CN108573909A - 基板保持装置以及腔室装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及基板保持装置以及腔室装置，其中，所述基板保持装置包括：保持部，由磁性体构成；电永磁，根据是否施加电源，改变磁场流动更强的位置；以及夹盘，设置有所述电永磁；其中，所述保持部利用根据对所述电永磁未施加电源而产生作用的引力支撑所述基板，以使基板保持在所述夹盘。

Description

基板保持装置以及腔室装置
技术领域
本发明涉及在制造工艺的执行过程中利用于保持基板的基板保持装置以及腔室装置。
背景技术
LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)、OLED(Organic Light EmittingDiodes，有机发光二极管)、PDP(Plasma Display Panel，等离子显示器面板)、EPD(Electrophoretic Display，电泳显示)等显示装置、太阳能电池、照明装置等是经过各种工艺制造而成的。该制造工艺包括：在基板沉积薄膜的沉积工艺；蚀刻在基板沉积的薄膜的一部分或者全部的蚀刻工艺；翻转基板的翻转工艺等。
在现有技术中主要使用基板保持装置，该基板保持装置利用静电方式、吸附方式等实现而成的，其中静电方式是利用静电保持基板，而吸附方式是利用吸力保持基板。
由静电方式实现的基板保持装置是利用静电力通过静电吸盘(Electros taticChuck,ESC)保持基板。但是，由静电方式实现的基板保持装置需持续施加电压以保持静电力，所以内部需配置有电池，因此具有结构复杂的缺点。另外，静电方式的基板保持装置根据环境(诸如，大气环境、真空环境等)保持基板的静电力下降，因此存在损坏乃至毁坏基板的危险，存在降低产量的缺点。
吸附方式的基板保持装置通过吸气装置用吸附力保持基板。但是，吸附方式的基板保持装置应持续吸气来保持吸附力，因此需形成吸气线，存在结构复杂的缺点。另外，吸附方式的基板保持装置根据环境(诸如，大气环境、真空环境等)使保持基板的吸附力下降，存在基板受损乃至损毁的危险，因此存在降低产量的缺点。
因此，切实需要开发能够消除上述缺点的基板保持装置。
发明内容
(要解决的问题)
本发明是为了解决如上所述的问题而提出的，提供降低用于保持基板的结构的复杂性，并且降低基板受损乃至被损毁的危险的基板保持装置以及腔室装置。
(解决问题的手段)
为了解决上述问题，本发明可包括以下结构：
本发明的基板保持装置可包括：基座(Base)，由磁性体构成；夹盘(C huckPlate)，由非磁性体构成；第一极片，配置在所述基座与所述夹盘的一面之间，并且由磁性体构成；第二极片，在从所述第一极片分隔的位置中配置在所述基座与所述夹盘的一面之间，并且由磁性体构成；永久磁铁，设置在所述第一极片与所述第二极片之间，以分别接触于所述第一极片与所述第二极片；线圈，设置在所述第一极片；保持部，由磁性体构成；以及诱导部，设置在所述基座。其中，对于所述诱导部由非磁性体构成，若对所述线圈施加电源，则所述基座侧形成比所述保持部测更强的磁场流动；若对所述线圈未施加电源，则所述保持部侧形成比所述基座侧更强的磁场流动，以对所述保持部产生引力作用；所述保持部利用根据对所述线圈未施加电源而产生作用的引力支撑所述基板，以使基板保持在所述夹盘。
本发明的基板保持装置可包括：保持部，由磁性体构成；电永磁(Ele ctroPermanent Magnetic)，根据是否施加电源，改变磁场流动更强的位置；以及夹盘，设置有所述电永磁，并且由非磁性体构。对于所述电永磁，若对所述电永磁施加电源，从所述保持部分隔配置的基座侧形成比所述保持部侧更强的磁场流动，若对所述电永磁未施加电源，则所述保持部侧形成比所述基座侧更强的磁场流动，以对所述保持部产生引力作用。所述保持部利用根据对所述电永磁未施加电源而产生的引力作用支撑所述基板，以在所述夹盘保持所述基板。
本发明的腔室装置可包括：下部电永磁，根据是否施加电源而改变形成更强的磁场流动的位置；下部夹盘，设置有所述下部电永磁；支撑部，配置在所述下部夹盘的下侧，以用于支撑所述下部夹盘；上部电永磁，根据是否施加电源而改变形成更强的磁场流动的位置；上部夹盘，配置在所述下部夹盘的上侧，并且设置有所述上部电永磁；升降部，升降所述下部夹盘与所述上部夹盘中的至少一个；保持部，配置在所述上部夹盘与所述下部夹盘之间；以及电源施加部，对所述下部电永磁与所述上部电永磁分别选择性地施加电源，以使作用于所述下部电永磁与所述上部电永磁中的未施加电源的一个与所述保持部之间产生引力作用。(发明的效果)
根据本发明，具有如下的效果：
本发明在对所述电永磁未施加电源的状态下，利用作用于在保持部以及电永磁之间的引力老保持基板，进而无需对电永磁持续施加电源以保持基板的保持状态，因此不仅能够将用于保持基板的结构简单化，还能够节省运营成本。
本发明实现可减少根据环境(诸如，大气环境、真空环境)改变保持基板的保持力的程度，进而可降低因对基板的保持力变化而使基板损坏乃至损毁的危险，因此强化因对基板的保持力的变化，以增加经过制造工艺的基板的产量。
附图说明
图1是本发明的基板保持装置的概略性立体图。
图2至图4是以图1的I-I线为基准示出本发明的基板保持装置中的电永磁以及夹盘的侧视图。
图5是示出本发明的基板保持装置中的由图2示出的电永磁以及夹盘的概略性分解侧视图。
图6至图8是用于说明在本发明的基板保持装置中的诱导部的实施例的概略性侧视图。
图9是示出本发明的基板保持装置中的电永磁的变形实施例的概略性侧视图。
图10是本发明的基板保持装置中的保持部的概略性平面图。
图11是本发明的基板保持装置中的夹盘的概略性部分立体图。
图12是本发明的基板保持装置中的夹盘的概略性平面图。
图13是用于说明本发明的基板保持装置中的夹盘、盖部以及密封部的概略性侧视图。
图14是本发明的腔室装置的概略性框图。
图15是本发明的腔室装置的概略性侧视图。
图16是以图1的I-I为基准示出本发明的腔室装置中的下部电永磁以及下部夹盘的概略性侧剖面图。
图17是以图1的I-I线为基准示出本发明的腔室装置中的上部电永磁以及上部夹盘的侧剖面图。
图18至图23是示出本发明的腔室装置对基板执行安装工艺的过程的概略性工艺图。
图24至图27是示出本发明的腔室装置对基板执行卸载工艺的过程的概略性工艺图。
(附图标记说明)
1：基板保持装置 2：电永磁
3：保持部 4:夹盘
21：基座 22：第一极片
23：第二极片 24：永久磁铁
25：线圈 26：诱导部
31：保持部件 32：保持孔
43：通过孔 100：腔室装置
110：支撑部 120：下部电永磁
130：下部夹盘 140：上部电永磁
150：上部夹盘 160：电源施加部
170:升降部
具体实施方法
以下，参照附图详细说明本发明的基板保持装置的实施例。
参照图1至图4，本发明的基板保持装置1是用于保持基板200的。所述基板200利用于LCD(Liquid Crystal Display)、OLED(Organic Light Emitting Diodes)、PDP(PlasmaDisplay Panel)、EPD(Electrophoretic Disp lay)等显示装置、太阳能电池、照明装置等的制造。本发明的基板保持装置1在执行制造工艺过程中保持基板200的功能，其中基板制造工艺如下：在基板200沉积薄膜的沉积工艺；蚀刻沉积在所述基板200的薄膜的一部分或者全部的蚀刻工艺；以及翻转所述基板200翻转工艺。本发明的基板保持装置1可包括电永磁(Electro Permanent Magnetic)2、保持部3以及夹盘(Chuck Plate)4。
参照图1至图4，所述电永磁2根据是否施加电源改变形成更强的磁场流动的位置。所述电永磁2可设置在所述夹盘4。如图4所示，若对所述电永磁2施加电源，则从所述保持部3分隔配置的基座21侧比所述保持部3侧形成更强的电场流动。如图3所示，若对所述电永磁2未施加电源，则所述电永磁2可向所述保持部3侧形成比所述基座部21侧形成更强的磁场流动。据此，引力作用于所述电永磁2以及所述保持部3之间，进而所述保持部3通过引力拉向所述电永磁2侧。若所述基板200位于所述保持部3以及所述夹盘4之间，则所述保持部3利用对所述电永磁2未施加电源而产生的引力作用可支撑所述基板200，以使所述基板200被保持在所述夹盘4。据此，本发明的基板保持装置1在未施加电源的状态下利用磁力可保持所述基板200。从而，本发明的基板保持装置1可得到以下的作用以及效果。
第一，本发明的基板保持装置1在所述电永磁2未施加电源的状态下利用在所述保持部3以及所述电永磁2之间的引力保持所述基板200。据此，本发明的基板保持装置1为了保持所述基板200的状态无需持续对所述电永磁2施加电源。因此，相比于为了保持所述基板200的保持状态而应持续保持静电力、吸附力的现有技术，本发明基板保持装置1不仅能够将用于保持所述基板200的结构简单化，还能够节省运营成本。另外，与通过静电吸盘保持基板的保持装置相比时，本发明的基板保持装置1无需静电吸盘具备的绝缘涂层，因此不仅能够降低生产成本，还能够提高管理作业以及维护的效率。
第二，本发明的基板保持装置1利用对所述电永磁2未施加电源的状态下在所述保持部3以及所述电永磁2之间产生作用的引力保持所述基板200，因此可减少根据环境(诸如，大气环境、真空环境等)而改变保持所述基板200的保持力的程度。据此，本发明的基板保持装置1可减少因对所述基板200的保持力的变化而损坏乃至毁坏所述基板200的危险，并且强化对所述基板200的保持力，进而可增加经过制造工艺的基板200的产量。
所述电永磁2可设置在所述夹盘4，以位于所述夹盘4内部。所述电永磁2可设置在所述夹盘4，以接触于所述夹盘4的一面41。所述夹盘4的一面41配置在所述电永磁2以及所述保持部3之间。在这一情况下，所述夹盘4的另一面42可配置在从所述保持部3分隔的位置。所述电永磁2可设置在所述夹盘4，以使所述基座21接触于所述夹盘3的另一面42。所述电永磁2也可位于所述夹盘4，以使所述基座21位于从所述夹盘3的另一面42分隔的位置。如图2所示，所述夹盘4的所述一面41为上面，而另一面42为下面。所述夹盘4的所述一面41也可以是下面，而所述另一面42是上面。
所述电永磁2根据是否从外部施加电源可改变形成更强的磁场流动的位置。
如图4所示，若对所述电永磁2施加电源，则所述电永磁2可向所述夹盘4的另一面42侧形成比所述夹盘4的一面41侧更强的磁场流动。由于所述保持部3位于所述夹盘4的一面41侧，因此所述电永磁2可0在未置有所述保持部3的一侧形成更强的磁场流动。即，所述电永磁2可使所述基座21侧形成比所述保持部3侧更强的磁场流动。在这一情况下，在向保持部3侧流动的磁场流动以及向所述基座21侧流动的磁场流动共存的状态下，所述电永磁2向所述基座21侧形成比所述保持部3侧更强的磁场流动。据此，减少作用于所述保持部3以及所述电永磁2之间的引力，因此所述保持部3可处于从所述夹盘4的一面41分隔的状态，若所述基板200位于所述保持部3与所述夹盘4的一面41之间，则所述保持部3以及所述基板200可处于从所述夹盘4的一面分隔的状态。
1如图3所示，若对所述电永磁2未施加电源，则所述电永磁2还可向所述夹盘4的一面41侧形成比所述夹盘4的另一面42侧形成更强的磁场流动。由于所述保持部3位于所述夹盘4的一面41侧，因此所述电永磁2可在保持部3侧形成比所述基座21侧更强的磁场流动，在这一情况下，在保持部3侧的磁场流动以及所述基座21侧的磁场流动共存的状态下，所述电永磁2可向所述保持部3侧形成比所述基座21侧更强的磁场流动。根据所述保持部侧3形成更强的磁场流动，引力作用于所述保持部3以及所述电永磁2之间，进而所述保持部3可通过引力附着于所述夹盘4的一面41。若所述基板200位于所述保持部3与所述夹盘4的一面41之间，则所述保持部3利用引力支撑所述基板200，进而可在夹盘4保持所述基板200。
所述电永磁2可包括所述基座21。
所述基座21由磁性体构成。所述基座21可设置在所述夹盘4。所述基座21可配置在从所述保持部3分隔的位置。所述基座21可位于所述夹盘4的一面41以及所述夹盘4的另一面42之间。所述基座21可设置所述夹盘4内部。若对所述电永磁21侧施加电源，则所述电永磁2可在所述基座21侧形成比所述保持部3侧更强的磁场流动。据此，减少作用于所述保持部3以及所述电永磁2之间的引力，因此所述保持部3可处于从所述夹盘4分分隔的状态。
参照图1至图5，所述电永磁2可包括第一极片22、第二极片23、永久磁铁24、线圈25以及诱导部26。
所述第一极片22由磁性体构成。所述第一极片22可配置在所述基座21以及所述夹盘4的一面41之间。所述第一极片22可设置在所述夹盘4的内部。所述第一极片22一侧221(图5)接触于所述夹盘4。所述第一极片22的一侧221可接触于所述夹盘4的一面41。所述第一极片22形成直线形状，以使从所述第二极片23分隔的距离一致。据此，本发明的基板保持装置1可使所述保持部3侧形成流畅的磁场流动。所述第一极片22可形成直线形状，进而沿着从所述夹盘4的另一面42向所述夹盘4的一面41的方向从第二极片23分隔的距离相同。
所述第二极片23可由磁性体构成。所述第二极片23可配置在所述基座21以及所述夹盘4的一面之间。所述第二极片23在从所述第一极片22分隔的位子中可配置在所述基座21以及所述夹盘4的一面41之间。所述第二极片23可设置在所述夹盘4的内部。所述第二极片23可使其一侧231(图5)接触于所述夹盘4。所述第二极片23的一侧231可接触于所述夹盘4的一面41。所述第二极片23可形成直线形状，以使从第一极片22分隔距离相同。所述第二极片23可形成直线形状，进而以使沿着从所述夹盘4的另一面42向所述夹盘4的一面41的方向从所述第一极片22分隔的距离相同。
所述永久磁铁24可分别接触于所述第一极片22以及所述第二极片23。所述永久磁铁24在所述第一极片22以所述第二极片23之间分别接触于所述第一极片22以及第二极片23。所述永久磁铁24可配置在所述线圈25以及所述基座21之间。在这一情况下，为使所述永久磁铁24位于分别从所述线圈25以及所述基座21分隔位置，所述永久磁铁24可分别设置在所述第一极片22以及所述第二极片23。为使所述永久磁铁24一侧241与所述第一极片22接触的同时另一侧242接触于所述第二极片23，所述永久磁铁24可分别设置在所述第一极片22以及所述第二极片23。所述永久磁铁24一侧241的极性可以是N极。在这一情况下，所述永久磁铁24另一侧242极性可以是S极。
所述线圈25设置在所述第一极片22。所述线圈25缠绕于所述第一极片22，进而可设置在第一极片22。所述电永磁2根据是否对所述线圈25施加电源可改变形成更强的磁场流动的位置。所述线圈25可连接于电源施加部。所述线圈25可设置在所述第一极片22，以位于所述夹盘4的一面41以及所述永久磁铁24之间。在这一情况下，所述线圈25可设置在所述第一极片22，以位于分别从所述夹盘4的一面41以及所述永久磁铁24分别分隔的位置。所述线圈25可设置在所述第一夹盘22，进而使所述线圈25一侧251向着所述永久磁铁24的同时使另一侧252向着所述夹盘4的一面41。若对所述线圈25施加电源，则所述线圈25的一侧251极性为N极，同时所述线圈25的另一侧252极性为S极。据此，所述线圈25的一侧而251以及所述永久磁铁24的一侧241极性可以相同。据此，若对所述线圈25施加电源，则所述线圈25的一侧251以及所述永久磁铁24的一侧241之间产生推斥力作用，因此可降低向所述保持部3侧流动的磁场流动强度。若对所述线圈25未施加电源，则所述线圈25的一侧251以及另一侧252分别不具有极性。据此，可增加向所述保持部3侧流动的磁场流动强度。
所述线圈25根据是否施加电源可调节沿着第一磁路FP(图3)流动的磁场流动以及沿着第二磁路SP(图3)流动的磁场流动之间的相对强度。所述第一磁路FP是从所述第一极片22经过所述基座21向所述第二极片FP流动的磁路。在这一情况下，磁场流动可以是沿着从所述第一极片22的另一侧222经过所述基座21向所述第二极片23的另一侧232流动的第一磁路FP流动。所述第二磁路SP是从所述第一极片22经过所述保持部3向所述第二极片23流动的磁路。在这一情况下，磁场流动沿着从所述第一极片22的一侧221经过所述保持部3向所述第二极片23的一侧231的第二磁路SP流动。
对于所述诱导部26，若对所述线圈25未施加电源，则所述诱导部26诱导所述保持部3侧形成比所述基座21侧更强的磁场流动。所述诱导部26可由非磁性体26构成。例如，所述诱导部26可由铝(Al)构成。为使所述第一极片22以及所述第二极片23中的至少一个从所述基座部21分隔，所述诱导部26可设置在所述基座21。即，所述第一极片22以及所述第二极片23中的至少一个通过非磁性体的诱导部26相互分隔。据此，若切断施加于所述基座21侧的电源，则由于由非磁性体构成所述诱导部26，因此可减少向所述基座21侧流动的磁场的透过率。从而，所述诱导部26诱导所述保持部3侧形成比所述基座21侧更强的磁场流动，进而诱可使引力作用于所述保持部3。
据此，本发明的基板保持装置1只利用所述诱导部26切断施加于所述线圈25的电源，也能够使磁场流动更强的位置可从所述基座21侧变成所述保持部3侧。据此，本发明的基板保持装置1为了将更强的磁场流动的形成位置从所述基座21侧变成所述保持部3侧，无需对所述线圈25另外施加电源，因此不仅能够将结构更将简单化，还能够提高控制的容易度。
对于所述诱导部26，若对所述线圈25施加电源，则所述诱导部26可使磁场通过，以使沿着所述第一磁路FP的磁场流动比沿着第二磁路SP的磁场流动更强。当施加于所述线圈25的电源被切断时，所述诱导部26可诱导沿着所述第二磁路SP的流动磁场比沿着所述第一磁路FP流动的磁场流动更强。所述诱导部26形成厚度在随着对所述线圈25施加电源增加磁场的透过率的同时随着对所述线圈25未施加电源可减少磁场的透过率。
在这一情况下，以所述夹盘4的一面41以及所述基座21相互分隔的分隔方向SD(箭头方向)为基准所述诱导部26可形成比所述第一极片22更薄的厚度。所述诱导部26以所述分隔方向SD(箭头方向)为基准也可形成比所述基座21更薄的厚度。根据对施加于所述线圈25的电源大小等可由技术人员提前设定所述诱导部26的厚度。
参照图1至图6，所述诱导部26可包括第一诱导部件261(图6)。
所述第一诱导部件261设置在所述第一极片22以及所述基座21之间，以使所述第一极片22以及所述基座21相互分隔。所述第一诱导部件261可由非磁性体构成。即，所述第一极片22以及所述基座21通过非磁性的第一诱导部件261相互分隔。当施加于所述线圈25的电源被切断时，所述第一诱导部件261配置在所述第一极片22以及所述基座21之间，可诱导所述保持部3侧形成比所述基座21侧更强的磁场流动。若只具有所述第一诱导部件261，则所述第二极片23一侧231与所述夹盘4的一面41接触的同时可使另一侧232接触于基座21。
参照图1至图7，所述诱导部26可包括第二诱导部件262(图7)。
所述第二诱导部件262设置在所述的第二极片23以及所述基座21之间，以使所述第二极片23以及所述基座21相互分隔。即，所述第二极片23以及所述基座21通过非磁性体的第二诱导部件262相互分隔。当施加于所述线圈25的电源被切断时，由于所述第二诱导部件262配置在所述第二极片23以及所述基座21之间，可诱导所述保持部3侧形成比所述基座21侧更强的磁场流动。若只具有所述第二诱导部件262，则所述第一极片22一侧221与所述夹盘4的一面41接触的同时可使另一侧222接触于基座21。
参照图1至图8，所述诱导部26也可包括所述第一诱导部件261以及所述第二诱导部件262。
所述第一诱导部件261可设置在所述第一极片22以及所述基座21之间，以使所述第一极片22以及所述基座21相互分隔。所述第二诱导部件262可设置在所述第二极片23以及所述基座21之间，以使所述第二极片23以及所述基座21相互分隔。据此，当施加于所述线圈25的电源被切断时，所述第一诱导部件261以及所述第二诱导部件262可诱导所述保持部3侧形成比所述基座21侧更强的磁场流动。在这一情况下，所述第一诱导部件261以及所述第二诱导部件262可进一步增加所述基座21侧的磁场流动以及所述保持部3侧的磁场流动的强度差异。即，所述第一诱导部件261以及所述第二诱导部件262可进一步增加所述保持部3侧的磁场流动。从而，本发明的基板保持装置1可增加保持基板200的保持力。
所述诱导部26可包括连接部件263(图8)。
1所述连接部件263连接所述第一诱导部件261以及所述第二诱导部件262。所述连接部件263可设置在基座21，以区分所述第一极片22与所述第二极片23之间的分隔空间20(图8)以及所述基座21之间。据此，所述诱导部26利用所述连接部件263可从所述基座21分隔所述第一极片22与所述第二极片23之间的分隔空间20。据此，若对所述线圈25未施加电源，则所述诱导部26诱导通过所述第一极片22与所述的第二极片23之间的分隔空间20可降低向所述基座21侧流失的磁场的程度，进而可进一步增加所述保持部3侧的磁场流动的强度。从而，本发明的基板保持装置1可进一步增加保持所述基板200的保持力。所述连接部件263、所述第二诱导部件262以及所述第一诱导部件261可形成一体。
参照图9，可如下实现本发明的变形实施例的电永磁2。本发明的变形实施例的电永磁2可包括所述基座21、所述第一极片22、所述第二极片23、所述永久磁铁24、所述线圈25以及所述诱导部26。
所述基座21由磁性体构成。所述基座21可设置在所述夹盘4。所述基座21可位于从所述保持部3分隔的位置。所述基座21可设置在所述夹盘4的一面41以及所述夹盘4的另一面42之间的位置。所述基座21可设置在所述夹盘4内部。若对所述电永磁2施加电源，则所述电永磁2向所述基座21侧形成比所述保持部3侧更强的磁场流动。据此，减少作用于所述保持部3以及所述电永磁2之间的引力，因此所述保持部3可处于从所述夹盘4分隔的状态。
所述第一极片22由磁性体构成。所述第一极片22可配置在所述基座21以及所述夹盘4的一面41之间。所述第一极片22可设置在所述夹盘4内部。所述第一极片22一侧221(图5)可接触于所述夹盘4。所述第一极片22的一侧221可接触于所述夹盘4的一面41。所述第一极片22可形成改变从所述第二极片23分隔的距离的形状。例如，相比于所述第一极片22中接近所述夹盘4的一面41侧的部分在所述第一极片22中接近所述基座21侧的部分从所述第二极片23分隔更长的距离。所述第一极片22包括：从所述基座21沿着所述分隔方向SD(箭头方向)直线延伸的第一部分；从所述第一部分沿着垂直于所述分隔方向SD(箭头方向)的方向向所述第二极片23侧直线延伸的第二部分；从所述第二部分沿着所述分隔方向SD(箭头方向)向所述夹盘4的一面41侧延伸的第三部分。虽未示出，但是在本发明的变形实施例的电永磁2中，所述第一极片22也可在所述基座21中沿着向所述夹盘4的一面41的方向形成直线形状。
所述第二极片23可由磁性体构成。所述第二极片23可配置在所述基座21以及所述夹盘4的一面41之间。所述第二极片23在从所述第一极片22分隔的位置中可配置在所述基座21以及所述夹盘4之间。所述第二极片23可设置在所述夹盘4的内部。所述第二极片23一侧231(图5)可接触于所述夹盘4。所述第二极片23的一侧231可接触于所述夹盘4的一面41。所述第二夹盘23在所述基座21中沿着向所述夹盘4的一面41的方向形成直线形状。
所述永久磁铁24分别接触于所述第一极片22以及所述第二极片23。所述永久磁铁24在所述第一极片22以及所述第二极片23之间中分别接触于所述第一极片22以及所述第二极片23。所述永久磁铁24可配置在所述线圈25以及所述夹盘4的一面41之间。在这一情况下，为使所述永久磁铁24位于从所述线圈25分隔的位置的同时接触于所述夹盘4的一面41，所述永久磁铁24可分别设置在所述第一极片22以及所述第二极片23。为使所述永久磁铁24一侧241接触于所述第一极片22的同时另一侧242接触于所述第二极片23，所述永久磁铁24可分别设置在所述第一极片22以及所述第二极片23。所述永久磁铁24一侧241的极性可以是N极。在这一情况下，所述永久磁铁24另一侧242的极性可以是S极。
所述线圈25设置在所述第一极片22。所述线圈25缠绕于所述第一极片22，进而可设置在所述第一极片22。所述电永磁2根据是否对所述线圈25施加电源可改变形成更强的磁场流动的位置。所述线圈25可连接于电源施加部。所述线圈25可设置在所述第一极片22，以使所述线圈25位于所述永久磁铁24以及所述基座21之间。在这一情况下，所述线圈25可设置在所述第一极片22，以位于分别从所述永久磁铁24以及所述基座21分隔的位置。所述线圈25可设置在所述第一极片22，以使所述线圈25一侧向着所述永久磁铁24的同时另一侧向着所述基座21。若对所述线圈25施加电源，则所述线圈25的一侧极性为S极的同时所述线圈25的另一侧极性可变成N极。据此，所述线圈25的一侧以及所述永久磁铁24的一侧可具有相互相反的极性。从而，若对所述线圈25施加电源，则引力作用于所述线圈25的一侧以及所述永久磁铁24一侧之间，因此可向所述基座21侧集中磁场流动。据此，相比于所述保持部3侧所述基座21侧可形成更强的磁场流动。若对所述线圈25未施加电源，则所述线圈25的一侧以及另一侧将不具有极性。据此，可增加向所述保持部3侧流动的磁场流动的强度。
若对所述线圈25未施加电源，则所述诱导部26诱导所述保持部3侧形成比所述基座21侧更强的磁场流动。所述诱导部26可由非磁性体构成。例如，可由铝(Al)构成所述诱导部26。为使所述第一极片22以及所述第二极片23中的至少一个从所述基座部21分隔，所述诱导部26可设置在所述基座21。即，所述第一极片22以及所述第二极片23中的至少一个通过非磁性体的诱导部26相互分隔。据此，当施加于所述线圈25的电源被切断时，由于所述诱导部26是非磁性体，因此所述保持部3侧形成比所述基座21侧更强的磁场流动，进而可诱导引力作用于所述保持部3。在图9示出所述诱导部26只设置在所述第一极片22与所述基座21之间，但是不限于此，所述诱导部26也可只设置在所述第二极片23与所述基座21之间。也可使所述诱导部26设置在所述第一极片22与所述基座21之间以及所述第二极片23与所述基座21之间。所述诱导部26也可都位于所述第一极片22与所述基座21之间、所述第二极片23与所述基座21之间以及所述分隔空间20(图8)与所述基座21之间。
参照图1至图5，所述保持部5用于使所述基板200保持在所述夹盘4。所述保持部3由磁性体构成。据此，本发明的基板保持装置1利用磁性体的保持部3可将非磁性体的基板200保持在所述夹盘4。
所述保持部3利用对所述电永磁2未施加电源而产生作用的引力，可支撑所述基板200，以使所述夹盘4保持所述基板200。在这一情况下，所述基板200配置在所述保持部3以及所述夹盘4之间，因此所述保持部3通过引力拉向所述夹盘4侧，由所述保持部3支撑所述基板200，进而可由所述夹盘4保持所述基板200。所述保持部3根据对所述电永磁2施加电源可处于可从所述夹盘4分隔的状态。据此，所述基板200可处于从所述夹盘4可分隔的状态。
参照图1至图10，所述保持部3可包括保持部件31(图10)以及保持孔32(图10)。
所述保持部件31可由磁性体构成。所述保持部件31利用根据对所述电永磁2未施加电源而产生作用的引力可支撑所述基板20，以使所述夹盘4保持所述基板200。在这一情况下所述保持部件31接触于所述基板200，进而可支撑所述基板200。所述保持部件31在所述基板200中可支撑待被淹膜遮盖的非有效区域。所述非有效区域是无法用作有效区域的部分。例如，所述非有效区域可以是在后续工艺中通过切割等被去除部分、不影响最终产品功能的部分等。若最终产品是显示装置，则所述有效区域是显示影像的部分，所述非有效区域是不显示影像的部分。对于所述有效区域以及所述非有效区域可根据产品的种类、大小有所不同。在这一情况下，所述保持部3根据产品的种类、大小等具有不接触于所述有效区域的同时接触于所述非有效区域的形状的保持部件31。
所述保持部件31利用根据对所述电永磁2未施加电源而起作用的引力可支撑所述基板200的非有效区域，以使所述夹盘4保持所述基板200。据此，本发明的基板保持装置1在保持所述基板200的过程中可防止所述基板200的有效区域出现损伤。据此，本发明的基板保持装置1可提高利用所述基板200制造的产品的产量以及品质。
所述保持孔32是贯通所述保持部件31形成的。所述保持孔32可贯通所述保持部件31，以使所述保持部件31只接触于所述非有效区域。所述保持孔32在所述基板200中可配置在所述有效区域。
参照图1至图11，所述夹盘4设置有所述电永磁2。所述电永磁2可设置在所述夹盘4，以位于所述夹盘4的内部。在这一情况下，在所述夹盘4内部可形成有可设置所述电永磁2的设置槽。在所述夹盘4的一面41可接触地设置所述电永磁2的第一极片22以及第二极片23。所述夹盘4的一面41可位于所述保持部3以及所述电永磁2之间。在所述夹盘4的另一面42可设置所述电永磁2的基座21。所述电永磁2可设置在所述夹盘4，以位于所述夹盘4的一面41以及所述夹盘4的另一面42。
所述夹盘4可由非磁性体构成。因此，本发明的基板保持装置1根据对所述电永磁2未施加电源所述保持部3侧形成比所述基座21侧更强的磁场流动的情况下，可增加保持所述基板200的保持力。对此，将在以下进行详细说明。
首先，所述夹盘4由磁性体构成的比较例的情况，若根据对所述电永磁2未施加电源所述保持部3侧形成比所述基座21侧更强的磁场流动，则因为磁性体的夹盘4可损失磁场。据此，比较例减少流动于所述保持部3的磁场，进而可降低保持所述基板200的保持力。
与上述不同，所述夹盘4由非磁性体构成的实施例情况，若根据对所述电永磁2未施加电源所述保持部3侧形成比所述基座21侧更强的磁场流动，则因非磁性体的夹盘4可降低磁场的流失程度。据此，实施例增加流动于所述保持部3的磁场，进而可增加保持所述基板200的保持力。
从而，本发明的基板保持装置1为由非磁性体构成所述夹盘4，进而通过增加保持所述基板200的保持力，可进一步降低所述基板的损坏乃至损毁，还可进一步提高经过制造工艺的基板200的产量。
在所述夹盘4可形成通过孔43(图11)。所述通过孔43是用于通过升降销(未示出)。所述升降销通过所述通过孔43从所述夹盘4凸出，进而可支撑所述基板200，以使所述基板200位于从所述夹盘4分隔的位置。利用所述升降销可执行对准所述基板200与所述保持部3之间的位置的对准工艺、安装(Loading)所述基板200的安装工艺以卸载(Unloa ding)所述基板200的卸载工艺等。所述通过孔43在对应于所述保持部件31的位置贯通所述夹盘4，以使所述升降销支撑所述基板200的非有效区域。据此，本发明的基板保持装置1在所述升降销支撑所述基板200的过程中防止所述基板200的有效区域受损，进而可提高利用所述基板200制造的产品的产量以及质量。在所述夹盘4也可形成多个所述通过孔43。多个所述通过孔43在相互分隔的位置贯通所述夹盘4。
在所述夹盘4可设置电源端子10(图11)。所述电源端子10是用于对所述电永磁2施加电源。所述电源端子10可设置在所述夹盘4，以电气性连接于所述电永磁2。所述电源端子10可连接于施加电源的电源施加部。所述电源施加部连接于所述电源端子10，进而通过所述电源端子10可对所述电永磁2施加电源。
参照图1至图12，在所述夹盘4可设置多个所述电永磁2。多个所述电永磁2可设置在所述夹盘2，以分隔设置多个电永磁2。
根据所述保持部件31的形状可对设置在所述夹盘4的多个电永磁2个别施加电源。在这一情况下，多个所述电永磁2可连接于相互不同的电源端子10。据此，所述保持部件31在多个所述电永磁2中利用通过未施加电源的电永磁2而起作用的引力可支撑所述基板200，以使所述保持部件31保持所述基板200。在这一情况下，在多个所述电永磁2中对配置在所述基板200的非有效区域的电永磁2切断电源，而是在多个所述电永磁2中对配置在所述基板200的有效区域的电永磁2施加电源。从而，本发明的基板保持装置1利用多个电永磁2可增加保持所述基板200的保持力，因此还可降低所述基板200损坏乃至损毁的危险，进而可进一步提高经过制造工艺的基板200的产量。另外，本发明打的基板保持装置1因由配置在所述基板200有效区域的多个电永磁2形成的磁场可防止所述基板200的质量下降。
在此，本发明的基板保持装置1根据在多个所述电永磁2设置在固定区域FA(图12)以及可变区域CA(图12)中的任意区域可对所述电源端子10进行不同的连接。对此，将在以下进行详细说明。
首先，所述固定区域FA在所述基板200中可配置在对应于固定非有效区域的位置。对于所述固定非有效区域，即使根据产品的种类、大小等有所改变，所述固定非有效区域也不会变成所述有效区域，而是始终保持所述非有效区域。例如，所述固定非有效区域的设置范围在从所述基板200的周围至向里侧分隔固定距离的位置。在这一情况下，所述固定区域FA位于所述夹盘4的外侧区域。例如，如图12所示，所述固定区域FA可形成四边形环形状。
配置在所述固定区域FA的多个电永磁2可连接于一个电源端子10。据此，配置在所述固定区域FA的多个电永磁2一同被施加电源的同时可切断电源。例如，所述电源施加部通过所述电源端子10对配置在所述固定区域FA的多个电永磁2全部施加电源。所述电源施加部通过所述电源端子10可对配置在所述固定区域FA的电永磁2全部切断电源。从而，本发明的基板保持装置1即便改变产品种类、大小等，也无需控制是否对配置在所述固定区域FA的多个电永磁2个别施加电源，因此可提高控制的容易度。
然后，所述可变区域CA可设置在所述基板200中对应于可变非有效区域的位置。若产品的种类、大小等发生变化，则所述可变非有效区域是所述有效区域以及所述非有效区域之间可改变的部分。所述可变非有效区域可位于所述固定非有效区域的里侧。在这一情况下，所述可变区域CA在所述夹盘4中位于所述固定区域FA的里侧。例如，如图12所示，所述可变区域CA可形成直角四边形形状。在所述夹盘4也可配置多个可变区域CA、CA'、CA"。
配置在如上所述的可变区域CA的多个电永磁2可连接于相互不同的电源端子10。据此，对配置在所述可变区域CA的多个电永磁2可个别施加电源同时也可个别切断电源。例如，所述电源施加部通过多个所述电源端子10在配置在所述可变区域CA的多个电永磁20中对由所述夹盘4待保持的基板200的非有效区域的电永磁2切断电源，而可对由所述夹盘4待保持的基板200的有效区域的电永磁2施加电源。从而，本发明的基板保持装置1利用配置在所述可变区域CA的多个电永磁2的一部分以及配置在所述固定区域FA的多个电永磁2，可增加保持由所述夹盘4待保持的基板20的非有效区域的保持力。据此，即便产品的种类、大小等发送变化，本发明的基板保持装置1可增加对所述基板200的保持力，因此降低所述基板200损坏乃至毁坏的危险，进而可提高经过制造工艺的基板200的产量。另外，本发明的基板保持装置1以配置在由所述夹盘4待保持的基板200有效区域的多个电永磁2形成的磁场，可防止降低所述基板200的质量。
参照图13，本发明的基板保持装置1可包盖部5以及密封部6
所述盖部5可拆卸地设置在所述夹盘4。执行在所述夹盘4的内部设置所述电永磁2的作业的情况下可从所述夹盘4分隔所述盖部5。据此，在所述夹盘4开放收容所述电永磁2的收容槽40，进而所述电永磁2被收容在所述收容槽40，位于所述夹盘4内部。若所述电永磁2设置在所述夹盘4内部，则所述盖部5可设置在所述夹盘4以封闭所述收容槽40。在这一情况下，所述电永磁2可位于所述夹盘4的一面41以及盖部5之间。所述盖部5结合于所述夹盘4，以构成所述夹盘4的另一面42(图3)的一部分。
所述密封部6密封所述夹盘4内部。所述密封部6设置所述盖部5以及所述夹盘4之间，进而可密封所述盖部5以及所述夹盘4之间的缝隙。据此，本发明的基板保持装置1可减少根据环境(诸如，大气环境、真空环境等)而改变保持所述基板200的保持力变化程度。从而，本发明的基板保持装置1可减少因对所述基板200的保持力变化而使所述基板200损坏乃至毁坏的危险，并且强化对所述基板200的保持力，可提高经过制造工艺的基板200的产量。
以下，参照附图详细说明本发明的腔室装置的实施例。
参照图1至图15，本发明的腔室装置100执行对所述基板200的安装工艺以及对所述基板200的卸载工艺中的一种工艺。所述安装工艺是利用所述保持部3保持所述基板200的工艺。所述卸载工艺是从所述基板200分隔所述保持部3的工艺。本发明的腔室装置100可包括：所述保持部3、支撑部110、下部电永磁120、下部夹盘130、上部电永磁140、上部夹盘150、电源施加部160以及升降部170。
参照图1至图15，所述保持部3可配置在所述下部夹盘130以及所述上部夹盘150之间。对于所述保持部3，与对本发明的基板保持装置1的说明相同，因此省略详细说明。
参照图1至图15，所述支撑部110用于支撑所述下部夹盘130。所述支撑部110可配置在所述下部夹盘130的下侧。所述下部夹盘130被搬运装置(诸如，传送带(Conveyor)、往返搬运器(Shuttle)、滚轮(Rolle r))搬运的情况下，可由传送带(Conveyor)、往返搬运器(Shuttle)、滚轮(R oller)实现所述支撑部110。在这一情况下，本发明的腔室装置110可适用于在线(In-line)类型的生产线。由运送机器人(Robot)搬运所述下部夹盘130的情况下，可由支撑所述下部夹盘130的支撑结构物实现所述支撑部110。
参照图1至图16，所述下部电永磁120根据是否施加电源改变形成更强的磁场流动的位置。所述下部电永磁120根据是否从所述电源施加部160施加电源可改变形成更强的磁场流动的位置。
所述下部电永磁120可包括下部基座121。
所述下部基座121可由磁性体构成。所述下部基座121可从所述保持部3分隔配置。所述下部基座121可接触于所述下部夹盘130的另一面。若对所述下部电永磁120施加电源，则所述下部基座121侧形成比所述保持部3侧更强的磁场流动，以使作用于所述保持部3的引力减少。若对所述下部电永磁120未施加电源，则所述保持部3侧形成比所述下部基座121侧更强的流动磁场，以使作用于所述保持部3的引力增加。所述下部基座121的结构与上述本发明的基板保持装置1的基座21大致相同，因此省略详细说明。
所述下部电永磁120可包括：第一下部极片122、第二下部极片123、下部永久磁铁124、下部线圈125以及下部诱导部126。
所述第一下部极片122由磁性体构成。所述第一下部极片122可配置在所述下部基座121以及所述下部夹盘130的一面之间。所述第一下部极片122可设置在所述下部夹盘130内部。所述第一下部极片122与上述本发明的基板保持装置1的第一极片22大致相同，因此省略其详细说明。
所述第二下部极片123由磁性体构成。所述第二下部极片123在从所述第一下部极片122分隔的位置中配置在所述下部基座121以及所述下部夹盘130的一面之间。所述第二下部极片123可设置在所述下部夹盘130内部。所述第二下部极片123与上述本发明的基板保持装置1的第二极片23大致相同，因此省略其详细说明。
所述下部永久磁铁124设置在所述第一下部极片122以及所述第二下部极片123之间，以分别接触于所述第一下部极片122以及所述第二下部极片123，所述下部永久磁铁124可分别设置在所述第一下部极片122以及所述第二下部极片123，以位于所述下部线圈125以及所述下部基座121之间。所述下部永久磁铁124与上述本发明的基板保持装置1的永久磁铁24大致相同，因此省略其详细说明。
所述下部线圈125设置在所述第一下部极片122。所述下部线圈125可设置在所述第一下部极片122，以位于所述下部夹盘130的一面以及所述下部永久磁铁124之间。所述下部线圈125与上述本发明的基板保持装置1的线圈25大致相同，因此省略其详细说明。
所述下部诱导部126由非磁性体构成。所述下部诱导部126可设置在所述下部基座121，以使所述第一下部极片122以及所述第二下部极片123中的至少一个从所述下部基座121分隔。若对所述下部线圈125未施加电源，则所述下部诱导部126可诱导所述保持部3侧形成比所述下部基座121侧更强的磁场流动。所述下部诱导部126与上述本发明的基板保持装置1的诱导部26大致相同，因此省略其详细说明。
参照图1至图6，所述下部夹盘130设置有所述下部电永磁120。所述下部夹盘130可位于所述支撑部110的上侧。所述下部夹盘130可位于所述上部夹盘150的下侧。所述下部夹盘130以及所述上部夹盘150之间可配置所述保持部3，所述下部夹盘130可由非磁性体构成。所述下部夹盘130可形成所述通过孔43(图11)。在下部夹盘130也可设置多个所述下部电永磁120。所述下部夹盘130与上述本发明的基板保持装置1的夹盘4大致相同，因此省略其详细说明。
参照图1至图17，所述上部电永磁140根据是否施加电源可改变形成更强的磁场流动的位置。所述上部电永磁140根据是否从所述电源施加部160施加电源可改变形成更强的磁场流动的位置。
所述上部电永磁140可包括上部基座141。
所述上部基座141由磁性体构成。所述上部基座141可从所述保持部3分隔。所述上部基座141接触于所述上部夹盘150的另一面。若所所述上部电永磁140施加电源，则所述上部基座141侧形成比所述保持部3侧更强的磁场流动，以减少作用于所述保持部3的引力。若对所述上部电永磁140未施加电源，则所述保持部3侧形成比所述基座141侧更强的磁场流动，以增加作用于所述保持部3的引力。所述上部基座141与上述本发明的基板保持装置1的基座21大致相同，因此省略其详细说明。
所述上部电永磁140可包括第一上部极片142、第二上部极片143、上部永久磁铁144、上部线圈145以及上部诱导部146。
所述第一上部极片142由磁性体构成。所述第一上部极片142可配置在所述上部基座142以及所述上部夹盘150的一面之间。所述第一上部极片142可设置在所述上部夹盘150内部。所述第一上部极片142与上述本发明的基板保持装置1的第一极片22大致相同，因此省略其详细说明。
所述第二上部极片143由磁性体构成。所述第二上部极片143在从所述第一上部极片142分隔的位置中可位于所述上部基座142以及所述上部夹盘150的一面之间。所述第二上部极片143可设置在所述上部夹盘150内部。所述第二上部极片143与上述本发明的基板保持装置1的第二极片23大致相同，因此省略其详细说明。
所述上部永久磁铁144设置在所述第一上部极片142以及所述第二上部极片143之间，以分别接触于所述第一上部极片142以及所述第二上部极片143。所述上部永久磁铁144分别设置在所述第一上部极片142以及所述第二上部极片143，以位于所述上部线圈145以及所述上部基座141之间。所述上部永久磁铁144与上述本发明的基板保持装置1的永久磁铁24大致相同，因此省略其详细说明。
所述上部线圈145设置在所述第一上部极片142。所述上部线圈145可设置在所述第一上部极片142，以位于所述上部夹盘150的一面以及所述上部永久磁铁144之间。所述上部线圈145与上述本发明的基板保持装置1的线圈25大致相同，因此省略其详细说明。
所述上部诱导部146由非磁性体构成。所述上部诱导部146可设置在所述上部基座141，以使所述第一上部极片142以及所述第二上部极片143中的至少一个从所述上部基座141分隔。若对所述上部线圈145未施加电源，则所述上部诱导部141可诱导所述保持部3侧形成比所述上部基座141侧更强的磁场流动。所述诱导部146与上述本发明的基板保持装置1的诱导部26大致相同，因此省略其详细说明。
参照图1至图17，所述上部夹盘150设置有所述上部电永磁140。所述上部电永磁140以及所述下部电永磁120可分别设置在所述上部夹盘150以及所述下部夹盘130，以使所述上部电永磁140以及所述下部电永磁120朝向相互对称的方向。所述上部夹盘150可位于所述下部夹盘130的上侧。所述上部夹盘150可由非磁性体构成。在所述上部夹盘150也可设置有多个所述上部电永磁140。所述上部夹盘150与上述本发明的基板保持装置1的夹盘4大致相同，因此省略其详细说明。
参照图1至图17，所述电源施加部160分别选择性地对所述下部电永磁120以及所述上部电永磁140施加电源，所述电源施加部160可分别选择性地对所述下部电永磁120以及所述上部电永磁140施加电源，以使引力作用于所述下部电永磁120以及所述上部电永磁140中未施加电源的一个与所述保持部3之间。所述电源施加部160对所述下部电永磁120施加电源的同时对所述上部电永磁140未施加电源的情况下，所述保持部3处于从所述下部夹盘130可分隔的状态的同时可拉向所述上部夹盘150侧。所述电源施加部160对所述下部电永磁120未施加电源的同时对所述上部电永磁140施加电源的情况下，所述保持部3拉向所述下部夹盘130侧的同时可处于从所述上部夹盘150分隔的状态。据此，本发明的腔室装置100可执行对所述基板200的安装工艺以及对所述基板200的卸载工艺中的至少一种工艺。所述电源施加部160连接于所述电源端子10，进而可分别对所述下部电永磁120以及所述下部电永磁120分别选择性施加电源。
在所述下部夹盘130设置多个所述下部电永磁120的情况下，所述电源施加部160分别对多个所述下部电永磁120个别施加电源的同时可个别切断电源，在这一情况下，所述电源施加部160根据所述保持部件31的形状可分别对多个所述下部电永磁120施加电源的同时可个别切断电源。
所述电源施加部160在所述下部电永磁120中对配置在所述固定区域FA的多个下部电永磁120一同施加电源的同时可切断电源。所述电源施加部160在多个所述下部电永磁120中配置在所述可变区域CA的多个下部电永磁120根据所述保持部件31的形状可对配置在所述可变区域CA的多个下部电永磁120个别施加电源的同时个别切断电源。
在所述上部夹盘150设置多个所述上部电永磁140的情况下，所述电源施加部160对多个所述上部电永磁140个别施加电源的同时可个别切断电源。在这一情况下，所述电源施加部160根据所述保持部件31的形状可分别对多个所述上部电永磁140个别施加电源的同时可个别切断电源。
所述电源施加部160在多个所述上部电永磁140中对配置在所述固定区域FA的多个上部电永磁140一同施加电源的同时可一同切断电源。根据所述保持部件31的形状，所述电源施加部160在多个所述上部电永磁140中对配置在所述可变区域CA的多个上部电永磁140可个别施加电源的同时可个别切断电源。
在图15示出所述电源施加部160配置在所述上部夹盘150的上侧，但是并不限于此，而是只要是所述电源施加部160能够分别对所述下部电永磁120以及所述上部电永磁140选择性施加电源的位置，也可以配置在其他位置。
参照图1至图17，所述升降部170升降所述下部夹盘130以及所述上部夹盘150中的至少一个。所述升降部170利用所述保持部3可升降所述下部夹盘130以及所述上部夹盘150中的至少一个，以执行对所述基板200的安装工艺以及对所述基板200的卸载工艺。在所述升降部170升降所述下部夹盘130的情况下，所述升降部170可设置在所述下部夹盘130。在所述升降部170升降所述上部夹盘150的情况下，所述升降部170可设置在所述上部夹盘150。在所述升降部170将所述下部夹盘130以及所述上部夹盘150全部升降的情况下，所述升降部170可分别设置在所述下部夹盘130以及所述上部夹盘150。在这一情况下，所述升降部170可包括分别设置在所述下部夹盘130以及所述上部夹盘150的多个升降单元。
所述升降部170可利用以下方式升降所述下部夹盘130以及所述上部夹盘150中的至少一个：使用液压缸或气压缸的气缸方式、使用马达和滚珠丝杠的滚珠丝杠方式、使用马达、齿轮和小齿轮等的齿轮方式、使用马达、皮带轮和皮带的皮带方式、使用线圈和永久磁铁的直线电机方式等。
在以下，参照附图详细说明本发明的腔室装置100执行对基板200的安装工艺的过程。图18是图24是示出腔室装置100执行对所述基板200的安装工艺的过程的概略性工艺图。
首先，如图18所示，所述上部夹盘150位于向所述支撑部110的上侧分隔的位置。所述上部夹盘150通过所述升降部170(图14)升降，进而可配置在向所述支撑部110的上侧分隔的位置。在这一状态下，由所述支撑部110支撑并安装附着有所述保持部3的下部夹盘130。在这一情况下，在所述下部夹盘130设置的下部电永磁120(图14)处于未施加电源的状态，因此所述保持部3可以是通过引力附着于所述下部夹盘130的状态。附着所述保持部3的下部夹盘130被所述搬运装置、所述机器人等搬运以安装在所述支撑部110。
然后，如图19所示，所述上部夹盘150下降以接触于所述保持部3。所述上部夹盘150通过所述升降部170(图14)下降，进而可接触于所述保持部3。在这一状态下，所述电源施加部160可将电源施加于设置在所述下部夹盘130的下部电永磁120(图14)。在这一情况下，设置在所述上部夹盘150的上部电永磁140(图14)处于未施加电源的状态。据此，从所述下部夹盘130分隔，并且所述保持部3通过作用于与所述上部电永磁140之间的引力可附着于所述上部夹盘150。在此，在对所述上部电永磁140未施加电源的状态下，所述上部夹盘150下降以接触于所述保持部3的情况下，通过作用于所述上部电永磁140以及所述保持部3之间的引力改变所述保持部3变形等所述保持部3的为使发生变动。为防止这一现象，所述上部夹盘150在对所述上部电永磁140施加电源的状态下进行下降以接触于所述保持部3。所述上部夹盘150接触于所述保持部3之后，可切断施加于所述上部电永磁140的电源。
然后，如图20所示，所述上部夹盘150在附着所述保持部3的状态下上升，以从所述下部夹盘130分隔所述保持部3。在这一情况下，所述上部夹盘150通过所述升降部170(图14)上升，进而可从所述下部夹盘130分隔所述保持部3。
然后，如图21所示，搬运所述基板200，以使所述基板200位于所述保持部3以及所述下部夹盘130之间，之后使所述基板200通过所述升降销位于从所述下部夹盘130向上侧分隔的位置。在这一状态下，可执行对准所述基板200以及所述保持部3之间的位置的对准工艺。通过所述搬运装置、所述机器人等搬运所述基板200，以使基板200位于所述保持部3以及所述下部夹盘130之间。
然后，如图22所示，所述基板200安装在所述下部夹盘130，之后所述上部夹盘150下降，以使所述保持部3接触于所述基板200。在这一情况下，所述上部夹盘150通过所述升降部170(图14)下降，进而可将所述保持部3接触于所述基板200。在这一状态下，所述电源施加部160对设置在所述上部夹盘150的上部电永磁140(图15)施加电源，同时可切断施加于设置在所述下部夹盘130的下部电永磁120(图14)的电源。据此，从所述上部夹盘150分隔所述保持部3，并且所述保持部3通过作用于保持部3与所述下部电永磁120之间的引力可支撑所述基板200，以在所述下部夹盘130保持所述基板200。
经过如上所述的过程，本发明的腔室装置100可对所述基板200执行安装工艺。所述基板200通过所述保持部3保持在所述下部夹盘130，在该状态下通过所述搬运装置、所述机器人可被搬运至执行后续工艺的设备。例如，所述基板200通过保持部3被保持在所述下部夹盘130的状态下可搬运至执行所述翻转工艺的设备。另一方面，在上述中说明了所述升降部170升降所述上部夹盘150，进而可执行对基板200的安装工艺，但是并不限于此，而是所述升降部170升降上部夹盘150以及所述下部夹盘130中的至少一个，也可执行对所述基板200的安装工艺。
在以下，参照附图详细说明本发明的腔室装置100形成对所述基板200的卸载工艺的过程。图24至图27是示出本发明的腔室装置200执行对所述基板200的卸载工艺的过程的概略性工艺图。
首先，如图24所示，所述上部夹盘150配置在向所述支撑部110的上侧分隔的位置。所述上部夹盘150通过所述升降部170(图14)上升，进而可配置在向所述支撑部110的上侧分隔的位置。在这一状态下，所述基板200以通过所述保持部3被保持在所述下部夹盘130状态下安装在所述支撑部110。在这一情况下，设置在所述下部夹盘130的下部电永磁120(图14)处于未施加电源的状态，因此可以是所述保持部3通过引力使所述基板200被所述下部夹盘130保持而支撑所述基板200的状态。通过所述保持部3保持在所述下部夹盘130保的基板200通过所述搬运装置、所述机器人等搬运并安装到所述支撑部110。
然后，如图25所示，所述上部夹盘150下降以接触于所述保持部3。所述上部夹盘150通过所述升降部170(图14)下降，进而可接触于所述保持部3。在这一状态下，所述电源施加部160可对设置在所述下部夹盘130的下部电永磁120(图14)施加电源。在这一情况下，设置在所述上部夹盘150的电永磁140(图14)处于未施加电源的状态。据此，从所述下部夹盘130分隔所述保持部3，从而基板200分隔所述保持部3，通过作用于所述保持部3与所述上部电永磁140之间的引力可附着于所述上部夹盘150。在此，在对所述上部电永磁140未施加电源的状态下所述上部夹盘150下降以接触于所述保持部3的情况下，通过作用于所述上部电永磁140以及所述保持部3之间的引力所述保持部3发生变形等，可使所述保持部3的位置发生变动。为防止这一现象，所述上部夹盘150在对所述上部电永磁140施加电源的状态下也可进行下降以接触于所述保持部3。所述上部夹盘150接触于所述保持部3之后可切断施加于所述上部电永磁140的电源。
然后，如图26所示，所述上部夹盘150在附着所述保持部3的状态下上升，以从所述基板200分隔所述保持部3。在这一情况下，所述上部夹盘150通过所述升降部170(图14)升降，进而可从所述基板200分隔所述保持部3。
然后，如图27所示，从所述基板200分分隔述所述保持部3之后，所述基板200通过升降销配置在从所述下部夹盘130向上侧分隔的位置。在这一状态下，所述基板200通过所述搬运装置、所述机器人等可搬运至执行所述后续工艺的设备。
经过如上所述的过程，本发明的腔室装置100可执行对所述基板200的卸载工艺。若搬出所述基板200，则所述上部夹盘150可下降，以使所述保持部3接触于所述下部夹盘130。在这一状态下，所述电源施加部160可对设置在所述上部夹盘150的上部电永磁140(图14)施加电源。在这一情况下，处于在设置所述下部夹盘130的下部电永磁120(图14)处于未施加电源的状态。据此，从所述上部夹盘150分隔所述保持部3，通过作用于所述保持部3与所述下部电永磁120之间的引力所述保持部3可附着于所述下部夹盘130。另一方面，在上述中所述升降部170升降所述上部夹盘150，进而执行对所述基板200的卸载工艺，但是并不限于此，而是所述升降部170升降所述上部夹盘150以及所述下部夹盘130中的至少一个，进而也可执行对所述基板200的卸载工艺。
在以上说明的本发明不限于上述的实施例以及附图，而是在不超出本发明的技术思想范围内可进行各种替换、变形以及改变，这对本发明所属技术领域的技术人员是显而易见的。

Claims (21)

1.一种基板保持装置，其特征在于，包括：
基座，由磁性体构成；
夹盘，由非磁性体构成；
第一极片，配置在所述基座与所述夹盘的一面之间，并且由磁性体构成；
第二极片，在从所述第一极片分隔的位置中配置在所述基座与所述夹盘的一面之间，并且由磁性体构成；
永久磁铁，设置在所述第一极片与所述第二极片之间，以分别接触于所述第一极片与所述第二极片；
线圈，设置在所述第一极片；
保持部，由磁性体构成；以及
诱导部，设置在所述基座；
其中，对于所述诱导部由非磁性体构成，若对所述线圈施加电源，则所述基座侧形成比所述保持部测更强的磁场流动；若对所述线圈未施加电源，则所述保持部侧形成比所述基座侧更强的磁场流动，以对所述保持部产生引力作用；
所述保持部利用根据对所述线圈未施加电源而产生作用的引力支撑所述基板，以使基板保持在所述夹盘。
2.根据权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，
所述线圈根据是否施加电源调节沿着第一磁路流动的磁场流动以及沿着第二磁路流动的磁场流动之间的相对强度，其中所述第一磁路是从所述第一极片经过所述基座向所述第二极片流动的磁路，所述第二磁路是从所述第一极片经过所述保持部向所述第二极片流动的磁路；
若对所述线圈施加电源，则所述诱导部使沿着所述第一磁路流动的磁场流动比沿着第二磁路流动的磁场流动更强；若对所述线圈切断电源，则所述诱导部使沿着所述第二磁路流动的磁场流动比沿着所述第一磁路流动的磁场流动更强。
3.一种基板保持装置，其特征在于，包括：
保持部，由磁性体构成；
电永磁，根据是否施加电源，改变磁场流动更强的位置；以及
夹盘，设置有所述电永磁，并且由非磁性体构成；
其中，若对所述电永磁施加电源，从所述保持部分隔配置的基座侧形成比所述保持部侧更强的磁场流动，若对所述电永磁未施加电源，则所述保持部侧形成比所述基座侧更强的磁场流动，以对所述保持部产生引力作用；
所述保持部利用根据对所述电永磁未施加电源而产生的引力作用支撑所述基板，以在所述夹盘保持所述基板。
4.根据权利要求1或者3所述的基板保持装置，其特征在于，
所述保持部包括：保持部件，在所述基板中支撑被所述淹膜遮盖的非有效区域；以及保持孔，在所述基板中配置在除了所述非有效区域以外的有效区域；
其中，所述保持部件利用根据未施加电源而产生的引力作用支撑所述基板非有效区域，以在所述夹盘保持所述基板。
5.根据权利要求4所述的基板保持装置，其特征在于，
在所述夹盘形成使所述升降销通过的通过孔，其中所述升降销用于支撑所述基板，
所述通过孔在对应于所述保持部件的位置贯通所述夹盘，以使所述升降销支撑所述基板的非有效区域。
6.根据权利要求3所述的基板保持装置，其特征在于，
在所述夹盘设置有多个所述电永磁；
所述保持部包括保持部件，所述保持部件在所述基板中支撑被淹膜遮盖的非有效区域；
根据所述保持部件的形状对所述电永磁个别施加电源；
所述保持部件利用在所述电永磁中通过未施加电源的电永磁产生的引力作用支撑所述基板的非有效区域，以在所述夹盘保持所述基板。
7.根据权利要求3所述的基板保持装置，其特征在于，
在所述夹盘设置有多个所述电永磁；
在多个所述电永磁中配置在固定区域的多个电永磁连接于一个电源端子，其中所述固定区域是在所述基板中固定成被所述淹膜待遮盖的非有效区域。
8.根据权利要求7所述的基板保持装置，其特征在于，
在多个所述电永磁中配置在可变区域的多个电永磁连接于相互不同的电源端子，其中所述可变区域是在所述基板中除了所述非有效区域以外的有效区域以及所述非有效区域之间产生变化的区域。
9.根据权利要求1或者3所述的基板保持装置，其特征在于，
在所述夹盘设置有电源端子，所述电源端子连接于施加电源的电源施加部。
10.根据权利要求1或者3所述的基板保持装置，其特征在于，包括：
盖部，可拆卸地设置在所述夹盘；密封部，位于所述盖部与所述夹盘之间，以密封所述夹盘的内部。
11.根据权利要求3所述的基板保持装置，其特征在于，
所述电永磁包括：
第一极片，配置在所述基座与所述夹盘的一面之间，并且由磁性体构成；
第二极片，在从所述第一极片分隔的位置中配置在所述基座与所述夹盘的一面之间，并且由磁性体构成；
永久磁铁，设置在所述第一极片与所述第二极片之间，以分别接触于所述第一极片与所述第二极片；
线圈，设置在所述第一极片；以及
诱导部，设置在所述基座，并且由非磁性体构成。
12.根据权利要求1或者11所述的基板保持装置，其特征在于，
所述永久磁铁分别设置在所述第一极片以及所述第二极片，以使所述永久磁铁一侧接触于所述第一极片的同时使另一侧接触于所述第二极片；
所述线圈设置在所述第一极片，以位于所述夹盘的一面与所述永久磁铁之间，且设置在所述第一极片，若对所述线圈施加电源，则向着所述永久磁铁的一侧具有与所述永久磁铁的一侧相同的极性。
13.根据权利要求1或者11所述的基板保持装置，其特征在于，
所述诱导部包括第一诱导部件以及第二诱导部件中的至少一个，其中所述第一诱导部件设置在所述第一极片与所述基座之间以使所述第一极片与所述基座相互分隔；所述第二诱导部件设置在所述第二极片与所述基座之间以使所述第二极片与所述基座相互分隔。
14.根据权利要求1或者11所述的基板保持装置，其特征在于，
所述诱导部包括：第一诱导部件，配置在所述第一极片与所述基座之间，以使所述第一极片与所述基座相互分隔；第二诱导部件，设置在所述第二极片与所述基座之间，以使所述第二极片与所述基座相互分隔；以及连接部件，连接所述第一诱导部件与所述第二诱导部件；
其中，所述连接件设置在所述基座，以区分所述第一极片与所述第二极片之间的分隔空间以及所述基座之间。
15.根据权利要求1或者11所述的基板保持装置，其特征在于，
所述第一极片形成直线形状，以使从所述极分隔的距离相同。
16.一种腔室装置，其特征在于，包括：
下部电永磁，根据是否施加电源而改变形成更强的磁场流动的位置；
下部夹盘，设置有所述下部电永磁；
支撑部，配置在所述下部夹盘的下侧，以用于支撑所述下部夹盘；
上部电永磁，根据是否施加电源而改变形成更强的磁场流动的位置；
上部夹盘，配置在所述下部夹盘的上侧，并且设置有所述上部电永磁；
升降部，升降所述下部夹盘与所述上部夹盘中的至少一个；
保持部，配置在所述上部夹盘与所述下部夹盘之间；以及
电源施加部，对所述下部电永磁与所述上部电永磁分别选择性地施加电源，以使作用于所述下部电永磁与所述上部电永磁中的未施加电源的一个与所述保持部之间产生引力作用。
17.根据权利要求16所述的腔室装置，其特征在于，
若对所述下部电永磁施加电源，则从所述保持部分隔配置的下部基座侧形成比所述保持部侧更强的磁场流动；若对所述下部电永磁未施加电源，则所述保持部侧形成比所述下部基座侧更强的磁场流动，以对所述保持部产生引力作用；
若对所述上部电永磁施加电源，则从所述保持部分隔配置的上部基座侧形成比所述保持部侧更强的磁场流动；若对所述上部电永磁施未施加电源，则所述保持部侧形成比所述上部基座侧更强的磁场流动，以对所述保持部产生引力作用。
18.根据权利要求17所述的腔室装置，其特征在于，
所述下部夹盘由非磁性体构成；
所述下部电永磁包括：由磁性体构成的下部基座；由磁性体构成的第一下部极片；由磁性体构成的第二下部极片；设置在所述第一下部极片与所述第二下部极片之间以分别接触于所述第一下部极片与所述第二下部极片的下部永久磁铁；设置在所述第一下部极片的下部线圈；以及由非磁性体构成的下部诱导部；
所述第一下部极片配置在所述下部基座与所述下部夹盘的一面之间；
所述第二下部极片在从所述第一下部极片分隔的位置中配置在所述第一下部基座与所述下部夹盘的一面之间；
所述诱导部设置在所述基座，以从所述下部基座分隔所述第一下部极片与所述第二下部极片中的至少一个。
19.根据权利要求18所述的腔室装置，其特征在于，
所述下部线圈设置在所述第一下部极片，以位于所述下部夹盘的一面以及所述下部永久磁铁之间；
所述下部永久磁铁分别设置在所述第一下部极片以及所述第二下部极片，以位于所述下部线圈以及所述下部基座之间。
20.根据权利要求16或者18所述的腔室装置，其特征在于，
所述上部夹盘由非磁性体构成；
所述上部电永磁包括：由磁性体构成的上部基座；由磁性体构成的第一上部极片；由磁性体构成的第二上部极片；设置在所述第一上部极片与所述第二上部极片之间以分别接触于所述第一上部极片与所述第二上部极片的上部永久磁铁；设置在所述第一上部极片的上部线圈；以及由非磁性体构成的上部诱导部；
所述第一上部极片配置在所述上部基座与所述上部夹盘的一面之间；
所述第二上部极片在从所述第一上部极片分隔的位置中配置在所述上部基座与所述上部夹盘的一面之间；
所述诱导部设置在所述基座，以从所述上部基座分隔所述第一上部极片与所述第二上部极片中的至少一个。
21.根据权利要求20所述的腔室装置，其特征在于，
所述上部线圈设置在所述第一上部极片，以位于所述上部夹盘的一面以及所述上部永久磁铁之间；
所述上部永久磁铁分别设置在所述第一上部极片以及所述第二上部极片，以位于所述上部线圈以及所述上部基座之间。
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