CN108546969A - 一种对oled制造设备进行表面处理的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种对OLED制造设备进行表面处理的方法,该方法包括对金属表面进行预处理;采用刻蚀液对经预处理的金属表面进行刻蚀;采用三嗪系化合物作为电镀液对经刻蚀的金属表面进行电镀;其中,所述三嗪化合物为C3N3S2HK—SH或C3N3S2HK—N(C6H13)2。本发明采用该方法对OLED制造设备的处理能够增加OLED制造设备的工艺使用周期,降低蒸镀材料包裹制造设备后,产生脱落与崩裂的概率,减少颗粒的干扰和污染。
Description
技术领域
本发明涉及OLED制造设备技术领域,具体而言,涉及一种对OLED制造设备进行表面处理的方法。
背景技术
表面处理是在基体材料表面上人工形成一层与基体的机械、物理和化学性能不同的表层的工艺方法。表面处理的目的是满足产品的耐蚀性、耐磨性、装饰或其他特种功能要求。
目前,有机蒸镀技术是制造OLED器件的核心技术,不论是照明器件还是显示器件有机蒸镀都是目前最可行的成膜技术。
然而,有机蒸镀需要在真空腔室环境中进行,真空腔室本身和腔室内部有诸多不锈钢材料制成的组件,腔室内表面和组件表面会与蒸镀材料蒸汽接触,并会不可避免的不断吸附上蒸镀材料,形成包裹层。包裹层经过一定的工艺时间就会产生脱落与崩裂,对镀膜腔室环境造成干扰和污染。
三嗪为含3个氮原子的六元杂环化合物,三嗪结构符合休克尔规则所规定的4n+2规则,拥有6个离域电子;三个N原子采用与三个C一样的的sp2杂化,所有原子均处于同一个平面,拥有传统意义上的芳香性。
目前,三嗪可用作除草剂、药物、抑制剂、杀虫剂、生物燃料、阻燃剂等领域。
例如,申请号为201410067165.0的中国专利申请公开了一种金属的表面处理剂,其中,采用三嗪系化合物作为抑制剂使用,其处理方式为将金属浸泡在表面处理剂中,处理后所达到的效果是提高金属表面的耐腐蚀性,加热处理后变色防止效果高,金属线焊接特性优异,不会造成反射率的劣化。该发明并不能实现对金属表面吸附性能的改变。
有鉴于此,特提出本发明。
发明内容
本发明的目的在于提供一种对OLED制造设备进行表面处理的方法,该方法能够改善OLED制造设备对有机蒸镀材料吸附或抗吸附的性能,以及对水和氧气的抗吸附性能;通过对OLED制造设备的处理能够增加OLED制造设备的使用时间,避免蒸镀材料包裹制造设备后,产生脱落与崩裂,对蒸镀造成干扰和污染。
为了实现本发明的上述目的,特采用以下技术方案:
一种对OLED制造设备进行表面处理的方法,包括如下步骤:
步骤一、对金属表面进行预处理;
步骤二、采用刻蚀液对经预处理的金属表面进行刻蚀;
步骤三、采用三嗪系化合物作为电镀液对经刻蚀的金属表面进行电镀;其中,所述三嗪化合物为C3N3S2HK—SH或C3N3S2HK—N(C6H13)2。
本发明的处理方法先对金属表面进行预处理,去除金属表面的油污和灰尘颗粒,避免金属表面的油污和灰尘颗粒与刻蚀液反应,以及影响金属表面的刻蚀效果;再通过对预处理的金属表面进行刻蚀,能够对金属表面进行细微化处理,能够增强金属表面与电镀层的结合强度;最后通过三嗪化合物C3N3S2HK—N(C6H13)2或C3N3S2HK—SH作为电镀液对金属表面进行电镀处理,能够改善金属表面对有机蒸镀材料的吸附或抗吸附的性能,以及对水和氧气的抗吸附性能。
优选地,C3N3S2HK—SH可以为其同分异构体中的任意一种;C3N3S2HK—N(C6H13)2可以为其同分异构体中的任意一种。
在本发明中,对OLED制造设备进行表面处理的方法不作严格限制,优选地,可以采用C3N3S2HK—N(C6H13)2对OLED制造设备中的真空腔室内表面或OLED蒸镀夹具表面进行电镀;或者,采用C3N3S2HK—SH对OLED制造设备中的部件表面进行电镀;其中,所述部件为距离基片和源较近的零部件。
对OLED制造设备中的真空腔室内表面进行表面处理,能够降低包裹的速度,从而增长腔体的持续工艺时间;对OLED制造设备中的部件表面进行电镀能够增加包裹的附着性,从而避免包裹崩裂所造成的严重后果;此外,对OLED蒸镀夹具表面进行电镀,能够避免OLED材料在制造过程中传递时遇到水氧失效,从而提高了OLED的成品率。
在上述OLED制备设备的处理方法中,采用C3N3S2HK—N(C6H13)2对OLED制造设备中的真空腔室内表面或OLED蒸镀夹具表面进行电镀,能够降低蒸镀材料在真空腔室内表面的吸附,进而延长真空腔室的使用时间;而且,能够抵抗水和氧气向OLED蒸镀夹具表面吸附,当采用OLED蒸镀夹具传递OLED材料时,避免水和氧气接触OLED材料造成损害;本发明中采用三嗪化合物C3N3S2HK—SH对OLED制造设备中的部件表面进行电镀,能够提高金属表面对有机蒸镀材料的吸附性能,能够避免已在金属表面吸附的有机蒸镀材料的脱落或崩裂,对蒸镀造成干扰和污染。
在本发明中对部件不作严格限制,优选地,所述部件为真空腔室内部易更换的不锈钢器件。
在本发明中,通过上述方法的处理能够更好的提高OLED制造设备的使用寿命,提高蒸镀效率,以及保证有机蒸镀产品的质量。
在本发明中,对预处理的具体方式不做严格限制,优选地,所述预处理包括:
采用第一有机溶剂对金属表面进行清洁;
采用第二有机溶剂对金属表面进行超声清洗;
优选地,所述第一溶剂可以选自三氯乙烯、丙酮、石油醚中的任意一种或几种。
优选地,所述第二溶剂可以为异丙醇与去离子水的混合溶液,其中,异丙醇与去离子水的体积比为1∶(15-24);所述超声清洗时间为8-12min。
本发明通过上述特定有机溶剂以及清洗方式的选择,能够更好的去除金属表面的油污和灰尘颗粒。
在本发明中,对刻蚀液的具体组成不作严格限制,优选地,所述刻蚀液为HCl和HNO3的混合溶液,所述混合溶液中HCl的质量浓度为1.6~4.8g/L,HNO3的质量浓度为0.7~3.2g/L;更优选地,所述混合溶液中HCl的质量浓度为3g/L,HNO3的质量浓度为2g/L。
优选地,所述刻蚀的时间为23~27s,优选为25s。
优选地,对刻蚀后的金属表面进行清洗,更优选地,所述清洗为先采用去离子水冲洗,再在去离子水中超声清洗1~2min。
通过上述刻蚀液的具体选择,以及刻蚀时间的限定,对金属表面进行细微化处理,使得金属表面达到了接触角为88.4°左右,表面自由能为29mJ/m2左右,进而能够更好的提高金属表面与电镀层的结合强度;此外,通过对刻蚀后的金属表面进行清洗,能够去除金属表面的刻蚀液,避免残留刻蚀液与电镀液反应,影响电镀效果。
在本发明中,优选地,所述电镀液为三嗪系化合物与NaOH溶液的混合溶液,其中,所述NaOH溶液的摩尔浓度为1.3~1.7mol/L,所述三嗪化合物与氢氧化钠溶液的体积比为(2.8-3.2)∶1;
优选地,所述电镀过程中可以控制电流密度为0.2~0.5mA/cm2,电镀时间为1~5min;
优选地,所述电镀以循环伏安法进行;
优选地,所述电镀采用三电极设备进行。
本发明通过上述电镀液的选择,能够使得三嗪化合物中的硫醇基团与金属表面发生电化学反应,在金属表面生成功能性薄膜,改变金属表面的功能特性;另外,本发明通过电镀方式以及电镀参数的限定,能够提高电镀薄膜的生成速度,使其在电镀时间内(即1-5min中之内)在金属表面生成连续的薄膜,提高其吸附性能。
在本发明中,对金属的具体种类不作严格限制,优选地,所述金属选择304或316不锈钢。
通过上述方式,能够在OLED蒸镀设备的真空腔室内表面形成具有如下条件中的至少一种的镀膜:1)接触角为90°~115°;2)表面自由能为13~28mJ/m2。
通过上述方式,能够在OLED蒸镀设备的部件外表面形成具有如下条件中的至少一种的镀膜:1)接触角为65°~80°;2)表面自由能为31~40mJ/m2。
本发明还提供一种OLED蒸镀设备,该OLED蒸镀设备采用上述方法进行处理得到;
所述OLED蒸镀设备的真空腔室内表面具有第一镀膜;
和/或OLED蒸镀设备的部件外表面具有第二镀膜;
第一镀膜接触角为90°~115°,表面自由能为13~28mJ/m2;
第二镀膜接触角为65°~80°,表面自由能为31~40mJ/m2。
本发明还提供一种OLED蒸镀夹具,该OLED蒸镀夹具采用上述方法进行处理得到;
所述OLED蒸镀夹具的外表面具有镀膜;
镀膜接触角为90°~115°,表面自由能为13~28mJ/m2。
与现有技术相比,本发明的有益效果至少包括:
(1)本发明对OLED制造设备进行表面处理的方法,采用该方法对OLED制造设备的处理能够增加OLED制造设备的工艺使用周期,降低蒸镀材料包裹制造设备后,产生脱落与崩裂的概率,减少颗粒的干扰和污染。
(2)本发明通过电镀液的特定选择,能够使得三嗪化合物中的硫醇基团与金属表面发生电化学反应,在金属表面生成功能性薄膜,改变金属表面的功能特性;另外,本发明通过电镀方式以及电镀参数的限定,能够提高电镀薄膜的生成速度,使其在电镀时间内(即1-5min中之内)在金属表面生成连续的薄膜,提高其吸附性能。
具体实施方式
下面将结合实施例对本发明的实施方案进行详细描述,但是本领域技术人员将会理解,下列实施例仅用于说明本发明,而不应视为限制本发明的范围。实施例中未注明具体条件者,按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者,均为可以通过市购买获得的常规产品。
实施例1
本实施例为一种OLED蒸镀设备,所述OLED蒸镀设备的真空腔室内表面具有第一镀膜;
所述OLED蒸镀设备的不锈钢器件(即距离基片和源较近的零部件)外表面具有第二镀膜;
第一镀膜接触角为102°,表面自由能为13mJ/m2;
第二镀膜接触角为65°,表面自由能为40mJ/m2。
上述OLED蒸镀设备的处理方法,包括如下步骤:
步骤一、采用三氯乙烯对真空腔室内表面和不锈钢器件外表面进行擦拭,再分别在异丙醇与去离子水溶液中超声清洗10min,其中,所述异丙醇与去离子水的体积比为1∶19;
步骤二、将预处理后的真空腔室内表面和不锈钢器件外表面分别浸泡在HCl和HNO3的混合溶液中刻蚀25s,其中,混合溶液中HCl的质量浓度为3g/L,混合溶液中HNO3的质量浓度为2g/L;
对刻蚀后的真空腔室内表面和不锈钢器件分别采用去离子水冲洗,再分别在去离子水中超声清洗1min;
步骤三、采用三嗪系化合物C3N3S2HK—N(C6H13)2与氢氧化钠溶液的混合溶液作为电镀液,对经刻蚀的真空腔室内表面进行电镀;其中,氢氧化钠溶液的摩尔浓度为1.5mol/L,并且C3N3S2HK—N(C6H13)2与氢氧化钠溶液的体积比为3∶1;
采用三嗪系化合物C3N3S2HK—SH与氢氧化钠溶液的混合溶液作为电镀液,对经刻蚀的不锈钢器件外表面进行电镀;其中,氢氧化钠溶液的摩尔浓度为1.5mol/L,并且C3N3S2HK—SH与氢氧化钠溶液的体积比为3∶1;
选用三电极设备,采用循环伏安法分别进行电镀,控制电流密度为0.5mA/cm2,电镀时间为3min。
实施例2
本实施例为一种OLED蒸镀设备,所述OLED蒸镀设备的真空腔室内表面具有第一镀膜;
所述OLED蒸镀设备的不锈钢器件表面具有第二镀膜;
第一镀膜接触角为105°,表面自由能为17mJ/m2;
第二镀膜接触角为70°,表面自由能为35mJ/m2。
上述OLED蒸镀设备的处理方法与实施例1的处理方法基本相同,区别仅在于,C3N3S2HK—N(C6H13)2与氢氧化钠溶液的体积比为3.2∶1;C3N3S2HK—SH与氢氧化钠溶液的体积比为2.8∶1。
实施例3
本实施例为一种OLED蒸镀夹具;所述OLED蒸镀夹具的表面具有镀膜;
镀膜接触角为110°,表面自由能为20mJ/m2。
上述OLED蒸镀夹具的处理方法,包括如下步骤:
步骤一、采用三氯乙烯对OLED蒸镀夹具外表面进行擦拭,再在异丙醇与去离子水溶液中超声清洗10min,其中,所述异丙醇与去离子水的体积比为1∶19;
步骤二、将预处理后的OLED蒸镀夹具外表面浸泡在HCl和HNO3的混合溶液中刻蚀25s,其中,混合溶液中HCl的质量浓度为4g/L,混合溶液中HNO3的质量浓度为3g/L;
对刻蚀后的OLED蒸镀夹具表面采用去离子水冲洗,再在去离子水中超声清洗1min;
步骤三、采用三嗪系化合物C3N3S2HK—N(C6H13)2与氢氧化钠溶液的混合溶液作为电镀液,对经刻蚀的OLED蒸镀夹具外表面进行电镀;其中,氢氧化钠溶液的摩尔浓度为1.5mol/L,并且C3N3S2HK—N(C6H13)2与氢氧化钠溶液的体积比为3∶1;
选用三电极设备,采用循环伏安法分别进行电镀,控制电流密度为0.3mA/cm2,电镀时间为4min。
实施例4
本实施例为一种OLED蒸镀设备,所述OLED蒸镀设备的真空腔室内表面具有第一镀膜;
所述OLED蒸镀设备的不锈钢器件表面具有第二镀膜;
第一镀膜接触角为112°,表面自由能为21mJ/m2;
第二镀膜接触角为75°,表面自由能为37mJ/m2。
上述OLED蒸镀设备的处理方法与实施例1的处理方法基本相同,区别仅在于,步骤三中,将氢氧化钠替换成碳酸钠。
实施例5
本实施例为一种OLED蒸镀设备,所述OLED蒸镀设备的真空腔室内表面具有第一镀膜;
所述OLED蒸镀设备的不锈钢器件表面具有第二镀膜;
第一镀膜接触角为97°,表面自由能为25mJ/m2;
第二镀膜接触角为71°,表面自由能为33mJ/m2。
上述OLED蒸镀设备的处理方法与实施例1的处理方法基本相同,区别仅在于,步骤三中,采用恒电流法进行电镀。
对照例1
本对照例1的OLED蒸镀设备,其表面与实施例1的处理方法基本相同,区别仅在于,未对预处理后的真空腔室内表面和不锈钢器件表面分别进行刻蚀。
实验例1
采用未经任何处理的OLED蒸镀设备作为对照实验和实施例1、实施例4、实施例5、对照例1中的OLED蒸镀设备分别进行蒸镀实验,采用相同的有机蒸镀材料,在相同的条件下进行,持续蒸镀,直至各个OLED蒸镀设备中的不锈钢器件上包裹的有机蒸镀材料脱落或崩裂为止,并分别记录各OLED设备组件中不锈钢器件产生脱落或崩裂的具体蒸镀时间,实验结果记录如表2所示:
表2
组别 | 实施例1 | 实施例4 | 实施例5 | 对照例1 | 对照实验 |
蒸镀时间 | 298 | 245 | 263 | 236 | 211 |
由表2可知
实施例1、4、5和对照例1的持续蒸镀时间均高于对照实验,然而,实施例1、4、5的持续蒸镀时间高于对照例1,说明采用刻蚀处理,提高了不锈钢器件表面与镀膜的结合强度,避免有机蒸镀材料的脱落或崩裂,在实施例1、4、5中实施例1的持续蒸镀时间最长,采用实施例1的处理方法能够更好的提高镀膜的吸附性能和使用寿命。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,但本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种对OLED制造设备进行表面处理的方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤一、对金属表面进行预处理;
步骤二、采用刻蚀液对经预处理的金属表面进行刻蚀;
步骤三、采用三嗪系化合物作为电镀液对经刻蚀的金属表面进行电镀;其中,所述三嗪化合物为C3N3S2HK—SH或C3N3S2HK—N(C6H13)2;
优选地,所述C3N3S2HK—SH为其同分异构体中的任意一种;所述C3N3S2HK—N(C6H13)2为其同分异构体中的任意一种。
2.根据权利要求1所述的一种对OLED制造设备进行表面处理的方法,其特征在于,采用C3N3S2HK—N(C6H13)2对OLED制造设备中的真空腔室或OLED蒸镀夹具表面进行电镀;或者,采用C3N3S2HK—SH对OLED制造设备中的部件进行电镀。
3.根据权利要求1或2所述的一种对OLED制造设备进行表面处理的方法,其特征在于,所述预处理包括:
采用第一有机溶剂对金属表面进行清洁;
采用第二有机溶剂对金属表面进行超声清洗。
4.根据权利要求1-3任一项所述的一种对OLED制造设备进行表面处理的方法,其特征在于,所述刻蚀液为HCl和HNO3的混合溶液,所述混合溶液中HCl的质量浓度为1.6~4.8g/L,HNO3的质量浓度为0.7~3.2g/L。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种对OLED制造设备进行表面处理的方法,其特征在于,所述刻蚀的时间为23~27s;
优选地,对刻蚀后的金属表面进行清洗。
6.根据权利要求1-5任一项所述的一种对OLED制造设备进行表面处理的方法,其特征在于,所述电镀液为三嗪系化合物与NaOH溶液的混合溶液,其中,所述NaOH溶液的摩尔浓度为1.3~1.7mol/L,所述三嗪化合物与氢氧化钠溶液的体积比为(2.8-3.2)∶1。
7.根据权利要求1-6任一项所述的一种对OLED制造设备进行表面处理的方法,所述电镀过程中控制电流密度为0.2~0.5mA/cm2,电镀时间为1-5min;
优选地,所述电镀以循环伏安法进行。
8.根据权利要求1-7任一项所述的一种对OLED制造设备进行表面处理的方法,其特征在于,所述金属为304或316不锈钢。
9.一种OLED蒸镀设备,其特征在于,采用权利要求1-8任一项所述的一种对OLED制造设备进行表面处理的方法进行处理得到;
所述OLED蒸镀设备的真空腔室内表面具有第一镀膜;
和/或OLED蒸镀设备的部件外表面具有第二镀膜;
优选地,第一镀膜接触角为90°~115°,表面自由能为13~28mJ/m2;
第二镀膜接触角为65°~80°,表面自由能为31~40mJ/m2。
10.一种OLED蒸镀夹具,其特征在于,采用权利要求1-8任一项所述的一种对OLED制造设备进行表面处理的方法进行处理得到;
所述OLED蒸镀夹具的外表面具有镀膜;
镀膜接触角为90°~115°,表面自由能为13~28mJ/m2。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
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Application publication date: 20180918 |