CN108581169B - 靶材组件及加工方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及机械加工技术领域，提供一种靶材组件及加工方法。该靶材组件包括靶材以及用于承载靶材的背板。其中靶材的表面包括正面以及背面，靶材的正面为靶材的溅射面，靶材的背面与靶材的正面位置相对，靶材的背面凸出设置有的第一台阶，第一台阶的侧面为斜面。背板的正面设置有与第一台阶相匹配的第一凹槽，靶材的背面与背板的正面通过扩散焊接连接且第一台阶嵌入在第一凹槽内。在扩散焊接的过程中，靶材的背面与背板的正面紧密贴合，最后成型的靶材组件在二者的接合位置不存在焊缝。从而可以改善靶材的溅射性能，同时在靶材组件的后续加工过程中也不会出现与焊缝相关的问题，有利于提高生产出来的靶材组件的质量。

Description

靶材组件及加工方法

技术领域

本发明涉及机械加工领域，具体而言，涉及一种靶材组件及加工方法。

背景技术

扩散焊接是指将工件在高温下加压，但不产生可见变形和相对移动的固态焊方法。扩散焊特别适合异种金属材料、耐热合金和陶瓷、金属间化合物、复合材料等新材料的接合。在靶材组件的加工过程中，靶材和背板通常是通过扩散焊接的方法被焊接在一起的。然而，在现有技术中，靶材和背板在焊接后，其接合位置容易留下明显的焊缝，在靶材的溅射过程中，残留的焊缝会影响靶材组件表面的气流流向，导致靶材的溅射性能下降，同时在靶材组件的后续加工过程中，残留的焊缝可能进一步扩大，导致靶材变形等严重的质量问题。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供一种靶材组件及加工方法，以解决上述技术问题。

本发明的实施例通过以下技术方案实现：

第一方面，本发明实施例提供一种靶材组件，包括：

靶材，靶材的表面包括正面以及背面，靶材的正面为靶材的溅射面，靶材的背面与靶材的正面位置相对，靶材的背面凸出设置有的第一台阶，第一台阶的侧面为斜面；

背板，用于承载靶材，背板的正面设置有与第一台阶相匹配的第一凹槽，靶材的背面与背板的正面通过扩散焊接连接且第一台阶嵌入在第一凹槽内。

在扩散焊接的过程中，靶材的背面与背板的正面在外界压力的作用下相互挤压，由于靶材的背面设置具有倾斜侧面的第一台阶，并且背板的正面设置有与之对应的第一凹槽，使得靶材的背面的每一个区域都充分受力，从而使靶材的背面与背板的正面紧密贴合，最后成型的靶材组件在二者的接合位置不存在焊缝。从而可以改善靶材的溅射性能，同时在靶材组件的后续加工过程中也不会出现与焊缝相关的问题，有利于提高生产出来的靶材组件的质量。

结合第一方面，在第一方面的第一种可能的实施方式中，靶材的表面还包括侧面，靶材的侧面分别与靶材的正面、靶材的背面以及背板的正面相邻，靶材的侧面与背板的正面的交界位置设置有经喷砂处理形成环绕溅射面的喷砂区域。

喷砂区域用于吸附靶材溅射过程中产生的杂质，在现有技术中，由于焊缝的存在，导致流经喷砂区域的气流的方向发生改变，从而导致喷砂区域的吸附性能下降，严重影响靶材的溅射性能。而在本发明实施实例中，由于解决了靶材与背板之间的焊缝问题，喷砂区域能够有效地吸附气流带来的杂质，从而改善靶材的溅射性能。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，在第一方面的第二种可能的实施方式中，喷砂区域的第一喷砂线上的各点到溅射面的中心点的距离相同且喷砂区域的第二喷砂线上的各点到溅射面的中心点的距离相同，其中，第一喷砂线为喷砂区域的靠近溅射面的边界线，第一喷砂线为喷砂区域的远离溅射面的边界线。

喷砂区域具有整齐的喷砂线，从而在靶材的溅射过程中不会引发溅射异常。

结合第一方面的第二种可能的实施方式，在第一方面的第三种可能的实施方式中，溅射面与靶材的侧面的交界位置被构造为R角，该结构有利于溅射过程中气流的流动，使得溅射过程中产生的杂质能够顺利被喷砂区域所吸附。

结合第一方面的第三种可能的实施方式，在第一方面的第四种可能的实施方式中，第一喷砂线与R角接平，确保从溅射面到喷砂区域的过渡是平滑的，有利于溅射过程中气流的流动，使得溅射过程中产生的杂质能够顺利被喷砂区域所吸附。

结合第一方面的第四种可能的实施方式，在第一方面的第五种可能的实施方式中，第二喷砂线高出背板的台阶面0.05mm，其中，台阶面为背板的正面中未被喷砂区域环绕的部分表面。

上述0.05mm的高度差形在喷砂区域与台阶面之间形成一个小台阶，该小台阶在车削第二喷砂线的过程中产生，设置该小台阶能够保证第二喷砂线容易被车削整齐，同时0.05mm是一个较小的高度，并不会影响气流在靶材组件表面的流动。

结合第一方面或第一方面的第一种至第五种中的任意一种可能的实施方式，在第一方面的第六种可能的实施方式中，第一台阶凸出于靶材的背面的高度为1.6mm至2.5mm。

第一台阶的高度若太小，则起不到固定靶材的作用，若太大则会导致靶材变薄，不利于靶材的溅射，上述高度范围是第一台阶高度的合适范围。

结合第一方面的第六种可能的实施方式，在第一方面的第七种可能的实施方式中，靶材的材料为钛，背板的材料为铝。

钛和铝分别为靶材以及背板的常见材料，在现有技术中进行扩散焊接时，由于钛的硬度较低，容易发生变形，导致出现焊缝等问题。而在本发明实施实例中，由于解决了靶材与背板之间的焊缝问题，能够加工出具有较高质量的钛铝材质的靶材组件。

第二方面，本发明实施例提供一种靶材组件加工方法，靶材组件包括靶材以及背板，靶材包括正面以及背面，靶材的正面为靶材的溅射面，靶材的背面与靶材的正面位置相对，方法包括：

在靶材的背面车削出凸出于靶材的背面的第一台阶，第一台阶的侧面为斜面；

在背板的正面按照与第一台阶相匹配的形状车削出凹陷于背板的正面的第一凹槽。

将第一台阶嵌入在第一凹槽内，并将靶材的背面与背板的正面通过扩散焊接连接在一起。

结合第二方面，在第二方面的第一种可能的实施方式中，对靶材的背面进行车削以及对背板的正面进行车削均采用80度角的外圆刀，且车削过程的加工参数包括：切削速度25m/min，进给量0.1mm/r，吃刀量0.3mm，主轴转速250r/min。

上述车削参数具有较高的车削精度，能够满足靶材组件的加工要求，并且不至于因车销量过大造成靶材组件损伤。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1示出了本发明实施例提供的靶材组件在第一视角下的结构示意图；

图2示出了本发明实施例提供的靶材组件在第二视角下的结构示意图图；

图3示出了图1中III部位的局部放大图；

图4示出了现有技术中的靶材组件在第一视角下的结构示意图；

图5示出了图4中V部位的局部放大图；

图6示出了本发明实施实例提供的靶材以及背板在焊接时的示意图。

图7示出了本发明实施例提供的第二喷砂线与台阶面之间的结构示意图。

图中：10－靶材组件；100－靶材；110－R角；120－第一台阶；130－第二台阶；200－背板；210－排气槽；220－密封槽；230－固定孔；240－第一凹槽；250－第二凹槽；300－溅射面；400－喷砂区域；410－第一喷砂线；420－第二喷砂线；500－台阶面。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明实施例而了解。本发明的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

第一实施例

图1示出了本发明实施例提供的靶材组件10在第一视角下的结构示意图。图2示出了本发明实施例提供的靶材组件10在第二视角下的结构示意图。该靶材组件10用于半导体芯片制造过程中的溅射镀膜。结合参照图1以及图2，靶材组件10包括靶材100以及用于承载靶材100的背板200。靶材组件10通常由金属、合金、陶瓷等材料制成，例如，靶材100由钛制成，背板200由铝制成，当然这只是一种比较常见的材料组合方式，靶材100以及背板200还可以采用其他的材料组合方式。

其中，靶材100的表面包括正面以与正面位置相对的背面。靶材100的正面为靶材100的溅射面300，溅射面300通常被加工为具有较高光洁度的镜面。为确保溅射过程的均匀性，目前实际中使用的靶材100以及背板200一般均为圆盘状，因此靶材100的溅射面300一般为圆形表面，如图1以及图2所示。为简便起见，后文在阐述靶材组件10的结构时，也基于靶材100以及背板200均为圆盘状的情况进行阐述，但不代表靶材100以及背板200的形状只能为圆盘状，即不构成对本发明保护范围的限制。

靶材100的背面与背板200的正面通过扩散焊接连接在一起。图3示出了图1中III部位的局部放大图。参照图3，具体而言，靶材100的背面设置有凸出于靶材100的背面的第一台阶120，并且第一台阶120的侧面为斜面。而背板200上开设有与第一台阶120的形状相匹配的第一凹槽240，这里的相匹配是指将第一台阶120嵌入到第一凹槽240内时，靶材100的背面与背板200的正面恰好能够紧密贴合。

在进行扩散焊接之前，首先在靶材100的背面车削出第一台阶120，然后在背板200的正面按照与第一台阶120相匹配的形状车削出第一凹槽240，当然这两个步骤的先后顺序也可以交换，最后将第一台阶120嵌入第一凹槽240内以使靶材100的背面与背板200的紧密贴合。在本发明实施例的一种具体的实施方式中，可以采用80度角的外圆刀对第一台阶120以及第一凹槽240进行车削，且车削过程的加工参数包括：切削速度25m/min，进给量0.1mm/r，吃刀量0.3mm，主轴转速250r/min。上述车削参数具有较高的车削精度，能够满足靶材组件10的加工要求，并且不至于因车销量过大造成靶材组件10损伤。在本发明实施例中，第一台阶120凸出于靶材100背面的高度为1.6mm至2.5mm，或者说第一凹槽240凹陷于背板200正面的深度为1.6mm至2.5mm。若第一台阶120的高度设置过小，则第一台阶120与第一凹槽240之间难以形成有效的固定，在受力时可能产生相对移动；若第一台阶120的高度设置过大，由于靶材100的厚度通常有一定要求，因此车削出第一台阶120以后靶材100的剩余材料较少，在溅射过程中可能导致靶材100耗尽，从而发生对基板进行溅射的异常情况。因此，将第一台阶120的高度限制在上述范围内是较为合理的。

在扩散焊接的过程中，靶材100的背面与背板200的正面在外界压力的作用下相互挤压，由于靶材100的背面设置具有倾斜侧面的第一台阶120，并且背板200的正面设置有与之相匹配的第一凹槽240，使得靶材100的背面的每一个区域都充分受到来自背板200的正面的压力，从而使靶材100的背面与背板200的正面充分结合，最后成型的靶材组件10在二者的接合位置不存在焊缝。为确保溅射过程的均匀性，还可以将第一凹槽240设置在背板200的中心位置，使得焊接后的靶材100与背板200保持同心。

图4示出了现有技术中的靶材组件10在第一视角下的结构示意图。

图5示出了图4中V部位的局部放大图。结合参照图4以及图5，在现有技术中，靶材100的背面两侧凸出设置有第二台阶130，而靶材100的背面本身是平整的，相应地，背板200的正面开设有与第二台阶130相匹配的第二凹槽250。在图5中，值得注意的是，第二台阶130的侧面垂直于靶材100的背面，而第二凹槽250的侧面垂直于背板200的正面，从而在第二台阶130嵌入到第凹槽内时，二者之间只是紧贴，并不会形成相互之间的压力。在扩散焊接的过程中，虽然靶材100的背面与背板200的正面在外界压力的作用下相互挤压，但实际上第二台阶130的侧面与第二凹槽250的侧面并未受到真正的挤压，因此焊接效果较差。特别是在靶材100的材料为一些质地较软的金属，例如钛时，在焊接过程中容易发生变形，导致明显的焊缝。在靶材100的溅射过程中，靶材100与背板200之间的焊缝会影响靶材组件10表面的气流流向，导致靶材100的溅射性能下降，同时在靶材组件10的后续加工过程中，由于应力集中的原因，残留的焊缝可能进一步扩大，导致靶材100变形等严重的质量问题。反观本发明实施例提供的靶材组件10，由于在扩散焊接的过程中，第一台阶120与第一凹槽240之间受压充分，二者之间的缝隙被靶材100的材料所填满，不会出现焊缝，从而可以解决现有技术中的问题，改善靶材100的溅射性能，同时在靶材组件10的后续加工过程中也不会出现与焊缝相关的种种问题，有利于提高生产出来的靶材组件10的质量。

通常而言，靶材100以及背板200在焊接时，尚未被车削为图1中的形状。图6示出了本发明实施实例提供的靶材100以及背板200在焊接时的示意图。参照图6，靶材100以及背板200通过扩散焊接连接在一起之后，再车削掉虚线所示的部分，并进一步进行车削、喷砂等处理步骤，最终形成图1所示的靶材组件10。根据上面的阐述，在扩散焊接时，图6中的靶材100的两侧并未受到压力，也可能存在焊缝，但这部分最后被车削掉，所以不会影响加工出的靶材组件10的质量。

重新参照图1以及图2，在本发明实施例中，靶材100还可以包括侧面，靶材100的侧面分别与靶材100的正面以及靶材100的背面相邻，在靶材100与背板200焊接为一体后并进行如图6所示的车削加工后，靶材100的侧面还与背板200的正面相邻。可以对靶材100的侧面与背板200的正面的交界位置处进行喷砂处理，以形成粗糙的喷砂区域400，喷砂区域400环绕在靶材100的溅射面300周围，用于吸附溅射过程中产生的杂质，改善靶材100的溅射性能，而背板200的正面位于喷砂区域400以外的部分(不被喷砂区域400环绕的部分)则被称为背板200的台阶面500。在现有技术中，由于焊缝的存在，导致流经喷砂区域400的气流的方向发生改变，从而导致喷砂区域400的吸附性能下降，严重影响靶材100的溅射性能。而本发明实施例提供的靶材100由于焊接后不存在焊缝，因此喷砂后具有良好的吸附性。

喷砂区域400具有两条边界线，其中靠近溅射面300的边界线称为第一喷砂线410，远离溅射面300的边界线称为第二喷砂线420。由于喷砂工艺的精度的局限性，通常在喷砂完成后，第一喷砂线410或第二喷砂线420会存在不整齐的情况，在现有技术中未对此情况进行处理。这里所称的整齐，具体是指喷砂区域400的同一条喷砂线上的各点到溅射面300的中心点的距离相同，对于溅射面300为圆形的情况，也就是要求第一喷砂线410围合成的圆形以及第二喷砂线420围合成的圆形均与溅射面300同心。发明人经长期研究发现，喷砂线不整齐会导致靶材100在溅射过程中产生异常放电等问题，甚至导致溅射过程无法正常进行。在本发明实施例中，可以先将完成喷砂处理的靶材组件10固定，然后对第一喷砂线410进行车削直至第一喷砂线410被车削整齐，再对第二喷砂线420进行车削直至第二喷砂线420也被车削整齐。这一车削过程可以包括多次车削步骤，每次车削后都可以通过肉眼或者仪器对车削结果进行测量，直至满足要求。在本发明实施例中，由于靶材组件10的喷砂区域400被加工为具有整齐的喷砂线，从而在靶材100的溅射过程中不会引发溅射异常，使得半导体芯片的生产能够顺利进行。

进一步的，溅射面300与靶材100的侧面的交界位置被加工为R角110，使得溅射面300与靶材100的侧面之间的过渡是平滑的，有利于溅射过程中气流的流动，使得溅射过程中产生的杂质能够顺利被喷砂区域400所吸附。对于R角110的车削可以在车削喷砂线之前进行，当靶材100为某些金属材料，例如钛时，车削过程中不易断屑，产生的废屑可能会划伤喷砂线以及台阶面500，因此如果在车削喷砂线之后再车削R角110，可能引起重复加工，降低靶材组件10的加工效率。

喷砂区域400的具体范围可以根据实际需求确定，不同的靶材组件10可能会有所不同。在图1示出的实施方式中，整个靶材100的侧面都进行了喷砂处理，同时，第一喷砂线410被车削为与R角110接平，确保从溅射面300到喷砂区域400的过渡是平滑的，有利于溅射过程中气流的流动，使得溅射过程中产生的杂质能够顺利被喷砂区域400所吸附。需要指出，在喷砂处理后，溅射面300与靶材100的侧面的交界位置可能会产生离散的小坑或残留的砂粒，在车削R角110的过程中能够同时削除这些小坑或砂粒，确保该交界位置处表面的平滑性，改善靶材100的溅射性能。

在车削完R角110以及第一喷砂线410后，可以对第二喷砂线420进行车削。图7示出了本发明实施例提供的第二喷砂线420与台阶面500之间的结构示意图。参照图7，在车削第二喷砂线420的过程中，作为一种可选的实施方式，在第二喷砂线420与靶材组件10的台阶面500之间车削出一个0.05mm的小台阶，其中，第二喷砂线420为较高的一端。设置该小台阶使得第二喷砂线420与台阶面500被分隔为两个不同的平面，从而使得第二喷砂线420容易被车削整齐，同时0.05mm是一个较小的高度，并不会影响气流在靶材组件10表面的流动。

进一步的，靶材100的侧面与垂直于溅射面300的方向的夹角为15度。例如在图1中，溅射面300为水平面，垂直于溅射面300的方向即为竖直方向。将靶材100的侧面设置为倾斜的而非垂直于溅射面300，有利于溅射过程中气流的流动，使得溅射过程中产生的杂质能够顺利被喷砂区域400所吸附。

继续参照图1以及图2，在图1以及图2示出的靶材组件10的台阶面500上还开设有环绕所述喷砂区域400的密封槽220，用于嵌入柔性材质的密封圈，靶材100的溅射通常要在密封的箱体中进行，密封圈用于填充靶材组件10与箱体之间的缝隙，以使箱体内形成密封的空间，进而将该空间内的空气抽出就可以进行正常的溅射过程了。作为一种可选的实施方式，该密封槽220为燕尾槽，燕尾槽相对于通常的凹槽具有较小的开口而底部较大，柔性材质的密封圈能够在燕尾槽内部充分扩张并挤压其侧壁，从而被紧密固定在燕尾槽内。

进一步的，靶材组件10的台阶面500上还开设有至少一个排气槽210，排气槽210与密封槽220连通。参照图2，图2中的排气槽210共有4个，沿靶材组件10的径向方向向靶材组件10的中心位置延伸至喷砂区域400内。排气槽210一方面用于在上述箱体内形成密封的空间以后，从中抽出箱体中的空气；另一方面用于在溅射完成后从密封槽220内取出密封圈，由于密封圈与密封槽220结合较为紧密，如果不设置排气槽210提供着力点，很难将密封圈从密封槽220中取出。可以理解，图2仅为一种示例，实际中排气槽210的形状、位置以及个数均不限于图2中示出的方式。

进一步的，在台阶面500外围的靠近台阶面500边缘的位置，还开设有至少一个固定孔230。参照图2，图2中的固定孔230共有6个，均匀分布在台阶面500的边缘附近。固定孔230中可以安装螺钉，以便将靶材组件10固定在其他设备上，例如靶材组件10的加工设备、溅射设备等。可以理解，图2仅为一种示例，实际中固定孔230的形状、位置以及个数均不限于图2中示出的方式。同时，也可以采取其他固定或安装结构，其形式不限于固定孔230。

综上所述，本发明实施例提供的靶材组件10通过在靶材100的背面开设具有倾斜侧面的第一台阶120，以及在背板200的正面开设与第一台阶120形状匹配的第一凹槽240，有效解决了靶材100的背面与背板200的正面在扩散焊接过程中出现焊缝的问题。从而可以改善靶材100的溅射性能，在靶材组件10的后续加工过程中也不会出现与焊缝相关的加工问题，有利于提高生产出来的靶材组件10的质量。同时，在发明实施例的部分实施方式中，在靶材100的侧面与背板200的正面的交界位置还设置有喷砂区域400，由于靶材100的侧面与背板200的正面的交界位置处不存在焊缝，因此该喷砂区域400具有较好的吸附性，能够有效吸附溅射过程中产生的杂质，有利于改善靶材100的溅射性能。同时，上述喷砂区域400具有整齐的喷砂线，从而在靶材100的溅射过程中不会引发溅射异常。此外，对于整个靶材组件10的表面而言，从溅射面300到喷砂区域400再到台阶面500的过渡是平滑的，不存在明显的硬性的边缘，有利于溅射过程中气流的流动，使得溅射过程中产生的杂质能够顺利被喷砂区域400所吸附。

第二实施例

本发明实施例还提供一种靶材组件加工方法，用于加工本发明实施例提供的靶材组件10，该方法包括：在靶材100的背面车削出凸出于靶材100的背面的第一台阶120，第一台阶120的侧面为斜面；在背板200的正面按照与第一台阶120相匹配的形状车削出凹陷于背板200的正面的第一凹槽240；将第一台阶120嵌入在第一凹槽240内，并将靶材100的背面与背板200的正面通过扩散焊接连接在一起。

上述方法的实现原理及产生的技术效果在前述产品实施例中已经阐述，为简要描述，方法实施例部分未提及之处，可参考前述产品实施例中相应内容。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种靶材组件，其特征在于，包括：

靶材，所述靶材的表面包括正面以及背面，所述靶材的正面为所述靶材的溅射面，所述靶材的背面与所述靶材的正面位置相对，所述靶材的背面凸出设置有的第一台阶，所述第一台阶的侧面为斜面；

背板，用于承载所述靶材，所述背板的正面设置有与所述第一台阶相匹配的第一凹槽，所述靶材的背面与所述背板的正面通过扩散焊接连接且所述第一台阶嵌入在所述第一凹槽内；

所述靶材的表面还包括侧面，所述靶材的侧面分别与所述靶材的正面、所述靶材的背面以及所述背板的正面相邻，所述靶材的侧面与所述背板的正面的交界位置设置有经喷砂处理形成的环绕所述溅射面的喷砂区域；

所述喷砂区域的第一喷砂线上的各点到所述溅射面的中心点的距离相同且所述喷砂区域的第二喷砂线上的各点到所述溅射面的中心点的距离相同，其中，所述第一喷砂线为所述喷砂区域的靠近所述溅射面的边界线，所述第二喷砂线为所述喷砂区域的远离所述溅射面的边界线，所述第二喷砂线高出所述背板的台阶面0.05mm，所述台阶面为所述背板的正面中未被所述喷砂区域环绕的部分表面。

2.根据权利要求1所述的靶材组件，其特征在于，所述溅射面与所述靶材的侧面的交界位置被构造为R角。

3.根据权利要求2所述的靶材组件，其特征在于，所述第一喷砂线与所述R角接平。

4.根据权利要求1－3中任一权项所述的靶材组件，其特征在于，所述第一台阶凸出于所述靶材的背面的高度为1.6mm至2.5mm。

5.根据权利要求4所述的靶材组件，其特征在于，所述靶材的材料为钛，所述背板的材料为铝。

6.一种靶材组件加工方法，其特征在于，所述靶材组件包括靶材以及背板，所述靶材包括正面以及背面，所述靶材的正面为所述靶材的溅射面，所述靶材的背面与所述靶材的正面位置相对，所述方法包括：

在所述靶材的背面车削出凸出于所述靶材的背面的第一台阶，所述第一台阶的侧面为斜面；

在所述背板的正面按照与所述第一台阶相匹配的形状车削出凹陷于所述背板的正面的第一凹槽；

将所述第一台阶嵌入在所述第一凹槽内，并将所述靶材的背面与所述背板的正面通过扩散焊接连接在一起；

在所述靶材的侧面与所述背板的正面的交界位置进行喷砂处理，以形成环绕所述溅射面的喷砂区域；

其中，所述靶材的侧面分别与所述靶材的正面、所述靶材的背面以及所述背板的正面相邻，所述喷砂区域的第一喷砂线上的各点到所述溅射面的中心点的距离相同且所述喷砂区域的第二喷砂线上的各点到所述溅射面的中心点的距离相同，所述第一喷砂线为所述喷砂区域的靠近所述溅射面的边界线，所述第二喷砂线为所述喷砂区域的远离所述溅射面的边界线，所述第二喷砂线高出所述背板的台阶面0.05mm，所述台阶面为所述背板的正面中未被所述喷砂区域环绕的部分表面。

7.根据权利要求6所述的靶材组件加工方法，其特征在于，对所述靶材的背面进行车削以及对所述背板的正面进行车削均采用80度角的外圆刀，且车削过程的加工参数包括：切削速度25m/min，进给量0.1mm/r，吃刀量0.1mm，主轴转速250r/min。

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