于获取预设区域内的温度数据；湿度检测模块用于获取预设区域内的湿度数据；服务器用于向静电检测装置发送启停指令，且生成控制指令，并根据控制指令控制离子风机运行，以使离子风机进行静电消除，通过各个模块获取到环境参数，并获取到易发生静电区域，并向离子风机发送控制指令，以使离子风机消除静电，可以灵活配置静电检测设备和离子风机，提高消除静电效率。
Description
技术领域
本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种静电消除系统和静电消除方法。
背景技术
在半导体制造过程中，由于静电带来的负面影响包括：尘埃微粒污染、静电放电损坏及相关设备的停机，使得半导体高产、高质的成品率降低，半导体生产车间对静电控制及消除的制定方案随着全球半导体产业的发展在不断的提高。
在半导体生产车间，为尽可能降低静电放电现象，静电检测及静电消除装置安装数量的需求在日益增长。但由于现有有线传输式的静电检测及静电消除装置数量的增加伴随着组网难，通信效率低，功耗高的缺点，现有技术无法提供一个可灵活配置的静电检测及静电消除装置多连接的组网方式。
发明内容
针对上述技术问题，本发明实施例提供了一种静电消除系统和静电消除方法。
本发明实施例第一方面提供一种静电消除系统，所述静电消除系统至少包括视频监控模块、静电检测模块、温度检测模块、湿度检测模块、服务器和离子风机，其中，
所述视频监控模块用于获取预设区域内的视频监控数据；
所述静电检测模块用于获取预设区域内的静电数据；
所述温度检测模块用于获取预设区域内的温度数据；
所述湿度检测模块用于获取预设区域内的湿度数据；
所述服务器用于根据所述静电数据生成静电产生分布图，并根据所述静电产生分布图，向静电检测装置发送启停指令；还用于将所述视频监控数据、温度数据和湿度数据输入到预先训练好的静电控制模型，生成控制指令，并根据所述控制指令控制离子风机运行，以使所述离子风机进行静电消除。
可选地，所述视频监控模块用于根据各个监控设备的无线自适应地址，对各个监控设备进行编号，并接收各个监控设备采集的视频监控数据，并将所述各个监控设备采集的视频监控数据存储在与监控设备编号对应的存储空间内。
可选地，所述静电检测模块用于根据各个静电检测设备的无线自适应地址，对各个静电检测设备进行编号，并接收各个静电检测设备采集的静电数据，并将所述各个静电检测设备采集的静电数据存储在与静电检测设备编号对应的存储空间内。
可选地，所述温度检测模块用于根据各个温度传感器的无线自适应地址，对各个温度传感器进行编号，并接收各个温度传感器采集的温度数据，并将所述各个温度传感器采集的温度数据存储在与温度传感器编号对应的存储空间内。
可选地，所述湿度检测模块用于根据各个湿度传感器的无线自适应地址，对各个湿度传感器进行编号，并接收各个湿度传感器采集的湿度数据，并将所述各个湿度传感器采集的湿度数据存储在与湿度传感器编号对应的存储空间内。
可选地，所述服务器用于根据所述静电产生分布图，确定易发生静电区域，并确定所述易发生静电区域内的第一静电检测设备编号，并向与所述第一静电检测设备编号对应的第一静电检测设备发送设备常开指令，以使所述第一静电检测设备持续执行检测静电数据的操作。
可选地，所述服务器用于根据所述静电产生分布图，确定不易发生静电区域，确定所述不易发生静电区域内的第二静电检测设备编号，并向与所述第二静电检测设备编号对应的第二静电检测设备发送间歇性启停指令，以使所述第二静电检测设备间歇执行检测静电数据的操作。
可选地，所述服务器分别与所述视频监控模块、所述静电检测模块、所述温度检测模块采用WIFI模块或蓝牙相连。
本发明实施例第二方面提供一种基于第一方面提供的静电消除系统的静电消除方法，所述方法包括：
获取预设区域内的监测数据，其中，所述监测数据至少包括视频监控数据、静电数据、温度数据、湿度数据中的一种或多种；
根据静电数据，确定静电产生分布图，其中所述静电产生分布图包括易发生静电区域和不易发生静电区域；
根据所述易发生静电区域和不易发生静电区域，向静电检测装置发送启停指令；
将所述视频监控数据、温度数据和湿度数据输入到预先训练好的静电控制模型，生成控制指令；
根据所述控制指令、所述易发生静电区域和所述不易发生静电区域，控制离子风机运行，以使所述离子风机进行静电消除。
可选地，所述方法还包括：
根据所述视频监控数据、静电数据、温度数据、湿度数据，分别生成对应的区块链；
将各个区块链进行存储。
本发明实施例提供静电消除系统及静电消除方法，该静电消除系统至少包括视频监控模块、静电检测模块、温度检测模块、湿度检测模块、服务器和离子风机，其中，视频监控模块用于获取预设区域内的视频监控数据；静电检测模块用于获取预设区域内的静电数据；温度检测模块用于获取预设区域内的温度数据；湿度检测模块用于获取预设区域内的湿度数据；服务器用于根据静电数据生成静电产生分布图，并根据静电产生分布图，向静电检测装置发送启停指令；还用于将视频监控数据、温度数据和湿度数据输入到预先训练好的静电控制模型，生成控制指令，并根据控制指令控制离子风机运行，以使离子风机进行静电消除，通过各个模块获取到环境参数，并获取到易发生静电区域，并向离子风机发送控制指令，以使所述离子风机消除静电，可以灵活配置静电检测设备和离子风机，提高消除静电效率。
附图说明
图1为本发明实施例中提供的静电消除系统的结构框图；
图2为本发明实施例中提供的又一静电消除系统的结构框图；
图3为本发明实施例中提供的静电消除方法的流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，本发明实施例中提供的静电消除系统的结构框图，本发明实施例中静电消除系统至少包括视频监控模块103、静电检测模块102、温度检测模块104、湿度检测模块105、服务器101和离子风机，其中，
视频监控模块103用于获取预设区域内的视频监控数据；
静电检测模块102用于获取预设区域内的静电数据；
温度检测模块104用于获取预设区域内的温度数据；
湿度检测模块105用于获取预设区域内的湿度数据；
服务器101用于根据静电数据生成静电产生分布图，并根据静电产生分布图，向静电检测装置发送启停指令；还用于将视频监控数据、温度数据和湿度数据输入到预先训练好的静电控制模型，生成控制指令，并根据控制指令控制离子风机运行，以使离子风机进行静电消除。
具体地，在预设区域内，例如在某一个半导体生产车间内，可以设置多个视频监控模块、静电检测模块、温度检测模块、湿度检测模块和离子风机，然后，将各个视频监控模块、静电检测模块、温度检测模块、湿度检测模块和离子风机分别与服务器相连。其中，各个视频监控模块、静电检测模块、温度检测模块、湿度检测模块可以放置在任意位置，用户可以根据需要放置进行放置。
可选地，视频监控模块用于根据各个监控设备的无线自适应地址，对各个监控设备进行编号，并接收各个监控设备采集的视频监控数据，并将各个监控设备采集的视频监控数据存储在与监控设备编号对应的存储空间内。
示例性地，可以设置4个监控设备，例如在车间内的4个角上各设置一个摄像机，用于采集视频监控数据，然后将各个摄像机采集的视频监控数据发送至服务器，在服务器为各个摄像头分配不同的存储空间，并为每个存储空间进行编码，与摄像机的编码相对应。服务器在接收到各个监控设备发送的视频监控数据，并存储在与监控设备编码对应的存储空间内。
可选地，静电检测模块用于根据各个静电检测设备的无线自适应地址，对各个静电检测设备进行编号，并接收各个静电检测设备采集的静电数据，并将各个静电检测设备采集的静电数据存储在与静电检测设备编号对应的存储空间内。
示例性地，可以设置10个静电检测设备，例如在车间内不同位置上各设置一个静电检测设备，用于采集静电数据，然后将各个静电检测设备采集的静电数据发送至服务器，在服务器为各个静电检测设备分配不同的存储空间，并为每个存储空间进行编码，与静电检测设备的编码相对应。服务器在接收到各个静电检测设备发送的视频监控数据，并存储在与静电检测设备编码对应的存储空间内。
可选地，温度检测模块用于根据各个温度传感器的无线自适应地址，对各个温度传感器进行编号，并接收各个温度传感器采集的温度数据，并将各个温度传感器采集的温度数据存储在与温度传感器编号对应的存储空间内。
示例性地，可以设置3个温度传感器，例如在车间内不同位置上各设置一个温度传感器，用于采集空间内的温度数据，然后将各个温度传感器采集的温度数据发送至服务器，在服务器为各个温度传感器分配不同的存储空间，并为每个存储空间进行编码，与温度传感器的编码相对应。服务器在接收到各个温度传感器发送的温度数据，并存储在与温度传感器编码对应的存储空间内。
可选地，湿度检测模块用于根据各个湿度传感器的无线自适应地址，对各个湿度传感器进行编号，并接收各个湿度传感器采集的湿度数据，并将各个湿度传感器采集的湿度数据存储在与湿度传感器编号对应的存储空间内。
示例性地，可以设置3个湿度传感器，例如在车间内不同位置上各设置一个湿度传感器，用于采集空间内的湿度数据，然后将各个湿度传感器采集的湿度数据发送至服务器，在服务器为各个湿度传感器分配不同的存储空间，并为每个存储空间进行编码，与湿度传感器的编码相对应。服务器在接收到各个湿度传感器发送的湿度数据，并存储在与湿度传感器编码对应的存储空间内。
可选地，服务器用于根据静电产生分布图，确定易发生静电区域，并确定易发生静电区域内的第一静电检测设备编号，并向与第一静电检测设备编号对应的第一静电检测设备发送设备常开指令，以使第一静电检测设备持续执行检测静电数据的操作。
具体地，服务器根据各个静电检测设备获取的静电数据和采集位置，生成静电产生分布图，若静电数据大于预设值，则将该静电数据对应的区域确定为易发生静电区域；若静电数据小于预设值，则将该静电数据对应的区域确定为不易发生静电区域。
可选地，服务器用于根据静电产生分布图，确定不易发生静电区域，确定不易发生静电区域内的第二静电检测设备编号，并向与第二静电检测设备编号对应的第二静电检测设备发送间歇性启停指令，以使第二静电检测设备间歇执行检测静电数据的操作。
可选地，服务器分别与视频监控模块、静电检测模块、温度检测模块采用WIFI模块或蓝牙相连。
图2为本发明实施例中提供的又一静电消除系统的结构框图，如图2所示，服务器接收各个静电场探测器（静电检测装置）采集的静电检测数据，服务器对静电检测数据进行处理后，得到静电测量数据分布图，即静电场易发生区域和静电场不易发生区域，然后将静电场易发生区域和静电场不易发生区域发送至电脑终端，通过电脑终端向静电检测装置发送设备常开指令或者间歇性启停指令，从而可以实时检测预设区域内各个位置的静电检测参数。
图3为本发明实施例中提供的静电消除方法的流程示意图，如图3所示，基于上述的静电消除系统，本发明实施例提供的静电消除方法包括：
步骤S1、获取预设区域内的监测数据，其中，监测数据至少包括视频监控数据、静电数据、温度数据、湿度数据中的一种或多种；
步骤S2、根据静电数据，确定静电产生分布图，其中静电产生分布图包括易发生静电区域和不易发生静电区域；
步骤S3、根据易发生静电区域和不易发生静电区域，向静电检测装置发送启停指令；
步骤S4、将视频监控数据、温度数据和湿度数据输入到预先训练好的静电控制模型，生成控制指令；
步骤S5、根据控制指令、易发生静电区域和不易发生静电区域，控制离子风机运行，以使离子风机进行静电消除。
具体地，服务器根据易发生静电区域，向离子风机发送控制指令，以使离子风机运动到该易发生静电区域，进行静电消除。
可选地，该方法还包括：
根据视频监控数据、静电数据、温度数据、湿度数据，分别生成对应的区块链；
将各个区块链进行存储。
本发明实施例提供的静电消除系统及静电消除方法，该静电消除系统至少包括视频监控模块、静电检测模块、温度检测模块、湿度检测模块、服务器和离子风机，其中，视频监控模块用于获取预设区域内的视频监控数据；静电检测模块用于获取预设区域内的静电数据；温度检测模块用于获取预设区域内的温度数据；湿度检测模块用于获取预设区域内的湿度数据；服务器用于根据静电数据生成静电产生分布图，并根据静电产生分布图，向静电检测装置发送启停指令；还用于将视频监控数据、温度数据和湿度数据输入到预先训练好的静电控制模型，生成控制指令，并根据控制指令控制离子风机运行，以使离子风机进行静电消除，通过各个模块获取到环境参数，并获取到易发生静电区域，并向离子风机发送控制指令，以使离子风机消除静电，可以灵活配置静电检测设备和离子风机，提高消除静电效率。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种静电消除系统，其特征在于，所述静电消除系统至少包括视频监控模块、静电检测模块、温度检测模块、湿度检测模块、服务器和离子风机，其中，
所述视频监控模块用于获取预设区域内的视频监控数据；
所述静电检测模块用于获取预设区域内的静电数据；
所述温度检测模块用于获取预设区域内的温度数据；
所述湿度检测模块用于获取预设区域内的湿度数据；
所述服务器用于根据所述静电数据生成静电产生分布图，并根据所述静电产生分布图，向静电检测装置发送启停指令；还用于将所述视频监控数据、温度数据和湿度数据输入到预先训练好的静电控制模型，生成控制指令，并根据所述控制指令控制离子风机运行，以使所述离子风机进行静电消除。
2.根据权利要求1所述的静电消除系统，其特征在于：所述视频监控模块用于根据各个监控设备的无线自适应地址，对各个监控设备进行编号，并接收各个监控设备采集的视频监控数据，并将所述各个监控设备采集的视频监控数据存储在与监控设备编号对应的存储空间内。
3.根据权利要求2所述的静电消除系统，其特征在于：所述静电检测模块用于根据各个静电检测设备的无线自适应地址，对各个静电检测设备进行编号，并接收各个静电检测设备采集的静电数据，并将所述各个静电检测设备采集的静电数据存储在与静电检测设备编号对应的存储空间内。
4.根据权利要求2所述的静电消除系统，其特征在于：所述温度检测模块用于根据各个温度传感器的无线自适应地址，对各个温度传感器进行编号，并接收各个温度传感器采集的温度数据，并将所述各个温度传感器采集的温度数据存储在与温度传感器编号对应的存储空间内。
5.根据权利要求2所述的静电消除系统，其特征在于：所述湿度检测模块用于根据各个湿度传感器的无线自适应地址，对各个湿度传感器进行编号，并接收各个湿度传感器采集的湿度数据，并将所述各个湿度传感器采集的湿度数据存储在与湿度传感器编号对应的存储空间内。
6.根据权利要求3所述的静电消除系统，其特征在于：所述服务器用于根据所述静电产生分布图，确定易发生静电区域，并确定所述易发生静电区域内的第一静电检测设备编号，并向与所述第一静电检测设备编号对应的第一静电检测设备发送设备常开指令，以使所述第一静电检测设备持续执行检测静电数据的操作。
7.根据权利要求3所述的静电消除系统，其特征在于：所述服务器用于根据所述静电产生分布图，确定不易发生静电区域，确定所述不易发生静电区域内的第二静电检测设备编号，并向与所述第二静电检测设备编号对应的第二静电检测设备发送间歇性启停指令，以使所述第二静电检测设备间歇执行检测静电数据的操作。
8.根据权利要求1所述的静电消除系统，其特征在于：所述服务器分别与所述视频监控模块、所述静电检测模块、所述温度检测模块采用WIFI模块或蓝牙相连。
9.一种基于如权利要求1-8的任一所述静电消除系统的静电消除方法，其特征在于，所述方法包括：
获取预设区域内的监测数据，其中，所述监测数据至少包括视频监控数据、静电数据、温度数据、湿度数据中的一种或多种；
根据静电数据，确定静电产生分布图，其中所述静电产生分布图包括易发生静电区域和不易发生静电区域；
根据所述易发生静电区域和不易发生静电区域，向静电检测装置发送启停指令；
将所述视频监控数据、温度数据和湿度数据输入到预先训练好的静电控制模型，生成控制指令；
根据所述控制指令、所述易发生静电区域和所述不易发生静电区域，控制离子风机运行，以使所述离子风机进行静电消除。
10.根据权利要求9所述的静电消除方法，其特征在于，所述方法还包括：
根据所述视频监控数据、静电数据、温度数据、湿度数据，分别生成对应的区块链；
将各个区块链进行存储。
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