CN108607943A - 锻造方法及靶材的形成方法 - Google Patents

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CN108607943A CN201611129168.8A CN201611129168A CN108607943A CN 108607943 A CN108607943 A CN 108607943A CN 201611129168 A CN201611129168 A CN 201611129168A CN 108607943 A CN108607943 A CN 108607943A
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Abstract

本发明提供一种锻造方法及靶材的形成方法，其中，锻造方法包括：提供铸锭，所述铸锭为柱体；对所述铸锭进行第一锻造和第二锻造，形成锻锭，所述第一锻造的方向沿所述铸锭轴向，所述第二锻造的方向垂直于铸锭轴向。其中，通过第一锻造和第二锻造细化铸锭的晶粒，能够在沿铸锭的轴向和垂直于所述铸锭的轴向上对铸锭进行锻造，从而能够使铸锭在各个方向上均受力，从而能够充分对晶粒进行细化，减少所形成靶材表面的乱花。

Description

锻造方法及靶材的形成方法
技术领域
本发明涉及金属锻造领域，尤其涉及一种锻造方法及靶材的形成方法。
背景技术
金属锻造是一种利用锻压机对金属坯料施加压力，使其产生塑性变形的成型加工处理方法。通过锻造工艺可以获得具有一定机械性能、一定形状和尺寸的锻件。通过锻造能够消除金属在冶炼过程中产生的铸态疏松等缺陷，优化微观组织结构。同时由于锻造保存了完整的金属流线，锻件的机械性能一般优于同样材料的铸锭。锻造在负载高、工作条件严峻的重要机械零件的制造中具有重要应用。
钛靶材是制造集成电路常用的靶材料。集成电路要求钛溅射靶材的晶粒细小均匀，平均晶粒尺寸小于等于50μm。钛靶材的制备工艺包括：熔铸、压力加工、退火等一系列工艺。由于熔铸得到的铸锭内部组织疏松、晶粒粗大，表面具有乱花，需要经过锻造细化晶粒、消除表面乱花。
然而，现有技术形成的钛靶材仍然存在晶粒粗大、表面乱花较多的缺点。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种锻造方法及靶材的形成方法，能够细化靶材晶粒，减小靶材表面的乱花。
为解决上述问题，本发明提供一种锻造方法，包括：提供铸锭，所述铸锭为柱体；对所述铸锭进行第一锻造和第二锻造，形成锻锭，所述第一锻造的方向沿所述铸锭轴向，所述第二锻造的方向垂直于铸锭轴向。
可选的，所述第一锻造的步骤包括：沿所述铸锭轴向对所述铸锭施加压力，使所述铸锭的长度减小，所述铸锭的直径增加，形成初始锻锭。
可选的，所述第二锻造的步骤包括：沿第一方向对所述初始锻锭施加压力，形成径向锻锭，所述第一方向垂于所述初始锻锭的轴向；沿第二方向对所述径向锻锭施加压力，形成锻锭，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述第二方向垂于所述初始锻锭的轴向。
可选的，所述锻锭的横截面为正方形。
可选的，所述第一锻造使所述铸锭的轴向的减小量大于45％，所述第二锻造使所述初始锻锭的轴向增加量大于70％。
可选的，所述铸锭的长度为700mm～900mm，所述初始锻锭的长度为350mm～450mm。
可选的，初始锻锭的长度为350mm～450mm；所述锻锭的长度为1450mm～1750mm。
可选的，所述第一锻造的时间小于50min；所述第二锻造的时间小于50min。
可选的，进行所述第一锻造之后，进行所述第二锻造，或者进行所述第一锻造之前，进行所述第二锻造。
可选的，通过油压机进行所述第一锻造和第二锻造。
相应的，本发明还提供一种靶材的形成方法，包括：提供铸锭，所述铸锭为柱体；对所述铸锭进行第一锻造和第二锻造，形成锻锭，所述第一锻造的方向沿所述铸锭轴向，所述第二锻造的方向垂直于铸锭轴向；对所述锻锭进行成型加工处理，形成靶材。
可选的，所述成型加工处理的步骤包括：对所述锻锭进行滚圆处理，形成锻件。
可选的，滚圆处理之后，还包括：对所述锻件进行第一退火处理。
可选的，所述铸锭为圆柱体，所述锻件为圆柱体；所述铸锭横截面的直径为350mm～450mm，所述锻件横截面的直径为170mm～210mm。
可选的，所述成型加工处理的步骤还包括：对所述锻件进行切割处理，形成切块。
可选的，所述切割处理之后，对所述切块进行压延处理，减小所述切块的长度，形成初始靶材。
可选的，所述切块为圆柱体，所述切块的长度小于或等于90mm。
可选的，进行压延处理之前，还包括：对所述切块进行第三锻造。
可选的，所述切块为柱体，所述第三锻造包括：沿所述切块轴向对所述切块进行拔长处理；拔长处理之后，沿所述切块轴向对所述切块进行镦粗处理。
可选的，所述压延处理之后，对所述初始靶材进行第二退火处理。
与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：
本发明技术方案提供的锻造方法中，通过第一锻造和第二锻造细化铸锭的晶粒，在沿铸锭的轴向和垂直于所述铸锭的轴向上对铸锭进行锻造，从而能够使铸锭在各个方向上均受力，从而能够在各个方向上对晶粒进行细化，进而能够充分对晶粒进行细化，减少所形成锻锭表面的乱花。
进一步，在第一锻造过程中，保证所述铸锭具有一定的变形量，在所述第二锻造过程中，保证所述初始锻锭具有一定的变形量，所述第一锻造和第二锻造时间小于50min，能够保证所述第一锻造和第二锻造具有较高的锻打频率，从而能够在第一锻造和第二锻造过程中，减小铸锭的弹性恢复量，进而能够充分破坏铸锭中的柱状晶粒，从而能够更充分地细化晶粒。
本发明技术方案提供的靶材形成方法中，通过第一锻造和第二锻造细化铸锭的晶粒，在沿铸锭的轴向和垂直于所述铸锭的轴向上对铸锭进行锻造，从而能够使铸锭在各个方向上均受力，从而能够在各个方向上对晶粒进行细化，进而能够充分对晶粒进行细化，形成晶粒细小的锻锭。综上，由所述锻锭形成的靶材的晶粒较细，从而能够在溅射技术中形成晶粒细小的薄膜，进而使形成的金属结构的线宽较小，提高所形成的半导体结构的性能。
进一步，所述第一锻造和第二锻造之后，进行所述第一退火处理。所述第一退火处理能够使所述铸锭在第一锻造和第二锻造过程中产生的应力得以释放，并使晶粒再结晶，从而提高所形成靶材的塑性。
进一步，所述压延处理之后，对所述切块进行第二退火处理。所述第二退火处理能够使切块在压延过程中产生的应力得以释放。
进一步，对所述铸锭进行切割处理之前，进行所述第一锻造和第二锻造，能够提高锻造的效率，且使被氧化的铸锭质量比较小，从而能够节约材料。
附图说明
图1至图5是本发明的锻造方法一实施例各步骤的结构示意图；
图6至图10是本发明的靶材的形成方法一实施例各步骤的结构示意图。
具体实施方式
靶材的形成方法存在诸多问题，例如：所形成的靶材晶粒粗大、表面乱花较多。
现结合一种形成靶材的方法，分析所形成的靶材晶粒粗大、表面乱花较多的原因：
所述靶材的形成方法包括：提供铸锭，所述铸锭为圆柱体；沿铸锭直径方向对所述铸锭进行锻造，形成锻件；对所述锻件进行成型加工处理，形成靶材。
其中，由于铸锭内的组织疏松、铸锭内晶粒粗大，容易使组件表面出现乱花。对所述铸锭进行锻造有利于细化铸锭的晶粒，减小铸锭内组织分层，减少靶材表面的乱花。
沿铸锭直径方向对铸锭进行锻造能够保持铸锭的外形，简化工艺流程，同时铸锭的侧面积较大，可以通过对铸锭侧壁施加压力，从而沿铸锭直径方向对铸锭进行锻造，能够降低铸造能耗。然而由于所述形成方法中仅沿铸锭直径方向对铸锭进行锻造，铸锭的变形量小，晶粒受力不均匀，从而很难使晶粒充分细化，进而不容易消除靶材表面的乱花。
为解决所述技术问题，本发明提供了一种锻造方法，包括：提供铸锭，所述铸锭为柱体；对所述铸锭进行第一锻造和第二锻造，形成锻锭，所述第一锻造的方向沿所述铸锭轴向，所述第二锻造的方向垂直于铸锭轴向。
其中，通过第一锻造和第二锻造细化铸锭的晶粒，在沿铸锭的轴向和垂直于所述铸锭的轴向上对铸锭进行锻造，从而能够使铸锭在各个方向上均受力，从而能够在各个方向上对晶粒进行细化，进而能够充分对晶粒进行细化，减少所形成锻锭表面的乱花。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
图1至图5是本发明的靶材的形成方法一实施例各步骤的结构示意图。
请参考图1，图1中b图是a图的自X方向的视图，提供铸锭100。
本实施例中，所述铸锭100为钛锭。具体的，所述铸锭100的材料为钛，所述铸锭100的纯度为99.9％～99.999％。在其他实施例中，所述铸锭的材料还可以为钛合金。
本实施例中，所述铸锭100为圆柱体。所述铸锭100横截面直径D0为350mm～450mm，例如400mm。在其他实施例中，所述铸锭还可以为横截面为正多边形的棱柱。
本实施例中，所述铸锭100的长度为700mm～900mm，例如800mm。
请参考图2，对所述铸锭100进行预热处理。
所述预热处理用于提高所述铸锭100的塑性，为后续第一锻造和第二锻造创造条件。
本实施例中，所述预热处理的步骤包括：提供加热炉210；将所述加热炉210升温至第一预热温度；将所述加热炉210升温至第一预热温度之后，将所述铸锭100放入所述加热炉210内；将所述铸锭100放入所述加热炉210内之后，使所述加热炉210升温至第二预热温度；使所述加热炉210升温至第二预热温度之后，对所述铸锭100进行保温。
所述第一预热温度过高，容易使铸锭100受到较大的热冲击，从而容易增加所述铸锭100中的裂纹；如果所述第一预热温度过低，容易降低预热效率。具体的，本实施例中，所述第一预热温度为700℃～850℃，例如800℃。
需要说明的是，当钛锭处于α相时为密排六方晶系，钛锭中的原子排列紧密，所述铸锭100的塑性较差。当温度上升至所述钛锭的相变温度时，钛锭由α相转变为β相，钛锭的晶格结构由立方晶系转变为单斜晶系，塑性增加。因此，所述铸锭100的锻造温度应选在所述铸锭100的相变温度附近。由于所述铸锭100在第一锻造和第二锻造过程中，铸锭200的温度会降低，因此所述第二预热温度应该高于钛锭的相变温度。具体的，所述第二预热温度比所述铸锭100的相变温度高50～100摄氏度，具体的，所述第二预热温度为870℃～950℃，例如900℃。
如果使所述加热炉210升温至第二预热温度的过程中，升温速度过快，不容易使所述铸锭100中的应力释放，从而容易使所述铸锭100内产生微裂纹；如果升温速度过慢，容易降低锻造的效率。具体的，本实施例中，使所述加热炉210升温至第二预热温度的过程中，升温速度为1.3℃/min～1.7℃/min，例如1.5℃/min。
如果保温时间过短，不容易使铸锭100受热均匀，从而容易对后续的第一锻造和第二锻造产生影响；如果保温时间过长，容易降低生产效率。具体的，本实施例中，所述保温时间为1小时～1.5小时。
请参考图3，图3中的铸锭100为沿垂直于所述铸锭100轴向的视图，沿所述铸锭100轴向对所述铸锭100进行第一锻造，形成初始锻锭。
所述第一锻造能够在所述铸锭100轴向上对所述铸锭100施加压力，使所述铸锭100晶粒承受沿铸锭100轴向的应力，从而细化铸锭100内的晶粒，减小所述铸锭100表面的花纹。
本实施例中，通过油压机沿所述铸锭100轴向对所述铸锭100施加压力，形成初始锻锭110。
本实施例中，所述油压机包括两个相对的砧板200，本实施例中，通过所述砧板200对所述铸锭100施加压力。
如果所述第一锻造使所述铸锭100的变形量过小，很难破坏所述铸锭100的内部组织，从而很难细化所述铸锭100的晶粒。所述第一锻造使所述铸锭100在轴向的变形量大于45％。
具体的，本实施例中，所述第一锻造使所述初始锻锭110的长度为350mm～450mm，例如400mm。
后续沿所述铸锭100垂直于轴向的方向对所述初始锻锭110进行第二锻造。
所述第二锻造的步骤如图4和图5所示。
请参考图4，沿第一方向对所述初始锻锭110施加压力，形成径向锻锭120，所述第一方向垂于所述铸锭100的轴向。
需要说明的是，本实施例中，进行所述第一锻造之后，进行所述第二锻造。在其他实施例中，还可以在所述第一锻造之前，进行所述第二锻造。
所述第二锻造用于在垂直于所述初始锻锭110的轴向上对所述初始锻锭110的晶粒施加应力，从而使初始锻锭110晶粒细化。
本实施例中，通过所述砧板200沿第一方向对所述初始锻锭110施加压力，使所述初始锻锭110与砧板200接触的面形成平面。
请参考图5，沿所述第二方向对所述径向锻锭120施加压力，形成锻锭121，所述第二方向与所述第一方向垂直，且所述第二方向垂于所述径向锻锭120的轴向。
本实施例中，通过使所述砧板200旋转90°，使砧板200沿所述第二方向对所述径向锻锭120施加压力，使所述砧板200与所述锻锭121接触的面形成平面。
本实施例中，通过砧板200沿第一方向和第二方向对初始锻锭110(如图4所示)施加压力，使所述锻锭121的横截面为正方形。在其他实施例中，还可以沿多个方向对所述初始锻锭施加压力，使所述锻锭的横截面为正多边形。
需要说明的是，在进行所述第二锻造的过程中，所述初始锻锭110(如图4所示)会沿轴向发生变形，也就是，所述初始锻锭110沿轴向被拔长，形成锻锭121。
如果所述第二锻造使所述初始锻锭110的变形量过小，不容易细化所述初始锻锭110内的晶粒。所述第二锻造使所述初始锻锭110沿初始锻锭110轴向的变形量大于70％。
如果所形成锻锭121的长度过小，所述第二锻造使所述初始锻锭110的变形量较小，不容易细化所述初始锻锭110内的晶粒；如果所形成锻锭121的长度过大，容易增加工艺难度。具体的，本实施例中，锻锭121的长度为1450mm～1750mm，例如，1600mm。
本实施例中，所述第一锻造和第二锻造之后，还包括：对所述锻锭121进行退火处理。
所述退火处理用于使所述锻锭121的应力得以释放，从而减小所述锻锭121中的裂纹。
综上，本实施例提供的锻造方法中，通过第一锻造和第二锻造细化铸锭的晶粒，在沿铸锭的轴向和垂直于所述铸锭的轴向上对铸锭进行锻造，从而能够使铸锭在各个方向上均受力，从而能够在各个方向上对晶粒进行细化，进而能够充分对晶粒进行细化，减少所形成锻锭表面的乱花。
进一步，在第一锻造过程中，保证所述铸锭具有一定的变形量，在所述第二锻造过程中，保证所述初始锻锭具有一定的变形量，所述第一锻造和第二锻造时间小于50min，能够保证所述第一锻造和第二锻造具有较高的锻打频率，从而能够在第一锻造和第二锻造过程中，减小铸锭的弹性恢复量，进而能够充分破坏铸锭中的柱状晶粒，从而能够更充分地细化晶粒。
图6至图10是本发明的靶材的形成方法一实施例各步骤的结构示意图。
所述靶材的形成方法包括：提供铸锭，所述铸锭为柱体；对所述铸锭进行第一锻造和第二锻造，形成锻锭，所述第一锻造的方向沿所述铸锭轴向，所述第二锻造的方向垂直于铸锭轴向。
本实施例中，形成所述锻锭的方法与图1至图5所示的锻造方法相同，在此不做赘述。
后续对所述锻锭进行成型加工处理形成靶材。本实施例中，所述成型加工处理的步骤如图6至图10所示。
请参考图6，所述第一铸造和第二铸造之后，对所述锻锭121(如图5所示)进行滚圆处理，形成锻件130。
所述滚圆处理用于使所述锻件130的横截面为圆形。
本实施例中，通过径锻机对所述锻锭121进行滚圆处理。
本实施例中，所述锻件130横截面的直径为170mm～210mm。
需要说明的是，在所述第一锻造和第二锻造的过程中，所述铸锭100的温度会逐渐降低。为了使后续的滚圆处理过程中，所述锻锭121具有足够的塑性，本实施例中，所述第二锻造之后，还包括：对所述锻锭121进行加热处理。
本实施例中，所述加热处理的步骤包括：将所述锻锭121放入所述加热炉210(如图2所示)内；使所述加热炉210升温至加热温度之后，进行保温处理；保温处理之后，取出所述锻锭121。
如果所述加热温度过低，不容易增加所述锻锭121的塑性，从而容易增加后续滚圆处理的难度；如果所述加热温度过高，容易增加能量浪费。具体的，本实施例中，所述加热温度为640℃～660℃。
如果保温时间过短，不容易使锻锭121受热均匀，从而容易给后续的滚圆处理带来困难；如果保温时间过长，容易增加能量浪费。具体的，本实施例中，保温时间为20min～30min。
请参考图7，对所述锻件130进行第一退火处理。
所述第一退火处理用于使第一锻造、第二锻造和滚圆处理过程中锻件130内产生的应力释放，从而减少锻件130内的缺陷。同时所述第一退火处理可以提高锻件130的塑性，改善力学性能。
本实施例中，通过所述加热炉210对所述锻件130进行第一退火处理。
本实施例中，进行所述第一退火处理的步骤包括：将所述锻件130放入所述加热炉210内；使加热炉210升温至第一退火温度，对所述锻件130进行加热；对所述锻件130进行加热之后，关闭加热炉，对所述锻件130进行第一冷却处理。
如果第一退火温度过低不容易使锻件130内的应力充分释放；如果所述第一退火温度过高容易产生能量浪费。具体的，本实施例中，所述第一退火温度为400℃～500℃，例如，450℃。
如果第一退火的时间过短不容易使锻件130内的应力充分释放；如果所述第一退火的时间过长容易产生能量浪费。具体的，本实施例中，所述第一退火的时间为100min～140min，例如，120min。
本实施例中，对所述锻件130进行第一冷却处理的步骤包括：关闭加热炉210，使所述锻件130随炉冷却。
使所述锻件130随炉冷却能够降低所述第一冷却处理的速度，从而能够使所述锻件130中的应力得以充分释放。在其他实施例中，还可以使所述锻件自然冷却。
本实施例中，所述第一退火处理之后，还包括：对所述锻件130进行车削外圆处理。所述车削外圆处理用于去除所述锻件130表面的氧化物。
如果车削量过小，不容易使锻件130表面的氧化物去除干净；如果车削量过大，容易产生材料浪费。具体的，本实施例中，经过车削外圆处理后，所述锻件130的直径为160mm～200mm，例如，180mm。
请参考图8，对锻件130(如图7所示)进行切割处理，形成切块140。
本实施例中，所述第一退火之后，通过对所述锻件130进行切割处理，形成切块140。
所述切割处理用于将整根锻件130分割为多块用于形成靶材的切块140。
对所述锻件130进行切割处理之前，进行所述第一锻造和第二锻造，能够提高锻造的效率，且能够减少在第一锻造和第二锻造过程中与空气接触的铸锭材料，从而能够减少铸锭的氧化，进而能够节约材料。
本实施例中，沿所述锻件130的横截面进行切割处理，将所述锻件130切分为长度较小的切块140。
本实施例中，所述切块140为圆柱体。
本实施例中，所述切块140的长度为沿所述切块140轴向的尺寸。
如果所述切块140的长度过大，在后续的压延过程中，容易使切块140边缘产生折叠，具体的，本实施例中，所述切块140的长度小于或等于90mm。
本实施例中，进行压延处理之前，还包括：对所述切块140进行第三锻造。
所述第三锻造用于进一步细化所述切块140的晶粒，增加切块140的塑性，从而使切块140边缘不容易产生折叠。
本实施例中，所述切块140为柱体，所述第三锻造包括：沿所述切块140轴向对所述切块140进行拔长处理；拔长处理之后，沿所述切块140轴向对所述切块140进行镦粗处理。
具体的，在所述拔长处理的过程中，使切块140的长度为原来的1.8倍～2.2倍，例如2倍。在对所述切块140进行镦粗处理之后，所述切块140的长度为拔长处理之前的0.9倍～1.1倍，例如1倍。
请参考图9，对所述切块140(请参考图8)进行压延处理，减小所述切块140的厚度，形成初始靶材150。
所述压延处理用于使所述切块140的厚度减小，形成初始靶材150。
本实施例中，通过压延机对所述切块140进行压延处理。所述压延机包括辊筒，所述切块140在辊筒的压力下延展成为薄膜或片材，形成初始靶材150。
请参考图10，所述压延处理之后，对所述初始靶材150进行第二退火处理。
所述第二退火处理用于使压延处理过程中初始靶材150内产生的应力释放，从而减少初始靶材150内的裂纹。同时所述第二退火处理可以提高初始靶材150的塑性，改善力学性能。
本实施例中，通过所述加热炉210对所述初始靶材150进行第二退火处理。
本实施例中，进行所述第二退火处理的步骤包括：将所述初始靶材150放入所述加热炉210内；使加热炉升温至第二退火温度，对所述初始靶材150进行加热；对所述初始靶材150进行加热之后，对所述初始靶材150进行第二冷却处理。
如果第二退火温度过低不容易使初始靶材150内的应力充分释放；如果所述第二退火温度过高容易产生能量浪费。具体的，本实施例中，所述第二退火温度为400℃～500℃，例如，430℃。
如果第二退火的时间过短不容易使初始靶材150内的应力充分释放；如果所述第二退火的时间过长容易产生能量浪费。具体的，本实施例中，所述第二退火的时间为100min～140min，例如，120min。
本实施例中，所述初始靶材150进行第二冷却处理的步骤包括：将所述初始靶材150放入冷却水中。将所述初始靶材150放入冷却水中进行冷却能够提高所述第二冷却处理的速度，提高生产效率。
在其他实施例中，还可以使所述初始靶材随炉冷却或自然冷却。
综上，本发明实施例提供的靶材形成方法中，通过第一锻造和第二锻造细化铸锭的晶粒，在沿铸锭的轴向和垂直于所述铸锭的轴向上对铸锭进行锻造，从而能够使铸锭在各个方向上均受力，从而能够在各个方向上对晶粒进行细化，进而能够充分对晶粒进行细化，形成晶粒细小的锻锭。综上，由所述锻锭形成的靶材的晶粒较细，从而能够在溅射技术中形成晶粒细小的薄膜，进而使形成的金属结构的线宽较小，提高所形成的半导体结构的性能。
进一步，所述第一锻造和第二锻造之后，进行所述第一退火处理。所述第一退火处理能够使所述铸锭在第一锻造和第二锻造过程中产生的应力得以释放，并使晶粒再结晶，从而提高所形成靶材的塑性。
进一步，所述压延处理之后，对所述切块进行第二退火处理。所述第二退火处理能够使切块在压延过程中产生的应力得以释放。
进一步，对所述铸锭进行切割处理之前，进行所述第一锻造和第二锻造，能够提高锻造的效率，且使被氧化的铸锭质量比较小，从而能够节约材料。
虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (20)

1.一种锻造方法，其特征在于，包括：
提供铸锭，所述铸锭为柱体；
对所述铸锭进行第一锻造和第二锻造，形成锻锭，所述第一锻造的方向沿所述铸锭轴向，所述第二锻造的方向垂直于铸锭轴向。
2.如权利要求1所述的锻造方法，其特征在于，所述第一锻造的步骤包括：沿所述铸锭轴向对所述铸锭施加压力，使所述铸锭的长度减小，所述铸锭的直径增加，形成初始锻锭。
3.如权利要求2所述的锻造方法，其特征在于，所述第二锻造的步骤包括：沿第一方向对所述初始锻锭施加压力，形成径向锻锭，所述第一方向垂于所述初始锻锭的轴向；沿第二方向对所述径向锻锭施加压力，形成锻锭，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述第二方向垂于所述初始锻锭的轴向。
4.如权利要求3所述的锻造方法，其特征在于，所述锻锭的横截面为正方形。
5.如权利要求3所述的锻造方法，其特征在于，所述第一锻造使所述铸锭的轴向的减小量大于45％，所述第二锻造使所述初始锻锭的轴向增加量大于70％。
6.如权利要求5所述的锻造方法，其特征在于，所述铸锭的长度为700mm～900mm，所述初始锻锭的长度为350mm～450mm。
7.如权利要求5所述的锻造方法，其特征在于，初始锻锭的长度为350mm～450mm；所述锻锭的长度为1450mm～1750mm。
8.如权利要求1或5所述的锻造方法，其特征在于，所述第一锻造的时间小于50min；所述第二锻造的时间小于50min。
9.如权利要求1所述的锻造方法，其特征在于，进行所述第一锻造之后，进行所述第二锻造，或者进行所述第一锻造之前，进行所述第二锻造。
10.如权利要求1所述的锻造方法，其特征在于，通过油压机进行所述第一锻造和第二锻造。
11.一种靶材的形成方法，其特征在于，包括：
提供铸锭，所述铸锭为柱体；
对所述铸锭进行第一锻造和第二锻造，形成锻锭，所述第一锻造的方向沿所述铸锭轴向，所述第二锻造的方向垂直于铸锭轴向；
对所述锻锭进行成型加工处理，形成靶材。
12.如权利要求11所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述成型加工处理的步骤包括：对所述锻锭进行滚圆处理，形成锻件。
13.如权利要求12所述的靶材的形成方法，其特征在于，滚圆处理之后，还包括：对所述锻件进行第一退火处理。
14.如权利要求12所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述铸锭为圆柱体，所述锻件为圆柱体；所述铸锭横截面的直径为350mm～450mm，所述锻件横截面的直径为170mm～210mm。
15.如权利要求12所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述成型加工处理的步骤还包括：对所述锻件进行切割处理，形成切块。
16.如权利要求15所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述切割处理之后，对所述切块进行压延处理，减小所述切块的长度，形成初始靶材。
17.如权利要求16所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述切块为圆柱体，所述切块的长度小于或等于90mm。
18.如权利要求16所述的靶材的形成方法，其特征在于，进行压延处理之前，还包括：对所述切块进行第三锻造。
19.如权利要求18所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述切块为柱体，所述第三锻造包括：沿所述切块轴向对所述切块进行拔长处理；拔长处理之后，沿所述切块轴向对所述切块进行镦粗处理。
20.如权利要求16所述的靶材的形成方法，其特征在于，所述压延处理之后，对所述初始靶材进行第二退火处理。
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